JP6139325B2 - 切削ブレードの摩耗検査方法 - Google Patents
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Description
3 撮像手段
11 検査用試料の表面
12 切削溝
16 切削溝画像
31 ウェーハの表面
32 ウェーハの裏面
33 面取り部
35 仕上げ厚みの裏面
36 ウェーハの外周面
d1 切り込み量
d2 差し引いた量
L1 切削溝幅
L2 基準厚み
S 検査用試料
t1 仕上げ厚み
W ウェーハ
Claims (1)
- 基準厚みを有する円環状の切削ブレードをウェーハの外周部分に表面側から所定切り込み量切り込ませるとともにウェーハを回転させてウェーハの外周部分を円形に切削加工した後に、ウェーハの裏面側から研削をして所定仕上げ厚みに薄化するウェーハの加工方法において使用する該切削ブレードの摩耗を検査する切削ブレードの摩耗検査方法であって、
該切削ブレードを検査用試料に対して該所定切り込み量から該所定仕上げ厚みに相当する量を差し引いた切り込み量で切り込み、該検査用試料の表面に該切削ブレードの外形形状を転写した切削溝を形成して、該切削溝を含む領域を撮像手段で撮像し切削溝画像を取得する切削溝画像取得工程と、
該切削溝画像取得工程の後に、該切削溝画像から画像処理により切削溝幅を測定する切削溝幅測定工程と、
該切削溝幅測定工程において測定した該切削溝幅が切削ブレードの該基準厚みと同等であるか否かを判定する判定工程と、
該判定工程において該切削溝幅が該切削ブレードの該基準厚みを下回った場合に同等でないと判定し、報知する報知工程と、
を備えることを特徴とする切削ブレードの摩耗検査方法。
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