JP6144942B2

JP6144942B2 - 剥離フィルム

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Publication number: JP6144942B2
Application number: JP2013069510A
Authority: JP
Inventors: 実希高野; 知巳深谷
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-03-28
Filing date: 2013-03-28
Publication date: 2017-06-07
Anticipated expiration: 2033-03-28
Also published as: JP2014192504A

Description

本発明は、剥離フィルムに関するものである。

積層セラミックコンデンサの製造において、グリーンシートを形成するためにグリーンシート製造用剥離フィルムが用いられている。

グリーンシート製造用剥離フィルムは、一般に基材と剥離剤層とから構成される。このグリーンシート製造用剥離フィルム上に、セラミックス粒子とバインダー樹脂とが有機溶剤に分散、溶解したセラミックスラリーを塗工し塗工膜を形成し、当該塗工膜を乾燥することにより、グリーンシートは製造される。こうして製造されたグリーンシートは、グリーンシート製造用剥離フィルムから剥離して、積層セラミックコンデンサの製造に用いられる。

近年、高積層タイプのコンデンサではセラミック層が薄膜化しており、セラミックスラリー塗工時にスラリーのはじきやピンホールの発生等の不具合を生じる場合があった。

このような問題を解決するため、剥離剤層上にハジキ緩衝層を備えた剥離フィルムが開発されている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、このような剥離フィルムでは、十分な剥離性能を得るのが困難であった。また、近年の積層セラミックコンデンサに用いられるセラミックグリーンシートの薄膜化に伴い、剥離の際にセラミックグリーンシートに欠け等が生じるといった問題があった。特に、このような欠け等の発生は、セラミックグリーンシートの幅方向の端部（単に幅方向の端部ともいう）において顕著であった。これは、以下の理由によるものと考えられる。すなわち、剥離フィルムに塗布されたセラミックスラリーの幅方向の端部は、セラミックスラリーの表面張力により、乾燥工程中に他の部位よりも大きく収縮し、乾燥されたセラミックグリーンシートの幅方向の端部の膜厚が厚くなってしまう。グリーンシートが形成された剥離フィルムは、一般に、ロール状に巻かれた状態で保管、輸送されるが、このセラミックグリーンシートが形成された剥離フィルムを巻き出した際に、膜厚が厚くなった部分が剥離フィルム背面に密着し、セラミックグリーンシートの浮きが発生したり、セラミックグリーンシートに欠けが生じ、欠けた部分が工程内を汚染するという問題が生じてしまう。

特開２００３−３１８０７２号公報

本発明の目的は、グリーンシートを製造する際に、グリーンシートの端部の収縮を抑制することができ、グリーンシートに欠け等が発生するのを抑制することが可能な剥離フィルムを提供することにある。

このような目的は、下記（１）〜（３）の本発明により達成される。
（１）グリーンシートの製造に用いられる帯状の剥離フィルムであって、
帯状の基材と、
前記基材の一方の面の全面に形成された剥離剤層と、を有し、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に、形成すべきグリーンシートの幅方向の端部を包含する第１の領域と、形成すべきグリーンシートと接し、かつ、前記第１の領域とは異なる第２の領域と、を有し、
前記第１の領域の水に対する静的接触角をＸ［°］、前記第２の領域の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、４５≧Ｙ−Ｘ≧２９の関係を満足することを特徴とする剥離フィルム。

（２）前記第１の領域は、前記剥離剤層表面にコロナ処理を施すことにより形成される上記（１）に記載の剥離フィルム。

（３）剥離フィルムを平面視した際の、前記剥離フィルムの面積に対する前記第１の領域の面積の割合は、５〜４０％である上記（１）または（２）に記載の剥離フィルム。

本発明によれば、グリーンシートを製造する際に、グリーンシートの端部の収縮を抑制することができ、グリーンシートに欠け等が発生するのを抑制することが可能な剥離フィルムを提供することが可能となる。

本発明の剥離フィルムの好適な実施形態を示す横断面図である。本発明の剥離フィルムの好適な実施形態を示す平面図である。

以下、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
《剥離フィルム》
本発明の剥離フィルムは、グリーンシートの製造に用いられるものである。

図１は、本発明の剥離フィルムの好適な実施形態を示す横断面図、図２は、本発明の剥離フィルムの好適な実施形態を示す平面図である。

図１、図２に示すように、剥離フィルム１は、基材１１と、基材１１の一方の面に設けられた剥離剤層１２とを有している。

また、剥離フィルム１は、帯状をなしている。
また、剥離フィルム１は、図１、図２に示すように、剥離剤層１２の表面にグリーンシート２０を形成するものである。

また、図２に示すように、剥離剤層１２の表面に、第１の領域１２１を剥離フィルム１の幅方向の両端部に有し、第２の領域１２２を中央部に有している。

本発明の剥離フィルムは、剥離剤層１２の基材１１とは反対側の面が、形成すべきグリーンシート２０の幅方向の端部２１を包含する第１の領域１２１と、形成すべきグリーンシート２０と接し、かつ、第１の領域１２１とは異なる第２の領域１２２とを有し、第１の領域１２１の水に対する静的接触角が、第２の領域１２２の水に対する静的接触角よりも小さくなるよう構成されている点に特徴を有している。具体的には、第１の領域１２１の水に対する静的接触角をＸ［°］、第２の領域１２２の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、Ｙ−Ｘ≧１１の関係を満足する点に特徴を有している。

このような特徴を有することにより、グリーンシート２０の幅方向の端部２１の収縮（単に端部収縮ともいう）を抑制することができる。これは、以下の理由によるものと考えられる。すなわち、第１の領域１２１の水に対する静的接触角が、第２の領域１２２の水に対する静的接触角よりも小さくなることにより、セラミックスラリーの剥離剤層１２に対する濡れ性が、第２の領域１２２よりも第１の領域１２１のほうが高いものとなる。そのため、セラミックスラリーの表面張力による収縮が抑制される。その結果、形成されるグリーンシート２０の端部の膜厚が厚くなるのを防止することができる。

また、剥離フィルム１上に形成したグリーンシート２０は、第１の領域１２１よりも内側（例えば、図１中の破線の矢印の部分、図２中の一点破線で示した部分）の第２の領域１２２内で打ち抜かれ、剥離フィルム１から剥離される。この際、第２の領域１２２は、第１の領域１２１よりも剥離力が低いので、打ち抜いたグリーンシート２０を容易に剥離することができる。また、打ち抜いたグリーンシート２０を剥離する際には、剥離フィルム１上に残存する部分は、剥離するグリーンシート２０よりも剥離剤層１２との密着性（剥離力）が高いので、剥離フィルム１上に確実に残存し、打ち抜いたグリーンシート２０の剥離を阻害しない。

以下、本実施形態に係る剥離フィルム１を構成する各層について詳細に説明する。
＜基材＞
基材１１は、剥離フィルム１に、剛性、柔軟性等の物理的強度を付与する機能を有している。また、基材１１は、帯状をなしている。

基材１１は、いかなるもので構成されていてもよいが、主として、樹脂材料によって構成されることが好ましい。これにより、基材１１は、引裂きや破断に対する十分な耐性を有するとともに、十分な可撓性を有することができる。

基材１１を構成する樹脂材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリメチルペンテン、ポリスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリアミド、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂、シクロオレフィン樹脂等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

この中でも、樹脂材料として、ポリエステルを用いることが好ましく、ポリエチレンテレフタレートを用いることが特に好ましい。

基材１１の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０μｍであるのが好ましく、２０〜１２０μｍであるのがより好ましい。これにより、剥離フィルム１の柔軟性を適度なものとしつつ、剥離フィルム１の引裂きや破断に対する耐性を特に優れたものとすることができる。

＜剥離剤層＞
剥離剤層１２は、基材１１の全面に設けられている。

剥離剤層１２は、主として剥離剤によって構成され、剥離フィルム１に剥離性を付与する機能を有している。

剥離剤層１２の外表面（基材１１とは反対側の面）は、形成すべきグリーンシート２０の剥離フィルム１の幅方向の端部２１を包含する第１の領域１２１と、当該第１の領域１２１の内側の第２の領域１２２とを有している。

本実施形態では、第１の領域１２１は、剥離フィルム１の幅方向の端部近傍において、剥離フィルム１の長手方向に沿って連続的に形成されている。そして、第２の領域１２２は、両端部の第１の領域１２１に挟まれた領域に形成されている。

第１の領域１２１の水に対する静的接触角をＸ［°］、第２の領域１２２の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、Ｙ−Ｘ≧１１の関係を満足するものであるが、Ｙ−Ｘ≧１５の関係を満足するのがより好ましく、４５≧Ｙ−Ｘ≧２０の関係を満足するのがさらに好ましい。このような関係を満足することにより、形成するグリーンシート２０において端部収縮が発生するのをより効果的に抑制することができる。

第１の領域１２１の水に対する静的接触角は、具体的には、０〜９５°であるのが好ましく、５〜８０°であるのがより好ましい。これにより、形成するグリーンシート２０において端部収縮が発生するのをより確実に抑制することができる。

また、第２の領域１２２の水に対する静的接触角は、具体的には、１００〜１２０°であるのが好ましく、１００〜１１５°であるのがより好ましい。これにより、セラミックスラリーの塗工性と、グリーンシートの剥離性をより高いものとすることができる。

なお、本明細書において、静的接触角は、接触角計（協和界面科学社製、全自動接触角計「ＤＭ−７０１」）を用いて、液滴法により、温度２３℃、湿度５０％の条件下で測定した値を指す。

第１の領域１２１と第２の領域１２２は、いかなる方法で形成されたものであってもよいが、剥離剤層１２の表面の第１の領域１２１を形成すべき領域にコロナ処理を施すことにより形成するのが好ましい。これにより、第１の領域１２１と第２の領域１２２とを容易に形成することが可能となる。また、第１の領域１２１の静的接触角をより容易に調整することができる。

コロナ処理を施す際の放電量は、１５０〜１０００Ｗ・ｍｉｎ/ｍ^２であることが好ましく、２５０〜６００Ｗ・ｍｉｎ/ｍ^２であることがより好ましい。

剥離フィルム１を平面視した際の、剥離フィルム１の面積に対する第１の領域１２１（両端部の第１の領域１２１の合計）の面積の割合は、５〜４０％であることが好ましく、８〜３５％であることがより好ましい。これにより、剥離剤層１２表面を有効に活用することができ、より効率よくグリーンシート２０を製造することができる。

剥離剤層１２は、剥離剤を含む剥離剤組成物を用いて形成される。
剥離剤組成物としては、特には限定されないが、ポリオルガノシロキサンで構成された剥離剤を含むシリコーン系剥離剤組成物を用いるのが好ましい。

ポリオルガノシロキサンとしては、剥離剤層１２を形成することのできるものであればよく、例えば、付加反応型、縮合反応型のポリオルガノシロキサンを用いることができる。このようなポリオルガノシロキサンは、剥離剤層１２の形成時において、熱、光等のエネルギーが加えられることにより、重合反応することができる。この結果、シリコーン系剥離剤が好適に硬化して剥離剤層１２が形成される。中でも、付加反応型のポリオルガノシロキサンを用いることが好ましい。

付加反応型のポリオルガノシロキサンとしては、シリコーン系剥離剤の硬化時に付加反応することのできるポリオルガノシロキサンであれば特に限定されず、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基、オクテニル基、デセニル基等のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。

アルケニル基を有するポリオルガノシロキサンとしては、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有する、質量平均分子量２０，０００〜１，３００，０００のものを用いることが好ましい。

上記１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有する、質量平均分子量２０，０００〜１，３００，０００のポリオルガノシロキサンは、例えば、以下の一般式（Ｉ）で表される。
Ｒ^１Ｒ^２ _２ＳｉＯ（Ｒ_２ＳｉＯ）_ｍ（ＲＲ^１ＳｉＯ）_ｎＳｉＲ^２ _２Ｒ^１ ……（Ｉ）

式（Ｉ）中、Ｒは脂肪族不飽和結合を有しない同一または異種の一価炭化水素基、Ｒ^１は同一または異種のアルケニル基、Ｒ^２は、ＲまたはＲ^１であり、ｍおよびｎは自然数を表す。

式（Ｉ）中のＲは、炭素数１〜１２、特に炭素数１〜１０の一価炭化水素基であるのが好ましい。炭素数１〜１０の一価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基などが挙げられる。

また、式（Ｉ）中のＲ^１で示されるアルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基、オクテニル基、デセニル基等の炭素数２〜１０のものが挙げられる。

上記ポリオルガノシロキサンにおいて、ケイ素原子に直接結合した一価炭化水素基のうち、８０モル％以上がメチル基であることが好ましい。

また、シリコーン系剥離剤組成物は、架橋剤を含むことが好ましい。このような架橋剤によってポリオルガノシロキサンが架橋されることにより、ポリオルガノシロキサンが剥離剤層１２からグリーンシートへ移行することが防止され、グリーンシートが汚染されることが確実に防止される。また、剥離剤層１２の表面強度を特に優れたものとすることができるとともに、基材１１と剥離剤層１２との密着性が特に優れたものとなる。

架橋剤としては、例えば、単量体中にＳｉ−Ｈ結合を有するポリオルガノシロキサン、具体的には、ジメチルハイドロジェンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ポリ（メチルハイドロジェンシロキサン）、ポリ（ハイドロジェンシルセスキオキサン）等が挙げられ、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

シリコーン系剥離剤組成物における架橋剤は、ポリオルガノシロキサン：１００質量部に対し、０．１〜１００質量部含まれることが好ましく、０．３〜５０質量部含まれることがより好ましい。

また、シリコーン系剥離剤組成物は、上述したような成分に加え、他の成分を含んでいてもよい。例えば、シリコーン系剥離剤組成物は、密着向上剤、重合開始剤、安定剤、シリカ、染料、顔料等を含むものであってもよい。

この剥離剤層１２の厚さは、特に限定されないが、０．０１〜３μｍであるのが好ましく、０．０３〜１μｍであるのがより好ましい。

なお、本明細書において、質量平均分子量（Ｍｗ）とは、テトラヒドロフランを展開溶媒とするゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により、各剥離剤を測定し、ポリスチレン換算値として求めたものをいう。測定条件は以下の通りである。

ＧＰＣ測定装置：ＨＬＣ−８０２０（商品名、東ソー社製）
ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：ＴＳＫｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎＨＸＬ−Ｈ、ＴＳＫｇｅｌＧＭＨＸＬ（×２）、ＴＳＫｇｅｌＧ２０００ＨＸＬ（以上商品名、東ソー社製）
測定溶媒：テトラヒドロフラン測定温度：４０℃
以上、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態では、第１の領域が剥離フィルムの長手方向に沿って連続的に形成されているものとして説明したが、これに限定されず、断続的であってもよい。

また、例えば、第１の領域１２１と第２の領域１２２とで剥離剤層１２を構成する材料を異なるものとすることにより形成してもよい。

また、上述した実施形態では、第１の領域と第２の領域との境界が明確であるものとして説明したが、明確でなくてもよい。すなわち、第２の領域から第１の領域に向かって、水に対する静的接触角が徐々に小さくなるよう構成してもよい。

次に、本発明の剥離フィルムの具体的実施例について説明する。
［１］剥離フィルムの作製
（実施例１）
ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（質量平均分子量：１，１３０，０００、ビニル基含有量：０．２１ｍｍｏｌ／ｇ）とポリオルガノハイドロジェンシロキサンとを含有する付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液（固形分３０質量％、ビニル基の数に対するヒドロシリル基の数の比：２．７）１００質量部を、トルエンおよびメチルエチルケトンの混合液（質量比３：７）にて固形分濃度が１．５質量％になるように希釈し、さらに白金系触媒（東レ・ダウコーニング社製，ＳＲＸ−２１２）２質量部を添加混合して剥離剤組成物の溶液を得た。

幅３００ｍｍ、厚さ３１μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレート製の基材フィルム上に、剥離剤組成物の溶液を、乾燥後の膜厚が０．０９μｍとなるように全面に塗布した後、１２５℃で３０秒間乾燥および硬化反応を行わせて剥離剤層を形成した。

その後、剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に４００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ^２の放電量でコロナ処理を施して第１の領域および第２の領域を形成し、ロール状に巻回した剥離フィルムを作製した。

得られた剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する第１の領域の面積の割合は、１０％であった。

（実施例２）
剥離剤層の両端部から３０ｍｍまでの範囲にコロナ処理を行なって、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。なお、得られた剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する第１の領域の面積の割合は、２０％であった。

（実施例３）
剥離剤層の両端部から４５ｍｍまでの範囲にコロナ処理を行なって、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。なお、得られた剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する第１の領域の面積の割合は、３０％であった。

（実施例４）
剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に、２００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ^２の放電量でコロナ処理を施して、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。

（実施例５）
剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に、３００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ^２の放電量でコロナ処理を施して、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。

（比較例１）
コロナ処理を施さなかった以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。

（比較例２）
剥離剤層の全面にコロナ処理を行なった以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。

（比較例３）
剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に、１００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ^２の放電量でコロナ処理を施して、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。

各実施例および各比較例の第１の領域の面積の割合を表１に示した。
また、各実施例および各比較例の剥離フィルムを作製後、温度２３℃、相対湿度５０％の条件で７日間養生した後、第１の領域および第２の領域の水に対する静的接触角を測定した。その結果を表１に示した。なお、比較例１については、剥離剤層表面の水に対する静的接触角を第２の領域の欄に記載し、比較例２については、剥離剤層表面の水に対する静的接触角を第１の領域の欄に記載した。

［２］評価
以上のようにして得られた剥離フィルムに関して、以下のような評価を行った。

［２．１］端部収縮評価
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３；堺化学工業社製，ＢＴ−０２）１００質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール（積水化学工業社製，エスレックＢ・ＫＢＭ−２）８質量部および可塑剤としてのフタル酸ジオクチル（関東化学社製，フタル酸ジオクチル鹿１級）４質量部に、トルエンおよびエタノールの混合液（質量比６：４）１３５質量部を加え、ボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。

各実施例および比較例にて製造してから常温で２４時間保管した剥離フィルム（幅：３００ｍｍ）の剥離剤層表面に、上記セラミックスラリーを乾燥後の膜厚：３μｍ、幅：２９０ｍｍになるようにダイコーターを用いて均一に塗工し、その後、乾燥機にて８０℃で１分間乾燥させた。このようにして、グリーンシート付剥離フィルムを３００ｍ製造した。

得られたグリーンシート付剥離フィルムの３００ｍにおいて、幅方向端部に端部収縮が発生したかどうかを、下記式により端部収縮幅を算出し、下記基準により評価した。結果を表１に示した。

端部収縮幅＝（セラミックスラリーの塗工幅）−（形成したグリーンシートの幅）
○：端部収縮幅が２ｍｍ未満（良好）
△：端部収縮幅が２ｍｍ以上５ｍｍ未満（使用可）
×：端部収縮幅が５ｍｍ以上（不良）

［２．２］剥離力評価
端部収縮評価と同様にして得られたグリーンシート付剥離フィルムを、温度２３度、湿度５０％の雰囲気下に２４時間静置した後、第１の領域以外の部分から１２０ｍｍ×４０ｍｍの大きさのサンプルを採取し、４０ｍｍの辺に、グリーンシート面側から長さ４０ｍｍのアクリル粘着テープ（日東電工社製，３１Ｂテープ）を貼付して試験片とした。

この試験片の剥離フィルム面側を平板に固定し、アクリル粘着テープを貼付した端辺側を下側にして９０°に傾け、剥離試験機（島津製作所社製，ＡＧ−１Ｓ５００Ｎ）に設置した。

そして、アクリル粘着テープを貼付した端辺の剥離フィルムをグリーンシートから剥がし、アクリル粘着テープ側を剥離試験機の治具に取り付けた。この状態にて、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎでアクリル粘着テープを垂直上方向に引っ張り、剥離フィルムからグリーンシートを剥がしたときの剥離力（ｍＮ／４０ｍｍ）を測定した。

測定した剥離力が１５ｍＮ／１００ｍｍ未満のものを「○」（良好）、１５ｍＮ／１００ｍｍ以上のものを「×」（不良）として評価した。結果を表１に合わせて示す。

［３］評価結果
表１から明らかなように、本発明の剥離フィルムは、グリーンシートの端部収縮を効果的に抑制することができるものであった。また、本発明の剥離フィルムは、成膜されたグリーンシートの剥離性に優れるものであった。これに対して、比較例では満足な結果が得られなかった。

１剥離フィルム
１１基材
１２剥離剤層
１２１第１の領域
１２２第２の領域
２０グリーンシート
２１グリーンシートの幅方向の端部

Claims

グリーンシートの製造に用いられる帯状の剥離フィルムであって、
帯状の基材と、
前記基材の一方の面の全面に形成された剥離剤層と、を有し、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に、形成すべきグリーンシートの幅方向の端部を包含する第１の領域と、形成すべきグリーンシートと接し、かつ、前記第１の領域とは異なる第２の領域と、を有し、
前記第１の領域の水に対する静的接触角をＸ［°］、前記第２の領域の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、４５≧Ｙ−Ｘ≧２９の関係を満足することを特徴とする剥離フィルム。
前記第１の領域は、前記剥離剤層の表面にコロナ処理を施すことにより形成される請求項１に記載の剥離フィルム。
剥離フィルムを平面視した際の、前記剥離フィルムの面積に対する前記第１の領域の面積の割合は、５〜４０％である請求項１または２に記載の剥離フィルム。