JP6124337B2 - 静電気放電試験装置、静電気放電試験方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
測定対象試料に放電を行う放電ガンと、
前記放電ガンの近傍に配置され、電圧検出を行う第1プローブと、
前記測定対象試料の載置方向に移動可能に構成され、各測定点において電圧検出を行う第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブと接続し、前記放電ガンによる放電後の前記第1プローブ及び前記第2プローブからの出力電圧を測定するオシロスコープと、
前記第1プローブの出力電圧の測定値が所定値以上となった場合の前記第2プローブの出力電圧の測定値と、前記第1プローブの出力電圧のピーク検出タイミングと、を用いて前記測定対象試料の静電気の影響評価を行う制御マシンと、
を有する、ものである。
測定対象試料に放電を行う放電ステップと、
前記放電ガンの近傍に配置されたプローブを用いて電圧測定を行う第1測定ステップと、
前記測定対象試料の載置方向に移動可能に構成されたプローブを用いて、各測定点において電圧検出を行う第2検出ステップと、
前記第1検出ステップにおいて測定値が所定値以上となった場合の前記第2測定ステップの出力電圧の測定値と、前記第1測定ステップの出力電圧のピーク検出タイミングと、を用いて前記測定対象試料の静電気の影響評価を行う評価ステップと、
を有する、ものである。
コンピュータに、
測定対象試料に放電を行う放電ガンの近傍に配置された第1プローブの出力電圧の測定値と、各測定点において電圧検出を行う第2プローブの出力電圧の測定値を取得する取得ステップと、
前記第1プローブの出力電圧の測定値が所定値以上となった場合の前記第2プローブの出力電圧の測定値と、前記第1プローブの出力電圧のピーク検出タイミングと、を用いて前記測定対象試料の静電気影響の評価を所定出力形式に従って出力する出力ステップと、
を実行させる、ものである。
以下、本発明の実施の形態1にかかる静電気放電評価装置1について説明する。図1は、本実施の形態にかかる静電気放電評価装置1の構成を示すブロック図である。また図2は、本実施の形態にかかる静電気放電評価装置1の外観を示す図である。以下の説明では、この図1及び図2を参照して本実施の形態にかかる静電気放電評価装置1の構成及び動作について説明する。
11 第1プローブ
12 第2プローブ
13 プローブ調整部
14 放電ガン
15 プリアンプ
16 オシロスコーブ
17 制御マシン
18 静電気試験器
19 電源
20 プローブ移動部
100 測定対象試料
Claims (15)
- 測定対象試料に放電を行う放電ガンと、
前記放電ガンの近傍に配置され、電圧検出を行う第1プローブと、
前記測定対象試料の載置方向に移動可能に構成され、各測定点において電圧検出を行う第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブと接続し、前記放電ガンによる放電後の前記第1プローブ及び前記第2プローブからの出力電圧を測定するオシロスコープと、
前記第1プローブの出力電圧の測定値が所定値以上となった場合の前記第2プローブの出力電圧の測定値と、前記第1プローブの出力電圧のピーク検出タイミングと、を用いて前記測定対象試料の静電気の影響評価を行う制御マシンと、
を有する静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、
前記放電ガンが放電した後に前記第1プローブの出力電圧が前記所定値以上とならなかった場合、前記放電ガンによる再度の放電まで前記第2プローブを移動しないように制御する、請求項1に記載の静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、
前記放電ガンが放電した後に前記第1プローブの出力電圧が前記所定値以上とならなかった場合、前記所定値が徐々に小さくなるように調整を行う、
請求項1または請求項2に記載の静電気放電評価装置。 - 前記測定対象試料と前記第2プローブとの距離を測定するプローブ調整部を備え、
前記プローブ調整部の測定結果に基づいて、前記測定対象試料との距離が所望の距離となるように前記第2プローブの高さ位置を調節する、
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、
前記オシロスコープが測定した前記第1プローブの出力電圧と前記第2プローブの出力電圧を所定出力形式に従って出力する、
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、
各測定点における前記第1プローブの出力電圧のピーク値の検出タイミングと、各測定点における前記第2プローブの出力電圧のピーク値の検出タイミングと、を基に前記測定対象試料における静電気の伝搬イメージを画像出力する、
請求項5に記載の静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、前記静電気の伝搬イメージを前記測定対象試料の画像データまたはCADデータの上に重ねて画像出力する、
請求項6記載の静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、
ユーザからの放電後経過時間の指定を受け付け、前記放電後経過時間における各測定点の前記第2プローブの出力電圧値を抽出し、抽出した各出力電圧値を用いて前記測定対象試料における電圧分布イメージを画像出力する、
請求項5に記載の静電気放電評価装置。 - 前記制御マシンは、前記電圧分布イメージを前記測定対象試料の画像データまたはCADデータの上に重ねて画像出力する、
請求項8記載の静電気放電評価装置。 - 測定対象試料に放電を行う放電ステップと、
前記放電ガンの近傍に配置されたプローブを用いて電圧測定を行う第1測定ステップと、
前記測定対象試料の載置方向に移動可能に構成されたプローブを用いて、各測定点において電圧検出を行う第2検出ステップと、
前記第1検出ステップにおいて測定値が所定値以上となった場合の前記第2測定ステップの出力電圧の測定値と、前記第1測定ステップの出力電圧のピーク検出タイミングと、を用いて前記測定対象試料の静電気の影響評価を行う評価ステップと、
を有する放電影響評価方法。 - コンピュータに、
測定対象試料に放電を行う放電ガンの近傍に配置された第1プローブの出力電圧の測定値と、各測定点において電圧検出を行う第2プローブの出力電圧の測定値を取得する取得ステップと、
前記第1プローブの出力電圧の測定値が所定値以上となった場合の前記第2プローブの出力電圧の測定値と、前記第1プローブの出力電圧のピーク検出タイミングと、を用いて前記測定対象試料の静電気影響の評価を所定出力形式に従って出力する出力ステップと、
を実行させる、プログラム。 - 前記出力ステップでは、
各測定点における前記第1プローブの出力電圧のピーク値の検出タイミングと、各測定点における前記第2プローブの出力電圧のピーク値の検出タイミングと、を基に前記測定対象試料における静電気の伝搬イメージを画像出力する、
請求項11に記載のプログラム。 - 前記出力ステップでは、前記静電気の伝搬イメージを前記測定対象試料の画像データまたはCADデータの上に重ねて画像出力する、
請求項12記載のプログラム。 - 前記出力ステップでは、
ユーザからの放電後経過時間の指定を受け付け、前記放電後経過時間における各測定点の前記第2プローブの出力電圧値を抽出し、抽出した各出力電圧値を用いて前記測定対象試料における電圧分布イメージを画像出力する、
請求項11に記載のプログラム。 - 前記出力ステップでは、前記電圧分布イメージを前記測定対象試料の画像データまたはCADデータの上に重ねて画像出力する、
請求項14記載のプログラム。
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