JP6159498B1 - 液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

液体吐出ヘッドの第１流路部材は、接着剤を介して積層された複数のプレートを備えている。第１プレートには、第２共通流路を構成する第２溝、および第２溝の壁面から第２溝に通じており、複数の第３個別流路をそれぞれ構成する複数の第１溝が形成されている。第２プレートは、第１プレートの上面に接着され、第２共通流路の上面を構成する。第１プレートは、第２溝の一端である端部位置と、複数の第１溝の第２溝の壁面に対する接続位置のうち最も端部位置側に位置する接続位置との間に、第２溝の壁面から延び出る延出部を備えている。

Description

本開示は、液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、液体が流れる流路が形成された流路部材を有している。流路部材は、複数のプレートが接着剤を介して積層されることによって構成される。流路部材の流路は、複数のプレートに穴（例えば、凹溝または貫通溝）が形成されることによって構成され、共通流路と、共通流路に接続された複数の吐出ユニットとを有している。各吐出ユニットは、共通流路と接続された個別流路と、個別流路に接続された加圧室と、加圧室に接続された吐出孔とを有している。加圧室が加圧されることによって液体が吐出孔から吐出される。加圧室への液体の供給は、個別流路を介して共通流路からなされる。また、個別流路を介して加圧室の液体を共通流路へ回収することによって液体の循環が行われることもある。

特許文献１および２では、複数の共通流路同士がその両端において結合されている。従って、流路部材を構成するプレートにおいて、複数の共通流路をそれぞれ構成する複数の貫通溝同士の間に浮島状の部分が構成される。浮島状部分は、プレートの他の部分（外枠）から孤立しているから、プレートを積層する前においてはプレートから脱落してしまう。そこで、特許文献１および２では、共通流路を構成する貫通溝の両側の壁面同士を接続する、プレートよりも薄い接続部を設けて、浮島状部分同士を連結するとともに浮島状部分と外枠とを連結し、浮島状部分が脱落しないようにしている。

特開２００４−１１４５１９号公報 特開２００９−２３４０９６号公報

本開示の液体吐出ヘッドにおける一実施形態は、流路部材と、複数の加圧部とを備えている。前記流路部材は、接着剤を介して積層された複数のプレートを備えている。複数の前記プレートに形成された穴によって、共通流路、および前記共通流路に接続されている複数の吐出ユニットが構成されている。複数の前記吐出ユニットそれぞれは、吐出孔、前記吐出孔に接続されている加圧室、および前記加圧室と前記共通流路とに接続されている個別流路を備えている。複数の前記加圧部は、複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する。複数の前記プレートは、第１プレートと、第２プレートとを含んでいる。前記第１プレートは、前記共通流路を構成する共通流路用溝、および前記共通流路用溝の両側の壁面のうちの一方の壁面から前記共通流路用溝に通じており、複数の前記個別流路をそれぞれ構成する複数の個別流路用溝を備えている。前記第２プレートは、前記第１プレートの上面に接着され、前記共通流路の上面を構成する。前記共通流路用溝の前記一方の壁面は、前記共通流路用溝に沿って、接続範囲と、非接続範囲と、を有している。前記接続範囲は、複数の前記個別流路用溝が接続されている。前記非接続範囲は、前記接続範囲に隣接しており、複数の前記個別流路用溝が非接続とされており、前記接続範囲における複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置の、隣り合うもの同士の距離それぞれよりも長い。前記第１プレートは、前記非接続範囲において前記一方の壁面から延び出る少なくとも１つの延出部を備えている。

本開示の液体吐出ヘッドにおける一実施形態は、流路部材と、複数の加圧部とを備えている。流路部材は、接着剤を介して積層された複数のプレートを備えている。複数の前記プレートに形成された穴によって、共通流路、および前記共通流路に接続されている複数の吐出ユニットが構成されている。複数の前記吐出ユニットそれぞれは、吐出孔、前記吐出孔に接続されている加圧室、および前記加圧室と前記共通流路とに接続されている個別流路を備えている。複数の前記加圧部は、複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する。複数の前記プレートは、第１プレートと、第２プレートとを含んでいる。前記第１プレートは、前記共通流路を構成する共通流路用溝、および前記共通流路用溝の両側の壁面のうちの一方の壁面から前記共通流路用溝に通じており、複数の前記個別流路をそれぞれ構成する複数の個別流路用溝を備えている。前記第２プレートは、前記第１プレートの上面に接着され、前記共通流路の上面を構成する。前記共通流路用溝の前記一方の壁面は、前記共通流路用溝に沿って、接続範囲と、非接続範囲と、を有している。前記接続範囲は、複数の前記個別流路用溝が接続されている。前記非接続範囲は、前記接続範囲に隣接しており、複数の前記個別流路用溝が非接続とされており、前記接続範囲における複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置の、隣り合うもの同士の距離それぞれよりも長い。前記第１プレートは、前記非接続範囲において前記一方の壁面から前記共通流路用溝に通じている少なくとも１つのダミー流路用溝を備えている。前記ダミー流路用溝によって前記複数の吐出ユニットに非接続のダミー流路が構成されている。

本開示の記録装置における一実施形態は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えている。

本開示の液体吐出ヘッドの製造方法における一実施形態は、上記の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記第２プレートの下面の全面に前記接着剤を配置するステップと、前記接着剤が配置された前記第２プレートの下面を前記第１プレートの上面に重ねるステップと、を備えている。

（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 （ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。 （ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。 （ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。 図５の一部を拡大して示す平面図である。 （ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。 （ａ）は図７（ｂ）のVIIIａ−VIIIａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のVIIIｂ−VIIIｂ線断面図である。 液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 第１流路部材を形成するプレートの一部を拡大して示す斜視図である。 第１流路部材の製造方法の手順の一例を示すフローチャートである。 （ａ）〜（ｃ）はそれぞれ第１流路部材の製造過程におけるプレートの断面図または平面図である。 第３個別流路が形成されるプレートの一部を示す平面図である。 （ａ）は図１３のXIVａ−XIVａ線断面図、（ｂ）は図１３の領域XIVｂの拡大図、（ｃ）は図１４（ｂ）のXIVｃ−XIVｃ線断面図である （ａ）および（ｂ）はそれぞれ変形例に係る図１４（ａ）および図１４（ｃ）に相当する断面図である。 （ａ）および（ｂ）はそれぞれ変形例に係る流路を模式的に示す平面図である。

＜第１の実施形態＞
（プリンタの全体構成）
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。なお、液体吐出ヘッド２は、鉛直方向に対していずれの向きで使用されてもよいが、以下では、便宜上、図１の紙面上方を上方側として、上面等の用語を用いることがある。

プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

（液体吐出ヘッドの全体構成）
次に、図２〜１０を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他のものの下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。

図２に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ（Integrated Circuit）６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

筐体５０は、ヘッド本体２ａ上に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、開口５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられており、放熱板５２が配置される。開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝熱する可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

（ヘッド本体の全体構成）
図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４上に、圧電アクチュエータ基板４０と第２流路部材６とが設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。

（流路部材の全体構成）
第１流路部材４は、内部に流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、一方の主面が加圧室面４−１を形成しており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されており、加圧室面４−１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されており、加圧室面４−１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。

第２流路部材６は、内部に流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４ａ−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

（第２流路部材（統合流路））
第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通されている。

開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材６の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。

開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。

開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。

開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。

開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄから液体を回収する。

以上の構成により、第２流路部材６においては、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

（第１流路部材（共通流路および吐出ユニット））
図５〜８に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍが積層されて形成されており、加圧室面４−１と、吐出孔面４−２を有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が裁置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の吐出ユニット１５と、複数のダミー吐出ユニット１７とが形成されており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａとが形成されている。

第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、複数配列されている。

第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、互いに交互に配置されている。

第１流路部材４には、第２共通流路２４に面してダンパ室３２（図８（ｂ））が設けられている。すなわち、ダンパ室３２は、ダンパ３０を介して第２共通流路２４に面して配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。ダンパ室３２は、第１ダンパ室３２ａと、第２ダンパ室３２ｂとを有している。第１ダンパ室３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して第２共通流路２４の上に設けられている。第２ダンパ室３２ｂは、第２ダンパ３０ｂを介して第２共通流路２４の下に設けられている。このように、ダンパ３０を有することにより、第２共通流路２４に侵入した圧力波を減衰させることができる。

端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。また、第２方向Ｄ２の端部に端部流路２８を配置することで、第２統合流路２６における、第２方向Ｄ２の端に位置する開口２４ａ付近の流速が速まり、液体に含まれる顔料等の沈降を抑制できる。同様に、第５方向Ｄ５の端部に端部流路２８を配置することで、第１統合流路２２における、第２方向Ｄ２の端に位置する開口２０ａ付近の流速が速まり、液体に含まれる顔料等の沈降を抑制できる。

（吐出ユニットの形状）
吐出ユニット１５は、図７（ａ）に示すように、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路１２と、第２個別流路１４と、第３個別流路１６とを有している。吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａは、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

また、加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。吐出孔列８ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行８ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。なお、１行の吐出孔行８ｂは、２行の加圧室行１０ｄに属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８により構成されている。

第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列８ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

ダミー吐出ユニット１７（ダミー加圧室１１）は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定するために設けられている。

吐出ユニット１５は、図７（ａ）に示すように、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路１２と、第２個別流路１４と、第３個別流路１６とを有している。液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。

加圧室１０は、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａの中心から下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体に圧力を加えるように構成されている。

加圧室本体１０ａは、直円柱形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい直円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に納まる位置に配置されている。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐形状あるいは台形円錐形状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、液体の供給および排出を安定化できる。

加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。

また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。

第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。第３個別流路１６の流路抵抗は、第２個別流路１４の流路抵抗よりも小さく構成されている。

以上のような構成により、第１流路部材４においては、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。

（圧電アクチュエータ）
第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に共通電極用表面電極（不図示）を有しており、共通電極用表面電極が、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して共通電極４２と繋がっており、接地され、グランド電位に保持されている。

個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、ほぼ円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。

接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

（吐出動作）
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部７６からの制御でドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号により、変位素子４８が変位する。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

図９，１０を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。なお、図９では、実際の液体の流れを実線で示し、従来の液体の流れを破線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路１２と、第２個別流路１４と、第３個別流路１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（図８参照）に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４に接続されている。そのため、吐出ユニット１５は、第１個別流路１２および第２個別流路１４から液体が供給され、第３個別流路１６により、吐出されなかった液体が回収されている。

第１個別流路１２は、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されている。第２個別流路１４は、部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。第３個別流路１６は、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

ここで、図９に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。

このような流れが生じると、部分流路１０ｂのうち、第２個別流路１４の出口と反対側に位置する領域８０付近は液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じる可能性がある。

これに対して、第１流路部材４では、液体供給用の第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０の互いに異なる位置に接続されている。具体的には、例えば、第１個別流路１２は加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４は、部分流路１０ｂに接続されている。

そのため、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から部分流路１０ｂへ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れることを抑制することができ、部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

すなわち、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

また、加圧室１０には液体回収用の第３個別流路１６が接続されている。具体的には、例えば、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

なお、第３個別流路１６は、加圧室本体１０ａに接続されていてもよい。その場合においても、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から供給された液体の流れを衝突させることができる。

（個別流路等の詳細形状および作用）
また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されており、第２個別流路１４よりも加圧室本体１０ａ側に接続されている。そのため、吐出孔８から部分流路１０ｂの内部に気泡が侵入した場合においても、気泡の浮力を利用して第３個別流路１６に気泡を排出することができる。それにより、部分流路１０ｂ内に気泡が滞留することにより、液体への圧力伝幡に影響を与える可能性を低減することができる。

また、第２個別流路１４は、部分流路１０ｂの吐出孔８側に接続されている。それにより、吐出孔８近傍の液体の流速を早めることができ、液体に含まれる顔料等が沈降し、吐出孔８につまりが生じる可能性を低減することができる。

また、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、吐出ユニット１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

また、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、吐出孔８が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に配置されている。それにより、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側にも液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

なお、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続され、吐出孔８が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に配置されるように構成してもよい。その場合においても同様の効果を奏することができる。

また、図８に示すように、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の加圧室本体１０ａ側に接続されている。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。それにより、第２共通流路２４から開口２４ａ（図６参照）を介して気泡を外部に容易に排出することができる。

また、第３個別流路１６の上面と、第２共通流路２４の上面とは、例えば歯面一である。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡は、第３個別流路１６の上面、および第２共通流路２４の上面に沿って流れることとなり、さらに容易に外部に排出することができる。

また、平面視したときに、第１個別流路１２が、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、部分流路１０ｂの面積重心が、加圧室本体１０ａの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。すなわち、部分流路１０ｂが、加圧室本体１０ａの第１個別流路１２から遠い側に接続されている。

それにより、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に供給された液体は、加圧室本体１０ａの全域に広がった後、部分流路１０ｂに供給されることとなる。その結果、加圧室本体１０ａの内部に、液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

また、平面視したときに、第２個別流路１４と第３個別流路１６との間に吐出孔８が配置されている。それにより、吐出孔８から液体が吐出された際に、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置を移動させることができる。

すなわち、吐出孔８からの液体の吐出量は、印画される画像により異なることとなり、液体の吐出量の増減に伴って、部分流路１０ｂの内部の液体の挙動が変化することとなる。そのため、液体の吐出量の増減により、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置が移動することとなり、部分流路１０ｂの内部に液体が滞留する領域が形成される可能性を低減することができる。

また、吐出孔８の面積重心が、部分流路１０ｂの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。それにより、部分流路１０ｂに供給された液体は、部分流路１０ｂの全域に広がった後、吐出孔８に供給されることとなり、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じる可能性を低減することができる。

ここで、液体吐出ヘッド２は、加圧室１０が加圧されると、加圧室本体１０ａから吐出孔８まで圧力波が伝わることにより、吐出孔８から液体を吐出している。そのため、加圧室本体１０ａに生じた圧力波の一部が第２個別流路１４に伝わることにより、第１共通流路２０に圧力伝幡する可能性がある。同様に、加圧室本体１０ａに生じた圧力波の一部が第３個別流路１６に伝わることにより、第２共通流路２４に圧力伝幡する可能性がある。

そして、第１共通流路２０および第２共通流路２４に圧力伝幡が生じると、他の吐出ユニット１５に接続された第２個別流路１４および第３個別流路１６を介して、他の吐出ユニット１５の加圧室１０に圧力伝幡が生じる可能性がある。それにより、流体クロストークが生じる可能性がある。

これに対して、液体吐出ヘッド２は、第３個別流路１６の流路抵抗が、第２個別流路１４の流路抵抗よりも低い構成を有している。それゆえ、加圧室１０に圧力が加わると、加圧室本体１０ａに生じた圧力波の一部は、第２個別流路１４よりも流路抵抗の低い第３個別流路１６を通じて、第２共通流路２４に圧力伝幡しやすくなり、第１共通流路２０には圧力伝幡しにくい構成となる。

そして、第２共通流路２４の上方に第１ダンパ室３２ａが配置され、第２共通流路２４の下方に第２ダンパ室３２ｂが配置されていることから、第２共通流路２４の上方に第１ダンパ３０ａが形成され、第２共通流路２４の下方に第２ダンパ３０ｂが形成されることとなる。

それにより、第２共通流路２４の内部で圧力を減衰させることができる。その結果、第２共通流路２４から第３個別流路１６に圧力が逆流することを抑えることができ、流体クロストークが生じる可能性を低減することができる。

また、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の第１方向Ｄ１における側面に接続されている。言い換えると、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の第１方向Ｄ１における側面から、第１方向Ｄ１に引き出された後、第５方向Ｄ５に引き出されており、部分流路１０ｂの第２方向Ｄ２における側面に接続されている。

それゆえ、第３個別流路１６を平面方向に引き出すことができ、第２共通流路２４の上方および下方にダンパ室３２を設けるスペースを確保することができる。その結果、第２共通流路２４にて圧力を効率的に減衰させることができる。

第３個別流路１６は、図１０に示すように、プレート４ｆにより形成されている。プレート４ｆは、加圧室面４―１側の第１面４ｆ−１と、吐出孔面４−２側の第２面４ｆ−２とを有している。また、プレート４ｆは、第３個別流路１６を形成する第１溝４ｆ１と、第２共通流路２４を形成する第２溝４ｆ２と、第１共通流路２０を形成する第３溝４ｆ３とを有している。また、第１溝４ｆ１と第２溝４ｆ２との間には、隔壁５ａが設けられている。隔壁５ａは、第１溝４ｆ１と第２溝４ｆ２とを区切るために吐出ユニット１５ごとに設けられている。プレート４ｆは、第２共通流路２４を挟んで対向する隔壁５ａ同士を接続する接続部５ｂを有している。

第１溝４ｆ１は、プレート４ｆを貫通しており、部分流路１０ｂと第３個別流路１６とを形成している。そのため、第１溝４ｆ１は、プレート４ｆにマトリクス状に形成されている。第２溝４ｆ２は、プレート４ｆを貫通しており、第２共通流路２４を形成している。

プレート４ｆは、第２共通流路２４を挟んで対向する隔壁５ａ同士を接続する接続部５ｂを有している。そのため、隔壁５ａの剛性を高めることができ、隔壁５ａに変形が生じる可能性を低減することができる。その結果、第１溝４ｆ１の形状を安定させることができ、各吐出ユニット１５の第３個別流路１６の形状にばらつきが生じる可能性を低減することができる。それゆえ、各吐出ユニット１５の吐出ばらつきを低減することができる。なお、隔壁５ａは、他の部分から孤立した浮島状部分ではないから、特許文献１および２とは異なり、プレート４ｆにおいて、接続部５ｂは必須の構成ではない。

また、接続部５ｂの厚みは、例えばプレート４ｆの厚みよりも小さい。それにより、第２共通流路２４の体積が小さくなることを抑制することができる。その結果、第２共通流路２４の流路抵抗が小さくなることを抑制することができる。なお、接続部５ｂは、第２面４ｆ−２からハーフエッチング（半分の厚さのエッチングとは限らない）を行うことにより形成することができる。

また、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の上端部側に接続されており、第１ダンパ室３２ａの容積が、第２ダンパ室３２ｂの容積よりも大きい。そのため、第３個別流路１６から伝幡した圧力波を、第１ダンパ３０ａにて減衰させることができる。

（液体吐出ヘッドの製造方法）
図１１は、液体吐出ヘッド２の製造方法を説明するための図であり、より具体的には、第１流路部材４の製造方法の手順の一例を示すフローチャートである。なお、この製造方法は、流路の具体的な形状等を除いて、基本的には、公知の方法と同様でよい。

まず、ステップＳＴ１では、プレート４ａ〜４ｍを準備する。プレート４ａ〜４ｍは、例えば、金属等からなる板状部材に対してエッチング（ハーフエッチングを含む）を行うことによって形成される。

ステップＳＴ２〜ＳＴ４では、プレート４ａ〜４ｍを吐出孔８側から順次積層する。具体的には、まず、ステップＳＴ２では、現在までに積層したプレートの積層体（最初はプレート４ｍのみ）の上面に重ねられるプレートの下面に接着剤を塗布する。なお、接着剤は、例えばプレートの下面全体に塗布する。ただし、接着剤をパターンニングして塗布してもよい。パターニングした場合は、例えば、接着剤による流路の詰りのおそれを低減できる。全体に塗布する場合は、例えば、パターニングの良否が液体の漏れに影響を及ぼすというようなことがないから、品質が安定する。

次に、ステップＳＴ３では、その接着剤を塗布したプレートの下面を積層体の上面に重ねる。ステップＳＴ４では、全てのプレート４ａ〜４ｍが積層されたか否か判定し、肯定の場合はステップＳＴ５に進み、否定の場合はステップＳＴ２に戻る。

このようにして、プレート４ａ〜４ｍが接着剤（接着剤層）を介して積層された積層体が構成される。接着剤は、例えば、熱硬化性樹脂である。熱硬化性樹脂は、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂または尿素樹脂である。

ステップＳＴ５では、熱硬化性樹脂からなる接着剤を介して積層されたプレート４ａ〜４ｍからなる積層体を加熱して、熱硬化性樹脂を硬化させる。これにより、プレート４ａ〜４ｍが互いに接着され、第１流路部材４が作製される。

なお、プレート４ａ〜４ｍをいくつかに分けた複数の積層体を構成した後に、その積層体同士を接着したり、何枚かのプレートが重ねられた時点でステップＳＴ５の加熱を行ったりするなど、適宜に変形がなされてよい。

図１２（ａ）および図１２（ｂ）は、ステップＳＴ２およびＳＴ３における複数のプレートの断面を模式的に示している。より具体的には、これらの図は、プレート４ｆ〜４ｍまでの積層体の上面に、プレート４ｅの下面を重ねるステップを示している。

プレート４ｅの下面に配置された接着剤８１から理解されるように、接着剤８１の塗布工程（ステップＳＴ２）においては、接着剤８１は、プレート同士が接着される領域だけでなく、各プレートの下面全面に塗布される。例えば、プレート４ｅは、第２共通流路２４の上面を構成する領域にも接着剤８１が塗布される。このような塗布方法を用いることにより、例えば、プレート（流路を構成する穴）の形状に関わらずに、一律に同じ塗布方法を用いることができ、生産コストを削減できる。なお、第２共通流路２４の上面には接着剤が配置されているのに対して、特に図示しないが、第２共通流路２４の下面には接着剤が配置されていない。他の流路の上面および下面も同様である。

（個別流路の詰まり）
図１２（ｃ）は、第３個別流路１６に生じる課題を説明するための模式図であり、具体的には、プレート４ｆの一部を示す平面図である。図中、接続部５ｂには網目状のハッチングを付している。また、図中の３つの第１溝４ｆ１は、最も第４方向Ｄ４側に位置するものである。

同図においてドットによってハッチングして示すように、接着剤８１は、硬化前において、第１流路部材４の流路内面を伝って流れ、比較的断面積が小さい個別流路を塞いでしまうおそれがある。なお、このような接着剤８１が流れる現象は、例えば、接着剤８１が熱硬化性樹脂の場合においては、加熱を開始して接着剤８１が軟化した後、かつ硬化する前に生じやすい。流れを生じさせる力としては、重力、および流路の上面と側面との角部等における毛細管力が考えられる。

詰まり易いのは、比較的断面積が小さい第１〜第３個別流路である。そのうち、第３個別流路１６が最も詰まり易い。その理由は、例えば、以下のとおりである。まず、上述のように、流路の上面には接着剤８１が配置されている。共通流路は個別流路に比較して幅広であるから、相対的に大量の接着剤８１が上面に配置されている。また、流路上面の接着剤８１は、重力および／または毛細管力によって、流路の上面と側面との角部を伝って流れやすい。一方、第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面（壁面）から第２共通流路２４に通じているとともに、第３個別流路１６の上面は、第２共通流路２４の上面と面一である。従って、第２共通流路２４の壁面と上面との角部を伝って流れた比較的大量の接着剤８１が第３個別流路１６に流れ込みやすく、ひいては、第３個別流路１６が詰まり易い。

各吐出ユニット列１５ａの複数の吐出ユニット１５（複数の第３個別流路１６）においては、最も第２共通流路２４の端部側（例えば開口２４ａ側）にて第２共通流路２４に接続されている吐出ユニット１５（第３個別流路１６）が詰まり易い。その理由としては、例えば、第２共通流路２４と複数の第３個別流路１６との接続位置のうち最も端部側の接続位置Ｐ２と第２共通流路２４の端部との間の区間（図１３の非接続区間９１参照）は、その長さが複数の接続位置のピッチ（本実施形態では一定だが、一定でなくてもよい）よりも長いことが挙げられる。すなわち、非接続区間９１には、複数の接続位置間よりも大量の接着剤８１が存在しており、この相対的に多い接着剤８１が最も端部側に接続されている第３個別流路１６に流れ込む。

なお、非接続区間９１が長くなるのは、吐出ユニット１５に対応した変位素子４８が作り込まれた圧電アクチュエータ基板４０の存在しない位置に開口２４ａを設けるために、第２共通流路２４を延ばす必要があるためである。また、開口２４ａの周囲で第１流路部材４と第２流路部材６とが接合されるため、開口２４ａの周囲にその接合代を設けるためである。

なお、本実施形態では、第２共通流路２４の両端のうち開口２４ａ側（第４方向Ｄ４）の端部と、当該端部に最も近い、第３個別流路１６の第２共通流路２４に対する接続位置Ｐ２との距離（非接続区間９１の長さ）は、複数の第３個別流路１６の第２共通流路２４に対する接続位置のピッチよりも長く、上記のような課題が生じる。第２共通流路２４の両端のうち開口２４ａとは反対側の端部（閉じられた端部）と、当該端部に最も近い、第３個別流路１６の第２共通流路２４に対する接続位置Ｐ２との距離は、上記のピッチよりも長くてもよいし、同等でもよいし、短くてもよい。長い場合においては、開口２４ａ側と同様の課題が生じ得る。

また、本実施形態とは異なり、共通流路の両端が閉じられていない場合（特許文献１または２参照）においては、両端において本実施形態の開口２４ａ側と同様の課題が生じ得る。本実施形態とは異なり、複数の第２共通流路２４がプレート４ｆにおいて合流してマニホールド流路を構成している場合、各第２共通流路２４の端部側の長さが短くても、合流部分の接着剤８１が端部側の第３個別流路１６に流れ込むから、同様の詰りの課題が生じる。

第２共通流路２４は、開口２４ａ側の端部と、その反対側の閉じられた端部とを有しているが、開口２４ａ側の端部に最も近い位置で第２共通流路２４に接続された第３個別流路１６と、開口２４ａとは反対側の端部に最も近い位置で第２共通流路２４に接続された第３個別流路１６とでは、前者の方が詰まり易い。その理由としては、本実施形態では、端部との距離が前者の方が長く、流れ込む可能性のある接着剤８１の量が前者の方が多いことが挙げられる。

第２共通流路２４は、両側の側面に２つの吐出ユニット列１５ａの第３個別流路１６が接続されているが、この２つの吐出ユニット列１５ａそれぞれにおいて最も第２共通流路２４の端部に近い接続位置の第３個別流路１６では、より第２共通流路２４の端部に近い接続位置Ｐ２の第３個別流路１６が詰まり易い。その理由としては、２つの吐出ユニット列１５ａの第３個別流路１６のうち、最も端部側に接続された第３個別流路１６を除いては、端部側に接続部５ｂが位置しており、これが端部側からの接着剤８１の流れを抑制することが挙げられる。

（個別流路の詰まりのおそれを低減するための構成）
図１３は、上記のような第３個別流路１６における詰りのおそれを低減するための構成を説明するための模式図であり、具体的には、プレート４ｆの一部を示す平面図である。また、図１４（ａ）は、図１３のXIVａ−XIVａ線における断面図である。以下では、主として第２共通流路２４の第４方向Ｄ４側に関して、個別流路の詰りのおそれを低減するための構成について述べる。第１方向Ｄ１側は、第４方向Ｄ４側と同様に、個別流路の詰りのおそれを低減するための構成が設けられてもよいし、設けられなくてもよい。

第２共通流路２４を構成する第２溝４ｆ２の各壁面は、第２溝４ｆ２に沿って、複数の個別流路１６を構成する第１溝４ｆ１が接続されている接続範囲８５と、第１溝４ｆ１が非接続とされている非接続範囲８７とを有している。本実施形態では、非接続範囲８７は、各壁面において、複数の第１溝４ｆ１の第２溝４ｆ２に対する接続位置のうち最も第２溝４ｆ２の端部に近い接続位置Ｐ２と第２溝４ｆ２の端部（端部位置Ｐ１）との間の範囲である。また、本実施形態では、紙面左側の壁面と紙面右側の壁面とでは、接続範囲８５および非接続範囲８７の位置等は互いに異なっている。第４方向Ｄ４側の端部において非接続範囲８７の長さは、接続範囲８５における、複数の第１溝４ｆ１の第２溝４ｆ２に対する接続位置のピッチ（隣り合う接続位置同士の距離）よりも長い。

また、第２溝４ｆ２は、その延びる方向に沿って、両側の壁面の少なくとも一方において第１溝４ｆ１が接続されている接続区間８９と、両側の壁面のいずれにおいても第１溝４ｆ１が非接続とされている非接続区間９１とを有している。本実施形態では、非接続区間９１は、複数の第１溝４ｆ１の、第２溝４ｆ２の両側の壁面に対する接続位置のうち最も第２共通流路２４の端部（端部位置Ｐ１）側に位置する接続位置Ｐ２と、端部位置Ｐ１との間の範囲である。また、本実施形態では、非接続区間９１は、第２溝４ｆ２の紙面左側の壁面における非接続範囲８７と概ね同一の範囲である。図１３等では、便宜上、接続区間８９は、接続範囲８５と同一の矢印で範囲が示されている。ただし、第１方向Ｄ１側においては、第４方向Ｄ４側とは逆に、紙面右側の第１溝４ｆ１の接続位置が紙面左側の第１溝４ｆ１の接続位置よりも端部側に位置していることから、接続区間８９は、いずれの壁面の接続範囲８５とも位置および長さが異なる。

このような構成において、第３個別流路１６の詰りのおそれを低減するために、まず、第１に、プレート４ｆは、複数の第２共通流路２４それぞれに関して、非接続区間９１（端部位置Ｐ１と接続位置Ｐ２との間）に接続部５ｂと同様の延出部５ｃを少なくとも１つ有している。延出部５ｃによって延出部５ｃよりも端部位置Ｐ１側に位置する接着剤８１の接続位置Ｐ２への流れが阻害される。これにより、接続位置Ｐ２に接続されている第３個別流路１６への接着剤８１の流入が抑制される。

また、第２に、プレート４ｆは、複数の第２共通流路２４それぞれに関して、非接続区間９１（端部位置Ｐ１と接続位置Ｐ２との間）において、第２溝４ｆ２の両側の壁面のうち、接続位置Ｐ２において第３個別流路１６が接続されている壁面（図１３では紙面左側の壁面）から第２溝４ｆ２に通じる、第４溝４ｆ４を少なくとも１つ有している。第４溝４ｆ４の第２共通流路２４に対する接続位置よりも端部位置Ｐ１側に位置する接着剤８１は、接続位置Ｐ２に到達する前に第４溝４ｆ４に流れ込む。これにより、接続位置Ｐ２に接続されている第３個別流路１６への接着剤８１の流入が抑制される。

（延出部の詳細）
延出部５ｃの構成は、その位置を除いては、図１０を参照して説明した、隔壁５ａを補強するための接続部５ｂと同様である。すなわち、延出部５ｃは、第２溝４ｆ２（第２共通流路２４）の両側の壁面に接続されており、また、例えば、下面側（吐出孔８側）からハーフエッチングを行うことによって形成されている。

なお、延出部５ｃは、接続部５ｂとは異なり、隔壁５ａの補強には寄与しておらず、本来的には不要なものである。延出部５ｃの厚さおよび流路方向の大きさは、適宜に設定されてよく、また、接続部５ｂの厚さおよび流路方向の大きさと同一であってもよいし、異なっていてもよい。接続部５ｂは設けられずに、延出部５ｃのみが設けられてもよい。

接着剤８１は、より詳細には、例えば、延出部５ｃによって堰き止められることによって第３個別流路１６に流れ込むおそれが低減される。また、例えば、接着剤８１は、第２共通流路２４の上面と壁面との角部を伝って延出部５ｃに到達すると、第２共通流路２４の上面と延出部５ｃの端部位置Ｐ１側の面との角部の毛細管力によって第２共通流路２４を横切るように延出部５ｃに沿って流れる。これによっても接着剤８１は、第３個別流路１６に流れ込むことが抑制される。また、この角部とは逆側の角部（第２共通流路２４の上面と延出部５ｃの接続位置Ｐ２側の面との角部）も、その毛細管力によって接着剤８１を引き寄せるから、接着剤８１が第３個別流路１６に流れ込むことを抑制することに寄与し得る。

延出部５ｃは、非接続区間９１に少なくとも１つ設けられていればよい。１つでも延出部５ｃが設けられていれば、接続位置Ｐ２へ到達する接着剤８１の量が多少なりとも低減され、ひいては、接続位置Ｐ２の第３個別流路１６が詰まるおそれが低減される。

図１３では、第２共通流路２４の流路方向に互いに間隔を開けて複数（３つ）の延出部５ｃが設けられている場合を例示している。このように複数の延出部５ｃを配置すると、例えば、１つの延出部５ｃでは流れを止めることが困難な量の接着剤８１の流れを止めることができる。なお、複数の延出部５ｃの間隔は適宜に設定されてよい。図１３では、延出部５ｃのピッチが接続部５ｂのピッチ（第１溝４ｆ１のピッチ）と概ね同じ場合を例示している。

延出部５ｃの位置は、非接続区間９１の適宜な位置とされてよい。非接続区間９１のいずれの位置に配置されたとしても、接続位置Ｐ２へ到達する接着剤８１の量を多少なりとも低減することができ、ひいては、接続位置Ｐ２の第３個別流路１６が詰まるおそれを低減できる。

例えば、接続位置Ｐ２からの距離が複数の第３個別流路１６の第２共通流路２４に対する接続位置のピッチ以下である延出部５ｃが設けられている。この場合、接続位置Ｐ２と延出部５ｃとの間に位置する接着剤８１の量は、複数の接続位置間に位置する接着剤８１の量以下となるから、最も端部側の第３個別流路１６だけが詰まるおそれが低減される。なお、ここでいう距離は、例えば、第２共通流路２４の流路方向に平行な方向の距離であり、また、第１溝４ｆ１の延出部５ｃ側の縁部と、延出部５ｃの第１溝４ｆ１側の縁部との距離でよい。

なお、上記では、第２溝４ｆ２の両側の壁面に着目して定義した非接続区間９１内に位置するか否かで接続部５ｂと延出部５ｃとを区別した。ただし、一方の壁面のみに着目して定義した非接続範囲８７内に位置するか否かで接続部５ｂと延出部５ｃとを区別してもよい。別の観点では、第２溝４ｆ２の両側の壁面のうち、図１３の紙面右側の壁面に着目した場合、接続位置Ｐ２の直ぐ上にある接続部５ｂ（紙面下方から４つめの接続部５ｂ）は、紙面右側の壁面にとっては延出部５ｃと捉えられてもよい。この延出部５ｃ（接続部５ｂを兼ねる）は、紙面右側の壁面に接続されている最も端部側の第１溝４ｆ１の詰りのおそれ低減に寄与し得る。

（ダミー流路の詳細）
ダミー流路８３は、例えば、その全体が第４溝４ｆ４によって構成されている。すなわち、プレート４ｆの上下のプレート４ｅおよび４ｇは、第４溝４ｆ４の全体に亘って第４溝４ｆ４の上下を塞いでいる。従って、ダミー流路８３の形状は、図１３に示す第４溝４ｆ４の形状と同一である。ダミー流路８３の形状、幅および長さは適宜に設定されてよい。

第４溝４ｆ４（ダミー流路８３）は、非接続区間９１において、第２溝４ｆ２（第２共通流路２４）の、複数の第１溝４ｆ１（第３個別流路１６）が接続されている一壁面（例えば接続位置Ｐ２で第１溝４ｆ１が接続されている壁面）に対して、少なくとも１つ設けられていればよい。一壁面に１つでも第４溝４ｆ４が設けられていれば、当該一壁面を伝って接続位置Ｐ２へ到達する接着剤８１の量が多少なりとも低減され、ひいては、接続位置Ｐ２の第３個別流路１６が詰まるおそれが低減される。なお、特に図示しないが、延出部５ｃと同様に、第４溝４ｆ４は、第２共通流路２４の流路方向に互いに間隔を空けて一壁面に複数設けられていてもよい。

また、第４溝４ｆ４は、第２共通流路２４の、接続位置Ｐ２で第３個別流路１６が接続されている壁面だけでなく、反対側（図１３の紙面右側）の壁面にも設けられてもよい。すなわち、第４溝４ｆ４は、第２共通流路２４の両側の壁面それぞれに設けられてもよい。この場合、紙面右側の壁面に接続された第４溝４ｆ４は、一端が、当該紙面右側の壁面の非接続範囲８７において第２溝４ｆ２に接続されていればよく、必ずしも非接続区間９１において第２溝４ｆ２に接続されている必要はない。別の観点では、上記の延出部５ｃと同様に、第４溝４ｆ４は、一方の壁面にのみ着目して、複数の第１溝４ｆ１の第２溝４ｆ２に対する接続位置のうち最も端部に近い接続位置Ｐ２よりも端部位置Ｐ１側に接続されたものであるか否かが判断されてよい。なお、図１３では、紙面右側の壁面に接続された第４溝４ｆ４も、一端が接続位置Ｐ２と端部位置Ｐ１との間に位置している場合を例示している。

ダミー流路８３は、例えば、両端が第２共通流路２４に通じている。別の観点では、ダミー流路８３は、第２共通流路２４をバイパスしている。具体的には、例えば、ダミー流路８３を構成する第４溝４ｆ４の両端が第２共通流路２４を構成する第２溝４ｆ２の一壁面に接続されている。すなわち、ダミー流路８３の第１端８３ｂが、非接続範囲８７において第２溝４ｆ２の一壁面に接続されており、ダミー流路８３の第２端８３ｃが、非接続範囲８７または接続範囲８５（本実施形態では前者）において第２溝４ｆ２の一壁面の第１端８３ｂに対して、接続位置Ｐ２側（接続範囲８５側）に接続されている。

なお、両端が一壁面に接続される態様以外の態様であってもよい。例えば、本実施形態とは異なり、ダミー流路８３がプレート４ｆの穴だけでなく、プレート４ｆ以外のプレートの穴を含んで構成されている場合においては、ダミー流路８３の両端のうち１つは、第２共通流路２４の内面の、上記の一壁面から離れた位置（例えば上面の中央側領域、下面、反対側の壁面）に接続されていてもよい。

このようにダミー流路８３の両端を第２共通流路２４に接続することによって、例えば、ダミー流路８３では、接着剤８１が詰まらない限りは、行き止まりが生じない。従って、液体吐出ヘッド２の使用時において、液体はダミー流路８３においても循環することになり、液体の滞留が抑制される。

図１４（ｂ）は、図１３の領域XIVｂの拡大図である。図１４（ｃ）は、図１４（ｂ）のXIVｃ−XIVｃ線における断面図である。

これらの図に示すように、ダミー流路８３は、ダミー流路８３のうちの他の部分よりも断面積が小さい小断面部８３ａを備えていてもよい。ダミー流路８３に流れ込んだ接着剤８１は、例えば、小断面部８３ａに堰き止められ、および／または小断面部８３ａにおける毛細管力によってトラップされる。従って、ダミー流路８３に流れ込んだ接着剤８１がダミー流路８３の外（第２共通流路２４内）に流れることが抑制され、ひいては、第３個別流路１６が詰まるおそれが低減される。

小断面部８３ａは、ダミー流路８３の幅および厚さの双方または一方が一部において減じられることによって構成される。本実施形態では、ダミー流路８３の厚さが一部において減じられることによって小断面部８３ａが構成されている。このような厚さが他の部分よりも小さい小断面部８３ａは、例えば、プレート４ｆのハーフエッチングによって、第４溝４ｆ４の壁面同士を接続する梁部５ｄが形成されることによって構成される。なお、断面積の変化は、図１４（ｃ）に例示するように、段階的なもの（ダミー流路８３の内面に段差が生じるもの）であってもよいし、徐々に変化するものであってもよい。

小断面部８３ａは、ダミー流路８３の流路方向の中央位置よりも第２端８３ｃ側に位置している。換言すると、小断面部８３ａは、ダミー流路８３の流路方向の中央位置よりも下流側に位置している。なお、ここでいう下流側は、最も端部位置Ｐ１側の第３個別流路１６に代えてダミー流路８３に流れ込む接着剤８１の下流側であり、液体吐出ヘッド２の使用時における液体（インク等）の下流側ではない。

例えば、図示の例のように、ダミー流路８３の両端が第２溝４ｆ２の一壁面（図１４（ｂ）の紙面左側の壁面）から第２共通流路２４に通じている場合においては、ダミー流路８３の両端のうち、一方の端部に対して接続位置Ｐ２側に位置する他方の端部側が下流側である。また、例えば、ダミー流路８３の一端が第２溝４ｆ２の一壁面から第２共通流路２４に通じ、他端が前記の一壁面から離れた位置（例えば第２共通流路２４の反対側の壁面、上面の中央側領域、下面または壁面の下面側の領域）から第２共通流路２４に通じる場合においては、当該他端が下流側の端部である。

このように、小断面部８３ａを接着剤８１の流れに関してダミー流路８３の下流側に位置させることによって、例えば、ダミー流路８３の上流側に小断面部８３ａが位置している場合（この場合も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、ダミー流路８３に多くの接着剤８１を流れ込ませやすい。

なお、第２溝４ｆ２（第２共通流路２４）の、接続位置Ｐ２で第１溝４ｆ１（第３個別流路１６）が接続されている壁面（紙面左側の壁面）におけるダミー流路８３に関して、小断面部８３ａが設けられることについて述べたが、反対側（図１３の紙面右側）の壁面におけるダミー流路８３についても、小断面部８３ａが設けられてもよい。この場合の小断面部８３ａの位置、形状および大きさ等も、上記と同様でよい。

（延出部とダミー流路の組み合わせ）
延出部５ｃおよびダミー流路８３は、双方が設けられる必要はなく、一方のみが設けられてもよい。ただし、双方が設けられることにより、第３個別流路１６が詰まるおそれが効果的に低減される。

特に、第４溝４ｆ４（ダミー流路８３）の一端が延出部５ｃに対して端部位置Ｐ１（接続範囲８５とは反対側）側に隣接している場合においては、延出部５ｃによって接続位置Ｐ２への流れが妨げられた接着剤８１がダミー流路８３に流れ込むことになり、接着剤８１の第３個別流路１６への流れ抑制の効果が相乗的に増加する。なお、第４溝４ｆ４の、延出部５ｃに隣接する一端は、第４溝４ｆ４の両端が第２溝４ｆ２（第２共通流路２４）に通じる場合においては、例えば、端部位置Ｐ１側の端部である。ここでいう隣接は、例えば、延出部５ｃとダミー流路８３とが第２共通流路２４の流路方向において隙間なく隣接している場合だけでなく、比較的微小な距離（例えばエッチングの誤差の２倍以内）で離れている場合も含まれる。

延出部５ｃは、既に述べたように、隔壁５ａの補強には寄与しておらず、本来的には不要なものである。ただし、ダミー流路８３を設け、かつダミー流路８３を構成する第４溝４ｆ４の両端が第２溝４ｆ２に接続されている場合においては、浮島状部分が生じるから、当該浮島状部分の取り扱いを容易にすることに寄与する。

（変形例）
図１５（ａ）および図１５（ｂ）は、変形例に係る図１４（ａ）および図１４（ｃ）に相当する断面図である。なお、以下では、基本的に、実施形態との相違部分についてのみ述べ、特に言及しない点については、実施形態と同様である。

図１５（ａ）の変形例では、第１溝４ｆ１（第３個別流路１６）および第４溝４ｆ４（ダミー流路８３）は、プレート４ｆのハーフエッチングによって形成されている。ハーフエッチングは、例えば、プレート４ｆの上面側に対してなされており、この変形例においても、第３個別流路１６およびダミー流路８３の上面は、第２共通流路２４の上面に対して面一である。

このような構成においても、第３個別流路１６においては、接着剤８１が詰まり易いという課題が生じる。また、ダミー流路８３は、接着剤８１を導入することによって、第３個別流路１６の詰まりのおそれを低減できる。

また、図１５（ａ）の変形例では、延出部５ｃは、プレート４ｆの下面側からのハーフエッチングではなく、プレート４ｆの上面側からのハーフエッチングによって形成されている。従って、延出部５ｃの上面は、第２共通流路２４の上面よりも低くなっており、両者の間には比較的小さな隙間が生じている。

従って、変形例の延出部５ｃは、第２共通流路２４の上面との間に生じる毛細管力によって接着剤８１をトラップする。これにより、接着剤８１が第３個別流路１６に流れ込むおそれが低減される。接着剤８１の量が比較的多い場合も、接着剤８１は、毛細管力によって第２共通流路２４を横切るように延出部５ｃに沿って広がり、延出部５ｃを超えて第３個別流路１６へ到達しにくい。トラップされる接着剤８１の量は、例えば、延出部５ｃの平面視における面積を大きくすることなどによって多くすることができる。従って、実施形態の延出部５ｃよりも多くの接着剤８１をトラップすることが可能である。

また、図１５（ｂ）の変形例では、小断面部８３ａを構成する梁部５ｄは、プレート４ｆの下面側からのハーフエッチングではなく、プレート４ｆの上面側からのハーフエッチングによって形成されている。この梁部５ｄは、ダミー流路８３の上面との間に生じる毛細管力によって接着剤８１をトラップすることができる。

なお、以上の実施形態および変形例において、プレート４ｆは第１プレートの一例であり、プレート４ｅは第２プレートの一例であり、第２共通流路２４は共通流路の一例であり、第３個別流路１６は個別流路の一例であり、第２溝４ｆ２は共通流路用溝の一例であり、第１溝４ｆ１は個別流路用溝の一例であり、第４溝４ｆ４はダミー流路用溝の一例である。

図１６（ａ）および図１６（ｂ）はそれぞれ、第２共通流路２４（第２溝４ｆ２）および第３個別流路１６（第１溝４ｆ１）等の変形例を模式的に示す平面図である。すなわち、第１プレート（実施形態ではプレート４ｆ）の変形例を示す平面図である。

図１６（ａ）に示す変形例では、実施形態の第２溝４ｆ２に相当する共通流路用溝１０１は、環状に延びる溝とされている。より具体的には、例えば、共通流路用溝１０１は、並列に延びる複数（図示の例では２本）の主溝１０１ａと、主溝１０１ａの端部同士を接続する連通溝１０１ｂとを有している。主溝１０１ａは、例えば、直線状に延びており、連溝１０１ｂは、例えば、湾曲するように延びている。実施形態の第１溝４ｆ１に相当する個別流路用溝１０３は、主溝１０１ａの壁面に接続されている。換言すれば、連通溝１０１ｂには個別流路用溝１０３が接続されていない。

このような共通流路用溝１０１および個別流路用溝１０３に対しても、本実施形態で説明した、個別流路用溝１０３の詰りのおそれを低減するための構成が適用されてよい。例えば、共通流路用溝１０１の各壁面は、複数の個別流路用溝１０３が接続されている接続範囲８５と、複数の個別流路用溝１０３が非接続とされており、接続範囲８５における複数の個別流路用溝１０３の共通流路用溝１０１に対する接続位置のピッチよりも長い非接続範囲８７とを有している。なお、図１６（ａ）では、互いに隣接する接続範囲８５および非接続範囲８７のうち１組のみに符号を付している。非接続範囲８７には、延出部５ｃおよびダミー流路８３（第４溝４ｆ４に対応するダミー流路用溝１０５）が設けられている。

なお、１本の主溝１０１ａと、これに接続されている１本または２本の連通溝１０１ｂの一部または全部とによって、１本の共通流路用溝が構成されていると捉えられてもよい。

図１６（ｂ）に示す変形例では、実施形態の第２溝４ｆ２に相当する共通流路用溝１１１は、マニホールド状の溝とされている。より具体的には、例えば、共通流路用溝１１１は、並列に延びる複数（図示の例では２本）の分岐溝１１１ａと、分岐溝１１１ａが集合した集合溝１１１ｂとを有している。各分岐溝１１１ａは、例えば、図１６（ａ）の主溝１０１ａと、図１６（ａ）の連通溝１０１ｂの一部とを含む形状である。集合溝１１１ｂは、例えば、分岐溝１１１ａよりも太く、外側に延びている。実施形態の第１溝４ｆ１に相当する個別流路用溝１０３は、図１６（ａ）と同様である。

このような共通流路用溝１１１および個別流路用溝１１３に対しても、本実施形態で説明した、個別流路用溝１０３の詰りのおそれを低減するための構成が適用されてよい。例えば、共通流路用溝１１１の各壁面は、複数の個別流路用溝１０３が接続されている接続範囲８５と、複数の個別流路用溝１０３が非接続とされており、接続範囲８５における複数の個別流路用溝１０３の共通流路用溝１０１に対する接続位置のピッチよりも長い非接続範囲８７とを有している。なお、図１６（ｂ）では、互いに隣接する接続範囲８５および非接続範囲８７のうち１組のみに符号を付している。そして、非接続範囲８７には、延出部５ｃおよびダミー流路８３（第４溝４ｆ４に対応するダミー流路用溝１０５）が設けられている。

図１６（ｂ）の変形例では、集合溝１１１ｂを無視して、図１６（ａ）と同様に、連通溝１０１ｂにおいて非接続範囲８７が定義されてもよい。この場合において、図１６（ａ）と同様に、２本の分岐溝１１１ａが１本の共通流路用溝と捉えられてもよいし、１本の分岐溝１１１ａが１本の共通流路用溝と捉えられてもよい。また、図１６（ｂ）の変形例では、紙面下方において、個別流路用溝１０３から共通流路用溝１１１の端部までが長い場合は、当該端部側に実施形態と同様に非接続範囲８７が定義されてよい。

上記の他、特に図示しないが、図１６（ａ）の変形例において集合溝１１１ｂが設けられたり、図１６（ｂ）の変形例において集合溝１１１ｂが省略されたりするなど、共通流路用溝および個別流路用溝は種々の形状とされてよい。

本開示に係る技術は、上記実施形態または変形例に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

液体吐出ヘッドおよび記録装置の製造方法は、必ずしも接着剤の詰りが生じるおそれがあるものでなくてもよい。接着剤の詰りのおそれがなくても、例えば、延出部５ｃは、第２共通流路２４の端部側における圧力波を反射または分散させ、第２共通流路２４の端部側において定在波が形成されることを抑制することに寄与する。ダミー流路８３も同様である。

例えば、加圧部として、加圧室１０を圧電アクチュエータの圧電変形により加圧する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。

個別流路用溝（第１溝４ｆ１）は、プレート４ｆの下面側がハーフエッチングされて構成されたものであってもよい。別の観点では、第３個別流路１６の上面は、第２共通流路２４の上面と面一でなくてもよい。この場合であっても、第２共通流路２４の上面を構成するプレート４ｅの下面に重ねられるプレート４ｆにおいて第３個別流路１６が第２共通流路２４に通じているから、他のプレートに第１溝４ｆ１が形成される場合に比較して、接着剤８１が第３個別流路１６に流れ込みやすい。また、第３個別流路１６は、プレート４ｆ以外のプレートの溝を含んで構成されていてもよい。例えば、プレート４ｅまたは４ｇに、第１溝４ｆ１に重なる凹溝または貫通溝が形成されていてもよい。

延出部５ｃは、共通流路用溝（第２溝４ｆ２）の両側の壁面に亘って構成されるものに限定されず、一方の壁面から延び出て他方の壁面に到達していないものであってもよい。また、延出部５ｃは、プレート４ｆの全厚さによって構成されたものであってもよいし、プレート４ｆが両側からハーフエッチングがなされてプレート４ｆの厚さ方向の中央側に設けられたものであってもよい。第１溝４ｆ１に関する、貫通溝、上面側の凹溝および下面側の凹溝の３態様と、延出部５ｃに関する、全厚さ、下面側のみの厚さ、上面側のみの厚さおよび中央側の厚さの４態様との組み合わせ（３×４＝１２態様）のいずれが採用されてもよい。また、第１溝４ｆ１のためのハーフエッチングと、延出部５ｃのためのハーフエッチングとは同一の厚さでなくてもよい。

ダミー流路８３は、吐出ユニット１５に非接続であればよい。従って、例えば、ダミー流路８３は、第２共通流路２４から延びて行き止まりになっていたり、ダミー吐出ユニット１７に接続されていたり、第１共通流路２０に接続されていたりしてもよい。ダミー流路用溝（第４溝４ｆ４）は、プレート４ｆの下面側がハーフエッチングされて構成されたものであってもよい。別の観点では、ダミー流路８３の上面は、第２共通流路２４の上面と面一でなくてもよい。この場合であっても、他のプレートに第４溝４ｆ４が形成される場合に比較して、接着剤８１がダミー流路８３に流れ込みやすい。

第２共通流路２４の上面を構成するプレート４ｅは、下面がハーフエッチングされて第２共通流路２４の上部を構成していてもよい。また、プレート４ｅは、下面のハーフエッチングまたは通常のエッチングによって第３個別流路１６および／またはダミー流路８３の上面側の一部を構成していてもよい。

実施形態の第３個別流路は、液体の回収用でなく、液体の供給用に用いられてもよい。すなわち、第１プレート（４ｆ）の溝によって形成される個別流路は、供給用であってもよいし、回収用であってもよい。また、流路部材は、液体の供給用の個別流路のみを有し、回収用の個別流路を有さないものであってもよい。

接着剤は、熱硬化性樹脂に限定されない。接着剤が固化する前に流動性を有している限り、接着剤が個別流路に詰まるおそれがあるからである。従って、接着剤は、常温で硬化するものであってもよい。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
４a〜４ｍ・・・プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
４ｆ１・・・第１溝（個別流路用溝）
４ｆ２・・・第２溝（共通流路用溝）
４ｆ４・・・第４溝（ダミー流路用溝）
５ｃ・・・延出部
６・・・第２流路部材
６ａ・・・貫通孔
６ｂ，６ｃ・・・開口
８・・・吐出孔
８ａ・・・吐出孔列
８ｂ・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路
１０ｃ・・・加圧室列
１０ｄ・・・加圧室行
１１・・・ダミー加圧室
１２・・・第１個別流路
１４・・・第２個別流路
１５・・・吐出ユニット
１６・・・第３個別流路（個別流路）
２０・・・第１共通流路（共通流路）
２０ａ・・・開口
２２・・・第１統合流路
２２ａ・・・開口
２４・・・第２共通流路
２４ａ・・・開口
２６・・・第２統合流路
２６ａ・・・開口
２８・・・端部流路
２８ａ・・・幅広部
２８ｂ・・・狭窄部
２８ｃ，２８ｄ・・・開口
３０・・・ダンパ
３０ａ・・・第１ダンパ
３０ｂ・・・第２ダンパ
３２・・・ダンパ室
３２ａ・・・第１ダンパ室
３２ｂ・・・第２ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４０ａ，４０ｂ・・・圧電セラミック層
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４４ａ・・・個別電極本体
４４ｂ・・・引出電極
４６・・・接続電極
４８・・・変位素子
５０・・・筐体
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ・・・開口
５０ｄ・・・断熱部
５２・・・放熱板
５４・・・配線基板
５６・・・押圧部材
５８・・・弾性部材
６０・・・信号伝達部
６２・・・ドライバＩＣ
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ
７６・・・制御部
８３・・・ダミー流路
８３ａ・・・小断面部
８３ｂ・・・第１端
８３ｃ・・・第２端
８５・・・接続範囲
８７・・・非接続範囲
８９・・・接続区間
９１・・・非接続区間
Ｐ・・・記録媒体
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ４・・・第４方向
Ｄ５・・・第５方向
Ｄ６・・・第６方向
Ｐ１・・・端部位置
Ｐ２・・・接続位置

Claims (18)

1. 接着剤を介して積層された複数のプレートを備えており、複数の前記プレートに形成された穴によって、共通流路、および前記共通流路に接続されている複数の吐出ユニットが構成されており、複数の前記吐出ユニットそれぞれが、吐出孔、前記吐出孔に接続されている加圧室、および前記加圧室と前記共通流路とに接続されている個別流路を備えている流路部材と、
   複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えており、
   複数の前記プレートは、
   前記共通流路を構成する共通流路用溝、および前記共通流路用溝の両側の壁面のうちの一方の壁面から前記共通流路用溝に通じており、複数の前記個別流路をそれぞれ構成する複数の個別流路用溝が形成された第１プレートと、
   前記第１プレートの上面に接着され、前記共通流路の上面を構成する第２プレートと、を含んでおり、
   前記共通流路用溝の前記一方の壁面は、前記共通流路用溝に沿って、
   複数の前記個別流路用溝が接続されている接続範囲と、
   前記接続範囲に隣接しており、複数の前記個別流路用溝が非接続とされており、前記接続範囲における複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置の、隣り合うもの同士の距離それぞれよりも長い非接続範囲と、を有しており、
   前記第１プレートは、前記非接続範囲において前記一方の壁面から延び出る少なくとも１つの延出部を備えている
   液体吐出ヘッド。
2. 前記共通流路用溝は、両端を有する形状であり、
   前記非接続範囲は、複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置のうち最も前記共通流路用溝の一端に近い接続位置と、前記一端との間の範囲である
   請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記延出部は、前記共通流路用溝の両側の壁面に接続されている
   請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記共通流路の上面と前記個別流路の上面とが面一である
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記延出部の上面は、前記共通流路の上面よりも低い
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１プレートには、前記共通流路用溝の他方の壁面から前記共通流路用溝に通じており、複数の前記個別流路をそれぞれ構成する複数の個別流路用溝が更に形成されており、
   前記共通流路用溝は、当該共通流路用溝に沿って、
   前記共通流路用溝の両側の壁面の少なくとも片方において複数の前記個別流路用溝が接続されている接続区間と、
   前記接続区間に隣接しており、前記共通流路用溝の両側の壁面のいずれにおいても複数の前記個別流路用溝が非接続とされており、前記接続範囲における複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置の、隣り合うもの同士の距離それぞれよりも長い非接続区間と、を有しており、
   前記延出部は、前記非接続区間に位置している
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１プレートは、前記非接続範囲において、前記共通流路の流路方向に互いに間隔を空けて複数の前記延出部を備えている
   請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記接続範囲に最も近い前記延出部と、複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置のうち前記非接続範囲に最も近い接続位置との距離は、前記接続範囲における前記一方の壁面に対する複数の前記個別流路用溝の接続位置のピッチ以下である
   請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１プレートは、前記非接続範囲において前記一方の壁面から前記共通流路用溝に通じている少なくとも１つのダミー流路用溝を備えており、前記ダミー流路用溝によって前記複数の吐出ユニットに非接続のダミー流路が構成されている
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記ダミー流路用溝の前記共通流路用溝に通じる位置は、前記延出部に対して前記接続範囲とは反対側に隣接している
    請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 接着剤を介して積層された複数のプレートを備えており、複数の前記プレートに形成された穴によって、共通流路、および前記共通流路に接続されている複数の吐出ユニットが構成されており、複数の前記吐出ユニットそれぞれが、吐出孔、前記吐出孔に接続されている加圧室、および前記加圧室と前記共通流路とに接続されている個別流路を備えている流路部材と、
    複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えており、
    複数の前記プレートは、
    前記共通流路を構成する共通流路用溝、および前記共通流路用溝の両側の壁面のうちの一方の壁面から前記共通流路用溝に通じており、複数の前記個別流路をそれぞれ構成する複数の個別流路用溝が形成された第１プレートと、
    前記第１プレートの上面に接着され、前記共通流路の上面を構成する第２プレートと、を含んでおり、
    前記共通流路用溝の前記一方の壁面は、前記共通流路用溝に沿って、
    複数の前記個別流路用溝が接続されている接続範囲と、
    前記接続範囲に隣接しており、複数の前記個別流路用溝が非接続とされており、前記接続範囲における複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置の、隣り合うもの同士の距離それぞれよりも長い非接続範囲と、を有しており、
    前記第１プレートは、前記非接続範囲において前記一方の壁面から前記共通流路用溝に通じている少なくとも１つのダミー流路用溝を備えており、前記ダミー流路用溝によって前記複数の吐出ユニットに非接続のダミー流路が構成されている
    液体吐出ヘッド。
12. 前記ダミー流路は、両端が前記共通流路に通じている
    請求項９〜１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記ダミー流路は、当該ダミー流路のうちの他の部分よりも断面積が小さい小断面部を備えている
    請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記ダミー流路の両端のうち、前記非接続範囲において前記一方の壁面に接続されている一端を第１端、前記一方の壁面の、前記第１端に対して前記接続範囲側に接続されている他端、または前記共通流路の、前記一方の壁面から離れた位置に接続されている他端を第２端としたときに、
    前記小断面部は、前記ダミー流路の流路方向の中央位置よりも前記第２端側に位置している
    請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記非接続範囲における前記共通流路用溝に対する接続位置が前記接続範囲に最も近い前記ダミー流路の前記接続位置と、複数の前記個別流路用溝の前記一方の壁面に対する接続位置のうち前記非接続範囲に最も近い接続位置との距離は、前記接続範囲における前記一方の壁面に対する複数の前記個別流路用溝の接続位置のピッチ以下である
    請求項９〜１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記第２プレートの下面のうちの前記共通流路の上面を構成する領域にも前記接着剤が配置されている
    請求項１〜１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
17. 請求項１〜１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする記録装置。
18. 請求項１〜１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記第２プレートの下面の全面に前記接着剤を配置するステップと、
    前記接着剤が配置された前記第２プレートの下面を前記第１プレートの上面に重ねるステップと、
    を備えている液体吐出ヘッドの製造方法。

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