JP6128733B2 - 発光検出デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、上記の発光検出デバイスを製造する方法を提供することを目的とする。
二つの基板を貼り合わせて構成される流路を有し、該流路からの発光を検出するための発光検出デバイスであって、流路の壁面の一部となる凹部と、該凹部以外の領域上に配置された遮光膜と、が配置された貼り合わせ面と、その裏面に配置され、該流路からの発光を透過して検出するための検出面と、を有する検出側基板と、該検出側基板と張り合わせる平担面を有し、当該平担面から凸の厚みを有する導電パターンが配置されている配線側基板と、が互いに貼り合わせて構成されており、前記遮光膜が配置された領域において、前記導電パターンの有無に応じて異なる厚みを有する接着材が接着層として配置され、該接着材によって、前記検出側基板と前記配線側基板とが接合し、前記導電パターンが前記遮光膜が配置された領域を超えて流路側に伸びて配置され、且つ該接着層が前記流路の壁面の一部を構成することを特徴とする。
を有し、前記発光検出デバイスは、前記遮光膜が配置された領域において、前記導電パターンの有無に応じて異なる厚みを有する接着材が接着層として配置され、該接着材によって、前記検出側基板と前記配線側基板とが接合し、前記導電パターンが前記遮光膜が配置された領域を超えて流路側に伸びて配置され、且つ該接着層が前記流路の壁面の一部を構成することを特徴とする。
発光検出デバイスの上面からの観察図を(a)に、各パターンの配置を説明するために、遮光膜を透視した状態を(b)に、流路を含む断面を(c)から(e)に示す。(c)は流路と直交する方向にみた断面図で、(d)は流路に沿う方向における流路を含んだ断面図、(e)は流路に沿った方向における流路の間の断面を観察した図である。
検出側基板16は、流路の壁面の一部となる凹部と、該凹部以外の領域上に配置された遮光膜と、が配置された貼り合わせ面と、その裏面の該流路からの発光を透過して検出するための検出面と、を有している。
これにより、流路3となる凹部9を形成した検出側基板16の検出面6より投受光を行うことができる。
これらの基板材料は、それぞれ同じ材料で構成しても、互いに異なっていても良い。
石英の代わりに、光透過性等、同等の機能を有する材料であれば置換可能である。例えばパイレックス(登録商標)(商品名)、テンパックス(商品名)が挙げられる。
金属パターンの厚み分の段差を有したまま両基板を密着させると、流路の途中で段差による隙間が生じてしまう。
隙間からの試薬の流出(または流入)は流路間で液体汚染を招く場合がある。また圧力により流路内の液体の移動を行う系においては、移動の制御に支障が出る場合があるので、特に避けなければならない。
これにより、測定した蛍光量は、試薬の温度が何度の時に発光したものかを知ることができる。
特に、流路直下にヒーター部材5をパターニングすることで、より正確な温度を測定することができる。
次に、本発明に係る発光検出デバイスを製造方法について説明する。
製造手順の説明はチップ単体での断面を元に行うものの、実際にはウエハ形態で複数のチップを同時に製造するとよい。最後にウエハから切り出したところで個々の発光検出デバイスとなる。
両基板の加工が完了したところで、流路3となる凹部9が加工された基板側に接着剤7を塗布する。製造の簡便性を考慮すると、接着材7は、凹部9が加工された基板側に塗布するのが好ましい。これは、接着領域と被接着領域とを決めているのは流路3となる凹部9であるためである。
ただし、均一な厚みで接着剤を基板表面に配置し、接合時に圧力を印加することで基板間の接着材を流動させ、凹凸の隙間を埋めるように接着剤を配置し、基板同士を密着接合させることもできる。
例えば、表面凹凸の最大高低差(A)に対して、充填される接着材の最大厚みが2倍以上(2×A以上)1000倍未満(1000×A未満)の厚みとなるように接着材を配置すると良い。好ましくは、100倍未満である。2倍以下であると基板同士の接着性が低下する場合があり、1000倍以上になると接着時に流路側に流出して蛍光検出に影響がでる場合がある。
接着材の厚みは、形成する流路の高さに応じて適宜設定すれば良いが、例えば最薄部の厚みが0.1μm以上が好ましく、1μm以上が好ましい。また最厚部の厚みは、1.1μmから2.0mm以下となるように接着材が配置されることが好ましい。
例えば、エポキシ樹脂系接着材、ウレタン樹脂系接着剤、不飽和ポリエステル樹脂系接着剤、フェノール樹脂系接着材、アクリル樹脂系接着剤、スチレン系樹脂接着材、あるいはメラミン樹脂系接着剤などから適宜選択される。
この方法によっても、流路パターンと一致したパターンで遮光膜が除去されて残る。この場合、基板の材料はウエットエッチングができれば石英に限るものではない。
本発明の発光検出デバイスは、特に生化学反応に伴い流路内で発光する現象を利用する発光検出に利用できる。特に、核酸のPCRによる増幅を、蛍光により分析する方法に適用できる。具体的な蛍光検出手段や、流路の液体の制御手段などは、公知の方法を採用することができ、例えば特表2009−542207号公報に記載されるような発光検出デバイスを用いたシステムを構築することができる。
本実施例においては、図1に示すような発光検出デバイスを作成した。検出側基板として、試薬の導入と排出を担う導入排出口8をそれぞれにもつ流路3を2つ作成し、対応する配線側基板の流路3の中央部にはヒーター部材5として白金をパターニングした。
具体的には、配線側基板である石英基板に、蒸着装置を用いて白金のパターン5、金のパターン4をパターニングし、流路3との位置関係が図1(b)のようになるように配置した。白金のパターン5に接続した金のパターン4は流路3を横切るようにパターニングし、流路基板が貼り合わさない部分にて電気的導通を確保するためのパット2を形成した。金のパターンの厚みは、約0.4μmであった。
続いて、樹脂接着材7(SB接合膜、山中セミコンダクター社製)を、凹部9が加工された基板、すなわち検出側基板に塗布した。
接着剤塗布後はウエハとしての基板16および17同士を不図示の位置合わせマークを使って相対位置を調整し、接合した。接合後、個々に切り分け、発光検出デバイスを完成させた。
完成したデバイスの流路にポンプを用いて液体を流したところ、液体の漏れ等は発生せず、良好な送液が観測された。
また、流路に光を照射し、検出面から発光を観測したところ、接着材による蛍光発光は観測されなかった。
本実施例では、石英基板を用いて、実施例1のドライエッチングの代わりに、ウエットエッチングを行った。
実施例1と同様に、石英基板上に、蒸着装置を用いて金属Cr膜の遮光膜を形成した。
つづいて、ウェットエッチングを用いて、流路となる凹部を石英基板上に加工した。ウエットエッチングでは等方的にエッチングが進むためにエッチングパターンを決めるCrパターンの端にアンダーカット部12が生じた(図3)。土台を失ったCr膜が剥がれパーティクルになることを避けるため、超音波を当てて、土台を失ったCr膜部分を除去した。
ただし、本実施例でもヒーター部材と導電パターンは、上記処理をしていない平坦基板側に加工したので、凹部を形成する上記基板は投受光波長に対して透明である必要がある。
本実施例では図4に示すように、遮光膜のCr膜13の表面に酸化Cr膜14を、白金5、金4の金属パターンの表面にはSiO2膜15を成膜した。これ以外の作成は、実施例1と同様の方法で行った。
本実施例では図9に示すように、遮光膜のCr膜21を導入排出口28の近傍を除去した。そして図10に示すように樹脂で構成されたインターフェースモジュール30と発光検出デバイス20を表面接着層29によって一体化して組み立てた。インタフェースモジュール30は検出面6からの蛍光を観察するための窓31が空間として構成されていて、かつ溶液を導入するための開口部(32、33)と流路を持っている。
3 流路
4 導電パターン
5 ヒータ部材
6 検出面
7 接着剤
16 検出側基板
17 配線側基板
20 発光検出デバイス
31 窓
34 流路
Claims (12)
- 二つの基板を貼り合わせて構成される流路を有し、該流路からの発光を検出するための発光検出デバイスであって、
流路の壁面の一部となる凹部と、該凹部以外の領域上に配置された遮光膜と、が配置された貼り合わせ面と、その裏面に配置され、該流路からの発光を透過して検出するための検出面と、を有する検出側基板と、
該検出側基板と張り合わせる平担面を有し、当該平担面から凸の厚みを有する導電パターンが配置されている配線側基板と、
が互いに貼り合わせて構成されており、
前記遮光膜が配置された領域において、前記導電パターンの有無に応じて異なる厚みを有する接着材が接着層として配置され、該接着材によって、前記検出側基板と前記配線側基板とが接合し、前記導電パターンが前記遮光膜が配置された領域を超えて流路側に伸びて配置され、且つ該接着層が前記流路の壁面の一部を構成していることを特徴とする発光検出デバイス。 - 前記配線側基板の流路を構成する領域に、ヒーター部材が配置されている請求項1に記載の発光検出デバイス。
- 前記ヒーター部材が、前記流路の伸長方向に長尺なヒーター部材である請求項2に記載の発光検出デバイス。
- 少なくとも接着剤が配置される部位において、前記導電パターン上に絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の発光検出デバイス。
- 前記流路の出入り口と接続する接続部と、該接続部と接続する流路、及び該流路に連通する開口を有するインターフェースモジュールを有し、該インターフェースモジュールと、前記発光検出デバイスとが、接続部で接着材によって接合している請求項1に記載の発光検出デバイス。
- 発光検出デバイスの流路出入り口近傍には、遮光膜が配置されていない請求項5に記載の発光検出デバイス。
- 発光検出デバイスの製造方法であって、
光透過性の基板に遮光膜を形成する工程と、
該基板の前記遮光膜を流路パターンに対応するようにパターンニングする工程と、
該遮光膜をマスクに前記基板をエッチングして、凹部と該凹部以外の領域に遮光膜を有する表面とを形成する工程と、
前記凹部以外の領域に接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤を介して、前記基板と張り合わせる平担面を有し、当該平担面から凸の厚みを有する導電パターンが配置されている配線側基板を貼り合わせる工程と、
を有し、前記発光検出デバイスは、前記遮光膜が配置された領域において、前記導電パターンの有無に応じて異なる厚みを有する接着材が接着層として配置され、該接着材によって、前記検出側基板と前記配線側基板とが接合し、前記導電パターンが前記遮光膜が配置された領域を超えて流路側に伸びて配置され、且つ該接着層が前記流路の壁面の一部を構成することを特徴とする発光検出デバイスの製造方法。 - 前記遮光膜が金属クロム膜であり、前記基板が無機ガラス材料である請求項7に記載の発光検出デバイスの製造方法。
- 請求項8に記載の製造方法において、前記エッチングがウエットエッチングであり、該エッチング後に超音波を照射して凹部上に突出した金属クロム膜を除去する工程をさらに有することを特徴とする発光検出デバイスの製造方法。
- 前記検出側基板の遮光膜が配置された貼り合わせ面と、前記配線側基板の前記平坦面との間を充填し、且つ前記導電パターンの厚みにより生じる段差の隙間を充填するように、前記接着層が配置されている請求項1から6のいずれかに記載の発光検出デバイス。
- 前記配線側基板の表面凹凸の最大高低差(A)に対して、前記接着層として充填される接着材の最大厚みが2倍以上(2×A以上)1000倍未満(1000×A未満)の厚みである請求項10に記載の発光検出デバイス。
- 前記接着層の最厚部の厚みが、1.1μmから2.0mm以下である請求項11に記載の発光検出デバイス。
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