JP6126436B2 - Baseless silicone double-sided tape - Google Patents

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Description

本発明は、基材レスシリコーン両面テープに関する。   The present invention relates to a substrate-less silicone double-sided tape.

近年、表示デバイスの製造分野、半導体関連部材の製造分野、電気・電子部品の製造分野などにおいて、２枚の部材（かかる部材として、ガラス基板、シリコンウエハなどが例示される。）を粘着剤で貼り合わせ、得られた、部材／粘着剤／部材からなる積層体の一方の面に加工を施す場合がある。そのような加工として、製膜（ドライ、ウエット）加工、エッチング加工、サンドブラスト加工、ケミカルエッチング処理などが例示される。   In recent years, in the display device manufacturing field, the semiconductor-related member manufacturing field, the electrical / electronic component manufacturing field, and the like, two members (such as a glass substrate and a silicon wafer are exemplified as such members) with an adhesive. There is a case where one surface of the laminated body composed of the member / adhesive / member obtained by pasting is processed. Examples of such processing include film formation (dry, wet) processing, etching processing, sand blast processing, chemical etching processing, and the like.

このような用途に使用される粘着剤の例として、特許文献１には、剥離紙用シリコーンの硬化物を利用することが開示されている。また、特許文献２には、シリコーン粘着層、基材、及び減粘層が順に積層されてなる両面テープが開示されている。   As an example of the pressure-sensitive adhesive used for such applications, Patent Document 1 discloses using a cured product of silicone for release paper. Patent Document 2 discloses a double-sided tape in which a silicone adhesive layer, a base material, and a viscosity reducing layer are sequentially laminated.

国際公開第２００８／１１１３６１号International Publication No. 2008/111361 特開２０１２−０５７０２９号公報JP 2012-057029 A

しかし、特許文献１の剥離紙用シリコーンの硬化物では、ガラスとの接着性が十分とは言えず、作業工程中に剥がれてしまう場合がある。また、作業終了後、剥がす際にもどちらのガラスに前記硬化物を残すのか選択することができないという問題点を有している。一方、特許文献２の両面テープは、特許文献１の問題点は解決しているものの、製造コストが高くなるうえ、非常に高温で使用する場合には、減粘層の熱劣化に問題点を有している。   However, the cured product of silicone for release paper of Patent Document 1 cannot be said to have sufficient adhesion to glass, and may be peeled off during the work process. In addition, there is a problem in that it is not possible to select which glass to leave the cured product when peeling off after the work is finished. On the other hand, although the double-sided tape of Patent Document 2 solves the problems of Patent Document 1, the manufacturing cost is high, and when it is used at a very high temperature, there is a problem in the thermal deterioration of the thinning layer. Have.

本発明は、かかる現状を鑑み、２つの部材の貼り合わせに用いた後、これらの部材を分離させるときに、所望の一方の部材から粘着剤を残着なく選択的に剥離することができる粘着剤層を備えた基材レスシリコーン両面テープを提供することを課題とする。   In view of the present situation, the present invention is a pressure-sensitive adhesive that can be selectively peeled off without leaving a desired adhesive when separating these members after being used for bonding two members. It is an object of the present invention to provide a baseless silicone double-sided tape provided with an agent layer.

上記目的を達成するために提供される本発明は、第１に、第１の剥離シート、シリコーン系粘着剤組成物から形成された粘着剤層、および第２の剥離シートがこの順で配置された積層体の構成を備える基材レスシリコーン両面テープであって、前記粘着剤層の２つの主面の粘着力の差は２ｍＮ／２５ｍｍ以上２０ｍＮ／２５ｍｍ以下であって、前記粘着剤層における粘着力が高い方の主面の粘着力は７００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることを特徴とする基材レスシリコーン両面テープを提供する（発明１）。   In the present invention provided to achieve the above object, first, a first release sheet, an adhesive layer formed from a silicone-based adhesive composition, and a second release sheet are arranged in this order. A base-less silicone double-sided tape having a laminated structure, wherein a difference in adhesive force between two main surfaces of the adhesive layer is 2 mN / 25 mm or more and 20 mN / 25 mm or less, and the adhesive in the adhesive layer Provided is a base-less silicone double-sided tape characterized in that the adhesive force of the main surface having the higher force is 700 mN / 25 mm or less (Invention 1).

上記発明（発明１）において、前記第１の剥離シートおよび前記第２の剥離シートの少なくとも一方は、支持体の少なくとも一方の主面にフッ素系の剥離剤を塗布することにより形成されたものであることが好ましい（発明２）。   In the above invention (Invention 1), at least one of the first release sheet and the second release sheet is formed by applying a fluorine-based release agent to at least one main surface of the support. There is preferably (Invention 2).

上記発明（発明１，２）において、前記シリコーン系粘着剤組成物は、シロキサン結合を主骨格としアルケニル基を含有する付加型のオルガノポリシロキサンを構成成分として含むシリコーンゴムと、前記シリコーンゴム１００質量部あたり０．０１質量部以上３質量部以下の白金触媒と、前記シリコーンゴム１００質量部あたり１５質量部以上１００質量部以下のシリコーンレジンとを含むことが好ましい（発明３）。   In the above inventions (Inventions 1 and 2), the silicone pressure-sensitive adhesive composition comprises a silicone rubber containing an addition-type organopolysiloxane having a siloxane bond as a main skeleton and an alkenyl group as a constituent component, and 100 masses of the silicone rubber. It is preferable that 0.01 parts by mass or more and 3 parts by mass or less platinum catalyst per part and 15 parts by mass or more and 100 parts by mass or less silicone resin per 100 parts by mass of the silicone rubber (Invention 3).

本発明に係る基材レスシリコーン両面テープが備える粘着剤層は、基材レスの粘着剤層でありながら、一方の主面の粘着力の他方の主面の粘着力に対する差が所定の範囲に設定され、かつ、相対的に粘着力の高い方の主面の粘着力の上限が規定されている。しかも、粘着剤層はシリコーン系粘着剤組成から形成されたものである。それゆえ、かかる粘着剤層により２つの部材を貼り合わせる際に、粘着剤層における相対的に粘着力が低い方の主面を、粘着剤の残着を望まない方の部材の一の面に貼付することで、２つの部材を分離させたときに、その部材と粘着剤層との界面での分離を優先的に生じさせることができる。   Although the adhesive layer with which the base-material-free silicone double-sided tape which concerns on this invention is a base material-less adhesive layer, the difference with respect to the adhesive strength of the other main surface of the adhesive force of one main surface is in a predetermined range. The upper limit of the adhesive strength of the main surface which is set and has a relatively high adhesive strength is defined. Moreover, the pressure-sensitive adhesive layer is formed from a silicone-based pressure-sensitive adhesive composition. Therefore, when two members are bonded together with the pressure-sensitive adhesive layer, the main surface of the pressure-sensitive adhesive layer that has a relatively low adhesive strength is replaced with one surface of the member that does not require the adhesive to remain. By sticking, when two members are separated, separation at the interface between the member and the pressure-sensitive adhesive layer can be preferentially caused.

したがって、２つの部材が貼り合わされてなる積層体の一方の部材に加工が施される場合には、粘着剤層における相対的に粘着力が低い方の主面を、その加工が施される部材の一の面に貼付することにより、その加工が施されている間はその部材と粘着剤層との剥離が生じにくく、加工後に２つの部材を分離させた後に、その加工が施された部材の面に残着した粘着剤を取り除く作業が必要とされないため、その加工に関連する作業全体の効率を向上させることができる。   Therefore, when processing is performed on one member of a laminated body in which two members are bonded together, the main surface of the pressure-sensitive adhesive layer having a relatively low adhesive force is processed on the main surface. By sticking to one surface, the member and the pressure-sensitive adhesive layer are unlikely to peel off while being processed, and after the two members are separated after processing, the member subjected to the processing Since the operation of removing the adhesive remaining on the surface of the material is not required, the efficiency of the entire operation related to the processing can be improved.

本発明の一実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the base material less silicone double-sided tape which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について説明する。
１．基材レスシリコーン両面テープ
図１に示されるように、本発明の一実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０は、シリコーン系粘着剤組成物から形成された粘着剤層１のそれぞれの主面１Ａ，１Ｂに、フッ素系の剥離剤に基づく剥離処理層２ａ，２ｂの面からなる剥離面２Ａ，２Ｂを有する剥離シート（第１の剥離シート２、第２の剥離シート３）を貼り合わせたものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
1. Substrate-less silicone double-sided tape As shown in FIG. 1, a substrate-less silicone double-sided tape 10 according to an embodiment of the present invention is a main surface of each pressure-sensitive adhesive layer 1 formed from a silicone-based pressure-sensitive adhesive composition. 1A and 1B were bonded with release sheets (first release sheet 2 and second release sheet 3) having release surfaces 2A and 2B composed of surfaces of release treatment layers 2a and 2b based on a fluorine-based release agent. Is.

（１）粘着剤層
（１−１）組成
本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１は、次に説明する成分を含有するシリコーン系粘着剤組成物から形成されたものである。シリコーン系粘着剤組成物は他の種類の粘着剤組成物、例えばアクリル系の粘着剤組成物に比べて耐熱性に優れるため、シリコーン系粘着剤組成物から形成された粘着剤層１は、加熱されたときに浮き、剥がれ、発泡といった不具合が生じにくい。 (1) Pressure-sensitive adhesive layer (1-1) Composition The pressure-sensitive adhesive layer 1 included in the base-material-free silicone double-sided tape 10 according to this embodiment is formed from a silicone pressure-sensitive adhesive composition containing the components described below. Is. Since the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition is superior in heat resistance as compared with other types of pressure-sensitive adhesive compositions, for example, acrylic pressure-sensitive adhesive compositions, the pressure-sensitive adhesive layer 1 formed from the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition is heated. It is difficult to cause problems such as floating, peeling and foaming.

本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物は、シロキサン結合を主骨格としアルケニル基を有する付加型のオルガノポリシロキサンを構成成分として含むシリコーンゴムを含有することが好ましい。かかるシリコーンゴムを含有することにより、粘着剤層１の粘着力を比較的低くすることが可能となる。それゆえ、被着体から粘着剤層１を容易に剥離することが可能であり、かつ、粘着剤層１の凝集破壊に基づく粘着剤層１を構成する材料の被着体への残着を極めて僅少にすることができる。   The silicone-based pressure-sensitive adhesive composition according to this embodiment preferably contains a silicone rubber containing an addition-type organopolysiloxane having a siloxane bond as a main skeleton and an alkenyl group as a constituent component. By containing such silicone rubber, the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer 1 can be made relatively low. Therefore, the pressure-sensitive adhesive layer 1 can be easily peeled from the adherend, and the material constituting the pressure-sensitive adhesive layer 1 based on the cohesive failure of the pressure-sensitive adhesive layer 1 can be adhered to the adherend. It can be very small.

前記アルケニル基の具体例として、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基等が挙げられる。さらに、付加反応性を有さない有機基を有していてもよい。そのような有機基の具体例として、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、フェニル基等などのアリール基などが挙げられる。   Specific examples of the alkenyl group include an allyl group, a propenyl group, a butenyl group, a pentenyl group, a hexenyl group, a heptenyl group, and an octenyl group. Furthermore, you may have the organic group which does not have addition reactivity. Specific examples of such an organic group include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, and propyl group, and aryl groups such as phenyl group.

上記のシリコーンゴムに含まれるオルガノポリシロキサンの重合度は特に制限されないが、通常５００以上１００００以下、さらには２０００以上８０００以下であることが好ましい。   The degree of polymerization of the organopolysiloxane contained in the silicone rubber is not particularly limited, but is usually 500 or more and 10,000 or less, more preferably 2000 or more and 8,000 or less.

本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物は白金触媒を含有することが好ましい。この白金触媒は、上記のアルケニル基の付加反応を開始させる機能や当該付加反応を促進する機能を有する。この白金触媒の種類として、白金黒、塩化第２白金、塩化白金酸、塩化白金酸と１価アルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン類との錯体、白金ビスアセトアセテート等を例示することができる。本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物が上記のシリコーンゴムおよび白金触媒を含有する場合には、白金触媒のシリコーン系粘着剤組成物中の含有量は、シリコーンゴム１００質量部あたり０．０１質量部以上３質量部以下とすることが好ましい。この範囲とすることで、白金触媒の機能が安定的に発揮される。白金触媒の機能をより安定的に発揮させる観点から、シリコーン系粘着剤組成物中の白金触媒の含有量は、シリコーンゴム１００質量部あたり０．０５質量部以上２．００質量部以下であることがより好ましく、０．１０質量部以上１．００質量部以下であることが特に好ましい。   The silicone-based pressure-sensitive adhesive composition according to this embodiment preferably contains a platinum catalyst. This platinum catalyst has a function of initiating the addition reaction of the alkenyl group and a function of promoting the addition reaction. Examples of the platinum catalyst include platinum black, secondary platinum chloride, chloroplatinic acid, a reaction product of chloroplatinic acid and a monohydric alcohol, a complex of chloroplatinic acid and an olefin, platinum bisacetoacetate, etc. Can do. When the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition according to this embodiment contains the silicone rubber and the platinum catalyst, the content of the platinum catalyst in the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition is 0.01 per 100 parts by mass of the silicone rubber. It is preferable to set it as 3 to 3 mass parts. By setting it as this range, the function of a platinum catalyst is exhibited stably. From the viewpoint of more stably exerting the function of the platinum catalyst, the content of the platinum catalyst in the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition is 0.05 parts by mass or more and 2.00 parts by mass or less per 100 parts by mass of the silicone rubber. Is more preferable, and 0.10 parts by mass or more and 1.00 parts by mass or less is particularly preferable.

本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物は、シリコーンレジン、すなわち、分子中に分岐状オルガノポリシロキサンを含有することが好ましい。かかるシリコーンレジンを含有することにより、粘着剤層１の被着体に対する粘着性を高めることができる。この粘着性の程度を適切に設定する観点から、本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物が上記のシリコーンゴムおよびシリコーンレジンを含有する場合には、シリコーンレジンのシリコーン系粘着剤組成物中の含有量は、シリコーンゴム１００質量部あたり１０質量部以上１００質量部以下とすることが好ましい。上記の粘着性をより適切に設定する観点から、シリコーン系粘着剤組成物中のシリコーンレジンの含有量は、シリコーンゴム１００質量部あたり１５質量部以上７５質量部以下とすることがより好ましく、２０質量部以上５０質量部以下とすることが特に好ましい。   The silicone-based pressure-sensitive adhesive composition according to this embodiment preferably contains a silicone resin, that is, a branched organopolysiloxane in the molecule. By containing such a silicone resin, the adhesiveness of the pressure-sensitive adhesive layer 1 to the adherend can be increased. From the viewpoint of appropriately setting the degree of adhesiveness, when the silicone pressure-sensitive adhesive composition according to this embodiment contains the silicone rubber and the silicone resin, the silicone resin in the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition contains The content is preferably 10 parts by mass or more and 100 parts by mass or less per 100 parts by mass of the silicone rubber. From the viewpoint of more appropriately setting the above adhesiveness, the content of the silicone resin in the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition is more preferably 15 parts by mass or more and 75 parts by mass or less per 100 parts by mass of the silicone rubber. It is particularly preferable that the amount is not less than 50 parts by mass.

本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物は、粘着剤層１が所望の機能を発揮できる限り、各種の成分を含有することができる。例えば、ヒドロシリル基を有する架橋剤；架橋促進剤；染料、顔料等の着色材料；アニリド系、フェノール系等の酸化防止剤；ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系等の紫外線吸収剤；タルク、二酸化チタン、シリカ、でんぷん等のフィラー成分；可塑剤；酸化防止剤；光安定剤；分散剤；レベリング剤などが例示される。また、本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物がヒドロシリル基を有する架橋剤を含有する場合には、その含有量は、シリコーンゴム１００質量部あたり１．０質量部以上１０．０質量部以下とすることが好ましい。   The silicone-based pressure-sensitive adhesive composition according to the present embodiment can contain various components as long as the pressure-sensitive adhesive layer 1 can exhibit a desired function. For example, crosslinking agents having hydrosilyl groups; crosslinking accelerators; coloring materials such as dyes and pigments; antioxidants such as anilides and phenols; ultraviolet absorbers such as benzophenones and benzotriazoles; talc, titanium dioxide, silica And filler components such as starch, plasticizers, antioxidants, light stabilizers, dispersants, leveling agents and the like. Moreover, when the silicone type adhesive composition which concerns on this embodiment contains the crosslinking agent which has a hydrosilyl group, the content is 1.0 mass part or more and 10.0 mass parts or less per 100 mass parts of silicone rubbers. It is preferable that

（１−２）粘着力
本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１は、一方の主面１Ａの粘着力が他方の主面１Ｂの粘着力よりも低い。なお、本明細書において粘着力の測定方法は、後述する実施例に記載される測定方法とする。 (1-2) Adhesive strength As for the adhesive layer 1 with which the base-material-free silicone double-sided tape 10 which concerns on this embodiment is provided, the adhesive force of one main surface 1A is lower than the adhesive force of the other main surface 1B. In addition, in this specification, the measuring method of adhesive force shall be the measuring method described in the Example mentioned later.

本明細書において、本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープが備える粘着剤層１の主面のうち、粘着力が低い方の主面１Ａを「低粘着力面」といい、粘着力が高い方の主面１Ｂを「高粘着力面」という。また、使用時に低粘着力面に対向するように配置される部材を「第１の部材」といい、使用時に高粘着力面に対向するように配置される部材を「第２の部材」という。さらに、第１の部材と第２の部材とを総称して「被着体」という場合もある。   In this specification, among the main surfaces of the pressure-sensitive adhesive layer 1 provided in the base-material-free silicone double-sided tape according to the present embodiment, the main surface 1A having the lower adhesive force is referred to as a “low adhesive force surface”, and the adhesive force is The higher main surface 1B is referred to as a “high adhesion surface”. In addition, a member disposed so as to face the low adhesive force surface during use is referred to as a “first member”, and a member disposed so as to face the high adhesive force surface during use is referred to as a “second member”. . Furthermore, the first member and the second member may be collectively referred to as an “adhered body”.

本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１は、高粘着力面１Ｂの粘着力と低粘着力面１Ａの粘着力との差（本明細書において「粘着力差」ともいう。）が、２ｍＮ／２５ｍｍ以上２０ｍＮ／２５ｍｍ以下である。粘着力差が上記の範囲であることにより、基材レスシリコーン両面テープ１０により貼り合わされた２つの被着体を分離させるときに、第１の部材と粘着剤層１との界面での分離が優先的に生じることが安定的に実現される。したがって、第１の部材に粘着剤が残着しにくい。   The pressure-sensitive adhesive layer 1 provided in the base-less silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment has a difference between the adhesive strength of the high adhesive strength surface 1B and the adhesive strength of the low adhesive strength surface 1A (in this specification, “adhesive strength difference”). Is also 2 mN / 25 mm or more and 20 mN / 25 mm or less. When the difference in adhesive strength is within the above range, when the two adherends bonded by the base material-less silicone double-sided tape 10 are separated, separation at the interface between the first member and the pressure-sensitive adhesive layer 1 is performed. What happens preferentially is stably realized. Therefore, it is difficult for the adhesive to remain on the first member.

粘着力差が２ｍＮ／２５ｍｍよりも過度に小さい場合には、第１の部材にも粘着剤が残着する可能性が高まる。一方、粘着力差が２０ｍＮ／２５ｍｍよりも過度に大きくなると、低粘着力面１Ａの粘着力が過度に低くなっている場合があり、その場合には、２つの被着体を分離させる作業を行う前の段階、例えば、第１の部材に対する加工作業中に、第１の部材から粘着剤層１が剥離しやすくなるおそれがある。   When the adhesive force difference is excessively smaller than 2 mN / 25 mm, the possibility that the adhesive remains on the first member is increased. On the other hand, if the adhesive force difference is excessively larger than 20 mN / 25 mm, the adhesive force of the low adhesive surface 1A may be excessively low. In this case, the work of separating the two adherends is performed. There is a possibility that the pressure-sensitive adhesive layer 1 is likely to be peeled off from the first member during a stage prior to the process, for example, during a processing operation on the first member.

加工作業などの間には第１の部材から粘着剤層１が剥離する可能性をより安定的に低減させるとともに、２つの被着体を分離させる作業において第１の部材と粘着剤層１との間での分離が優先的に生じることをより安定的に実現する観点から、粘着力差は２．５ｍＮ／２５ｍｍ以上１８ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍＮ／２５ｍｍ以上１６ｍＮ／２５ｍｍ以下であることがより好ましく、４ｍＮ／２５ｍｍ以上１０ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが特に好ましい。   During processing operations and the like, the possibility of the adhesive layer 1 peeling from the first member is more stably reduced, and the first member and the adhesive layer 1 are separated in the operation of separating the two adherends. From the viewpoint of more stably realizing that separation between the two occurs preferentially, the adhesive force difference is preferably 2.5 mN / 25 mm or more and 18 mN / 25 mm or less, and preferably 3 mN / 25 mm or more and 16 mN / 25 mm or less. More preferably, it is 4 mN / 25 mm or more and 10 mN / 25 mm or less.

本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１の高粘着力面１Ｂの粘着力は７００ｍＮ／２５ｍｍ以下とされる。高粘着力面１Ｂの粘着力が７００ｍＮ／２５ｍｍよりも過度に高くなると、低粘着力面１Ａの粘着力も高まる場合がある。その場合には、粘着剤層１の内部での凝集破壊が生じる可能性が高まるため、第１の部材と第２の部材とを分離させたときに、第１の部材に粘着剤が残着するおそれがある。凝集破壊により第１の部材に粘着剤が残着する可能性をより安定的に低減させる観点から、高粘着力面１Ｂの粘着力は６００ｍＮ／２５ｍｍ以下とすることが好ましく、４００ｍＮ／２５ｍｍ以下とすることがより好ましく、２００ｍＮ／２５ｍｍ以下とすることが特に好ましい。   The adhesive force of the high adhesive force surface 1B of the adhesive layer 1 included in the base-material-free silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment is 700 mN / 25 mm or less. If the adhesive strength of the high adhesive strength surface 1B is excessively higher than 700 mN / 25 mm, the adhesive strength of the low adhesive strength surface 1A may also increase. In that case, the possibility of cohesive failure occurring inside the pressure-sensitive adhesive layer 1 is increased. Therefore, when the first member and the second member are separated, the pressure-sensitive adhesive remains on the first member. There is a risk. From the viewpoint of more stably reducing the possibility of the adhesive remaining on the first member due to cohesive failure, the adhesive force of the high adhesive surface 1B is preferably 600 mN / 25 mm or less, and 400 mN / 25 mm or less. It is more preferable to set it to 200 mN / 25 mm or less.

このように、本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１は、基材レスの粘着剤層でありながら、一方の主面（高粘着力面）１Ｂの粘着力の他方の主面（低粘着力面）１Ａの粘着力に対する差（粘着力差）が所定の範囲に設定され、かつ、相対的に粘着力の高い方の主面（高粘着力面）１Ｂの粘着力の上限が規定されている。しかも、粘着剤層１はシリコーン系粘着剤組成から形成されたものである。それゆえ、かかる粘着剤層１０により２つの被着体を貼り合わせる際に、粘着剤層１における相対的に粘着力が低い方の主面（低粘着力面）１Ａを、粘着剤の残着を望まない方の被着体（第１の部材）に貼付することで、２つの被着体を分離させたときに、第１の部材と粘着剤層１との界面での分離を優先的に生じさせることができる。   Thus, the pressure-sensitive adhesive layer 1 included in the base material-less silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment is a base-less pressure-sensitive adhesive layer, but has the adhesive strength of one main surface (high adhesive strength surface) 1B. The difference (adhesive strength difference) with respect to the adhesive strength of the other main surface (low adhesive strength surface) 1A is set within a predetermined range, and the main surface (high adhesive strength surface) 1B having a relatively higher adhesive strength The upper limit of adhesive strength is specified. Moreover, the pressure-sensitive adhesive layer 1 is formed from a silicone-based pressure-sensitive adhesive composition. Therefore, when two adherends are bonded together by the pressure-sensitive adhesive layer 10, the main surface (low-adhesive force surface) 1 A having a relatively low pressure-sensitive adhesive strength in the pressure-sensitive adhesive layer 1 is attached to the pressure-sensitive adhesive residue. When the two adherends are separated by sticking to the adherend (first member) that does not want to be separated, the separation at the interface between the first member and the adhesive layer 1 is given priority. Can be generated.

したがって、２つの被着体が貼り合わされてなる積層体の一方の被着体に加工が施される場合には、その被着体を第１の部材として、粘着剤層１における相対的に粘着力が低い方の主面（低粘着力面）１Ａを、第１の部材に貼付すればよい。その加工が施されている間は第１の部材と粘着剤層１との剥離が生じにくく、加工後に２つの被着体を分離させた後に、加工が施された第１の部材の面に残着した粘着剤を取り除く作業が必要とされないため、その加工に関連する作業全体の効率を向上させることができる。このような２つの被着体が必要な時には適切に貼り合わされた状態を維持しつつ、これらを分離する際に一方の被着体に粘着剤層１に係る粘着剤が残着しにくいようにすることを実現する粘着剤層の特性を、本明細書において「再剥離制御性」ともいう。本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１は再剥離制御性に優れる。   Therefore, when processing is performed on one adherend of a laminated body in which two adherends are bonded together, the adherend is used as a first member and the adhesive layer 1 is relatively adhesive. What is necessary is just to stick 1 A of main surfaces (low adhesive force surface) 1A with a low force on the 1st member. While the processing is being performed, the first member and the pressure-sensitive adhesive layer 1 are unlikely to peel off, and after the two adherends are separated after processing, the surface of the processed first member is applied to the surface. Since the operation of removing the remaining adhesive is not required, the efficiency of the entire operation related to the processing can be improved. While maintaining the state where these two adherends are properly bonded together, the adhesive according to the pressure-sensitive adhesive layer 1 is less likely to remain on one adherend when separating them. The characteristic of the pressure-sensitive adhesive layer that achieves this is also referred to as “re-peeling controllability” in this specification. The pressure-sensitive adhesive layer 1 provided in the base material-less silicone double-sided tape 10 according to this embodiment is excellent in re-peeling controllability.

本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１の高粘着力面１Ｂの粘着力の下限は、前述の粘着力差から、２０ｍＮ／２５ｍｍとされる。粘着力差の好ましい範囲に基づき、本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１の高粘着力面１Ｂの粘着力も、３０ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、４０ｍＮ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、６０ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが特に好ましい。   The lower limit of the adhesive strength of the high adhesive strength surface 1B of the adhesive layer 1 provided in the base material-less silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment is set to 20 mN / 25 mm from the aforementioned adhesive strength difference. Based on the preferable range of the adhesive force difference, the adhesive force of the high adhesive surface 1B of the adhesive layer 1 included in the baseless silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment is also preferably 30 mN / 25 mm or more, and 40 mN / 25 mm. More preferably, it is more preferably 60 mN / 25 mm or more.

本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１の低粘着力面１Ａの粘着力の範囲は、上記の粘着力差の範囲および高粘着力面１Ｂの粘着力の範囲に関する条件を満たす限り、特に限定されない。加工作業などの間には第１の部材から粘着剤層１が剥離する可能性をより安定的に低減させるとともに、２つの被着体を分離させる作業において第１の部材と粘着剤層１との間での分離が優先的に生じることをより安定的に実現する観点から、１０ｍＮ／２５ｍｍ以上６９８ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、２０ｍＮ／２５ｍｍ以上３９８ｍＮ／２５ｍｍ以下であることがより好ましく、３０ｍＮ／２５ｍｍ以上１９８ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが特に好ましい。   The range of the adhesive strength of the low adhesive strength surface 1A of the pressure-sensitive adhesive layer 1 included in the substrate-less silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment relates to the range of the above-mentioned adhesive strength difference and the range of the adhesive strength of the high adhesive strength surface 1B. As long as the conditions are satisfied, there is no particular limitation. During processing operations and the like, the possibility of the adhesive layer 1 peeling from the first member is more stably reduced, and the first member and the adhesive layer 1 are separated in the operation of separating the two adherends. Is preferably 10 mN / 25 mm or more and 698 mN / 25 mm or less, more preferably 20 mN / 25 mm or more and 398 mN / 25 mm or less from the viewpoint of more stably realizing that separation between the two occurs preferentially, It is particularly preferably 30 mN / 25 mm or more and 198 mN / 25 mm or less.

（１−３）厚さ
本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１の厚さは特に限定されない。粘着剤層１が過度に薄い場合には、被着体（第１の部材、第２の部材）に対する粘着性が、必要とされる程度まで得られにくくなるおそれがある。この適切な程度の粘着性を得やすくする観点から、粘着剤層１の厚さは２μｍ以上であることが好ましく、５μｍ以上であることがより好ましく、１０μｍ以上であることが特に好ましい。一方、粘着剤層１の厚さの上限は、その用途に応じて適宜設定されるべきものであり、通常、２００μｍ以下とされ、１００μｍ以下とすることが好ましく、５０μｍ以下とすることがより好ましい。 (1-3) Thickness The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 1 provided in the base material-less silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment is not particularly limited. When the pressure-sensitive adhesive layer 1 is excessively thin, there is a possibility that the adhesiveness to the adherend (first member, second member) may be difficult to obtain to the extent necessary. From the viewpoint of easily obtaining an appropriate level of tackiness, the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 1 is preferably 2 μm or more, more preferably 5 μm or more, and particularly preferably 10 μm or more. On the other hand, the upper limit of the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 1 should be appropriately set according to the application, and is usually 200 μm or less, preferably 100 μm or less, and more preferably 50 μm or less. .

（２）剥離シート
図１に示されるように、本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０は、２つの剥離シート２，３を備える。本明細書において、低粘着力面１Ａに対向するように積層される剥離シート２を「第１の剥離シート」という。また、高粘着力面１Ｂに対向するように積層される剥離シート３を「第２の剥離シート」という。 (2) Release Sheet As shown in FIG. 1, the substrate-less silicone double-sided tape 10 according to this embodiment includes two release sheets 2 and 3. In this specification, the release sheet 2 laminated so as to face the low adhesive force surface 1 </ b> A is referred to as a “first release sheet”. The release sheet 3 laminated so as to face the high adhesive surface 1B is referred to as a “second release sheet”.

（２−１）第１の剥離シート
図１に示されるように、本一実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える第１の剥離シート２は、第１の支持材２ｂと、第１の支持材２ｂの一方の主面上に積層された第１の剥離処理層２ａとを備える。第１の剥離シート２の剥離面である第１の剥離面２Ａは、第１の剥離処理層２ａにおける第１の支持材２ｂに対向する主面の反対側の主面からなる。 (2-1) First Release Sheet As shown in FIG. 1, the first release sheet 2 provided in the base-material-free silicone double-sided tape 10 according to the present embodiment includes a first support material 2b, And a first release treatment layer 2a laminated on one main surface of one support material 2b. The first release surface 2A, which is the release surface of the first release sheet 2, is composed of a main surface opposite to the main surface facing the first support member 2b in the first release treatment layer 2a.

第１の支持材２ｂを構成する材料は特に限定されない。具体例として、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニルフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリアラミドフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、フッ素樹脂フィルムが挙げられ、これらの架橋フィルムも第１の支持材２ｂを構成する材料の一例として挙げられる。第１の支持材２ｂはこれらの積層フィルムであってもよい。寸法安定性および経済性の観点から、第１の支持材２ｂを構成する材料の好ましい例として、ポリエチレンテレフタレートフィルムおよびポリエチレンナフタレートフィルムが挙げられる。   The material which comprises the 1st support material 2b is not specifically limited. Specific examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, polybutylene terephthalate film, polyurethane film, Ethylene vinyl acetate film, ionomer resin film, ethylene / (meth) acrylic acid copolymer film, ethylene / (meth) acrylic acid ester copolymer film, polystyrene film, polycarbonate film, polyimide film, polyetherimide film, polyaramid Film, polyetherketone film, polyetheretherketone film, fluororesin film Mentioned, these crosslinked films may be mentioned as an example of the material constituting the first support member 2b. The first support material 2b may be a laminated film of these. From the viewpoint of dimensional stability and economy, preferable examples of the material constituting the first support material 2b include a polyethylene terephthalate film and a polyethylene naphthalate film.

第１の支持材２ｂの厚さは特に限定されない。通常、５〜３００μｍ程度であり、取扱性および経済性の観点から、１０〜１００μｍ程度が好ましい。   The thickness of the 1st support material 2b is not specifically limited. Usually, it is about 5-300 micrometers, and about 10-100 micrometers is preferable from a viewpoint of handleability and economical efficiency.

本実施形態において、第１の剥離処理層２ａは、第１の支持材２ｂの一方の主面上にフッ素系の剥離剤を塗布することにより形成されたものである。フッ素系の剥離剤から形成された第１の剥離処理層２ａの面からなる第１の剥離面２Ａを備える第１の剥離シート２は、シリコーン系粘着剤組成物から形成された本実施形態に係る粘着剤層１から容易に剥離することができ、好ましい。また、後述するように、第１の剥離処理層２ａがフッ素系の剥離剤を塗布することにより形成されたものであることにより、第１の剥離処理層２ａの面からなる第１の剥離面２Ａに対向するように位置する粘着剤層１の主面１Ａの粘着力を低下させることができる。   In this embodiment, the 1st peeling process layer 2a is formed by apply | coating a fluorine-type peeling agent on one main surface of the 1st support material 2b. A first release sheet 2 having a first release surface 2A composed of a surface of a first release treatment layer 2a formed from a fluorine-based release agent is applied to the present embodiment formed from a silicone-based pressure-sensitive adhesive composition. It can peel easily from the adhesive layer 1 which concerns, and is preferable. Further, as will be described later, the first release treatment layer 2a is formed by applying a fluorine-based release agent, whereby the first release surface composed of the surface of the first release treatment layer 2a. The adhesive force of 1 A of main surfaces of the adhesive layer 1 located so that it may oppose 2A can be reduced.

フッ素系の剥離剤の塗布量は特に限定されない。通常、０．０２〜２．０ｇ／ｍ２程度であり、０．２〜１．０ｇ／ｍ２であることが好ましい。剥離剤の塗布方法は特に限定されず、公知の塗布方法を採用すればよい。塗布方法の具体例として、グラビアコート法、マイヤーバーコート法、キスコート法などが挙げられる。 The application amount of the fluorine-based release agent is not particularly limited. Usually, it is about 0.02-2.0 g / m < 2 >, and it is preferable that it is 0.2-1.0 g / m < 2 >. The application method of the release agent is not particularly limited, and a known application method may be employed. Specific examples of the coating method include a gravure coating method, a Mayer bar coating method, and a kiss coating method.

（２−２）第２の剥離シート
図１に示されるように、本発明の一実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０が備える第２の剥離シート３は、第２の支持材３ｂと、第２の支持材３ｂの一方の主面上に積層された第２の剥離処理層３ａとを備える。第２の剥離シート３の剥離面である第２の剥離面３Ａは、第２の剥離処理層３ａにおける第２の支持材３ｂに対向する主面の反対側の主面からなる。 (2-2) 2nd peeling sheet As FIG. 1 shows, the 2nd peeling sheet 3 with which the base material less silicone double-sided tape 10 which concerns on one Embodiment of this invention is equipped with the 2nd support material 3b. And a second release treatment layer 3a laminated on one main surface of the second support material 3b. The 2nd peeling surface 3A which is a peeling surface of the 2nd peeling sheet 3 consists of a main surface on the opposite side to the main surface which opposes the 2nd support material 3b in the 2nd peeling process layer 3a.

第２の支持材３ｂを構成する材料は特に限定されない。かかる材料の具体例および好ましい例は第１の支持材２ｂを構成する材料の場合と同様である。第２の支持材３ｂの厚さは特に限定されない。通常、５〜３００μｍ程度であり、取扱性および経済性の観点から、１０〜１００μｍ程度が好ましい。   The material which comprises the 2nd support material 3b is not specifically limited. Specific examples and preferred examples of the material are the same as those of the material constituting the first support material 2b. The thickness of the 2nd support material 3b is not specifically limited. Usually, it is about 5-300 micrometers, and about 10-100 micrometers is preferable from a viewpoint of handleability and economical efficiency.

本実施形態において、第２の剥離処理層３ａは、第２の支持材３ｂの一方の主面上にフッ素系の剥離剤を塗布することにより形成されたものである。フッ素系の剥離剤から形成された第２の剥離処理層３ａの面からなる第２の剥離面３Ａは、シリコーン系粘着剤組成物から形成された本実施形態に係る粘着剤層１から容易に剥離することができ、好ましい。フッ素系の剥離剤の塗布量は特に限定されない。通常、０．０２〜２．０ｇ／ｍ２程度であり、０．２〜１．０ｇ／ｍ２であることが好ましい。剥離剤の塗布方法は特に限定されず、公知の塗布方法を採用すればよい。塗布方法の具体例として、グラビアコート法、キスコート法などが挙げられる。 In the present embodiment, the second release treatment layer 3a is formed by applying a fluorine-based release agent on one main surface of the second support material 3b. The second release surface 3A composed of the surface of the second release treatment layer 3a formed from the fluorine-based release agent can be easily obtained from the adhesive layer 1 according to the present embodiment formed from the silicone-based adhesive composition. It can peel and is preferable. The application amount of the fluorine-based release agent is not particularly limited. Usually, it is about 0.02-2.0 g / m < 2 >, and it is preferable that it is 0.2-1.0 g / m < 2 >. The application method of the release agent is not particularly limited, and a known application method may be employed. Specific examples of the coating method include a gravure coating method and a kiss coating method.

２．基材レスシリコーン両面テープの製造方法
本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０の製造方法は、特に限定されない。次に説明する製造方法により製造すれば、本実施形態に係る基材レスシリコーン両面テープ１０を容易に得ることができ、好ましい。 2. Manufacturing method of base-material-free silicone double-sided tape The manufacturing method of base-material-free silicone double-sided tape 10 concerning this embodiment is not specifically limited. If it manufactures with the manufacturing method demonstrated below, the base material less silicone double-sided tape 10 which concerns on this embodiment can be obtained easily, and it is preferable.

まず、本実施形態に係るシリコーン系粘着剤組成物またはこれに溶媒を加えてなる塗工液を用意する。溶媒を用いる際に、その種類や塗工液の固形分濃度はシリコーン系粘着剤組成物の組成、塗工条件、目的とする粘着剤層１の厚さなどを考慮して適宜設定すればよい。溶媒としては、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチルなどが例示され、固形分濃度は１０質量％以上４０質量％程度の範囲が例示される。   First, the silicone type adhesive composition which concerns on this embodiment, or the coating liquid formed by adding a solvent to this is prepared. When the solvent is used, the type and solid content concentration of the coating liquid may be appropriately set in consideration of the composition of the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition, the coating conditions, the thickness of the target pressure-sensitive adhesive layer 1, and the like. . Examples of the solvent include toluene, methyl ethyl ketone, ethyl acetate, and the like, and the solid content concentration is in the range of about 10 mass% to about 40 mass%.

次に、第１の剥離シート２の第１の剥離面２Ａに、上記の塗工液を塗布し、乾燥処理を行って塗布層を形成する。養生期間が必要な場合は養生期間をおくことにより、養生期間が不要な場合はそのまま、上記塗布層が粘着剤層１となる。   Next, the coating liquid is applied to the first release surface 2A of the first release sheet 2, and a drying process is performed to form an application layer. If a curing period is required, a curing period is set. If the curing period is not necessary, the coating layer becomes the pressure-sensitive adhesive layer 1 as it is.

塗工液の塗布方法は特に限定されない。通常行われているグラビアコート法、バーコート法、コンマコート法、ナイフコート法などを行うことができる。塗布後の乾燥処理の詳細は限定されない。乾燥温度は限定されない。例えば９０℃〜１５０℃の範囲に加熱してもよい。乾燥処理の時間も限定されず、乾燥温度を考慮して適宜設定すればよい。乾燥時間が５分間以上である場合には、第１の剥離シート２の第１の剥離面２Ａに接するように形成された粘着剤層１の主面１Ａの粘着力を安定的に低減させることができ、好ましい。同様の観点から、乾燥時間は８分間以上であることが特に好ましい。なお、乾燥時間の上限は特にないが、製造コストの点を考慮すると３０分間程度である。   The method for applying the coating liquid is not particularly limited. The usual gravure coating method, bar coating method, comma coating method, knife coating method and the like can be performed. The details of the drying treatment after application are not limited. The drying temperature is not limited. For example, you may heat in the range of 90 to 150 degreeC. The time for the drying process is not limited, and may be set as appropriate in consideration of the drying temperature. When the drying time is 5 minutes or longer, the adhesive force of the main surface 1A of the pressure-sensitive adhesive layer 1 formed so as to be in contact with the first release surface 2A of the first release sheet 2 is stably reduced. This is preferable. From the same viewpoint, the drying time is particularly preferably 8 minutes or longer. In addition, although there is no upper limit in particular in drying time, it is about 30 minutes when the point of manufacturing cost is considered.

こうして得られた第１の剥離シート２と粘着剤層１との積層体における粘着剤層１からなる面に、第２の剥離シート３の第２の剥離面３Ａを貼付することにより、第１の剥離シート２、粘着剤層１および第２の剥離シート３がこの順に積層された基材レスシリコーン両面テープ１０を得ることができる。得られた基材レスシリコーン両面テープ１０は必要により養生される。養生の条件は限定されない。一例として、２３℃、相対湿度５０％の大気環境下に１週間置くことが挙げられる。   By sticking the second release surface 3A of the second release sheet 3 to the surface comprising the adhesive layer 1 in the laminate of the first release sheet 2 and the adhesive layer 1 obtained in this way, the first The base-less silicone double-sided tape 10 in which the release sheet 2, the pressure-sensitive adhesive layer 1, and the second release sheet 3 are laminated in this order can be obtained. The obtained substrate-less silicone double-sided tape 10 is cured as necessary. Curing conditions are not limited. As an example, it may be placed in an air environment at 23 ° C. and a relative humidity of 50% for one week.

ここで、第１の剥離シート２の第１の剥離面２Ａ上に積層されている粘着剤層１は、第１の剥離面２Ａ上に塗工液が塗布されることにより得られた塗布層が、第１の剥離面２Ａに接した状態で乾燥処理などを経ることにより形成されたものである。これに対し、第２の剥離シート３の第２の剥離面３Ａに上に積層されている粘着剤層１は、塗布層が乾燥処理などを経たことにより形成された粘着剤層１の主面１Ｂが第２の剥離面３Ａに貼付されたものである。このような、粘着剤層１の積層方法の相違に基づき、粘着剤層１の第１の剥離面２Ａに対向する主面１Ａの粘着力を、第２の剥離面３Ａに対向する主面１Ｂの粘着力よりも低くすることができる。すなわち、上記の製造方法により製造された基材レスシリコーン両面テープ１０が備える粘着剤層１は、主面１Ａが低粘着力面であり、主面１Ｂが高粘着力面である。   Here, the pressure-sensitive adhesive layer 1 laminated on the first release surface 2A of the first release sheet 2 is an application layer obtained by applying a coating liquid on the first release surface 2A. However, it is formed by performing a drying process etc. in the state which contact | connected the 1st peeling surface 2A. On the other hand, the pressure-sensitive adhesive layer 1 laminated on the second release surface 3A of the second release sheet 3 is the main surface of the pressure-sensitive adhesive layer 1 formed by subjecting the coating layer to a drying treatment or the like. 1B is affixed to the second release surface 3A. Based on the difference in the method of laminating the pressure-sensitive adhesive layer 1, the adhesive force of the main surface 1A facing the first peeling surface 2A of the pressure-sensitive adhesive layer 1 is changed to the main surface 1B facing the second peeling surface 3A. It can be made lower than the adhesive strength. That is, as for the adhesive layer 1 with which the base-material-free silicone double-sided tape 10 manufactured by said manufacturing method is provided, the main surface 1A is a low adhesive force surface, and the main surface 1B is a high adhesive force surface.

また、上記の製造方法によれば、粘着剤層１の主面１Ａの粘着力を主面１Ｂの粘着力よりも低くすることができるとともに、第１の剥離シート２の第１の剥離面２Ａを、第２の剥離シート３の第２の剥離面３Ａよりも剥離しにくくする（剥離力を高める）ことができる。したがって、上記の基材レスシリコーン両面テープ１０の製造方法によれば、第１の剥離シート２および第２の剥離シート３の材料として同一種類の剥離シートを用いたとしても、得られた基材レスシリコーン両面テープ１０は、第１の剥離シート２が相対的に剥離しにくい剥離シートとなり、第２の剥離シート３が相対的に剥離しやすい剥離シートとなる。すなわち、上記の基材レスシリコーン両面テープ１０の製造方法によれば、１種類の剥離シートおよび１種類のシリコーン系粘着剤組成物を用いながら、軽剥離型剥離シートと粘着剤層と重剥離型剥離シートとを備え、しかも粘着剤層は双方の主面の粘着力が相違する、基材レスシリコーン両面テープ１０を得ることができる。   Moreover, according to said manufacturing method, while the adhesive force of 1 A of main surfaces of the adhesive layer 1 can be made lower than the adhesive force of 1 A of main surfaces, 2 A of 1st peeling surfaces of the 1st peeling sheet 2 are provided. Can be made harder to peel than the second release surface 3A of the second release sheet 3 (increase the peel strength). Therefore, according to the manufacturing method of said base material less silicone double-sided tape 10, even if the same kind of release sheet is used as the material of the first release sheet 2 and the second release sheet 3, the obtained base material The less silicone double-sided tape 10 is a release sheet in which the first release sheet 2 is relatively difficult to peel, and the second release sheet 3 is a release sheet that is relatively easy to peel off. That is, according to the manufacturing method of said base-material-free silicone double-sided tape 10, while using one type of release sheet and one type of silicone adhesive composition, a light release type release sheet, an adhesive layer, and a heavy release type It is possible to obtain a base-less silicone double-sided tape 10 that includes a release sheet and that has a pressure-sensitive adhesive layer with different adhesive forces on both main surfaces.

３．基材レスシリコーン両面テープの使用方法
基材レスシリコーン両面テープ１０は、その使用の際に、低粘着力面である粘着剤層１の主面１Ａが先に表出するように、第１の剥離シート２を先に剥離してもよいし、高粘着力面である粘着剤層１の主面１Ｂが先に表出するように、第２の剥離シート３を先に剥離してもよい。以下、粘着剤層１の主面１Ｂを先に表出させる場合を具体例として説明を行う。 3. Usage method of base material-less silicone double-sided tape The base material-less silicone double-sided tape 10 is used in such a manner that the main surface 1A of the pressure-sensitive adhesive layer 1 which is a low-adhesive force surface appears first when used. The release sheet 2 may be peeled first, or the second release sheet 3 may be peeled first so that the main surface 1B of the pressure-sensitive adhesive layer 1 having a high adhesive strength surface is exposed first. . Hereinafter, the case where the main surface 1B of the pressure-sensitive adhesive layer 1 is exposed first will be described as a specific example.

製膜、エッチングなどの加工の際の載置板となる部材を、第２の部材として用意し、第２の部材の一の面に、基材レスシリコーン両面テープ１０から剥離シート３を除去し、表出させた粘着剤層１の主面１Ｂを貼付する。   A member to be a mounting plate at the time of processing such as film formation and etching is prepared as a second member, and the release sheet 3 is removed from the baseless silicone double-sided tape 10 on one surface of the second member. The main surface 1B of the exposed pressure-sensitive adhesive layer 1 is pasted.

次に、第２の部材の一の面に積層された粘着剤層１に積層している第１の剥離シート２を剥離し、粘着剤層１の主面１Ａを表出させる。続いて、第２の部材と粘着剤層１を介して貼り合わされる部材（製膜、エッチングなどの加工が施される対象）である第１の部材を用意し、第１の部材の一の面に、粘着剤層１の主面１Ａを貼付する。こうして、第２の部材、粘着剤層１および第１の部材がこの順に積層された積層構造体が得られる。   Next, the 1st peeling sheet 2 currently laminated | stacked on the adhesive layer 1 laminated | stacked on the one surface of the 2nd member is peeled, and 1 A of main surfaces of the adhesive layer 1 are exposed. Subsequently, a first member which is a member (target to be processed such as film formation and etching) bonded to the second member via the pressure-sensitive adhesive layer 1 is prepared, and one of the first members is prepared. The main surface 1A of the pressure-sensitive adhesive layer 1 is affixed to the surface. Thus, a laminated structure in which the second member, the pressure-sensitive adhesive layer 1 and the first member are laminated in this order is obtained.

かかる積層構造体の第１の部材の露出面に対して、上記の製膜、エッチングなどの加工を行った後、第１の部材と第２の部材とを分離させると、第１の部材と粘着剤層１との界面での剥離が優先的に生じ、加工後の第１の部材を、その面に粘着剤層１に係る粘着剤が残着することなく得ることができる。   When the first member and the second member are separated from each other after the film formation, etching, and the like are performed on the exposed surface of the first member of the laminated structure, the first member and Peeling at the interface with the pressure-sensitive adhesive layer 1 occurs preferentially, and the processed first member can be obtained without the pressure-sensitive adhesive relating to the pressure-sensitive adhesive layer 1 remaining on the surface.

ここで、上記の第１の部材に対する加工が積層構造体を加熱し、結果的に粘着剤層１が高温環境下に置かれることがあっても、粘着剤層１は、前述のようにシリコーン系粘着剤組成物から形成されたものであるため、粘着剤層１が変質する現象や、粘着剤層１と被着体との積層状態が変化する現象が生じにくい。   Here, even if the processing on the first member heats the laminated structure and as a result, the pressure-sensitive adhesive layer 1 may be placed in a high-temperature environment, the pressure-sensitive adhesive layer 1 is made of silicone as described above. Since it is formed from a PSA-based pressure-sensitive adhesive composition, a phenomenon in which the pressure-sensitive adhesive layer 1 is altered and a phenomenon in which the laminated state of the pressure-sensitive adhesive layer 1 and the adherend are not likely to occur.

そのような、粘着剤層１を高温環境下に置く可能性のある加工の具体例として、蒸着やスパッタリングなどのドライプロセスによる、スズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化スズ（ＦＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化亜鉛にアルミニウムやガリウムが添加された酸化亜鉛系材料（ＡＺＯ、ＧＺＯ）などの透明導電膜の形成が例示される。   Specific examples of such processing that may place the pressure-sensitive adhesive layer 1 in a high-temperature environment include tin-doped indium oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), and zinc oxide by dry processes such as vapor deposition and sputtering. Examples are formation of transparent conductive films such as (ZnO) and zinc oxide-based materials (AZO, GZO) in which aluminum or gallium is added to zinc oxide.

被着体（第１の部材、第２の部材）の組成や構造は特に限定されない。被着体の一具体例として、ガラス基板が挙げられる。被着体がガラス基板である場合において、そのガラス基板を構成する材料の具体的な種類は特に限定されない。例えば、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ソーダライムガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、アルミノケイ酸ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス等が挙げられる。ガラス基板の厚さは特に限定されない。通常は０．１〜５ｍｍであり、好ましくは０．２〜２ｍｍである。なお、ガラス基板は、加工の際の載置板としても好ましい。   The composition and structure of the adherend (first member, second member) are not particularly limited. One specific example of the adherend is a glass substrate. When the adherend is a glass substrate, the specific type of material constituting the glass substrate is not particularly limited. Examples thereof include chemically tempered glass, alkali-free glass, quartz glass, soda lime glass, barium / strontium-containing glass, aluminosilicate glass, lead glass, borosilicate glass, and barium borosilicate glass. The thickness of the glass substrate is not particularly limited. Usually, it is 0.1-5 mm, Preferably it is 0.2-2 mm. In addition, a glass substrate is preferable also as a mounting board in the case of a process.

被着体は、耐熱性のプラスチック材料から構成されていてもよい。被着体が耐熱性のプラスチックフィルムからなる場合において、その具体例として、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリサルフォンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、液晶ポリマーフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム；これらの２種以上の積層体などが挙げられる。プラスチックフィルムは、一軸延伸または二軸延伸されたものでもよい。   The adherend may be made of a heat-resistant plastic material. When the adherend is made of a heat-resistant plastic film, specific examples thereof include polyimide film, polyamide film, polyamideimide film, polysulfone film, polyphenylene sulfide film, polyether ether ketone film, polyarylate film, polycarbonate film, and liquid crystal. Polymer film, polyethylene naphthalate film; and a laminate of two or more of these. The plastic film may be uniaxially stretched or biaxially stretched.

被着体のさらに具体的な例として、半導体ウェハ、パッケージ等の半導体関連部材；カバーガラス、保護シート、偏光フィルム、位相差フィルム等の表示デバイス関連部材；ガラスエポキシ材料などによる回路基板、筺体等の電気・電子部品関連部材などが挙げられる。また、こうした部材の支持部材として機能する部材である、マザーガラス、金属系材料やセラミックス材料などからなるベースプレートなども、被着体の具体例として挙げられる。   More specific examples of adherends include semiconductor-related members such as semiconductor wafers and packages; display device-related members such as cover glasses, protective sheets, polarizing films, and retardation films; circuit boards and casings made of glass epoxy materials, etc. And electric / electronic component-related members. Moreover, a mother plate, a base plate made of a metal-based material, a ceramic material, or the like, which is a member that functions as a support member for such a member, can be given as a specific example of the adherend.

本実施形態に係る粘着剤層１の一方の主面上に複数の被着体が積層されてもよい。この場合において、互いに近位な被着体同士が、本実施形態に係る粘着剤層１の面の面内方向に離間していてもよい。   A plurality of adherends may be laminated on one main surface of the pressure-sensitive adhesive layer 1 according to the present embodiment. In this case, the adherends close to each other may be separated in the in-plane direction of the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 1 according to the present embodiment.

第１の部材が分離したことにより得られる粘着剤層１と第２の部材との積層体のその後の取り扱いは特に限定されない。粘着剤層１と第２の部材とを分離させ、第２の部材を再利用可能としてもよい。本実施形態に係る粘着剤層１は、前述のとおりシリコーン系粘着剤組成物から形成されたものであり、第２の部材に対向するように位置する粘着剤層１の主面１Ｂの粘着力は７００ｍＮ／２５ｍｍ以下であるから、第２の部材から粘着剤層１を比較的容易に剥離させることができ、しかも第２の部材の面に粘着剤層１に係る粘着剤が残着しにくい。したがって、粘着剤層１を剥離して得られる第２の部材は、粘着剤除去のための煩雑な作業を必要とすることなく、再利用が可能である。   The subsequent handling of the laminate of the pressure-sensitive adhesive layer 1 and the second member obtained by separating the first member is not particularly limited. The pressure-sensitive adhesive layer 1 and the second member may be separated so that the second member can be reused. The pressure-sensitive adhesive layer 1 according to the present embodiment is formed from the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition as described above, and the adhesive force of the main surface 1B of the pressure-sensitive adhesive layer 1 positioned so as to face the second member. Is 700 mN / 25 mm or less, the pressure-sensitive adhesive layer 1 can be peeled off from the second member relatively easily, and the pressure-sensitive adhesive related to the pressure-sensitive adhesive layer 1 hardly adheres to the surface of the second member. . Therefore, the second member obtained by peeling off the pressure-sensitive adhesive layer 1 can be reused without requiring a complicated operation for removing the pressure-sensitive adhesive.

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。   The embodiment described above is described for facilitating understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

例えば、第２の剥離シート３は、第２の剥離処理層３ａがフッ素系の剥離剤以外の剥離剤から形成されたものであってもよいし、第２の剥離処理層３ａを有さず、第２の支持材３ｂの面が粘着剤層１に対する剥離性を有し第２の剥離面３Ａをなしていてもよい。第２の剥離処理層３ａを与えるフッ素系の剥離剤以外の剥離剤として、アルキッド系、シリコーン系、フッ素系、不飽和ポリエステル系、ポリオレフィン系、ワックス系の剥離剤が挙げられる。第２の剥離面３Ａが第２の支持材２ｂの面からなる場合の第２の支持材３ｂの具体例として、フッ素樹脂フィルムが挙げられる。   For example, in the second release sheet 3, the second release treatment layer 3a may be formed of a release agent other than the fluorine-based release agent, and does not have the second release treatment layer 3a. The surface of the second support material 3b may be peelable from the pressure-sensitive adhesive layer 1 to form the second peel surface 3A. Examples of the release agent other than the fluorine-based release agent that gives the second release treatment layer 3a include alkyd-based, silicone-based, fluorine-based, unsaturated polyester-based, polyolefin-based, and wax-based release agents. As a specific example of the second support member 3b in the case where the second peeling surface 3A is made of the surface of the second support member 2b, a fluororesin film can be cited.

また、基材レスシリコーン両面テープ１０の使用に際し、粘着剤層１の主面（低粘着力面）１Ａを先に表出させた場合には、その面を第１の部材の一の面に貼付し、得られた第２の剥離シート３、粘着剤層１および第１の部材からなる積層体から第２の剥離シート３を剥離し、表出した粘着剤層１の主面（高粘着力面）１Ｂを第２の部材の一の面に貼付すればよい。   Further, when the main surface (low adhesive force surface) 1A of the pressure-sensitive adhesive layer 1 is first exposed when using the base-material-free silicone double-sided tape 10, the surface is made one surface of the first member. The main surface (high adhesion) of the pressure-sensitive adhesive layer 1 that was affixed and peeled off the second release sheet 3 from the resulting laminate comprising the second release sheet 3, the pressure-sensitive adhesive layer 1, and the first member. The force surface 1B may be attached to one surface of the second member.

以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example etc. demonstrate this invention further more concretely, the scope of the present invention is not limited to these Examples etc.

〔実施例１〕
（１）シリコーン系粘着剤組成物の塗工液の調製
付加硬化型のシリコーンゴム（信越化学工業社製、商品名：ＫＳ−８４７Ｈ）１００質量部に、シリコーンレジン（東レ・ダウコーニング社製、商品名：ＳＤ４５８７Ｌ）４０質量部、および白金触媒（東レ・ダウコーニング社製、商品名：ＳＲＸ−２１２）０．６質量部を加え、メチルエチルケトンで固形分濃度が２５質量％に調整されたシリコーン系粘着剤組成物の塗工液を用意した。 [Example 1]
(1) Preparation of coating liquid of silicone-based pressure-sensitive adhesive composition To 100 parts by mass of addition-curable silicone rubber (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KS-847H), silicone resin (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.) (Product name: SD4587L) 40 parts by mass and platinum catalyst (trade name: SRX-212, manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.) 0.6 parts by mass are added, and a silicone system whose solid content concentration is adjusted to 25% by mass with methyl ethyl ketone. A coating solution for the pressure-sensitive adhesive composition was prepared.

（２）粘着シートの作製
剥離シートとして、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製フィルム（厚さ：５０μｍ）の一方の主面上に、フッ化シリコーンからなる剥離剤層を有する重剥離フィルム（リンテック社製、製品名：ＳＰ−ＰＥＴ５０ＦＤ）を２枚用意し、それぞれ第１の剥離シートおよび第２の剥離シートとして使用した。 (2) Production of pressure-sensitive adhesive sheet As a release sheet, a heavy release film having a release agent layer made of silicone fluoride on one main surface of a polyethylene terephthalate (PET) film (thickness: 50 μm) (manufactured by Lintec Corporation) Two product names: SP-PET50FD) were prepared and used as the first release sheet and the second release sheet, respectively.

第１の剥離シートの剥離面（第１の剥離面）上に上記のシリコーン系粘着剤組成物の塗工液をナイフコーターにて塗布し、１２０℃で１０分間乾燥して、厚さ２５μｍの粘着剤層を得た。この粘着剤層と第１の剥離シートとからなる積層体の粘着剤層の主面に第２の剥離シートの剥離面（第２の剥離面）を貼合して、第１の剥離シート、粘着剤層および第２の剥離シートがこの順に積層されてなる基材レスシリコーン両面テープを得た。   On the release surface (first release surface) of the first release sheet, the above silicone pressure-sensitive adhesive composition coating solution was applied with a knife coater, dried at 120 ° C. for 10 minutes, and a thickness of 25 μm. An adhesive layer was obtained. Bonding the release surface (second release surface) of the second release sheet to the main surface of the adhesive layer of the laminate composed of the adhesive layer and the first release sheet, A base material-less silicone double-sided tape in which the pressure-sensitive adhesive layer and the second release sheet were laminated in this order was obtained.

こうして得られた基材レスシリコーン両面テープの第１の剥離シートを剥離して、表出した粘着剤層の主面（低粘着力面）を第１のガラス基板（コーニング社製、製品名：イーグルＸＧ）の一の主面に貼付して、第１の剥離シート、粘着剤層および第１のガラス基板からなる積層体を得た。以下、この積層体から第１の剥離シートを剥離して得られた積層体を「第１の積層体」という。   The first release sheet of the base-less silicone double-sided tape thus obtained was peeled off, and the main surface (low adhesive surface) of the pressure-sensitive adhesive layer that was exposed was used as the first glass substrate (manufactured by Corning, product name: A laminated body comprising a first release sheet, an adhesive layer and a first glass substrate was obtained by pasting on one main surface of Eagle XG). Hereinafter, the laminate obtained by peeling the first release sheet from the laminate is referred to as “first laminate”.

第１の剥離シートに代えて、剥離処理が施されていないポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製フィルム（厚さ：２５μｍ）を用い、その一方の主面上に上記の塗工液を塗布したこと以外は、上記と同様の操作を行い、ＰＥＴ製フィルム、粘着剤層および第２の剥離シートがこの順に積層されてなるシリコーン片面テープを得た。以下、このシリコーン片面テープを「第１のシリコーン片面テープ」という。   In place of the first release sheet, a polyethylene terephthalate (PET) film (thickness: 25 μm) that has not been subjected to release treatment is used, except that the above coating liquid is applied on one main surface thereof. The same operation as above was performed to obtain a silicone single-sided tape in which a PET film, an adhesive layer, and a second release sheet were laminated in this order. Hereinafter, this silicone single-sided tape is referred to as “first silicone single-sided tape”.

〔比較例１〕
実施例１において調製したシリコーン系粘着剤組成物の塗工液を、スピンコート法により、第２のガラス基板（コーニング社製、製品名：イーグルＸＧ）上に塗布し、得られた塗布層を１２０℃で１０分間加熱して、粘着剤層と第２のガラス基板とからなる積層体を得た。以下、この積層体を「第２の積層体」という。 [Comparative Example 1]
The coating liquid of the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition prepared in Example 1 was applied onto a second glass substrate (Corning Corp., product name: Eagle XG) by spin coating, and the resulting coating layer was applied. It heated at 120 degreeC for 10 minute (s), and the laminated body which consists of an adhesive layer and a 2nd glass substrate was obtained. Hereinafter, this laminate is referred to as a “second laminate”.

〔試験例１〕
実施例および比較例により得られた第１の積層体および第２の積層体のそれぞれについて、その粘着剤層の主面を第３のガラス基板（コーニング社製、製品名：イーグルＸＧ）に貼付して、２枚のガラス基板が粘着剤層を介して貼り合わされてなる積層体を得た。すなわち、第１のガラス基板と粘着剤層と第３のガラス基板とがこの順で積層された積層体、および第２のガラス基板と粘着剤層と第３のガラス基板とがこの順で積層された積層体を得た。これらの積層体を２００℃の環境下に１時間置き、その後、室温（２３℃）まで放冷する加熱処理を行った。加熱処理後の積層体のそれぞれについて、第３のガラス基板を剥離し、第３のガラス基板にのみ粘着剤層が付着しているか否かを観察した。
以上の試験を１０回行い、第３のガラス基板にのみ粘着剤層が付着している回数をカウントした。測定結果を表１に示す。 [Test Example 1]
About each of the 1st laminated body and the 2nd laminated body which were obtained by the Example and the comparative example, the main surface of the adhesive layer was affixed on the 3rd glass substrate (Corning company make, product name: Eagle XG). And the laminated body by which two glass substrates were bonded together through the adhesive layer was obtained. That is, a laminated body in which the first glass substrate, the adhesive layer, and the third glass substrate are laminated in this order, and the second glass substrate, the adhesive layer, and the third glass substrate are laminated in this order. A laminated body was obtained. These laminates were placed in an environment of 200 ° C. for 1 hour, and then heat treatment was performed to cool to room temperature (23 ° C.). About each of the laminated body after heat processing, the 3rd glass substrate was peeled and it was observed whether the adhesive layer had adhered only to the 3rd glass substrate.
The above test was performed 10 times, and the number of times the pressure-sensitive adhesive layer was adhered only to the third glass substrate was counted. The measurement results are shown in Table 1.

〔試験例２〕
実施例１において作製した基材レスシリコーン両面テープの第２の剥離シートを剥離して、表出した粘着剤層の主面（高粘着力面）を、剥離処理が施されていないポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製フィルム（厚さ：２５μｍ）の一方の主面に貼付して、ＰＥＴ製フィルム、粘着剤層および第１の剥離シートがこの順に積層されてなるシリコーン片面テープを得た。以下、このシリコーン片面テープを「第２のシリコーン片面テープ」という。 [Test Example 2]
The second release sheet of the baseless silicone double-sided tape produced in Example 1 was peeled off, and the main surface (high adhesive strength surface) of the pressure-sensitive adhesive layer exposed was exposed to polyethylene terephthalate that had not been subjected to release treatment ( A silicone single-sided tape in which a PET film, an adhesive layer, and a first release sheet were laminated in this order was affixed to one main surface of a PET film (thickness: 25 μm). Hereinafter, this silicone single-sided tape is referred to as “second silicone single-sided tape”.

第１のシリコーン片面テープおよび第２のシリコーン片面テープのそれぞれについて、２５０ｍｍ長２５ｍｍ幅の矩形に裁断してテープ片を得た。テープ片のそれぞれの剥離シートを剥がし、表出した粘着剤層の主面（第１のシリコーン片面テープについては高粘着力面、第２のシリコーン片面テープについては低粘着力面）を、それぞれ、ガラス基板（コーニング社製、製品名：イーグルＸＧ）の主面に貼付して、ＰＥＴ製フィルムと粘着剤層とガラス基板とからなり、粘着剤層のガラス基板に対向する面の粘着力が異なる２種類の積層体を得た。これらの積層体のそれぞれについて、ＰＥＴ製フィルムが上方になるように試験台上に載置し、２３℃、相対湿度５０％の環境下で、２ｋｇローラを用いて一往復加圧し、その後、２４時間放置して、剥離試験用サンプルとした。こうして得られた剥離試験用サンプルについて、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９を準じて、引張試験機（オリエンテック社製、製品名：テンシロン）を用い、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０°の条件で、粘着剤層とＰＥＴ製フィルムとからなる積層体を前記ガラス基板から剥離した。これにより、粘着剤層の低粘着力面または高粘着力面のガラス基板に対する粘着力（ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。測定結果を表２に示す。   Each of the first silicone single-sided tape and the second silicone single-sided tape was cut into a rectangle having a length of 250 mm and a width of 25 mm to obtain a tape piece. Peel off each release sheet of the tape pieces, and expose the main surface of the adhesive layer (high adhesive surface for the first silicone single-sided tape, low adhesive surface for the second silicone single-sided tape), Attached to the main surface of a glass substrate (Corning, product name: Eagle XG) is composed of a PET film, an adhesive layer and a glass substrate, and the adhesive force of the surface of the adhesive layer facing the glass substrate is different. Two types of laminates were obtained. About each of these laminated bodies, it mounts on a test stand so that a film made from PET may become the upper side, and it presses and reciprocates once using a 2 kg roller in the environment of 23 degreeC and 50% of relative humidity, and then 24 A sample for peeling test was left for a period of time. The sample for peel test thus obtained was adhered in accordance with JIS Z0237: 2009 using a tensile tester (product name: Tensilon, manufactured by Orientec Corp.) under the conditions of a peel rate of 300 mm / min and a peel angle of 180 °. The laminated body which consists of an agent layer and a film made from PET was peeled from the glass substrate. This measured the adhesive force (mN / 25mm) with respect to the glass substrate of the low adhesive force surface or high adhesive force surface of an adhesive layer. The measurement results are shown in Table 2.

Figure 0006126436
Figure 0006126436

Figure 0006126436
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表１および２に示されるように、本発明の条件を満たす実施例の基材レスシリコーン両面テープが備える粘着剤層は、一方の主面の粘着力と他方の主面の粘着力とが相違し、再剥離制御性に優れる。   As shown in Tables 1 and 2, the pressure-sensitive adhesive layer provided in the base-material-free silicone double-sided tape of the example satisfying the conditions of the present invention is different in the adhesive force of one main surface and the adhesive force of the other main surface. And excellent re-peeling controllability.

本発明の基材レスシリコーン両面テープは、その粘着剤層が再剥離制御性に優れるため、例えば、ガラス基板にＩＴＯ膜を形成する際に好適に使用される。   The base material-less silicone double-sided tape of the present invention is suitably used, for example, when an ITO film is formed on a glass substrate because the pressure-sensitive adhesive layer is excellent in re-peeling controllability.

１０…基材レスシリコーン両面テープ
１…粘着剤層
１Ａ…粘着剤層１の第１の剥離面２Ａに対向するように積層された主面（低粘着力面）
１Ｂ…粘着剤層１の第２の剥離面３Ａに対向するように積層された主面（高粘着力面）
２…第１の剥離シート
２Ａ…第１の剥離面
２ａ…第１の剥離処理層
２ｂ…第１の支持材
３…第２の剥離シート
３Ａ…第２の剥離面
３ａ…第２の剥離処理層
３ｂ…第２の支持材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Base-material-free silicone double-sided tape 1 ... Adhesive layer 1A ... The main surface laminated | stacked so as to oppose the 1st peeling surface 2A of the adhesive layer 1 (low adhesive force surface)
1B ... Main surface (high adhesive force surface) laminated so as to face the second peeling surface 3A of the pressure-sensitive adhesive layer 1
2 ... 1st peeling sheet 2A ... 1st peeling surface 2a ... 1st peeling process layer 2b ... 1st support material 3 ... 2nd peeling sheet 3A ... 2nd peeling surface 3a ... 2nd peeling process Layer 3b ... second support material

Claims (5)

第１の部材と、前記第１の部材の片面上に積層された、シリコーン系粘着剤組成物から形成された粘着剤層と、前記粘着剤層における前記第１の部材と反対の面上に積層された第２の部材とを備える積層構造体であって、
前記粘着剤層の２つの主面の粘着力の差は２ｍＮ／２５ｍｍ以上２０ｍＮ／２５ｍｍ以下であり、
前記粘着剤層における粘着力が高い方の主面の粘着力は７００ｍＮ／２５ｍｍ以下であり、
前記第１の部材は、前記積層構造体に備わった状態において加熱を含む加工が施される部材であるとともに、前記粘着剤層における粘着力が低い方の主面と接し、
前記第２の部材は、載置板であるとともに、前記粘着剤層における粘着力が高い方の主面と接する
ことを特徴とする積層構造体。 A first member, a pressure-sensitive adhesive layer formed from a silicone-based pressure-sensitive adhesive composition, laminated on one side of the first member, and a surface of the pressure-sensitive adhesive layer opposite to the first member. A laminated structure comprising a laminated second member,
The difference in adhesive strength of the two major surfaces of the pressure-sensitive adhesive layer is Ri Der below 2 mN / 25 mm or more 20 mN / 25 mm,
Adhesion of the main surface having the higher adhesion at the adhesive layer Ri der following 700mN / 25mm,
The first member is a member subjected to processing including heating in a state provided in the laminated structure, and is in contact with a main surface having a lower adhesive force in the adhesive layer,
The second member is a mounting plate and is in contact with a main surface having a higher adhesive force in the pressure-sensitive adhesive layer.
A laminated structure characterized by that . 前記第１の部材は、前記加工の後に、前記粘着剤層から分離されることを特徴とする請求項１に記載の積層構造体。The laminated structure according to claim 1, wherein the first member is separated from the pressure-sensitive adhesive layer after the processing. 前記シリコーン系粘着剤組成物は、シロキサン結合を主骨格としアルケニル基を含有する付加型のオルガノポリシロキサンを構成成分として含むシリコーンゴムと、前記シリコーンゴム１００質量部あたり０．０１質量部以上３質量部以下の白金触媒と、前記シリコーンゴム１００質量部あたり１５質量部以上１００質量部以下のシリコーンレジンとを含む、請求項１または２に記載の積層構造体。 The silicone-based pressure-sensitive adhesive composition includes a silicone rubber containing a siloxane bond as a main skeleton and an addition type organopolysiloxane containing an alkenyl group as a constituent component, and 0.01 parts by mass or more and 3 parts by mass per 100 parts by mass of the silicone rubber. The laminated structure according to claim 1 or 2, comprising 15 parts by weight or less of a platinum catalyst and 15 parts by weight or more and 100 parts by weight or less of a silicone resin per 100 parts by weight of the silicone rubber. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層構造体の製造方法であって、It is a manufacturing method of the lamination structure according to any one of claims 1 to 3,
前記シリコーン系粘着剤組成物を第１の剥離シートの剥離面上に塗布し、得られた塗膜を乾燥させて、前記粘着剤層を形成する工程、Applying the silicone-based pressure-sensitive adhesive composition on the release surface of the first release sheet, drying the obtained coating film, and forming the pressure-sensitive adhesive layer;
前記粘着剤層における前記第１の剥離シートと反対の面に第２の剥離シートの剥離面を積層し、前記第１の剥離シートと前記粘着剤層と前記第２の剥離シートがこの順に積層されてなる基材レスシリコーン両面テープを得る工程、およびThe release surface of the second release sheet is laminated on the surface of the adhesive layer opposite to the first release sheet, and the first release sheet, the adhesive layer, and the second release sheet are laminated in this order. A step of obtaining a baseless silicone double-sided tape, and
前記基材レスシリコーン両面テープから前記第１の剥離シートを剥離して、露出した前記粘着剤層の主面を前記第１の部材に貼付するとともに、前記基材レスシリコーン両面テープから前記第２の剥離シートを剥離して、露出した前記粘着剤層の主面を前記第２の部材に貼付することで、前記積層構造体を得る工程The first release sheet is peeled off from the base material-less silicone double-sided tape, and the exposed main surface of the pressure-sensitive adhesive layer is attached to the first member. The process of obtaining the said laminated structure by peeling the peeling sheet of this, and sticking the exposed main surface of the said adhesive layer on the said 2nd member
を備えることを特徴とする積層構造体の製造方法。The manufacturing method of the laminated structure characterized by comprising. 前記乾燥は、前記塗膜を９０℃以上、１５０℃以下の温度で５分間以上加熱することで行われることを特徴する請求項４に記載の積層構造体の製造方法。The said drying is performed by heating the said coating film at the temperature of 90 to 150 degreeC for 5 minutes or more, The manufacturing method of the laminated structure of Claim 4 characterized by the above-mentioned.
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