JP6120646B2 - レーザ加工機の同軸ノズルおよび該同軸ノズルを用いたレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
13 インナーノズル
13B 先端側インナーノズル(インナーノズルの先端部)
15 アウターノズル
17 冷却回路
19 筒状の空間
21 中間筒状体
23 空間
25 メッシュ支持体(筒状部品)
26 供給口
27 メッシュ(整流手段)
S1 第1のシールドガス供給手段
G1 インナーシールドガス(インナーガス)
S2 第2のシールドガス供給手段
G2 アウターシールドガス(アウターガス)
G3 クロスジェットガス
LB レーザ光
Claims (6)
- 内側をレーザ光とインナーシールドガスとが通過し、先端からワークに向けて前記レーザ光を出射すると共に前記インナーシールドガスを噴出するインナーノズルと、
前記インナーノズルの外側に設けられ、該インナーノズルとの間に確保した筒状の空間を通して先端からアウターシールドガスを噴出するアウターノズルと、
前記インナーノズルの内側に前記インナーシールドガスとして不活性ガスを供給すると共に前記インナーノズルの外側の前記筒状の空間に前記アウターシールドガスとして不活性ガスを供給するシールドガス供給手段と、を有し、
前記インナーノズルの少なくとも先端部が、不活性ガス雰囲気下に置かれることで耐熱強度の向上する材料で構成され、
少なくとも前記インナーノズルの内側を通過する前記インナーシールドガスの流れを層流とし、
前記インナーノズルの周壁または該インナーノズルの内部に連通する筒状部品の周壁に、前記インナーノズルの内側に前記インナーシールドガスを供給する供給口が、前記ガス供給手段の一要素として設けられ、この供給口に、前記インナーノズルの内側に供給する前記インナーシールドガスの流れを層流化する整流手段が設けられていることを特徴とするレーザ加工機の同軸ノズル。 - 請求項1に記載のレーザ加工機の同軸ノズルであって、
前記不活性ガス雰囲気下に置かれることで耐熱強度の向上する材料として、カーボンが使用されていることを特徴とするレーザ加工機の同軸ノズル。 - 請求項1または2に記載のレーザ加工機の同軸ノズルであって、
前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給および供給停止する制御手段を備え、
該制御手段が、レーザ加工中に前記ガス供給手段に不活性ガスを供給させると共に、レーザ加工終了後に、前記インナーノズルの温度が所定以下になるまでの間、引き続いて前記ガス供給手段に不活性ガスの供給を継続させることを特徴とするレーザ加工機の同軸ノズル。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工機の同軸ノズルであって、
前記インナーノズルを冷却する冷却回路が更に設けられ、
前記冷却回路は、前記インナーノズルと前記アウターノズルとの間に存在する筒状の空間に中間筒状体を設置することで、クロスジェットガスのみが流れる空間を前記インナーノズルの外周の少なくとも一部を囲むようにして形成して、前記クロスジェットガスを用いて前記インナーノズルの外周を冷却するようにしたことを特徴とするレーザ加工機の同軸ノズル。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のレーザ加工機の同軸ノズルにおいて、
レーザ加工機の同軸ノズルから発したレーザ光が照射されるワークの部位からは、前記アウターノズルが見えないように前記インナーノズルで遮られていることを特徴とするレーザ加工機の同軸ノズル。 - 請求項1に記載のレーザ加工機の同軸ノズルを用いたレーザ加工方法であって、
レーザ加工中は、不活性ガスをインナーノズルの先端とアウターノズルの先端から共に噴出しながらワークに対してレーザ加工を行うと共に、レーザ加工終了後、前記インナーノズルの先端部の温度が所定以下となるまでの間、レーザ加工中に引き続いて前記不活性ガスを前記インナーノズルの先端と前記アウターノズルの先端から共に噴出することで、前記不活性ガスにより前記インナーノズルの先端部を覆うことを特徴とするレーザ加工方法。
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