JP6108751B2 - 外観検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、外観検査装置に関する。

従来、所謂光切断法によって、検査対象面の三次元形状に対応した画像を得ることが可能な外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１）。この種の外観検査装置では、検査対象面に照射された線状の光の位置や形状に基づいて検査対象領域の各位置での高さが算出され、さらに当該高さに応じた各位置での輝度値が設定されて二次元の疑似画像が生成される場合がある。

特開２０１１−１４１２６０号公報

しかしながら、この種の外観検査装置では、検査対象面の凹凸形状によっては、当該凹凸形状によって撮影範囲に死角が生じ、線状の光が部分的に途切れる場合がある。光が途切れた部分では、検査対象面の凹凸を判別できない上、疑似画像中にも輝度値の無い領域が生じてしまう。光が途切れた部分も考慮して画像処理を行う場合、判定によって分岐させる必要が生じるなど、処理が複雑化し、またそのための計算時間も増加する場合があった。

そこで、本発明の実施形態は、一例としては、光切断法で線状の光が途切れた部分が生じた場合にあっても当該部分に対応した疑似画像を生成することが可能な外観検査装置を得ることを目的の一つとする。

本発明の実施形態にかかる外観検査装置にあっては、ライトシートに照らされることで検査対象面の線状の検査対象領域に形成された線状の光の画像を、ライトシートと交叉した方向から撮像する撮像部と、検査対象領域の複数の点に対応した光の画像の基準線からのずれに応じて各点での輝度値を決定して二次元の疑似画像を生成する画像生成部と、疑似画像が表示されるよう表示部を制御する表示制御部と、を備え、画像生成部は、例えば、光の画像が得られなかった点が集まった不検出領域の当該点の数が所定値と同じかあるいは少なかった場合に、当該不検出領域内の各点の輝度値を、光の画像が得られた複数の点の輝度値から補間して決定する。

本発明の実施形態によれば、一例としては、線状の光が途切れた部分が生じた場合にあっても当該部分に対応した疑似画像を生成することが可能な外観検査装置を得ることができる。

図１は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的な斜視図である。 図２は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた検査対象領域に当てられた線状の光の一例が示された模式的な平面図である。 図３は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。 図４は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部の一例が示された模式的なブロック図である。 図５は、実施形態にかかる外観検査装置による検査方法の一例が示されたフローチャートである。 図６は、図５のステップＳ５の詳細の一例が示されたフローチャートである。 図７は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像であって、線状の光が途切れた部分の画像が補間され、かつ検出された異常が示された疑似画像の一例が示された図である。 図８は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像であって、線状の光が途切れた部分の画像が無く、かつ検出された異常が示された疑似画像の一例が示された図である。 図９は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた光の画像の一例が示された図である。 図１０は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像の部分的な拡大図であって、不検出領域の一例が示された模式図である。 図１１は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像の部分的な拡大図であって、不検出領域およびその周囲領域の一例が示された模式図である。 図１２は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像の部分的な拡大図であって、不検出領域およびその周囲領域の第一の領域および第二の領域の一例が示された模式図である。 図１３は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像の部分的な拡大図であって、不検出領域およびその周囲領域の第一の領域および第二の領域の重心ならびに周囲領域に外接した参照形状の一例が示された模式図である。 図１４は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像の部分的な拡大図であって、不検出領域およびその周囲領域の第一の領域および第二の領域を代表する第一の位置および第二の位置の一例が示された模式図である。 図１５は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像の部分的な拡大図であって、不検出領域が補間された一例が示された模式図である。

本実施形態では、一例として、図１〜４に示される外観検査装置１は、検査対象物１００を撮像した画像に基づいて、当該検査対象物１００の検査対象面１０１の検査を行う。図３に示されるように、外観検査装置１は、光源２や、撮像部３、制御部４０、搬送装置５（搬送部）、表示装置６（表示部）等を備える。

図１，２に示されるように、光源２は、ライトシート（シート状の光、平坦なカーテン状の光、スリット光）を出射し、検査対象面１０１に線状の光Ｌを照射する。光源２は、例えば、輝線照射用のレーザ光源等である。撮像部３は、ライトシートと交叉する方向から検査対象領域Ａを含む検査対象面１０１上の二次元領域を撮像する。

本実施形態では、一例として、図１に示されるように、光源２は、検査対象面１０１の法線方向（図１中のＺ方向）と線状の光Ｌ（検査対象領域Ａ）の幅方向（図１，２中のＹ方向）との間の斜め方向（斜め上方向）から、線状の検査対象領域Ａを照らしている。検査対象面１０１が平面であった場合、検査対象面１０１上の光Ｌ（輝線）は直線状である。しかしながら、検査対象面１０１が凸部を有していた場合、検査対象面１０１が平面であった場合の光Ｌを基準線Ｒ（直線、基準位置）とすると、当該凸部に当たった光Ｌは、基準線Ｒから光源２側（光源２に近い側）にずれる。また、逆に、検査対象面１０１が凹部を有していた場合、当該凹部に当たった光Ｌは、基準線Ｒから光源２とは反対側（光源２から遠い側）にずれる。すなわち、光Ｌの位置（形状、基準線Ｒからのずれ）によって、検査対象面１０１の凹凸ならびに当該凹凸の程度（凸部の高さ、凹部の深さ、法線方向における位置）を判別することができる。なお、ライトシートの出射方向ならびに撮像部３による撮像方向は、種々に設定することが可能である。

撮像部３は、検査対象面１０１の上方（本実施形態では、一例として法線方向に離れた位置）から、少なくとも検査対象領域Ａにおける光Ｌの画像を撮像する。撮像部３は、例えば、二次元に配列された光電変換素子（光電変換部）を有したエリアセンサ（固体撮像素子、例えば、ＣＣＤ（charge coupled device）イメージセンサや、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）イメージセンサ等）である。

搬送装置５は、検査対象物１００を光Ｌ（検査対象領域Ａ）の幅方向（検査対象物１００の長手方向、図１，２中のＸ方向）に搬送し、検査対象面１０１における検査対象領域Ａを移動させる。なお、検査対象物１００が固定され、光源２や撮像部３等が検査対象面１０１に沿って移動する構成（搬送装置５によって動かされる構成）であってもよい。

また、外観検査装置１は、図３に示されるように、制御部４０（例えばＣＰＵ（central processing unit）等）や、ＲＯＭ４１（read only memory）、ＲＡＭ４２（random access memory）、ＳＳＤ４３（solid state drive）、光照射コントローラ４４、撮像コントローラ４５、搬送コントローラ４６、表示コントローラ４７等を備えることができる。光照射コントローラ４４は、制御部４０からの制御信号に基づいて、光源２の発光（オン、オフ）等を制御する。撮像コントローラ４５は、制御部４０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。搬送コントローラ４６は、制御部４０から受けた制御信号に基づいて、搬送装置５を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ４７は、制御部４０からの制御信号に基づいて、表示装置６を制御する。また、制御部４０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ４１やＳＳＤ４３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ４２は、制御部４０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図３に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部４０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。

また、本実施形態では、一例として、制御部４０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、外観検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。すなわち、図４に示されるように、制御部４０は、光照射制御部４０ａや、撮像制御部４０ｂ、搬送制御部４０ｃ、画像処理部４０ｄ、表示制御部４０ｅ等として機能する。光照射制御部４０ａは、光照射コントローラ４４を制御する。撮像制御部４０ｂは、撮像コントローラ４５を制御する。搬送制御部４０ｃは、搬送コントローラ４６を制御する。画像処理部４０ｄは、撮像部３が取得した画像データを画像処理する。表示制御部４０ｅは、表示装置６（例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）、ＯＥＬＤ（organic electroluminescent display）等）を制御する。

ここで、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、複数の検査対象領域Ａの各点（検査対象領域Ａの長手方向の各点）に対応した光Ｌの画像の基準線Ｒ（基準位置）からのずれに応じて、当該各点での輝度値を決定することにより、二次元の疑似画像Ｉｍｖ（図１０等参照）を生成する。画像処理部４０ｄは、一例として、各位置での基準線Ｒから光源２に近い側（図１の左上側）へのずれが大きいほど輝度値を高く設定し（画素を明るくし）、光源２から遠い側の遠い側（図１の右下側）へのずれが大きいほど輝度値を低く設定する（画素を暗くする）。これにより、疑似画像Ｉｍｖは、検査対象領域Ａの二次元の外観に近い画像となる。画像処理部４０ｄは、疑似画像Ｉｍｖを生成する画像生成部の一例である。表示制御部４０ｅは、疑似画像Ｉｍｖが表示されるよう、表示装置６を制御することができる。疑似画像Ｉｍｖは、検査対象面１０１の凹凸の状態（大きさや、位置等）を視覚的に判断しやすいという利点を有している。

また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、複数の検査対象領域Ａにおける線状の光Ｌの位置（形状、ずれ）の変化（二次元的な変化）、あるいは、二次元の疑似画像Ｉｍｖの輝度値の変化等に基づいて、検査対象面１０１の異常を判別する。一例として、画像処理部４０ｄは、基準線Ｒからのずれもしくは輝度値が所定値（ずれもしくは輝度値の閾値）と同じかあるいはより大きい画素が、所定数（画素数あるいは面積の閾値）と同じかあるいはより多く集まっていた場合、検査対象面１０１に凸状の異常が存在すると決定することができる。また、一例として、画像処理部４０ｄは、基準線Ｒからのずれもしくは輝度値が所定値（ずれあるいは輝度値の閾値）と同じかあるいはより小さい画素が、所定数（画素数あるいは面積の閾値）と同じかあるいはより多く集まっていた場合、検査対象面１０１に凹状の異常が存在すると決定することができる。すなわち、画像処理部４０ｄは、異常領域決定部の一例である。

上記構成では、検査対象面１０１（検査対象領域Ａ）に急峻な凹凸形状（段差）があるような場合には、図９に示されるように、検査対象面１０１上に、線状の光Ｌが途切れた部分（不検出領域ＡＬ、欠落部分、欠落領域）が生じることがある。当該途切れた部分（不検出領域ＡＬ）は、一例としては、凹凸形状（段差）により光Ｌの影が生じた部分である。このような場合、当該途切れた部分については、凹凸を判別できない上、疑似画像Ｉｍｖ中にも画像の無い領域が生じてしまう（図１０参照）。そこで、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、線状の光Ｌの画像が得られなかった点の輝度値を、光Ｌの画像が得られた複数の点の輝度値から補間して決定し、疑似画像Ｉｍｖ中に、画像が無い（輝度値が０の）領域が無いように処理（補間処理、穴埋め処理）することができる。なお、画像処理部４０ｄは、このような補間処理を、光Ｌの画像が得られない全ての点（の集まり、集合、領域）について行う必要は無く、一例としては、異常では無いと判断（決定）された点（の集まり、集合、領域）についてのみ、行うことができる。この場合、疑似画像Ｉｍｖにおける異常が生じた部分（領域）の視覚的な誤認が抑制されやすい。

具体的には、図５に示されるように、制御部４０は、まず、画像処理部４０ｄ（画像生成部）として機能し、複数の検査対象領域Ａの各点（画素）についての基準線Ｒ（基準位置）に対する光Ｌの位置（ずれ）から、当該各点の輝度値を決定し、二次元の疑似画像Ｉｍｖを生成する（ステップＳ１）。このステップＳ１で、画像処理部４０ｄは、一例として、各点の輝度値を、ずれの大きさに応じて線形的に決定することができる。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（第一の異常領域決定部）として機能し、輝度値が所定値（輝度値の閾値）と同じかあるいはより大きい画素が、所定数（画素数の閾値）と同じかあるいはより多く集まっていた場合、あるいは、基準線Ｒからのずれもしくは輝度値が所定値（輝度値の閾値）と同じかあるいはより小さい画素が、所定数（画素数の閾値）と同じかあるいはより多く集まっていた場合に、当該点が集まった領域を、異常領域ＡＵ（図７，８参照）と決定する（ステップＳ２）。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（前処理部）として機能し、対応する光Ｌの画像のデータが得られなかった点についてグルーピング（グループ化）やラベリング（グループの区別）等を行う（ステップＳ３）。このステップＳ３により、対応する光Ｌの画像のデータが得られなかった点が集まった領域（不検出領域ＡＬ）が得られる。次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄとして機能し、不検出領域ＡＬの大きさ（画素の集まり（集合）の数、面積）が所定値（画素数あるいは面積の閾値）を超えない場合（ステップＳ４でＮｏ）には、当該不検出領域ＡＬ内の各点での輝度値を、光Ｌの画像のデータが得られた複数の点での輝度値から補間して決定する（ステップＳ５）。

一方、不検出領域ＡＬの大きさが所定値（画素数あるいは面積の閾値）と同じかあるいは超えた場合（ステップＳ４でＹｅｓ）には、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（第二の異常領域決定部）として機能し、対応する光Ｌの画像のデータが得られなかった点が集まった当該領域（不検出領域ＡＬ）を、異常領域ＡＵとして決定する（ステップＳ６）。なお、ステップＳ２での閾値とステップＳ６での閾値は同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。

次いで、制御部４０は、表示制御部４０ｅとして機能し、ステップＳ１で得られた不検出領域ＡＬ以外の各点での輝度値（疑似画像）と、ステップＳ５で得られた不検出領域ＡＬ内の各点での輝度値（疑似画像、補間画像、補間された輝度値）と、ステップＳ２およびステップＳ４で得られた異常領域ＡＵを示す画像（例えば、所定の色で着色された領域、指標等）と、を含む画像（例えば、図７）が表示されるよう、表示コントローラ４７ひいては表示装置６を制御することができる（ステップＳ７）。なお、表示制御部４０ｅは、入力部（例えば、キーボード等、図示されず）からの指示入力に応じて、ステップＳ５で補間された輝度値が算出される不検出領域ＡＬについては、補間された輝度値が表示装置６に表示された状態（図７）と、輝度値（疑似画像）が得られないことがわかるように表示された状態（一例としては、当該領域の輝度値を０として表示された状態、例えば、図８）とを切り替えることができる。すなわち、表示制御部４０ｅは、表示装置６での光の画像が得られなかった点の表示態様を、切り替え可能である。なお、表示制御部４０ｅは、異常領域ＡＵについても、入力部からの指示入力に応じて、当該異常領域ＡＵを示す画像（指標等）が表示された状態と、表示されない状態とを切り替えることができる。

また、ステップＳ５において、画像処理部４０ｄは、一例としては、図６に示される手順で輝度値を決定し、疑似画像Ｉｍｖを生成する。なお、図１０は、複数の検出対象領域Ａに含まれる各点Ｐ（画素）が検出された順に二次元的に並べられた領域の一例である。図１０〜１５で、各点Ｐは最小の正方形の枠で示される。各点Ｐの二次元座標は、並べられた位置で決定される。また、一例としては、座標軸ｉは検出対象領域Ａの幅方向（搬送方向、Ｘ方向）に沿い、座標軸ｊは検出対象領域Ａの長手方向（Ｙ方向）に沿っている。なお、図１０〜１５では、点Ｐの符号はそれぞれ一箇所ずつ示されているが、座標中の最小の正方形の枠は、全て点Ｐである。また、図１０〜１５で、各点Ｐ（画素）の濃さは輝度値を示しており、一例としては、明るい（白い）ほど輝度値が高いことを示す。図１０に例示される不検出領域ＡＬに対し、画像処理部４０ｄは、まず、その周囲に位置されて前記光の画像が得られた複数の点Ｐ（画素、図１１で網掛けされた画素、周囲領域ＡＳ）を抽出する（ステップＳ５１）。次に、画像処理部４０ｄは、周囲領域ＡＳ内の全ての点Ｐ（画素）の輝度値の平均値ｍを算出し、周囲領域ＡＳを、平均値ｍより高い領域ＡＳ１（図１２では、一例として、右上がりのハッチングが施された領域、周囲領域ＡＳ内の右下側の領域得）と平均値ｍより低い領域ＡＳ２（図１２では、一例として、右下がりのハッチングが施された領域、周囲領域ＡＳ内の左上側の領域）とに分ける（ステップＳ５２）。領域ＡＳ１は、第一の領域の一例であり、領域ＡＳ２は、第二の領域の一例である。次に、画像処理部４０ｄは、領域ＡＳ１に含まれる画素の輝度値の平均値ｍ１と、領域ＡＳ２に含まれる画素の輝度値の平均値ｍ２と、を算出する（ステップＳ５３）。平均値ｍ１は、第一の輝度値の一例であり、平均値ｍ２は、第二の輝度値の一例である。次に、画像処理部４０ｄは、周囲領域ＡＳに外接する四角形Ｓ（図１３に示される正方形、座標上の関数）を算出する（ステップＳ５４）。四角形Ｓは、参照形状の一例である。次に、画像処理部４０ｄは、図１４に示されるように、領域ＡＳ１の重心Ｇ１（座標上の位置）と領域ＡＳ２の重心Ｇ２（座標上の位置）とを通る直線Ｌ１２（座標上の関数）と、四角形Ｓとの交点Ｃ１，Ｃ２（座標上の位置）を、算出する（ステップＳ５５）。交点Ｃ１は、第一の位置の一例であり、交点Ｃ２は、第二の位置の一例である。次に、画像処理部４０ｄは、平均値ｍ１，ｍ２ならびに交点Ｃ１，Ｃ２の座標上の位置に基づいて、以下の式（１）を用いて、不検出領域ＡＬ内の各点Ｐ（ｉ，ｊ）の輝度値ｖｌ（ｉ，ｊ）を算出する（ステップＳ５６）。
［数１］
ｖｌ（ｉ，ｊ）＝ｍ１＊ｋ２／（ｋ１＋ｋ２）＋ｍ２＊ｋ１／（ｋ１＋ｋ２）
・・・ （１）
ここに、ｋ１は、各点Ｐと交点Ｃ１との距離、ｋ２は、各点Ｐと交点Ｃ２との距離である。
この式（１）によれば、不検出領域ＡＬ内の輝度値ｖｌは、距離ｋ１が小さいほど、すなわち交点Ｃ１（第一の位置）に近いほど、平均値ｍ１（第一の輝度値）に近い値となり、距離ｋ２が小さいほど、すなわち交点Ｃ２（第二の位置）に近いほど、平均値ｍ２（第二の輝度値）に近い値となる。ステップＳ５での上述した処理により、一例としては、図１５のように、不検出領域ＡＬ（図１０参照）が補間されて埋められた疑似画像Ｉｍｖが生成される。

このように、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、光Ｌの画像が得られなかった複数の点Ｐが集まった不検出領域ＡＬ内の当該点Ｐの輝度値を、当該不検出領域ＡＬの周囲に位置されて光Ｌの画像が得られた複数の点（周囲領域ＡＳ内の点Ｐ）の輝度値から補間して決定している。よって、本実施形態によれば、一例としては、不検出領域ＡＬ内の点Ｐの輝度値を、当該不検出領域ＡＬの周囲の状況に応じて算出することができるので、当該周囲との差が小さく不検出領域ＡＬと不検出領域ＡＬ以外の領域とがより円滑に繋げられた外観上の違和感のより少ない疑似画像Ｉｍｖが得られやすい。また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、周囲領域ＡＳのうち輝度値が高い領域ＡＳ１を代表する交点Ｃ１の位置座標（第一の位置）および領域ＡＳ１の平均値ｍ１（第一の輝度値）、周囲領域ＡＳのうち輝度値が低い領域ＡＳ２を代表する交点Ｃ２の位置座標（第二の位置）および平均値ｍ２（第二の輝度値）、ならびに光Ｌの画像が得られなかった各点Ｐの位置座標から、当該光の画像が得られなかった各点Ｐの輝度値を算出する。よって、本実施形態によれば、一例としては、不検出領域ＡＬに、周囲領域ＡＳの輝度値の分布に応じた輝度値の分布を与えやすい。また、本実施形態では、一例として、周囲領域ＡＳを平均値を境界として領域ＡＳ１，ＡＳ２に分けたため、より容易かつより迅速な演算によって、不検出領域ＡＬ内の各点Ｐでの輝度値に、不検出領域ＡＬの周囲における輝度値の分布（変化）の特性（特徴）がより反映されやすい。また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、交点Ｃ１を、領域ＡＳの不検出領域ＡＬとは反対側に設定し、交点Ｃ２を、領域ＡＳの不検出領域ＡＬとは反対側に設定している。よって、本実施形態によれば、一例としては、各点Ｐと各領域ＡＳ１，ＡＳ２を代表する位置との距離が０より大きい値となりやすく、距離の比に応じた重み付けを行う数式（例えば上記式（１））による演算がより容易に行われやすい。

以上、説明したように、本実施形態では、一例として、疑似画像Ｉｍｖを生成する画像処理部４０ｄ（画像生成部）は、光Ｌの画像が得られなかった不検出領域ＡＬ内の点の輝度値を、光Ｌの画像が得られた複数の点（不検出領域ＡＬ以外の複数の点）の輝度値またはずれから補間して決定する。よって、本実施形態によれば、一例としては、不検出領域ＡＬに輝度値が設定された（画像で埋められた）疑似画像Ｉｍｖを得ることができる。

また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、光Ｌの画像が得られなかった不検出領域ＡＬの点の数（領域の大きさ、面積）が所定値と同じかあるいは少なかった場合に、当該不検出領域ＡＬ内の各点の輝度値を、光Ｌの画像が得られた複数の点の輝度値から補間して決定する。よって、本実施形態によれば、一例としては、大きさが小さく、異常とは考え難い不検出領域ＡＬについて輝度値が設定された（画像で埋められた）疑似画像Ｉｍｖを得ることができる。

また、本実施形態では、一例として、光の画像または疑似画像Ｉｍｖに基づいて検査対象面１０１での異常領域ＡＵを決定する画像処理部４０ｄ（異常領域決定部）を備え、表示制御部４０ｅは、疑似画像Ｉｍｖとともに異常領域ＡＵを示す画像（指標）が表示されるよう表示装置６を制御する。よって、本実施形態によれば、一例としては、外観上、検査対象面１０１の凹凸形状とともに異常領域ＡＵがよりわかりやすい。

また、本実施形態では、一例として、表示制御部４０ｅは、表示装置６（表示部）での光Ｌの画像が得られなかった不検出領域ＡＬ内の点の表示態様を切り替え可能である。よって、本実施形態によれば、一例としては、表示態様の切り替えによって、不検出領域ＡＬの有無がよりわかりやすい。

以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、帯状以外の物であってもよい。また、異常の無い検査対象面が凹凸を有してもよい。また、不検出領域の各点の輝度値を、線状の光の画像の基準線からのずれ量に基づいて算出してよい。

１…外観検査装置、３…撮像部、６…表示装置（表示部）、４０ｄ…画像処理部（画像生成部）、４０ｅ…表示制御部、１０１…検査対象面、ｍ１…平均値（第一の輝度値）、ｍ２…平均値（第二の輝度値）、ｖｌ…輝度値、Ａ…検査対象領域、ＡＬ…不検出領域、ＡＵ…異常領域、Ｃ１…交点（第一の位置）、Ｃ２…交点（第二の位置）、Ｉｍｖ…疑似画像、Ｐ…点、Ｒ…基準線。

Claims (8)

1. ライトシートに照らされることで検査対象面の線状の検査対象領域に形成された線状の光の画像を、前記ライトシートと交叉した方向から撮像する撮像部と、
   前記検査対象領域の複数の点に対応した前記光の画像の基準線からのずれに応じて前記各点での輝度値を決定して二次元の疑似画像を生成する画像生成部と、
   前記疑似画像が表示されるよう表示部を制御する表示制御部と、
   を備え、
   前記画像生成部は、前記光の画像が得られなかった前記点が集まった不検出領域の当該点の数が所定値と同じかあるいは少なかった場合に、当該不検出領域内の前記各点の輝度値を、前記光の画像が得られた複数の前記点の輝度値から補間して決定する、外観検査装置。
2. 前記画像生成部は、前記光の画像が得られなかった複数の前記点が集まった不検出領域内の当該点の輝度値を、当該不検出領域の周囲に位置されて前記光の画像が得られた複数の前記点の前記輝度値または前記ずれに基づいて決定する、請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記画像生成部は、前記不検出領域を取り囲んだ前記光の画像が得られた複数の前記点からなる周囲領域のうち輝度値が高い第一の領域を代表する第一の位置および第一の輝度値、前記周囲領域のうち輝度値が低い第二の領域を代表する第二の位置および第二の輝度値、ならびに前記光の画像が得られなかった前記各点の位置から、当該光の画像が得られなかった前記各点の輝度値を算出する、請求項２に記載の外観検査装置。
4. ライトシートに照らされることで検査対象面の線状の検査対象領域に形成された線状の光の画像を、前記ライトシートと交叉した方向から撮像する撮像部と、
   前記検査対象領域の複数の点に対応した前記光の画像の基準線からのずれに応じて前記各点での輝度値を決定して二次元の疑似画像を生成する画像生成部と、
   前記疑似画像が表示されるよう表示部を制御する表示制御部と、
   を備え、
   前記画像生成部は、前記光の画像が得られなかった複数の前記点が集まった二次元の不検出領域を取り囲んだ前記光の画像が得られた複数の前記点からなる周囲領域のうち輝度値が高い第一の領域を代表して当該第一の領域に対応して１点のみ定められる第一の位置および当該第一の位置の第一の輝度値、前記周囲領域のうち輝度値が低い第二の領域を代表して当該第二の領域に対応して１点のみ定められる第二の位置および当該第二の位置の第二の輝度値、ならびに前記不検出領域内の前記各点の位置から、前記不検出領域に含まれる前記各点の輝度値を算出する、外観検査装置。
5. 前記画像生成部は、前記第一の位置を、前記第一の領域の前記不検出領域とは反対側に設定し、前記第二の位置を、前記第二の領域の前記不検出領域とは反対側に設定する、請求項３または４に記載の外観検査装置。
6. 前記第一の領域は、その輝度値が前記周囲領域全体の輝度値の平均値と同じかあるいは高い前記点からなる領域であり、前記第二の領域は、その輝度値が前記周囲領域全体の輝度値の平均値と同じかあるいは低い前記点からなる領域である、請求項３〜５のうちいずれか一つに記載の外観検査装置。
7. 前記光の画像または前記疑似画像に基づいて前記検査対象面での異常領域を決定する異常領域決定部を備え、
   前記表示制御部は、前記疑似画像とともに前記異常領域を示す画像が表示されるよう前記表示部を制御する、請求項１〜６のうちいずれか一つに記載の外観検査装置。
8. 前記表示制御部は、前記表示部での前記光の画像が得られなかった前記点の表示態様を切り替え可能である、請求項１〜７のうちいずれか一つに記載の外観検査装置。

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