JP6156950B2 - Vacuum pump - Google Patents

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Description

本発明は、ポンプハウジングを有する真空ポンプに関する。   The present invention relates to a vacuum pump having a pump housing.

真空ポンプは、例えば半導体製造のような様々な技術方法で使用される。ポンピングすべきガス（気体、ポンプガスとも称される）を、真空引きすべき容積から搬出するため、及び各技術的方法に必要な真空を発生するためである。その際、特別な意味は、ターボ分子ポンプにある。これは高回転で運転され、そして真空を高純度で発生させることが可能である。   Vacuum pumps are used in various technical methods such as semiconductor manufacturing. This is because the gas to be pumped (gas, also referred to as pump gas) is discharged from the volume to be evacuated, and the vacuum necessary for each technical method is generated. The special meaning lies in the turbomolecular pump. It is operated at high speed and it is possible to generate a vacuum with high purity.

例えば、特に、ターボ分子ポンプは高解像度の質量分析法で使用される。高解像度の質量分析法は、分子構造の検出及び確認の際、そして化学的及び物理的なプロセスの実験において使用される。異なる収集方法（独語：Ａｕｆｆａｎｇｍｅｔｈｏｄｅｎ）または検出方法を使用のもと、質量スペクトルの発生のための異なる多数の技術が公知である。そのような技術は、例えばフーリエ変換質量分析計（独語：Ｆｏｕｒｉｅｒ−Ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎｓｍａｓｓｅｎｓｐｅｋｔｒｏｍｅｔｅｒ）である。   For example, in particular, turbomolecular pumps are used in high resolution mass spectrometry. High resolution mass spectrometry is used in the detection and confirmation of molecular structures and in chemical and physical process experiments. Numerous different techniques for the generation of mass spectra are known using different collection methods (German: Affangmethoden) or detection methods. Such a technique is, for example, a Fourier-transform mass spectrometer (German: Fourier-transformation massenspectrometer).

分光計内では、例えば１０から２０テスラの磁束を有する極めて強い磁場が発生させられる。   In the spectrometer, a very strong magnetic field with a magnetic flux of eg 10 to 20 Tesla is generated.

この質量分光計の周囲に配置された真空ポンプは、同様に強い磁場にさらされる。これら磁場は、数百ミリテスラの磁束を有することが可能である。   A vacuum pump placed around the mass spectrometer is also exposed to a strong magnetic field. These magnetic fields can have a magnetic flux of several hundred millitesla.

外部の磁場によって、高速で回転するローターを有する真空ポンプ内では、渦流効果によってブレーキトルクが生じる。このブレーキトルクは、モーターの性能増加を生じる。というのはモーターは、予め定められた回転数が保持されるよう構成されているからである。モーターの性能増加は、真空ポンプ内における熱の増加に通じる。熱の増加によって、低い圧力を発生させることがより困難となる。というのは、熱の増加は、より高い分子運動の原因となるからである。最も不都合なケースでは、運転障害、または真空ポンプの損傷すら早い加熱によって生じうる。   In a vacuum pump having a rotor that rotates at a high speed due to an external magnetic field, a brake torque is generated by the vortex effect. This braking torque increases the performance of the motor. This is because the motor is configured to maintain a predetermined rotational speed. Increased motor performance leads to increased heat in the vacuum pump. The increase in heat makes it more difficult to generate a low pressure. This is because an increase in heat causes higher molecular motion. In the most inconvenient case, operational failure or even vacuum pump damage can be caused by rapid heating.

特開２０００−２００５７６ＡJP2000-200756A 欧州特許出願公開第２７０８７５３Ａ２号明細書European Patent Application No. 27085353A2

本発明の課題は、高い磁場強度の使用においても、上述した渦電流効果を生じることなく作動することが可能である真空ポンプを提供することである。   An object of the present invention is to provide a vacuum pump that can operate without causing the above-described eddy current effect even in the use of high magnetic field strength.

この技術的課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって解決される。   This technical problem is solved by a vacuum pump having the features of claim 1.

レシーバーへの接続のための接続フランジを有しているポンプハウジングを有する発明にかかる真空ポンプは、シールドハウジングが設けられており、このシールドハウジングが、ポンプハウジングを少なくとも部分的に取り囲むよう、そして接続フランジをほぼ完全にまたは完全に取り囲むよう形成されている点において際立っている。   A vacuum pump according to the invention having a pump housing having a connection flange for connection to a receiver is provided with a shield housing, the shield housing at least partly surrounding and connecting the pump housing It stands out in that it is shaped to almost completely or completely surround the flange.

シールドハウジングは、ポンプハウジングを少なくとも部分的に取り囲み、そして接続フランジを軸方向でほぼ完全に、または完全に取り囲む。ほぼ完全にとは、シールドハウジングが、接続フランジを７５％を超えて取り囲み、好ましくは９０％を超えて取り囲むことを意味する。シールドハウジングはポンプハウジングを、好ましくは少なくとも部分的に取り囲み、そして接続フランジを半径方向で完全に取り囲む。   The shield housing at least partially surrounds the pump housing and substantially completely or completely surrounds the connecting flange in the axial direction. Nearly complete means that the shield housing surrounds the connecting flange more than 75%, preferably more than 90%. The shield housing preferably surrounds at least partially the pump housing and completely surrounds the connecting flange in the radial direction.

発明にかかるポンプは、高い磁場強度の適用下で使用可能である。というのは、真空ポンプのシールドが行われるからである。このシールドのもとローターにおける渦電流効果が、ポンプの熱的過負荷に通じない。ポンプハウジングは、通常、シールド特性の悪い、または該特性を有さない材料から製造される。シールドは、発明に従い設けられるシールドハウジングによっては図られる。これは、ポンプハウジングを少なくとも部分的に取り囲むよう、そして接続部をほぼ完全にまたは完全に取り囲むよう形成されている。   The pump according to the invention can be used under the application of high magnetic field strength. This is because the vacuum pump is shielded. Under this shield, eddy current effects in the rotor do not lead to thermal overload of the pump. Pump housings are typically manufactured from materials that have poor or no shielding properties. The shield is provided by a shield housing provided in accordance with the invention. This is formed to at least partially surround the pump housing and to substantially completely or completely surround the connection.

発明にかかる真空ポンプは、シールドハウジングは、これが固定部を略完全に、または完全に取り囲むことによって、レシーバーに当たるまで、または数ミリメートルの間隔まで、つまり、基本的に、レシーバーの顧客特有のハウジングまで形成されていることが可能であるので、シールドは、レシーバーまで効率的であり、そしてフランジ固定部の領域に脆弱な箇所が発生しないというメリットを有する。   The vacuum pump according to the invention is such that the shield housing is almost completely or completely surrounding the fixed part until it hits the receiver or up to a few millimeters apart, i.e. basically up to the customer's specific housing of the receiver. Since it can be formed, the shield has the advantage that it is efficient up to the receiver and that no fragile spots occur in the area of the flange fixing part.

本発明の別の有利な実施形に従い、シールドハウジングはレシーバーへの固定のための固定フランジを有する。これによって、シールドハウジングが、直接レシーバーに設けられており、そしてシールドに脱漏部（これを通して外部の磁場が侵入し、そしてローターに渦電流効果が引き起こされることが可能である）が生じないということが保証される。   According to another advantageous embodiment of the invention, the shield housing has a fixing flange for fixing to the receiver. This ensures that the shield housing is directly attached to the receiver and that the shield does not have a leak-through (through which an external magnetic field can penetrate and an eddy current effect can be induced in the rotor). Is guaranteed.

本発明の別の有利な実施形に従い、シールドハウジングはレシーバーへの接続のための袋穴（独語：Ｓａｃｋｌｏｃｈｂｏｈｒｕｎｇｅｎ）および／または貫通穴を有しているということが意図されている。これらの穴部は、ねじ山を有さず形成されているか、または内側ねじ山を有して形成されていることが可能である。   According to another advantageous embodiment of the invention, it is intended that the shield housing has a pocket hole (German: Sacklochbrungen) and / or a through hole for connection to the receiver. These holes can be formed without threads or can be formed with inner threads.

シールドハウジングが、対応する袋穴（又はめくら孔、独語：Ｓａｃｋｌｏｃｈｂｏｈｒｕｎｇｅｎ）及び／または貫通穴を有するレシーバーに固定するための固定フランジを有することによって、シールドハウジングは、固定フランジの領域において、ポンプハウジングの固定フランジの通常の外直径に相当する外直径を有する。   By having a fixing flange for fixing the shield housing to a receiver with a corresponding bag hole (or blind hole, German: Sacklochbohrungen) and / or a through hole, the shield housing is in the area of the fixing flange in the area of the pump housing. It has an outer diameter corresponding to the normal outer diameter of the fixed flange.

これによって、ポンプハウジング及びシールハウジングを有する真空ポンプの大きさが、先行技術に属するポンプハウジングよりも大きくないことが保証される。この実施形は、シールドハウジングが、大きさの拡大を生じず、よってシステム内において衝突を起こさないというメリットを有する。   This ensures that the size of the vacuum pump with the pump housing and the seal housing is not larger than the pump housing belonging to the prior art. This embodiment has the advantage that the shield housing does not increase in size and thus does not cause a collision in the system.

シールドは、発明に従い、シールドハウジング内にハウジングフランジの固定機能が統合されているように形成されている。   The shield is formed in accordance with the invention so that the fixing function of the housing flange is integrated in the shield housing.

本発明の有利な実施形に従い、シールドハウジングは、レシーバー側にフランジを有する。固定フランジは、すでに説明したように、ポンプハウジングではなくシールドハウジングとレシーバーを接続するのに有利である。   According to an advantageous embodiment of the invention, the shield housing has a flange on the receiver side. The fixed flange is advantageous for connecting the shield housing and receiver rather than the pump housing, as already described.

本発明の別の有利な実施形に従い、ポンプハウジングが、当該ハウジング部分内に真空ポンプの少なくとも一つのローターが配置されているというハウジング部分を有すること、および当該ハウジング部分が、完全にシールドハウジング内に配置されていることが意図されている。   According to another advantageous embodiment of the invention, the pump housing has a housing part in which at least one rotor of the vacuum pump is arranged in the housing part, and the housing part is completely in the shielded housing. It is intended to be placed in

この発明に従う実施形は、ポンプハウジングの固定フランジがシールドハウジングによって取り囲まれているのみならず、ポンプハウジングの（ローターを収容する）全体の領域が、シールドハウジングによって取り囲まれているというメリットを有する。これは、ローター全体が、シールドハウジングによって間接的に取り囲まれているので、記載した渦電流効果がローターに生じないことを意味する。間接的とは、シールドハウジングが、ポンプハウジングを、そしてポンプハウジングがローターを取り囲んでいることを意味する。   The embodiment according to the invention has the advantage that not only the fixing flange of the pump housing is surrounded by the shield housing, but also the entire area of the pump housing (accommodating the rotor) is surrounded by the shield housing. This means that the eddy current effect described does not occur in the rotor because the entire rotor is indirectly surrounded by the shield housing. Indirect means that the shield housing surrounds the pump housing and the pump housing surrounds the rotor.

本発明の別の有利な実施形に従い、シールドハウジングが一部品式、または他部品式に構成されているこが意図されている。シールドハウジングは、一部品式に構成され、そして真空ポンプはポンプハウジングとともに、シールドハウジング内へと取り込まれることが可能である。シールドハウジングは、一又は複数のカバー線（独語：Ｍａｎｔｅｌｌｉｎｉｅｎ）に沿って形成されていることが可能であるので、シールドハウジングは、ポンプハウジングの周りに設けられることが可能である。これは例えば接続フランジの領域内もそうである。   According to another advantageous embodiment of the invention, it is intended that the shield housing is constructed in one piece or in another piece. The shield housing is constructed in one piece and the vacuum pump can be taken into the shield housing along with the pump housing. Since the shield housing can be formed along one or more cover wires (German: Mantellinien), the shield housing can be provided around the pump housing. This is also the case, for example, in the region of the connecting flange.

本発明の別の有利な実施形は、シールドハウジングとポンプハウジングの間に少なくとも一つのОリングが設けられていることを意図する。   Another advantageous embodiment of the invention contemplates that at least one O-ring is provided between the shield housing and the pump housing.

０リングはシール作用を有する。主として、少なくとも一つのОリングが、機械的安定化、つまり緩衝に使用されることが意図されている。Оリングは、主として公差の補償を行う。   The 0 ring has a sealing action. In principle, at least one O-ring is intended to be used for mechanical stabilization, i.e. cushioning. О Rings mainly compensate for tolerances.

本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つのＣＦシールがポンプハウジング及び／またはシールドハウジングのレシーバーに対する密閉のために設けられていることが意図されている。ＣＦシールは、両方のフランジ対が、特殊鋼から形成されている点、フランジの間に銅リングシールが設けられている点、両方のフランジが、（特殊鋼）切断エッジを有し、これが銅リング内に入り込み、これによってシールを形成する点で際立っている。   According to another advantageous embodiment of the invention, it is intended that at least one CF seal is provided for sealing the pump housing and / or shield housing to the receiver. The CF seal is that both flange pairs are made of special steel, a copper ring seal is provided between the flanges, both flanges have a (special steel) cutting edge, which is copper It stands out in that it penetrates into the ring, thereby forming a seal.

このシールは（高真空領域に設けられることが可能であるが）、ガス放出を伴わず、ポンプハウジングとレシーバーの間および／またはシールドハウジングとレシーバーの間の接続部の密閉のために使用され、真空密な接続を保証する。   This seal (although it can be provided in the high vacuum region) is used for sealing the connection between the pump housing and the receiver and / or between the shield housing and the receiver without outgassing, Ensures a vacuum-tight connection.

本発明の特に有利な実施形に従い、シールドハウジングのフランジは標準フランジとして形成されている。これは、シールドハウジングの固定フランジの外部の寸法が、例えばＩＳＯ−ＦやＩＳＯ−ＣＦのような標準フランジ固定に相当することを意味する。その際、シールドの壁部厚さの高さに基づいて、ポンプの使用は、極めて高い磁場強度においてもポンプの温度態様に著しい影響なく可能である。   According to a particularly advantageous embodiment of the invention, the flange of the shield housing is formed as a standard flange. This means that the external dimension of the fixing flange of the shield housing corresponds to a standard flange fixing such as ISO-F or ISO-CF. In this case, based on the height of the wall thickness of the shield, the pump can be used without significantly affecting the temperature mode of the pump even at a very high magnetic field strength.

シールドが、ポンプハウジングの標準フランジの周りに追加的に設けられるとき、極めてた大きな、そしてこれによって高価である、シールドの為の原材料が生じる。   When a shield is additionally provided around the standard flange of the pump housing, a very large and thereby expensive raw material for the shield results.

有利には、シールドはＩＳＯ−Ｆフランジ固定によって、ＩＳＯ−Ｆカラーフランジのように、ＩＳＯ−Ｋハウジングに適合される。これによって標準ＩＳＯ−Ｋフランジを有するポンプの、発明にかかるシールドハウジングを後付けし、そして引き続いて、ＩＳＯ−Ｆフランジ接続によって組み付けることが可能である。   Advantageously, the shield is adapted to the ISO-K housing, like an ISO-F collar flange, by ISO-F flange fixing. This allows a pump with a standard ISO-K flange to be retrofitted with an inventive shield housing and subsequently assembled with an ISO-F flange connection.

発明にかかるシールドハウジングは、適当な内直径及び外直径を有する原材料から少ないコストで製造されることが可能である。   The shield housing according to the invention can be manufactured at low cost from raw materials having suitable inner and outer diameters.

本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも部分的に、磁場をシールドする材料から形成されている。好ましくは、シールドハウジングは、少なくとも部分的に強磁性の材料から形成されている。   According to another advantageous embodiment of the invention, it is formed at least in part from a material that shields the magnetic field. Preferably, the shield housing is made of at least partially ferromagnetic material.

材料として、例えば軟鉄、ニッケル、または銅が使用されることが可能である。その際、鉄は、もっとも安価な材料であり、よって好ましくはこれが使用される。   As material, for example, soft iron, nickel, or copper can be used. In this case, iron is the cheapest material and is therefore preferably used.

例えば、シールドハウジングを安価な構造用鋼（独語：Ｂａｕｓｔａｈｌ）から製造する可能性が存在する。   For example, the possibility exists to manufacture the shield housing from inexpensive structural steel (German: Baustahl).

本発明の別の有利な実施形に従い、当該ハウジング部分内に電子機器及び／またはモーターが配置されている、という一つのハウジング部分が設けられていること、および該ハウジング部分が、少なくとも部分的にシールドハウジング内及び／または別のシールドハウジング内に設けられていることが意図されている。   According to another advantageous embodiment of the invention, there is provided a housing part in which the electronics and / or motor are arranged in the housing part, and the housing part is at least partly It is intended to be provided in the shield housing and / or in another shield housing.

この実施形は、電子機器および／またはモーターもが外部に存在する磁場に対してシールドされるというメリットを有する。このことは、真空ポンプの運転にも同様に有利に作用する。   This embodiment has the advantage that the electronics and / or the motor are also shielded against the external magnetic field. This has an advantageous effect on the operation of the vacuum pump as well.

特に有利な実施形に従い、真空ポンプはターボ分子ポンプとして形成されている。このポンプは特に高回転で作動する。このポンプは、９０，０００回転／分の回転数で作動され、そして発明にかかるシールドは、このポンプにおいて特に有利である。   According to a particularly advantageous embodiment, the vacuum pump is designed as a turbomolecular pump. This pump operates at a particularly high speed. The pump is operated at a speed of 90,000 revolutions / minute and the shield according to the invention is particularly advantageous in this pump.

発明にかかるシールドハウジングの使用は、追加的な接続部（独語：Ａｎｚａｐｆｕｎｇｅｎ）（スプリットフローポンプ）を有する真空ポンプにおいても可能である。シールドハウジングは、この接続部のために適当な開口部を有する。これら開口部は、しかし、適当な形状のもと、シールド効果に対して不利でない。   The use of a shielded housing according to the invention is also possible in a vacuum pump with an additional connection (German: Ansungfungen) (split flow pump). The shield housing has a suitable opening for this connection. These openings, however, are not disadvantageous for the shielding effect under a suitable shape.

シールドハウジングは、基本的にシール作用を有さない。これによって表面品質に対する要求は低いもののみである。シールドは、真空領域に対する接触を有さないので、真空技術に対しては不適当であるが、安価である材料が使用されることが可能である。   The shield housing basically has no sealing action. As a result, the requirements for surface quality are only low. Since the shield has no contact to the vacuum region, materials that are unsuitable for vacuum technology, but that are inexpensive, can be used.

しかし、シールドハウジングもまたシール機能を有することは排除されない。   However, it is not excluded that the shield housing also has a sealing function.

シールドが、少なくともローター（ローターは、ローターディスクを設けられている）のすべての領域を取り囲むので、シールドハウジングはハウジング安全性に貢献する。ポンプハウジングは、よって薄い原部材、または小さな原部材から製造されることが可能である。これによって真空ポンプの製造の際のコスト削減が行われる。   The shield housing contributes to housing safety because the shield surrounds at least all areas of the rotor (the rotor is provided with a rotor disk). The pump housing can thus be manufactured from thin or small original parts. This reduces the cost of manufacturing the vacuum pump.

レシーバーに対する接続のための固定フランジがシールドハウジングによって形成されることによって、ポンプハウジングのフランジは、明らかに小さな直径で形成されていることが可能である。これによって、ポンプハウジングは、明らかに小さな直径の原部材から製造されることが可能である。原部材（原材料）が、明らかに小さな直径を有するので、この部材のコストは、先行技術に属する真空ポンプのための部材に対して著しく削減される。   By forming a fixed flange for connection to the receiver with the shield housing, the flange of the pump housing can obviously be formed with a small diameter. This allows the pump housing to be manufactured from a clearly small diameter blank. Since the raw material (raw material) has a clearly small diameter, the cost of this material is significantly reduced compared to the material for vacuum pumps belonging to the prior art.

シールドの質量に基づいて、真空ポンプの振動挙動はポジティブに影響を受けることが可能である。そのうえ、シールドハウジングとポンプハウジングの間の接続は、緩衝作用を有するように形成されることが可能である。   Based on the mass of the shield, the vibration behavior of the vacuum pump can be positively affected. Moreover, the connection between the shield housing and the pump housing can be formed to have a buffering action.

本発明の別の特徴及びメリットは、添付の図面に基づいて生じる。該図面には、発明にかかる真空ポンプの複数の実施例が、例示的にのみあらわされている。   Further features and advantages of the invention arise from the accompanying drawings. In the drawing, a plurality of embodiments of the inventive vacuum pump are shown by way of example only.

シールドハウジングを有する真空ポンプの斜視図A perspective view of a vacuum pump having a shield housing 図１のポンプの長手方向断面図1 is a longitudinal sectional view of the pump of FIG. 図１のポンプの部分断面図Partial sectional view of the pump of FIG. シールドハウジングを有する真空ポンプの第二の実施例の斜視図A perspective view of a second embodiment of a vacuum pump having a shield housing 図４のポンプの長手方向断面図Longitudinal sectional view of the pump of FIG. 図４のポンプの部分断面図Partial sectional view of the pump of FIG. ブラケットを有するＩＳＯ−ＫＦフランジの長手方向断面図Longitudinal sectional view of ISO-KF flange with bracket ＩＳＯ−Ｆカラーリングを有するＩＳＯ−ＫＦフランジの長手方向断面図Longitudinal section through ISO-KF flange with ISO-F coloring ＩＳＯ−Ｆフランジの長手方向断面図Longitudinal sectional view of ISO-F flange ＣＦ−フランジの長手方向断面図CF-flange longitudinal section 変更された実施例Modified example

図１から３はターボ分子ポンプ１を示す。このターボ分子ポンプは、ポンプハウジング２及びシールドハウジング３を有している。   1 to 3 show a turbomolecular pump 1. This turbo molecular pump has a pump housing 2 and a shield housing 3.

特別に設けられたハウジング４内には、電子機器が組込まれている。（図示されていない）モーターは、モーターハウジング３３内に設けられている。真空ポンプ１は、ターボ分子ポンプ段５とホルベックポンプ段６を有する。ポンプ段は、図３にのみ表されている。   An electronic device is incorporated in a specially provided housing 4. A motor (not shown) is provided in the motor housing 33. The vacuum pump 1 has a turbo molecular pump stage 5 and a Holbeck pump stage 6. The pump stage is represented only in FIG.

シールドハウジング３は、ホルベックポンプ段６とターボ分子ポンプ段５が、真空ポンプ１のフランジ９を含めて軸方向で完全にシールドハウジング３によって取り囲まれているような、軸方向寸法を有する。これによって、真空ポンプ１の使用の際に、高い磁場強度の領域内において、ローターのシールドが存在し、ローター７における渦電流効果（渦電流効果は真空ポンプ１の熱負荷に通じる可能性がある）が防止されるということが保証される。   The shield housing 3 has an axial dimension such that the Holbeck pump stage 6 and the turbomolecular pump stage 5, including the flange 9 of the vacuum pump 1, are completely surrounded by the shield housing 3 in the axial direction. Accordingly, when the vacuum pump 1 is used, the rotor shield exists in the region of high magnetic field strength, and the eddy current effect in the rotor 7 (the eddy current effect may lead to the heat load of the vacuum pump 1). ) Is prevented.

ローター７は、ターボ分子ポンプ段５の領域内におけるローター羽根１１を担持する軸を有する。ローター羽根１１は、複数のステーター羽根１２の中に達している。ステーター羽根は、ポンプハウジング２に固定されている。ホルベックポンプ段６は、軸に設けられ回転しポンプ効果を発する構造１３と、ステーターに設けられポンプ効果を発する構造１４を有している。   The rotor 7 has a shaft carrying the rotor blades 11 in the region of the turbomolecular pump stage 5. The rotor blades 11 reach the plurality of stator blades 12. The stator blades are fixed to the pump housing 2. The Holbeck pump stage 6 has a structure 13 provided on a shaft and rotating to generate a pump effect, and a structure 14 provided to a stator and generating a pump effect.

シールドハウジング３は、フランジ８と共にレシーバーにおける固定機能を担う。シールドハウジング３は、この為、フランジ８を有する。これはＩＳＯ標準フランジとして形成されている。   The shield housing 3 has a fixing function in the receiver together with the flange 8. For this purpose, the shield housing 3 has a flange 8. This is formed as an ISO standard flange.

この場合、フランジ８はＩＳＯ−Ｆ−フランジとして形成されている。   In this case, the flange 8 is formed as an ISO-F-flange.

図１から３に表されている真空ポンプ１は、固定フランジ９を有する。この固定フランジは、シールドハウジング３の内部に設けられるフランジ９として形成されている。レシーバーにおける固定は、シールドハウジング３におけるＩＳＯ−Ｆ−フランジによって行われる。シールドハウジング３からポンプフランジに対する接続はＩＳＯ−Ｆ−カラーフランジ（独語：Ｕｅｂｅｒｗｕｒｆｆｌａｎｓｃｈ）におけるように行われる。シールドハウジング３の外直径は、全軸方向長さにわたって一定である。   The vacuum pump 1 represented in FIGS. 1 to 3 has a fixed flange 9. This fixed flange is formed as a flange 9 provided inside the shield housing 3. The fixing in the receiver is performed by an ISO-F-flange in the shield housing 3. The connection from the shield housing 3 to the pump flange is made as in the ISO-F-collar flange (German: Ueberwolfransch). The outer diameter of the shield housing 3 is constant over the entire axial length.

ポンプハウジング２とシールドハウジング３の間には、Ｏリング３０が設けられている。Ｏリング３０は、シール機能を有さず、まず、公差の補償とポンプハウジング２と、そしてシールドハウジング３の間の緩衝の為に使用される。   An O-ring 30 is provided between the pump housing 2 and the shield housing 3. The O-ring 30 does not have a sealing function and is first used for tolerance compensation and buffering between the pump housing 2 and the shield housing 3.

図４から６には、真空ポンプ１が表されている。この真空ポンプは、ポンプハウジング２とシールドハウジング３を有する。シールドハウジング３は、フランジ８を有する。この中では固定ねじ１６が、この為に設けられた孔部１７内に配置されることが可能である。その上、レシーバーに対するシールの為に、ＣＦシール１８が設けられている。   4 to 6 show the vacuum pump 1. This vacuum pump has a pump housing 2 and a shield housing 3. The shield housing 3 has a flange 8. Among them, the fixing screw 16 can be arranged in the hole 17 provided for this purpose. In addition, a CF seal 18 is provided for sealing against the receiver.

その上、真空ポンプ１は、シールドされていない電子機器ハウジング４を有する。   Moreover, the vacuum pump 1 has an unshielded electronics housing 4.

真空ポンプ１は、インレット１９及びアウトレット２０を有する。インレット１９は、図示されていないレシーバーと接続されている。   The vacuum pump 1 has an inlet 19 and an outlet 20. The inlet 19 is connected to a receiver (not shown).

図４から６内には、良好な視認性の為に、ローターとステーターから成るポンプ構造は表されていない。しかしこれは、図１から３に表されているのと同様または類似の構造を有することが可能である。   In FIGS. 4 to 6, the pump structure consisting of a rotor and a stator is not shown for good visibility. However, it can have a similar or similar structure as represented in FIGS.

図４から６内に表された真空ポンプ１もまた、シールドハウジングの固定フランジを介して、レシーバーにおける固定を実現する。ＣＦシール１８の切断エッジは、ポンプハウジング２に設けられている。   The vacuum pump 1 represented in FIGS. 4 to 6 also achieves fixing at the receiver via the fixing flange of the shield housing. The cutting edge of the CF seal 18 is provided in the pump housing 2.

図５に表されているように、シールドハウジング３は、外直径Ａを有する。他方でポンプハウジング２は外直径Ｂを有する。先行技術におけるように、ポンプハウジング２の固定フランジが、標準フランジとして形成されているとき、ポンプハウジング２は外直径Ａを有し、レシーバーの形成された標準接続部に接続されることができる。つまり、ポンプハウジング２が製造される未加工材料は直径Ａを有する必要がある。ポンプハウジング２は、例えば未加工材料から旋削によって作られる（独語：ｇｅｄｒｅｈｔ ｗｅｒｄｅｎ）。未加工材料は、製造されるポンプハウジング２の最も大きい直径に相当する外直径を有する必要がある。   As shown in FIG. 5, the shield housing 3 has an outer diameter A. On the other hand, the pump housing 2 has an outer diameter B. As in the prior art, when the fixed flange of the pump housing 2 is formed as a standard flange, the pump housing 2 has an outer diameter A and can be connected to a standard connection formed with a receiver. That is, the raw material from which the pump housing 2 is manufactured needs to have a diameter A. The pump housing 2 is made, for example, from a raw material by turning (German: gedreht word). The raw material must have an outer diameter corresponding to the largest diameter of the pump housing 2 to be manufactured.

これによって、本発明にかかる固定機能は、シールドハウジング３によって行われ、シールドハウジング３はもはや、外直径Ａを有さず、一方でポンプハウジングが最大の外直径Ｂを有すると。これによって外直径Ｂを有する未加工材料が使用されることが可能である。ポンプハウジング２は通常、特殊鋼（独語：Ｅｄｅｌｓｔａｈｌ）から製造されるので、未加工材料の外直径の減少が著しくコスト削減的である。   Thereby, the fixing function according to the present invention is performed by the shield housing 3, which no longer has an outer diameter A, while the pump housing has a maximum outer diameter B. This allows a raw material having an outer diameter B to be used. Since the pump housing 2 is usually manufactured from special steel (German: Edelstahl), the reduction of the outer diameter of the raw material is significantly cost-saving.

シールドハウジング３は通常、シール機能を有さないので、表面品質に対する要求は低い。同時に、比較的プラスバリューのある材料が、シールドハウジング３に使用されることが可能である。というのは、磁場シールド作用のみが与えられる必要があるからである。この作用は例えば、構造用鋼（独語：Ｂａｕｓｔａｈｌ）のみが満たす。というのは、これは強磁性だからである。   Since the shield housing 3 normally does not have a sealing function, the demand for surface quality is low. At the same time, relatively positive value materials can be used for the shield housing 3. This is because only the magnetic field shielding action needs to be provided. This action is fulfilled, for example, only by structural steel (German: Baustahl). This is because it is ferromagnetic.

図７は、ブラケット（独語：Ｐｒａｔｚｅｎ）を有するＩＳＯ−Ｋ−フランジによってシールドハウジング３に固定されていることを示している。シールドハウジング３のねじ穴１７ないに入るねじ２３によって、レシーバー２１のフランジ２４がシールドハウジング３のフランジ８と解除可能かつ位置固定的に接続される。   FIG. 7 shows that it is fixed to the shield housing 3 by means of an ISO-K-flange with brackets (German: Pratzen). The flange 23 of the receiver 21 is releasably and fixedly connected to the flange 8 of the shield housing 3 by a screw 23 that does not enter the screw hole 17 of the shield housing 3.

ポンプハウジング２のフランジ９とレシーバーのフランジ２４の間には、密閉のためにОリングシール２５が設けられている。有利には、このため、Оリング２５を有するセンタリングリング３１が使用されている。追加的に、シールドハウジング３とポンプハウジング２の間に、Оリングシール３４が設けられている。   An O-ring seal 25 is provided between the flange 9 of the pump housing 2 and the flange 24 of the receiver for sealing. For this purpose, a centering ring 31 with an O-ring 25 is preferably used. In addition, an O-ring seal 34 is provided between the shield housing 3 and the pump housing 2.

図８は、カラーリング２６（ＩＳＯ−Ｆ）を有する別の固定可能性（固定手段）を示す。カラーリングは、レシーバー２１のフランジ２４に設けられている。ねじ２３は、カラーリング２６を通ってシールドハウジング３のフランジ８の穴１７内へと入り、そしてこれによってポンプハウジング２をレシーバー２１と接続する。ポンプハウジング２のフランジ９とレシーバーのフランジ２４の間には、Оリングシール、例えばОリングシール２５を有するセンタリングリング３１のようなものが設けられている。   FIG. 8 shows another fixability (fixing means) with a color ring 26 (ISO-F). The coloring is provided on the flange 24 of the receiver 21. The screw 23 passes through the collar 26 into the hole 17 in the flange 8 of the shield housing 3 and thereby connects the pump housing 2 to the receiver 21. Between the flange 9 of the pump housing 2 and the flange 24 of the receiver, an O ring seal, for example, a centering ring 31 having an O ring seal 25 is provided.

追加的に、シールドハウジング３とポンプハウジング２の間にОリングシール３４が設けられている。   In addition, an O-ring seal 34 is provided between the shield housing 3 and the pump housing 2.

図９はＩＳＯ−Ｆ−フランジ２７を示す。このフランジは、レシーバー２１に設けられている。ＩＳＯ−Ｆ−フランジ２７は、ねじ２３によってシールドハウジング３に固定されている。ねじは姉部１７内へと入る。穴部１７は、フランジ８内に設けられている。シールドハウジング３内には、ポンプハウジング２が設けられている。ポンプハウジング２とシールドハウジング３の間にはОリングシール３４が設けられている。ＩＳＯ−Ｆ−フランジ２７とポンプハウジング２の間には、センタリングリング３１およびОリングシール２５が設けられている。   FIG. 9 shows the ISO-F-flange 27. This flange is provided in the receiver 21. The ISO-F-flange 27 is fixed to the shield housing 3 by screws 23. The screw enters the elder sister 17. The hole 17 is provided in the flange 8. A pump housing 2 is provided in the shield housing 3. An O-ring seal 34 is provided between the pump housing 2 and the shield housing 3. A centering ring 31 and an O-ring seal 25 are provided between the ISO-F-flange 27 and the pump housing 2.

図１０はＣＦ−フランジ２８を示す。このフランジはレシーバー２１に設けられている。シールドハウジング３は、穴部１７を有するフランジ８を有する。ねじ穴１７内にはねじ２３が入り込む。これらねじは、ＣＦ−フランジ２８をシールドハウジング３と接続する。ポンプハウジング２のフランジ９とＣＦ−フランジの間にはＣＦシール１８が設けられている。   FIG. 10 shows the CF-flange 28. This flange is provided on the receiver 21. The shield housing 3 has a flange 8 having a hole 17. A screw 23 enters the screw hole 17. These screws connect the CF-flange 28 to the shield housing 3. A CF seal 18 is provided between the flange 9 of the pump housing 2 and the CF-flange.

シールドハウジング３は、好ましくは、シールドハウジング３がハウジングフランジの固定機能を担うように形成されている。外側の寸法は、フランジ領域内において、例えばＩＳＯ−ＦまたはＩＳＯ−ＣＦのような標準フランジ固定のそれに相当する。ＩＳＯ−Ｆ−カラーフランジと同様、ＩＳＯ−Ｆ−フランジ固定部を有するシールドハウジング３を、ＩＳＯ−Ｋ−ハウジングに合わせることも可能である。このようにして、標準ＩＳＯ−Ｋ−ポンプに発明にかかるシールドハウジング３を後付けし、そしてＩＳＯ−Ｆ−フランジ接続によって取り付けることが可能である。   The shield housing 3 is preferably formed so that the shield housing 3 has a function of fixing the housing flange. The outer dimension corresponds to that of a standard flange fixing, for example ISO-F or ISO-CF, in the flange area. Similar to the ISO-F-collar flange, the shield housing 3 having the ISO-F-flange fixing portion can be matched with the ISO-K-housing. In this way, a standard ISO-K-pump can be retrofitted with the shield housing 3 according to the invention and attached by means of an ISO-F-flange connection.

図１１は、図２にあらわされているような真空ポンプ１を示す。同じ部材には同じ参照符号が付されている。図２と異なり、電子機器ハウジング４は、追加的にシールドハウジング２９内に設けられており、追加的な電子機器のシールドを達成する。代替として、または追加的に、モーターハウジング３３をシールドハウジング３２内に配置する可能性も存在する。   FIG. 11 shows a vacuum pump 1 as represented in FIG. The same reference numerals are assigned to the same members. Unlike FIG. 2, the electronics housing 4 is additionally provided within a shield housing 29 to achieve additional electronics shielding. As an alternative or in addition, there is also the possibility of placing the motor housing 33 in the shield housing 32.

１ シールドハウジング３のフランジ
９ ポンプハウジング２のフランジ
１０ 軸
１１ ローター羽根
１２ ステーター羽根
１３ ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する構造
１４ ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する構造
１７ 穴部
１８ ＣＦシール
２４ Оリングシール
Ａ 外直径
Ｂ 外直径 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flange of shield housing 3 9 Flange 10 of pump housing 2 Shaft 11 Rotor blade 12 Stator blade 13 Structure which produces pump effect of Holbeck pump stage 14 Structure which produces pump effect of Holbeck pump stage 17 Hole 18 CF seal 24 О Ring seal A outer diameter B outer diameter

Claims (12)

レシーバーに接続するための固定フランジを有するポンプハウジングを有する真空ポンプにおいて、
シールドハウジング（３）が設けられており、このシールドハウジングが、ポンプハウジング（２）を少なくとも部分的に取り囲み、そして固定フランジ（９）をほぼ完全に、または完全に取り囲むよう形成されており、シールドハウジング（３）がレシーバー（２１）に接続するための固定フランジ（８）を有することを特徴とする真空ポンプ。 In a vacuum pump having a pump housing with a fixed flange for connection to a receiver,
A shield housing (3) is provided, which shield housing is formed to at least partially surround the pump housing (2) and to substantially completely or completely surround the fixing flange (9) , A vacuum pump characterized in that the housing (3) has a fixed flange (8) for connection to the receiver (21) . シールドハウジング（３）がレシーバー（２１）への接続のために、袋穴及び／または貫通穴（１７）を有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。 To shield the housing (3) is connected to the receiver (21), a vacuum pump according to claim 1, characterized in that it comprises a blind hole and / or through hole (17). 穴部（１７）がねじ山を有さず、または内側ねじ山を有して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。 3. Vacuum pump according to claim 2 , characterized in that the hole (17) has no thread or is formed with an inner thread. ポンプハウジング（２）が、一つのハウジング部分を有し、このハウジング部分内に、真空ポンプ（１）の少なくとも一つのローター（７）が設けられていること、およびハウジング部分が完全にシールドハウジング（３）内に設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 The pump housing (2) has one housing part, in which at least one rotor (7) of the vacuum pump (1) is provided and that the housing part is completely shielded ( vacuum pump according to any one of claims 1 to 3, characterized in that is provided, et al in 3). シールドハウジング（３）が、一部品式または多部品式に形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 The vacuum pump according to any one of claims 1 to 4 , characterized in that the shield housing (3) is formed in one-part or multi-part form. シールドハウジング（３）とポンプハウジング（２）の間に少なくとも一つのОリング（３０）が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 At least one vacuum pump according to claim 1, any one of 5, characterized in that is provided with О ring (30) between the shield housing (3) and the pump housing (2). ポンプハウジング（２）及び／またはシールドハウジング（３）のレシーバー（２１）に対する密閉のために少なくとも一つのＣＦ−シールが設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 To any one of claims 1 to 6, characterized in that at least one CF- seal is provided for sealing against the pump housing (2) and / or shield the housing receiver (21) of (3) The vacuum pump described. シールドハウジング（３）のフランジ（８）が標準フランジ固定部として形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Shield housing (3) of the flange (8) of the vacuum pump according to any one of claims 1 to 7, characterized in that you have been formed as a standard flange fixing unit. シールドハウジング（３）が少なくとも部分的に、磁場をシールドする材料から形成されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Shield housing (3) is at least partially, the vacuum pump according to any one of claims 1 to 8, characterized in that it is formed of a material that shields the magnetic field. シールドハウジング（３）が少なくとも部分的に強磁性の材料から形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Shield housing (3) is a vacuum pump according to any one of claims 1 to 9, characterized in that it is formed from a material at least partially ferromagnetic. 一つのハウジング部分（４）が設けられており、このハウジング部分内に電子機器及び／またはモーターが配置されていること、およびハウジング部分（４）が少なくとも部分的にシールドハウジング（３）内及び／または別のシールドハウジング（２９）内に配置されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 A housing part ( 4 ) is provided, in which electronic equipment and / or motors are arranged, and the housing part (4) is at least partly in the shield housing (3) and / or or another vacuum pump according to claim 1, any one of 10, characterized in that disposed in the shield housing (29) within. 真空ポンプ（１）が、ターボ分子ポンプとして形成されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Vacuum pump (1) is a vacuum pump according to any one of claims 1 to 11, characterized in that it is formed as a turbomolecular pump.
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