JP6146281B2 - 気体漏れ検出装置 - Google Patents
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Description
一方のポートは、気体供給部に接続されている。一方のポートは、筒状の一方のポートハウジング、一方の弁部材、一方の突出部、及び、一方の付勢部材から形成されている。一方の弁部材は、一方のポートハウジングに往復移動可能に収容され、一方のポートハウジング内を一方の第1空間と一方の第2空間とに区画しつつ一方の第1空間と一方の第2空間とを連通可能な一方の連通路を有する。一方の突出部は、一方の弁部材の端面に設けられ一方の第2空間と外部とを連通する一方のポートハウジングの開口から外部に突出する。一方の付勢部材は、一方の連通路の一方の第2空間側の開口を形成する一方の弁部材の端面が一方のポートハウジングの内壁に当接し一方の第1空間と一方の第2空間とを遮断するよう一方の弁部材を付勢する。一方のポートは、、気体供給部が供給する気体が流通可能である。
他方のポートは、検査対象及び一方のポートに接続可能に設けられている。他方のポートは、筒状の他方のポートハウジング、他方の弁部材、他方の突出部、及び、他方の付勢部材から形成されている。他方の弁部材は、他方のポートハウジングに往復移動可能に収容され、他方のポートハウジング内を他方の第1空間と他方の第2空間とに区画しつつ他方の第1空間と他方の第2空間とを連通可能な他方の連通路を有する。他方の突出部は、他方の弁部材の端面に設けられ、他方の第2空間と外部とを連通する他方のポートハウジングの開口から外部に突出する。他方の付勢部材は、他方の連通路の他方の第2空間側の開口を形成する他方の弁部材の端面が他方のポートハウジングの内壁に当接し他方の第1空間と他方の第2空間とを遮断するよう他方の弁部材を付勢する。他方のポートは、一方のポートに接続すると気体供給部が供給する気体が流通可能である。
本発明の気体漏れ検出装置は、一方の突出部と他方の突出部との当接によって、一方の弁部材が一方のポートハウジングの内壁から離間し、かつ、他方の弁部材が他方のポートハウジングの内壁から離間すると、一方の第1空間と他方の第1空間が連通することを特徴とする。
検査対象の気密検査において、検査対象内に気体を供給するとき、弁部材に付勢部材の付勢力に抗する力を作用させ連通路を介して第1空間と第2空間とを連通する。また、気密性の検査を終了しポートを気体供給部または検査対象から外すとき、弁部材に作用する力を解除し第1空間と第2空間とを遮断する。これにより、第1空間に残留する気体がチャンバ内に排出されることを防止し、チャンバ内の気体濃度のバックグランドの上昇を防止する。したがって、検査対象の気密検査における検査対象からの気体の漏れを高精度に検出することができる。また、検出誤差によって検査対象の気密性の検査ミスを防止することができる。
本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置について、図1〜図7に基づいて説明する。気体漏れ検出装置1は、例えば、熱交換器の配管やラジエータなどの「検査対象」の気密性を検査する気密検査において用いられる。気体漏れ検出装置1は、「搭載部」としてのパレット10、「他方のポート」としての導入ポート15、チャンバ20、「濃度検出手段」としてのガスセンサ30、算出部35、制御部36、気体供給部40、「一方のポート」としての供給ポート45、ポンプ50、駆動部60など備える。なお、図1、図2(a)、及び図3(a)において、紙面の上側を「天」側、紙面の下側を「地」側とする。
摺動部171は、支持部166のポートハウジング16の内壁に固定されている側とは反対側の端部に設けられる。摺動部171は、支持部166の外壁と摺動可能なよう形成されている。
平板部172は、摺動部171の天側に設けられる。平板部172は、内径が内部空間162の内径より小さくなるよう形成されている。
シール部173は、略環状に形成され、平板部172の天側に設けられる。弁部材17が天側に移動するとき、シール部173は、端部164の内部空間162側の内壁に当接する。
平板部172の径方向外側の端面174及びシール部173の径方向外側の端面175とポートハウジング16の天地方向に形成される内壁163との間には内部空間162と通路151とを連通可能な連通路176が形成される。
第1ポートハウジング461は、筒状に形成されている。第1ポートハウジング461の一方の端部は供給管41と接続している。第1ポートハウジング461の他方の端部には第2ポートハウジング462が設けられている。第1ポートハウジング461は、一方の端部側から、通路463、464、内部空間465を有する。それぞれの内径は、通路463、通路464、内部空間465の順に大きくなるよう形成されている。通路463、464、及び、内部空間465は、特許請求の範囲に記載の「一方の第1空間」に相当する。
供給ポート45及び導入ポート15のこれらの動きにより、気体供給部40と熱交換器部品3とが、供給管41、通路463、464、内部空間465、溝471、通路451、151、連通路176、内部空間162、通路161、接続管13を介して接続する。
また、S113と並行して、S114において、熱交換器部品3内に封入されているヘリウムガスを大気に開放する。その後、S115において、熱交換器部品3内を減圧し、熱交換器部品3内に残留するヘリウムガスを排出する。その後、S116において、熱交換器部品3内を大気圧に戻す。
供給ポート45及び導入ポート15のこれらの動きにより、気体供給部40と熱交換器部品3とは遮断される。
最後に、S119において、チャンバ20内のパレット10が導出口202から外部に搬出される。
(ア)上述の実施形態では、気体供給部側とパレット側との両方にそれぞれ「ポート」としての供給ポート及び導入ポートが接続するとした。しかしながら、いずれか一方に「ポート」が設けられてもよい。
3 ・・・熱交換器部品(検査対象)、
13 ・・・接続管、
15 ・・・導入ポート(他方のポート)、
16 ・・・ポートハウジング(他方のポートハウジング)、
17 ・・・弁部材(他方の弁部材)、
19 ・・・スプリング(他方の付勢部材)、
20 ・・・チャンバ、
30 ・・・ガスセンサ(濃度検出手段)、
40 ・・・気体供給部、
45、75 ・・・供給ポート(一方のポート)、
46、76 ・・・ポートハウジング(一方のポートハウジング)、
47、77 ・・・弁部材(一方の弁部材)、
49 ・・・スプリング(一方の付勢部材)、
60 ・・・駆動部。
Claims (3)
- 気密性が検査される検査対象(3)の内部に封入された気体の漏れを検出する気体漏れ検出装置(1)であって、
前記検査対象を収容するチャンバ(20)と、
前記チャンバ内の特定の気体の濃度を検出し、気体の濃度に応じた信号を出力する濃度検出手段(30)と、
前記濃度検出手段が検出可能な気体を供給する気体供給部(40)と、
前記気体供給部に接続され、筒状の一方のポートハウジング(46)、前記一方のポートハウジングに往復移動可能に収容され前記一方のポートハウジング内を一方の第1空間(463、464、465)と一方の第2空間(451)とに区画しつつ前記一方の第1空間と前記一方の第2空間とを連通可能な一方の連通路(471、771)を有する一方の弁部材(47、77)、前記一方の弁部材の端面に設けられ前記一方の第2空間と外部とを連通する前記一方のポートハウジングの開口(467)から外部に突出する一方の突出部(48)、及び、前記一方の連通路の前記一方の第2空間側の開口(472)を形成する前記一方の弁部材の端面(473)が前記一方のポートハウジングの内壁(460)に当接し前記一方の第1空間と前記一方の第2空間とを遮断するよう前記一方の弁部材を付勢する一方の付勢部材(49)から形成され、前記気体供給部が供給する気体が流通可能な一方のポート(45、75)と、
前記検査対象及び前記一方のポートに接続可能に設けられ、筒状の他方のポートハウジング(16)、前記他方のポートハウジングに往復移動可能に収容され前記他方のポートハウジング内を他方の第1空間(161、162)と他方の第2空間(151)とに区画しつつ前記他方の第1空間と前記他方の第2空間とを連通可能な他方の連通路(181)を有する他方の弁部材(17)、前記他方の弁部材の端面に設けられ前記他方の第2空間と外部とを連通する前記他方のポートハウジングの開口(165)から外部に突出する他方の突出部(18)、及び、前記他方の連通路の前記他方の第2空間側の開口(177)を形成する前記他方の弁部材の端面(178)が前記他方のポートハウジングの内壁(160)に当接し前記他方の第1空間と前記他方の第2空間とを遮断するよう前記他方の弁部材を付勢する他方の付勢部材(19)から形成され、前記一方のポートに接続すると前記気体供給部が供給する気体が流通可能な他方のポート(15)と、
を備え、
前記一方の突出部と前記他方の突出部との当接によって、前記一方の弁部材が前記一方のポートハウジングの内壁から離間し、かつ、前記他方の弁部材が前記他方のポートハウジングの内壁から離間すると、前記一方の第1空間と前記他方の第1空間とが連通することを特徴とする気体漏れ検出装置。 - 前記連通路は、前記弁部材の径方向外側の外壁に溝状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の気体漏れ検出装置。
- 前記検査対象と接続し気体を前記検査対象内に供給する接続管(13)を有し、前記検査対象を搭載する搭載部(10)と、
前記濃度検出手段が出力する信号が入力され、入力される信号に基づいて気体濃度を算出する算出部(35)と、
前記算出部が算出する気体の濃度に基づいて、前記搭載部及び前記ポートの少なくとも一つの移動を制御する制御部(36)と、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の気体漏れ検出装置。
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