JP6152557B2 - フレキシブル電力センサー - Google Patents
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Description
1)簡易な構造;
2)外部ノイズに対する高電磁波耐性;
3)可能な限り電源内蔵型、すなわち超低電力消費型。
コア層は、高分子材料8によって取り囲まれた磁気コアシート9からなる。図2のコア5に対応する。磁気コアは、純鉄、パーマロイおよびほかの高透磁性磁気材料であってよい。磁気コアは、例えばシート形状といった、所望の寸法と形状に製造される。それに応じて、高分子シートは機械加工され、スルーホールまたは止まり穴に製造された磁気コアが挿入されることが出来るように形成される。優秀な機械的性質と、熱安定性のため、ポリイミドシートが推奨される。もちろん、他の高分子材料も使用できる。PIシートは50〜2000μm厚さである。したがって、コア層の厚さは10〜2000μmの範囲内にある。
最上層は、高分子材料から作製される層10と、銅の層11とから成る。高分子材料から作製される層は、ポリイミド(PI)シートが推奨される。PIシート層9がコア層に接合される。PIシートにおいて、波構造が製造される。波構造は、領域全体ではなく、局所的に形成される(図3(a)参照)。波構造はフォトリソグラフィーおよびインプリント技法によって形成されることが出来る。ここでは、例えば、熱インプリント技法が使用され、インプリント温度は280℃である。低い圧迫力が必要なため、インプリントモールドはSiで作られる。もちろん、ニッケルや、ガラスおよび金属を含むほかの材料も使用できる。UV感光PI材料を含むUV感光高分子材料を使用したUVインプリント技法も利用できる。図4は25μm厚の薄いPIシートに形成された波構造の例示の構造を示す。厚いPIシートを使用することも出来る。局所的な波構造の前処理のために、エッチングおよびほかのマイクロパターニング法を利用することが出来る。ここで、波構造は2つの特性を有する:(1)局所性(2)多方向性である。波の領域は、巻き線コイルの寸法から見積もられる。「局所性」という用語は、波構造は「内側(inside)」であることも示している。「内側」とは、最上層の内側に波構造が位置している状態を指す。最上層の内側に波構造が位置していなければ、あとのプロセスが困難になるであろう。波構造のトータルの高さは、波構造を形成する前の最上層の高さと同じか、低い。電流センサーが図1の配置(a)だけでなく配置(b)にも曲げられるように、多方向性である。PIシート層10が波構造を形成しているため、銅の層11も波構造を形成している。
底部層は、高分子材料から作製される層12と、銅の層13とから成る。高分子材料から作製される層は、ポリイミド(PI)シートが推奨される。PIシート層12がコア層に接合される。全厚さが140μmであるため、図3は、波構造がないことを示している。しかし、薄いセンサーでも、小さな曲げ半径でも、波構造は底部層として適用できる。波構造は「局所的」であるため、底部層作製以降の製作工程が底部層を波構造としたことの影響を受けない。
コア層を底部層および最上層で挟み、フレキシブルコイルを形成している。図3(a)に示すように、フレキシブルコイルの両端に、一定間隔でスルーホールもしくは止まり穴14が複数形成されており、スルーホールもしくは止まり穴は銅で埋められている。対抗するスルーホールもしくは止まり穴の内部の銅を互いに電気的に接続するように、底部層の銅の層は帯状にパターニングされている。最上層の、波構造を形成しているPIシート層および銅の層は、スルーホールもしくは止まり穴の1つずれて対向するホールの内部の銅を互いに電気的に接続するように、パターニングされている。スルーホールもしくは止まり穴14の内部の銅、底部層の銅の層13、および最上層の銅の層11によって、巻線が形成されている。
2 フレキシブルチップ
3 電流
4 フレキシブル基板
5 コア
6 フレキシブルコイル
7 アンテナ
8、18 高分子材料
9、17 磁気コア
10、12、19 高分子材料から作製される層
11、13、20、23 銅の層
14、21 スルーホールもしくは止まり穴
15 PIシート
16 Siモールド
22 銅
Claims (5)
- フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の上に、銅からなる第1の層と高分子材料から作製される第2の層とが順に形成された底部層と、
前記底部層の上に接合された高分子材料によって取り囲まれた磁気透過性のコアと、
前記コアの上に接合された最上層であって、高分子材料から作製される第3の層と銅からなる第4の層とが順に形成され、鉛直方向に波構造を有している最上層とを備え、
前記第1の層および前記第4の層とは、前記コアの長手方向とは垂直に帯状にパターニングされ、前記第1の層のパターンの一端と前記第4の層のパターンの一端とが、前記第2の層、前記コアを取り囲む高分子材料および前記第3の層を貫通する複数のスルーホールにより電気的に接続され、前記コアの周囲を取り巻く巻線が形成されて、フレキシブルコイルを成すことを特徴とするフレキシブル電流センサー。 - 前記波構造の波の高さは、前記最上層の厚さより小さいことを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル電流センサー。
- 前記第2の層および前記第3の層はポリイミドから作製されることを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブル電流センサー。
- 前記第1の層のパターンは、前記第1の層の鉛直方向に波構造を形成していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のフレキシブル電流センサー。
- 高分子材料から作製される第3の層の鉛直方向に波構造を形成するステップと、
高分子材料によって取り囲まれた磁気透過性のコアを、銅からなる第1の層と高分子材料から作製される第2の層とが順に形成された底部層の前記第2の層と、前記第3の層とにより挟んで接合するステップと、
前記第2の層、前記コアを取り囲む高分子材料および前記第3の層を貫通する複数のスルーホールを形成するステップと、
前記第3の層の上に、銅からなる第4の層を形成するステップとを備え、
前記第1の層および前記第4の層とは、前記コアの長手方向とは垂直に帯状にパターニングされており、前記第1の層のパターンの一端と前記第4の層のパターンの一端とが、前記スルーホールにより電気的に接続され、前記コアの周囲を取り巻く巻線が形成されて、フレキシブルコイルを成すことを特徴とするフレキシブル電流センサーを作製する方法。
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