JP6106525B2 - Material feeder - Google Patents

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Description

本発明は、例えば半導体製造等に用いる材料を供給するための材料供給装置に関する。   The present invention relates to a material supply apparatus for supplying a material used in, for example, semiconductor manufacturing.

この種の材料供給装置として特許文献１記載の装置がある。   There is an apparatus described in Patent Document 1 as this type of material supply apparatus.

この装置は、材料が充填される充填容器と、充填容器内に加圧ガスを導入する加圧ガス導入配管と、充填容器内の材料を外部へ供給する供給配管とを具備しており、加圧ガス導入配管から加圧ガスを導入して、充填容器内の気層を加圧することで、材料が供給配管に押し出されて充填容器の外部に供給されるものである。   This apparatus includes a filling container filled with a material, a pressurized gas introduction pipe for introducing a pressurized gas into the filling container, and a supply pipe for supplying the material in the filling container to the outside. By introducing pressurized gas from the pressurized gas introduction pipe and pressurizing the gas layer in the filling container, the material is pushed out to the supply pipe and supplied to the outside of the filling container.

特開２０１１−２５１０４号公報JP 2011-25104 A

しかし、材料が自然発火性を有する等、その取扱いに厳重な注意を払わなくてはならないものの場合、充填容器を交換するときに、加圧ガス導入配管や供給配管等から材料が漏れないように慎重に作業する必要がある。   However, in the case where materials must be handled with extreme caution, such as when the material is pyrophoric, when replacing the filling container, the material should not leak from the pressurized gas introduction piping or supply piping. It is necessary to work carefully.

そこで、本発明は、充填容器の交換時に材料が漏れにくく、安全に作業できる材料供給装置を提供することをその主たる所期課題とするものである。   Accordingly, the main object of the present invention is to provide a material supply device that is less likely to leak material during replacement of a filling container and can be operated safely.

本発明の材料供給装置は、材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管を前記導出ポートに接続するための接続継手と、前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記外容器内に配置される前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構とを具備していることを特徴とする。   The material supply device of the present invention includes an outer container for storing an inner container having a discharge port for storing the material and leading out the material, separated from the outside air, and a predetermined outside of the outer container. A connection joint for connecting a supply pipe for supplying material to the apparatus to the outlet port, and the connection joint disposed in the outer container while maintaining a state isolated from the outside from the outside of the outer container And a joint operating mechanism capable of operating.

このような構成であれば、継手操作機構によって、使用者は内容器が外気と隔離して収納されている状態で、外容器の外側から内容器の交換作業を行うことができる。そのため、万が一交換作業中に内容器の導出ポートから材料が漏洩したとしても、漏れた材料は外容器の内側に留まるので、安全性を確保することができる。   If it is such a structure, the user can perform the replacement | exchange operation | work of an inner container from the outer side of an outer container by the joint operation mechanism in the state in which the inner container was stored separately from the external air. Therefore, even if the material leaks from the outlet port of the inner container during the replacement operation, the leaked material stays inside the outer container, so that safety can be ensured.

前記外容器の内部空間における材料の漏洩を監視する漏洩モニタと、前記内容器を出し入れするための前記外容器の扉に設けたロック機構と、前記漏洩モニタで検知された材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、前記ロック機構を作動させて扉の開成を禁止する制御部とをさらに具備しているものであれば、不測の事態が生じて、万が一材料が外容器内に漏洩した場合でも、その漏洩が漏洩モニタによって検知され、外容器に設けられた扉はロック機構によりロックされて開かなくなるので、材料漏洩時に使用者が誤って扉を開けるといった事態を確実に防ぐことができる。   A leakage monitor for monitoring leakage of material in the internal space of the outer container, a lock mechanism provided on the door of the outer container for taking in and out the inner container, and a material leakage amount detected by the leakage monitor is a predetermined amount. If it exceeds the threshold, if it further comprises a control unit that activates the lock mechanism and prohibits the opening of the door, an unexpected situation occurs, and the material should be put in the outer container. Even if there is a leak, the leak is detected by the leak monitor, and the door provided on the outer container is locked by the lock mechanism so that it cannot be opened. Can do.

前記漏洩モニタが、前記外容器の内部空間における材料の漏洩を検知する少なくとも２つ以上の検知器を備えれば、一方の検知器にエラーが発生している場合、他方の検知器で一方の検知器のエラーを調べることができる。また、一方の検知器がエラーを起こしていても、他方の検知器で材料の漏洩を検知することができるので、外容器の内部空間における材料の漏洩を確実に監視することができる。   If the leakage monitor includes at least two or more detectors that detect leakage of material in the inner space of the outer container, if one detector has an error, the other detector Can detect detector errors. Moreover, even if one detector causes an error, the other detector can detect the leakage of the material, so that the leakage of the material in the inner space of the outer container can be reliably monitored.

前記外容器の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構をさらに具備しているものであれば、材料が自然発火性等の反応性を有する場合、外容器内に不活性ガスを充満させておくことで、万が一材料が外容器内に漏洩しても、材料が反応すること（例えば、発火等）を防ぐことができる。   If the material further has an inert gas filling mechanism for filling the inner space of the outer container with an inert gas, when the material has reactivity such as spontaneous ignition, the inert gas is put into the outer container. By filling the material, it is possible to prevent the material from reacting (for example, ignition) even if the material leaks into the outer container.

好ましい実施態様としては、使用済み内容器を新しい内容器に交換するために、該使用済み内容器の導出ポートを前記接続継手から外すと、前記供給配管から前記外容器の内部空間に不活性ガスが導入されるようにしたものを挙げることができる。   In a preferred embodiment, when the outlet port of the used inner container is removed from the connection joint in order to replace the used inner container with a new inner container, an inert gas is supplied from the supply pipe to the inner space of the outer container. Can be mentioned.

このようなものであれば、供給配管に残留した材料をパージすることができるとともに、漏洩モニタによってパージの終了を確認することができる。
また、所定時間が経過しても、漏洩モニタが検知した材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、外容器内に材料が漏洩している可能性があることが分かる。
さらに、パージ中は、漏洩モニタが外容器の内部空間を監視するとともに、外容器に設けた扉がロック機構によってロックされるので、パージ時に使用者が誤って扉を開ける事態を防ぐことができる。 With such a configuration, the material remaining in the supply pipe can be purged, and the end of the purge can be confirmed by a leakage monitor.
In addition, even if the predetermined time has elapsed, if the amount of material leakage detected by the leakage monitor exceeds a predetermined threshold, it can be seen that there is a possibility that the material is leaking into the outer container.
Furthermore, during the purge, the leak monitor monitors the inner space of the outer container, and the door provided on the outer container is locked by the lock mechanism, so that it is possible to prevent the user from accidentally opening the door during the purge. .

このように本発明の材料供給装置によれば、充填容器の交換時に材料が漏れにくく、安全に作業することができる。   As described above, according to the material supply device of the present invention, when the filling container is replaced, the material hardly leaks, and it is possible to work safely.

本発明の材料供給装置を示す概略図。Schematic which shows the material supply apparatus of this invention. 本発明の外容器を表す斜視図。The perspective view showing the outer container of this invention.

以下に本発明の材料供給装置の一実施形態について説明する。   An embodiment of the material supply apparatus of the present invention will be described below.

本実施形態の材料供給装置１は、半導体製造装置の一部を構成するものであって、図１及び図２に示すように、半導体材料（例えばトリメチルアルミニウム等の発火性を有する液体材料）を収容する内容器２と、内容器２を外気と隔離して収納する外容器３と、この外容器３を貫通して前記内容器２に接続され、前記液体材料を半導体製造チャンバ等の所定の装置に供給する供給配管６ｂとを具備している。   The material supply apparatus 1 of this embodiment constitutes a part of a semiconductor manufacturing apparatus, and as shown in FIGS. 1 and 2, a semiconductor material (for example, a liquid material having ignitability such as trimethylaluminum) is used. An inner container 2 for housing, an outer container 3 for housing the inner container 2 isolated from the outside air, and connected to the inner container 2 through the outer container 3 and supplying the liquid material to a predetermined chamber such as a semiconductor manufacturing chamber And a supply pipe 6b to be supplied to the apparatus.

内容器２は、前記液体材料を収容する中空のケーシング２ａと、ケーシング２ａの上壁を貫通するように設けた第１管状体２ｃと、ケーシング２ａの上壁から突出させた第２管状体２ｂとを有するものである。   The inner container 2 includes a hollow casing 2a for storing the liquid material, a first tubular body 2c provided so as to penetrate the upper wall of the casing 2a, and a second tubular body 2b projected from the upper wall of the casing 2a. It has.

第１管状体２ｃは、その下端をケーシング２ａの底面近傍にまで延ばして、液体材料内に浸漬するようにしたものであり、その上端が、請求項でいう導出ポート２０に相当する。なお、この導出ポート２０は、外容器３の内部空間に配置されている。   The lower end of the first tubular body 2c extends to the vicinity of the bottom surface of the casing 2a and is immersed in the liquid material, and the upper end corresponds to the outlet port 20 in the claims. The outlet port 20 is disposed in the inner space of the outer container 3.

第２管状体２ｂは、ケーシング２ａの内部空間に連通するものであり、この第２管状体２ｂを介して不活性ガスをケーシング２ａ内部に圧送すると、その圧力で液体材料が第１管状体２ｃを通って導出ポート２０から導出されるように構成してある。   The second tubular body 2b communicates with the internal space of the casing 2a. When an inert gas is pumped into the casing 2a through the second tubular body 2b, the liquid material is transferred to the first tubular body 2c by the pressure. Through the outlet port 20.

外容器３は、内容器２を外気と隔離して収納するものであって、図１及び図２に示すように、その内部を視認するためのガラス等がはめ込まれた透明窓３ａ及び内容器２を出し入れするための扉３ｂを具備する。   The outer container 3 separates and stores the inner container 2 from the outside air, and as shown in FIGS. 1 and 2, a transparent window 3a and an inner container in which glass or the like for visually confirming the inside is fitted. 2 is provided with a door 3b.

供給配管６ｂは、一端が外容器３の上壁を貫通して第１管状体２ｃの導出ポート２０に接続され、他端が半導体製造チャンバ等に接続されている。そして圧送された不活性ガスの圧力によってケーシング２ａの内部から導出ポート２０へ導出された液体材料が、この供給配管６ｂを通って半導体製造チャンバ等に供給される。また、供給配管６ｂの上端側にはバルブが設けられており、このバルブは材料の供給状態に応じて適宜開閉される。   One end of the supply pipe 6b passes through the upper wall of the outer container 3 and is connected to the outlet port 20 of the first tubular body 2c, and the other end is connected to a semiconductor manufacturing chamber or the like. Then, the liquid material led out from the inside of the casing 2a to the lead-out port 20 by the pressure of the inert gas fed by pressure is supplied to the semiconductor manufacturing chamber or the like through the supply pipe 6b. Further, a valve is provided on the upper end side of the supply pipe 6b, and this valve is appropriately opened and closed according to the material supply state.

なお、本実施形態では供給配管６ｂの他に内容器２に不活性ガスを送り込んで内部圧を高め供給配管６ｂから液体材料を導出させるための圧送配管６ａを設けている。   In this embodiment, in addition to the supply pipe 6b, there is provided a pressure feed pipe 6a for sending an inert gas into the inner container 2 to increase the internal pressure and to lead out the liquid material from the supply pipe 6b.

この圧送配管６ａは、一端が不活性ガスの貯留されたガスボンベ等に接続され、他端が第２管状体２ｂに接続されて、不活性ガスを第２管状体２ｂを介してケーシング２ａ内部へ圧送するものである。   One end of the pumping pipe 6a is connected to a gas cylinder or the like in which an inert gas is stored, the other end is connected to the second tubular body 2b, and the inert gas is introduced into the casing 2a through the second tubular body 2b. It is to be pumped.

ここで、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂの下端は、それぞれ接続継手４ａ、４ｂを介して第２管状体２ｂ又は第１管状体２ｃに接続されている。   Here, the lower ends of the pressure feed pipe 6a and the supply pipe 6b are connected to the second tubular body 2b or the first tubular body 2c via connection joints 4a and 4b, respectively.

前記接続継手４ａ、４ｂは、例えば一端部が供給配管６ｂ及び圧送配管６ａに取り付けられ、他端部がナットを回すことによって第２管状体２ｂ又は第１管状体２ｃの上端部に接離可能に取り付けることができるようにしたものである。   For example, one end of the connection joint 4a, 4b is attached to the supply pipe 6b and the pressure feed pipe 6a, and the other end can be brought into contact with or separated from the upper end of the second tubular body 2b or the first tubular body 2c by turning a nut. It can be attached to.

上記構成に加え、本実施形態の材料供給装置１では、外容器３の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、接続継手４（４ａ、４ｂ）を操作する継手操作機構５を設けている。   In addition to the above configuration, the material supply device 1 of the present embodiment is provided with a joint operation mechanism 5 that operates the connection joint 4 (4a, 4b) while maintaining a state isolated from the outside air from the outside of the outer container 3. ing.

継手操作機構５は、外容器３の側壁に設けられた一対の貫通孔を塞ぐように取り付けられて、外容器３の内部空間に向かって突出するグローブで構成される。
そして、使用者がこのグローブを嵌めて、接続継手４ａ、４ｂの一端部に設けられたナットを回すことで第２管状体２ｂの上端部を接続するとともに、第１管状体２ｃの上端部を接続するものである。なお、継手操作機構５と接続継手４ａ、４ｂとはその外容器３の底面からの距離が同じになるように設けられていることが好ましい。このように構成されていることで、継手操作機構５は接続継手４ａ、４ｂをより操作しやすくなるからである。 The joint operating mechanism 5 is configured by a glove that is attached so as to close a pair of through holes provided in the side wall of the outer container 3 and protrudes toward the inner space of the outer container 3.
And while a user fits this glove and turns the nut provided in the one end part of connection joint 4a, 4b, while connecting the upper end part of the 2nd tubular body 2b, the upper end part of the 1st tubular body 2c is attached. To connect. The joint operating mechanism 5 and the connection joints 4a and 4b are preferably provided so that the distance from the bottom surface of the outer container 3 is the same. This is because the joint operating mechanism 5 can more easily operate the connection joints 4a and 4b by being configured in this way.

このグローブは、材料に耐性を有する例えばゴム手袋等が用いられ、使用者がグローブの中に手を入れたときに接続継手４（４ａ、４ｂ）まで届くような長さを備えるものである。   This glove is made of, for example, rubber gloves having resistance to materials, and has a length that can reach the connection joint 4 (4a, 4b) when the user puts a hand into the glove.

さらに本実施形態の材料供給装置１は、万が一外容器３の内部空間に液体材料が漏洩した場合に備えて、外容器３の内部空間に不活性ガスを充満させる不活性ガス充満機構９と、外容器３の内部空間において液体材料の漏洩を監視する漏洩モニタ１３と、外容器３に設けられた扉３ｂの開成を禁止するロック機構１６と、外容器３の上壁に設けられて外容器３の内部空間に材料の漏洩があることを使用者に報知するアラーム７と、ロック機構１６を作動させて扉の開成を禁止するとともにアラーム７を作動させる制御部とを備える。   Furthermore, the material supply apparatus 1 of the present embodiment includes an inert gas filling mechanism 9 that fills the internal space of the outer container 3 with an inert gas in case the liquid material leaks into the inner space of the outer container 3. A leakage monitor 13 for monitoring the leakage of the liquid material in the inner space of the outer container 3, a lock mechanism 16 for prohibiting the opening of the door 3b provided in the outer container 3, and an outer container provided on the upper wall of the outer container 3 3 is provided with an alarm 7 for notifying the user that there is material leakage in the internal space 3 and a control unit for operating the lock mechanism 16 to prohibit the opening of the door and to activate the alarm 7.

不活性ガス充満機構９は、外容器３の内部空間に不活性ガスを充満させるものであり、外容器３の側壁を貫通するように挿入した不活性ガス導入配管９ａと、不活性ガス導入配管９ａに設けられたマスフロコントローラ１２とを備える。   The inert gas filling mechanism 9 is for filling the inner space of the outer container 3 with an inert gas, and an inert gas introduction pipe 9a inserted so as to penetrate the side wall of the outer container 3, and an inert gas introduction pipe The mass flow controller 12 provided in 9a is provided.

不活性ガス導入配管９ａは、一端が外容器３の内側に延出してあり、他端が外容器３の外側にある例えば窒素ガス等の不活性ガスが貯留されたボンベに接続されている。そして、この不活性ガス導入配管９ａを通ってボンベから放出された不活性ガスが外容器３内へ導入される。   One end of the inert gas introduction pipe 9 a extends to the inside of the outer container 3, and the other end is connected to a cylinder in which an inert gas such as nitrogen gas is stored outside the outer container 3. Then, the inert gas released from the cylinder through the inert gas introduction pipe 9 a is introduced into the outer container 3.

マスフロコントローラ１２は、不活性ガス導入配管９ａを流れる不活性ガスの流量を調整するものであり、例えば熱式のものが用いられる。   The mass flow controller 12 adjusts the flow rate of the inert gas flowing through the inert gas introduction pipe 9a. For example, a thermal type is used.

本実施形態の不活性ガス充満機構９は、さらに外容器３内から溢れた不活性ガスが導出される不活性ガス導出配管９ｂを備える。   The inert gas filling mechanism 9 of the present embodiment further includes an inert gas outlet pipe 9b through which the inert gas overflowing from the outer container 3 is led out.

この不活性ガス導出配管９ｂは、一端が外容器３の内側に延出してあり、他端が外容器３の外側に配置されている。そして、不活性ガス導出配管９ｂから外容器３に導入された不活性ガスが外容器３内に充満すると、溢れた不活性ガスがこの不活性ガス導出配管９ｂを通って外容器３の外部へ導出される。また、不活性ガス導出配管９ｂには、漏洩モニタ１３が設けられている。   One end of the inert gas outlet pipe 9 b extends inside the outer container 3, and the other end is disposed outside the outer container 3. When the inert gas introduced into the outer container 3 from the inert gas outlet pipe 9b fills the outer container 3, the overflowing inert gas passes through the inert gas outlet pipe 9b to the outside of the outer container 3. Derived. Further, a leakage monitor 13 is provided in the inert gas outlet pipe 9b.

この漏洩モニタ１３は、不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに含まれる材料を検知することで、外容器３の内部空間に材料が漏洩したか否かを監視するものである。そして、漏洩モニタ１３は、ガス濃度モニタ１４ａとガス検知器１４ｂとを有する。   The leak monitor 13 monitors whether or not the material has leaked into the internal space of the outer container 3 by detecting the material contained in the inert gas flowing through the inert gas outlet pipe 9b. The leak monitor 13 includes a gas concentration monitor 14a and a gas detector 14b.

ガス濃度モニタ１４ａは、例えば不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに赤外光を照射して不活性ガスに含まれる材料を検知する赤外分光法を用いて、不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに含まれる材料を検知するものである。   The gas concentration monitor 14a uses, for example, infrared spectroscopy that detects the material contained in the inert gas by irradiating the inert gas flowing through the inert gas outlet pipe 9b with infrared light, and uses the inert gas outlet pipe 9b. The material contained in the inert gas which flows through is detected.

ガス検知器１４ｂは、例えば不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスを一部サンプリングして、このサンプリングしたガスを半導体センサ、触媒センサ、光センサ等を用いて不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに含まれる材料を検知するものである。   The gas detector 14b samples a part of the inert gas flowing through the inert gas outlet pipe 9b, for example, and flows the sampled gas through the inert gas outlet pipe 9b using a semiconductor sensor, a catalyst sensor, an optical sensor, or the like. The material contained in the inert gas is detected.

そして、ガス濃度モニタ１４ａが検知した材料漏洩量およびガス検知器１４ｂが検知した材料漏洩量は制御部へと送られる。   The material leakage amount detected by the gas concentration monitor 14a and the material leakage amount detected by the gas detector 14b are sent to the control unit.

制御部は、構造的には、ＣＰＵ、内部メモリ、Ｉ／Ｏバッファ回路、ＡＤコンバータ等を有した所謂コンピュータ回路である。そして、内部メモリの所定領域に格納したプログラムに従って動作することで情報処理を行い、ロック機構１６及びアラーム７を作動させるものである。   The controller is structurally a so-called computer circuit having a CPU, an internal memory, an I / O buffer circuit, an AD converter, and the like. Information processing is performed by operating according to a program stored in a predetermined area of the internal memory, and the lock mechanism 16 and the alarm 7 are activated.

具体的にこのものは、ガス濃度モニタ１４ａおよびガス検知器１４ｂから送信された材料漏洩量を受信して、これら材料漏洩量のいずれか一方が予め定めた所定の閾値（正常濃度値）を超えた場合に、ロック機構１６を作動させて扉３ｂの開成を禁止するとともに、アラーム７を作動させるものである。   Specifically, this receives the material leakage amount transmitted from the gas concentration monitor 14a and the gas detector 14b, and one of these material leakage amounts exceeds a predetermined threshold (normal concentration value). In this case, the lock mechanism 16 is actuated to prohibit the opening of the door 3b and the alarm 7 is actuated.

次に本実施形態における材料供給装置１の使用方法について説明する。   Next, the usage method of the material supply apparatus 1 in this embodiment is demonstrated.

＜材料供給装置１の使用時について＞
使用者は、内容器２に収容した材料を取り出す場合、不活性ガス導入配管９ａから外容器３内に不活性ガスを送り、外容器３の内部空間を不活性ガスで充満させる。なお、このとき外容器３の扉３ｂに設けたロック機構１６が作動しており、扉３ｂの開成は禁止されている。 <When using the material supply device 1>
When the user takes out the material stored in the inner container 2, the user sends an inert gas from the inert gas introduction pipe 9 a into the outer container 3 to fill the inner space of the outer container 3 with the inert gas. At this time, the lock mechanism 16 provided on the door 3b of the outer container 3 is activated, and the opening of the door 3b is prohibited.

次に使用者は外容器３の内部空間の圧力を検知する微差圧計１１ａ、１１ｂを見て、外容器３の内部空間が外容器３の外部よりも加圧状態となっていることを確認すると、不活性ガスが外容器３の内部空間に充満したと判断して、圧送配管６ａに不活性ガスを導入する。圧送配管６ａに導入された不活性ガスは、接続継手４ａ及び第２管状体２ｂをこの順で通過して内容器２へ圧送される。すると、この圧力で内容器２に収容された液体材料が第１管状体２ｃを通って導出ポート２０から接続継手４ｂを介して供給配管６ｂへ導出する。そして、使用者は供給配管６ｂの上端に設けたバルブを開いて、供給配管６ｂを流れる材料を半導体製造チャンバ等へと供給する。   Next, the user looks at the micro differential pressure gauges 11 a and 11 b that detect the pressure in the inner space of the outer container 3 and confirms that the inner space of the outer container 3 is in a pressurized state more than the outside of the outer container 3. Then, it is determined that the inert gas has filled the internal space of the outer container 3, and the inert gas is introduced into the pressure feeding pipe 6a. The inert gas introduced into the pressure feeding pipe 6a passes through the connecting joint 4a and the second tubular body 2b in this order and is pressure fed to the inner container 2. Then, the liquid material accommodated in the inner container 2 with this pressure passes through the first tubular body 2c from the outlet port 20 to the supply pipe 6b via the connection joint 4b. Then, the user opens a valve provided at the upper end of the supply pipe 6b to supply the material flowing through the supply pipe 6b to the semiconductor manufacturing chamber or the like.

このとき使用者は、外容器３の内部空間の液体を検知する液体検知器１０を確認して、外容器３の内部空間に材料が漏洩しているか否かを確認する。
さらに外容器３の内部空間は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂによって監視されており、これらガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂが検知した材料漏洩量は制御部に送信される。 At this time, the user checks the liquid detector 10 that detects the liquid in the internal space of the outer container 3 to check whether or not the material has leaked into the internal space of the outer container 3.
Furthermore, the internal space of the outer container 3 is monitored by a gas concentration monitor 14a and a gas detector 14b, and the amount of material leakage detected by the gas concentration monitor 14a and the gas detector 14b is transmitted to the control unit.

制御部は、ガス濃度モニタ１４ａ又はガス検知器１４ｂから受信した材料漏洩量のいずれか一方が予め定めた閾値（正常濃度値）を超える場合、ロック機構１６を作動させた状態を維持するとともに、アラーム７を作動させる。   When one of the material leakage amounts received from the gas concentration monitor 14a or the gas detector 14b exceeds a predetermined threshold value (normal concentration value), the control unit maintains the state in which the lock mechanism 16 is operated, Activate alarm 7.

使用者はアラーム７が作動した場合、外容器３内に材料が漏れていると判断して材料供給装置１の使用を中止する。   When the alarm 7 is activated, the user determines that the material is leaking into the outer container 3 and stops using the material supply device 1.

＜材料供給装置１の内容器２の交換時について＞
使用者は、内容器２の交換を行う場合、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂの上端から不活性ガスを導入して、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂに残留している材料を内容器２へパージする。なお、このとき外容器３の扉３ｂに設けたロック機構１６が作動しており、扉３ｂの開成は禁止されている。 <When replacing the inner container 2 of the material supply device 1>
When the user replaces the inner container 2, the inert gas is introduced from the upper ends of the pressure feed pipe 6 a and the supply pipe 6 b, and the material remaining in the pressure feed pipe 6 a and the supply pipe 6 b is purged into the inner container 2. To do. At this time, the lock mechanism 16 provided on the door 3b of the outer container 3 is activated, and the opening of the door 3b is prohibited.

使用者は、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂをパージしている間、液体検知器１０を確認して、外容器３の内部空間に材料が漏洩しているか否かを確認する。
さらに外容器３の内部空間は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂによって監視されており、これらガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂが検知した材料漏洩量は制御部に送信される。 The user checks the liquid detector 10 while purging the pressure feed pipe 6 a and the supply pipe 6 b to check whether or not material is leaking into the internal space of the outer container 3.
Furthermore, the internal space of the outer container 3 is monitored by a gas concentration monitor 14a and a gas detector 14b, and the amount of material leakage detected by the gas concentration monitor 14a and the gas detector 14b is transmitted to the control unit.

制御部は、ガス濃度モニタ１４ａ又はガス検知器１４ｂが送信した材料漏洩量のいずれか一方が閾値を超えている場合、ロック機構１６が作動した状態を保つとともに、アラーム７を作動させる。   When either one of the material leakage amounts transmitted by the gas concentration monitor 14a or the gas detector 14b exceeds the threshold, the control unit keeps the lock mechanism 16 activated and activates the alarm 7.

使用者はアラーム７が作動すると、外容器３に材料が漏洩していると判断して、パージを中止するとともに、交換作業を中断する。   When the alarm 7 is activated, the user determines that the material has leaked into the outer container 3, stops the purge, and interrupts the replacement operation.

一方、使用者はアラーム７が作動していない場合、パージが完了するまで圧送配管６ａおよび供給配管６ｂへ不活性ガスを導入し続ける。そして、接続継手４ａに接続されている圧送配管６ａに設けられた圧力センサ１５が減圧となってパージが完了したときに、液体検知器１０が液体を検知していないこと及びアラーム７が作動していないことを確認すると、外容器３の内部空間に材料の漏洩がないと判断して、接続継手４（４ａ、４ｂ）を加圧する。   On the other hand, when the alarm 7 is not activated, the user continues to introduce the inert gas into the pressure feed pipe 6a and the supply pipe 6b until the purge is completed. When the pressure sensor 15 provided in the pressure feed pipe 6a connected to the connection joint 4a is depressurized and the purge is completed, the liquid detector 10 does not detect the liquid and the alarm 7 is activated. When it is confirmed that there is no leakage, it is determined that there is no leakage of material in the internal space of the outer container 3, and the connecting joint 4 (4a, 4b) is pressurized.

そして、使用者は圧送配管６ａおよび供給配管６ｂと内容器２との接続を解除するために、継手操作機構５のグローブを両手に嵌めて、透明窓３ａを覗きながら外容器３内に配置された工具等を用いて、接続継手４ａ、４ｂに設けられたナットを回して第２管状体２の上端を接続継手４ａの一端部から取り外すとともに、第１管状体２ｃの上端（導出ポート２０）を接続継手４ｂの一端部から取り外す。   Then, in order to release the connection between the pressure feed pipe 6a and the supply pipe 6b and the inner container 2, the user puts the glove of the joint operation mechanism 5 in both hands and is placed in the outer container 3 while looking through the transparent window 3a. The upper end of the second tubular body 2 is removed from one end of the connection joint 4a by turning the nuts provided in the connection joints 4a and 4b using a tool and the like, and the upper end of the first tubular body 2c (lead-out port 20) Is removed from one end of the connection joint 4b.

このとき、接続継手４ａにかかる圧力は、圧力センサ１５で検知されて制御部へと送信される。   At this time, the pressure applied to the connection joint 4a is detected by the pressure sensor 15 and transmitted to the control unit.

制御部は、圧力センサ１５から受信した圧力が、予め設定された設定圧力以下になった時点から所定時間をカウントして、この間にガス濃度モニタ１４ａ又はガス検知器１４ｂが送信した材料漏洩量のいずれもが閾値を超えない場合、ロック機構１６を解除して外容器３の扉３ｂを開ける。   The control unit counts a predetermined time from the time when the pressure received from the pressure sensor 15 becomes equal to or lower than a preset pressure, and the material leakage amount transmitted by the gas concentration monitor 14a or the gas detector 14b during this time. If neither exceeds the threshold value, the lock mechanism 16 is released and the door 3b of the outer container 3 is opened.

そして、使用者は、内容器２を交換するために、外容器３に収納された使用済みの内容器２を取り除くとともに、新しい内容器２を外容器３内の底面に設けられたロードセル８に載置して、外容器３に設けられた扉３ｂを閉める。ロードセル８は内容器２の荷重を受けるとそれを検知して制御部へ送信する。   In order to replace the inner container 2, the user removes the used inner container 2 stored in the outer container 3 and puts a new inner container 2 on the load cell 8 provided on the bottom surface of the outer container 3. After placing, the door 3b provided in the outer container 3 is closed. When the load cell 8 receives the load of the inner container 2, it detects it and transmits it to the control unit.

制御部は、ロードセル８が荷重を感知したことを知らせる電気信号を受信すると、外容器３に設けられた扉３ｂのロック機構１６を作動させる。   When the control unit receives an electrical signal notifying that the load cell 8 has sensed the load, the control unit operates the lock mechanism 16 of the door 3b provided in the outer container 3.

使用者は、外容器３の扉３ｂのロック機構１６が作動したことを確認すると、交換した新しい内容器２を圧送配管６ａおよび供給配管６ｂに接続するため、継手操作機構５のグローブを再度両手に嵌め、透明窓３ａを覗きながら工具等を用いて、接続継手４ａ、４ｂのナットを締めて第２管状体２の上端を接続継手４ａに接続するとともに、第１管状体２ｃの上端（導出ポート２０）を接続継手４ｂに接続する。そして、不活性ガス導入配管９ａから外容器３の内部空間に不活性ガスを流して、扉３ｂの開閉により外容器３の内部空間に混入した空気を不活性ガスとともに不活性ガス導出配管９ｂから外容器３の外部へ導出させる。その後、微差圧計１１ａ、１１ｂを見て、外容器３の内部空間が外容器３の外部よりも加圧状態となっていることを確認すると、空気が取り除かれたと判断して不活性ガス導入配管９ａからの不活性ガスの導入を停止する。   When the user confirms that the locking mechanism 16 of the door 3b of the outer container 3 has been operated, the glove of the joint operating mechanism 5 is again held in both hands in order to connect the replaced inner container 2 to the pressure feeding pipe 6a and the supply pipe 6b. And tighten the nuts of the connection joints 4a and 4b to connect the upper end of the second tubular body 2 to the connection joint 4a using a tool or the like while looking through the transparent window 3a, and the upper end of the first tubular body 2c Port 20) is connected to the connecting joint 4b. Then, an inert gas is caused to flow from the inert gas introduction pipe 9a to the inner space of the outer container 3, and the air mixed in the inner space of the outer container 3 by opening and closing the door 3b from the inert gas outlet pipe 9b together with the inert gas. Derived outside the outer container 3. Thereafter, when the micro differential pressure gauges 11a and 11b are viewed and it is confirmed that the inner space of the outer container 3 is in a pressurized state from the outside of the outer container 3, it is determined that the air has been removed and the inert gas is introduced. The introduction of the inert gas from the pipe 9a is stopped.

なお、制御部は、内容器２の交換のためにロック機構１６を解除するときに、接続継手４ａに接続されている圧送配管６ａに設けられた圧力センサ１５が減圧となってパージが完了した時点から所定時間をカウントしてもよい。この場合、使用者は接続継手４ａ、４ｂを加圧せずに、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂと内容器２との接続を解除する。
When the control unit releases the lock mechanism 16 for replacement of the inner container 2, the pressure sensor 15 provided in the pressure feeding pipe 6a connected to the connection joint 4a is depressurized and the purge is completed. A predetermined time may be counted from the time. In this case, the user releases the connection between the pressure feed pipe 6a and the supply pipe 6b and the inner container 2 without pressurizing the connection joints 4a and 4b.

＜材料が外容器３の内部空間に漏れた場合について＞
万が一、材料が外容器３の内部空間に漏洩してしまい、アラーム７が作動した場合には、使用者はガス濃度モニタ１４ａ、ガス検知器１４ｂ、及び、液体検知器１０等を確認して材料が漏れているか否かを確認する。 <When material leaks into the inner space of the outer container 3>
If the material leaks into the inner space of the outer container 3 and the alarm 7 is activated, the user checks the gas concentration monitor 14a, the gas detector 14b, the liquid detector 10, etc. Check for leaks.

そして、不活性ガス導入配管９ａから外容器３の内部空間に不活性ガスを流して、外容器３の内部空間に漏洩した材料を気化させて、不活性ガス導出配管９ｂからこの材料ガスを不活性ガスとともに外容器３の外部へ導出させる。   Then, an inert gas is allowed to flow from the inert gas introduction pipe 9a to the inner space of the outer container 3 to vaporize the material leaked into the inner space of the outer container 3, and this material gas is discharged from the inert gas outlet pipe 9b. It is led out of the outer container 3 together with the active gas.

そして、使用者は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂの検知した値が閾値以下に下がるまで待機する。   And a user waits until the value which the gas concentration monitor 14a and the gas detector 14b detected falls below a threshold value.

ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂの検知した値が閾値以下に下がると、制御部はアラーム７を止めるとともに、ロック機構１６を解除する。
なお、このとき制御部は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂの検知した値が閾値以下に下がるとともに、閾値以下に下がってから所定時間が経過するとアラーム７を止めるとともに、ロック機構１６を解除するように構成してもよい。 When the values detected by the gas concentration monitor 14a and the gas detector 14b fall below the threshold value, the control unit stops the alarm 7 and releases the lock mechanism 16.
At this time, the control unit lowers the value detected by the gas concentration monitor 14a and the gas detector 14b below the threshold value, stops the alarm 7 and releases the lock mechanism 16 when a predetermined time elapses after the value falls below the threshold value. You may comprise.

以上のように構成した本実施形態の材料供給装置１によれば、以下のような効果を有する。   According to the material supply device 1 of the present embodiment configured as described above, the following effects are obtained.

外容器３の外側から、その外気と隔離した状態を維持したままで、接続継手４（４ａ、４ｂ）を操作することが可能な継手操作機構５を具備しているので、使用者は内容器２が外気と隔離して収納されている状態で、外容器３の外側から内容器２の交換作業を行うことができる。そのため、万が一交換作業中に内容器２の導出ポート２０から材料が漏洩したとしても、漏れた材料は外容器３の内側に留まるので、安全性を確保することができる。   Since the joint operation mechanism 5 capable of operating the connection joint 4 (4a, 4b) is maintained while maintaining a state isolated from the outside air from the outside of the outer container 3, the user can use the inner container. In a state where 2 is stored separately from the outside air, the inner container 2 can be replaced from the outside of the outer container 3. Therefore, even if the material leaks from the outlet port 20 of the inner container 2 during the replacement work, the leaked material stays inside the outer container 3, so that safety can be ensured.

また、万が一材料が外容器３内に漏洩した場合でも、その漏洩が漏洩モニタ１３によって検知され、外容器３に設けられた扉３ｂはロック機構１６によりロックされて開かなくなるので、材料漏洩時に使用者が誤って扉３ｂを開けるといった事態を確実に防ぐことができる。   Even if material leaks into the outer container 3, the leakage is detected by the leak monitor 13, and the door 3b provided in the outer container 3 is locked by the lock mechanism 16 and cannot be opened. It is possible to reliably prevent a person from accidentally opening the door 3b.

漏洩モニタ１３が、外容器３の内部空間における材料の漏洩を検知するガス濃度モニタ１４ａとガス検知器１４ｂを備えるので、一方の検知器にエラーが発生している場合、他方の検知器で一方の検知器のエラーを調べることができる。また、一方の検知器がエラーを起こしていても、他方の検知器で材料の漏洩を検知することができるので、外容器の内部空間における材料の漏洩を確実に監視することができる。   Since the leakage monitor 13 includes a gas concentration monitor 14a and a gas detector 14b that detect material leakage in the internal space of the outer container 3, if an error occurs in one detector, the other detector You can check for errors in the detector. Moreover, even if one detector causes an error, the other detector can detect the leakage of the material, so that the leakage of the material in the inner space of the outer container can be reliably monitored.

継手操作機構５に、外容器３の外壁に設けた貫通孔を塞ぐように取り付けられて、該外容器３の内部空間に向かって突出するグローブを用いているので、使用者はグローブに手を入れるだけで外容器３の外側から接続継手４を操作することができ、また、グローブは五指を自由に動かすことができるので、簡便な構成で使い勝手のよい装置を提供することができる。   Since the glove which is attached to the joint operation mechanism 5 so as to close the through hole provided in the outer wall of the outer container 3 and protrudes toward the inner space of the outer container 3 is used, the user puts his hand on the glove. The connecting joint 4 can be operated from the outside of the outer container 3 simply by inserting it, and since the glove can freely move the five fingers, it is possible to provide an easy-to-use apparatus with a simple configuration.

外容器３の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構９をさらに備えるので、外容器３内に不活性ガスを充満させておくことで、材料が自然発火性等の反応性を有する場合に、万が一材料が外容器内に漏洩しても、材料が反応すること（例えば、発火等）を防ぐことができる。   Since the inert gas filling mechanism 9 that fills the inner space of the outer container 3 with an inert gas is further provided, the material can be made to have reactivity such as spontaneous ignition by filling the outer container 3 with the inert gas. When it has, even if material leaks in an outer container, it can prevent that a material reacts (for example, ignition etc.).

使用済み内容器２を新しい内容器２に交換するときに、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂから内容器２へ不活性ガスを導入するので、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂに残留した材料をパージすることができるとともに、漏洩モニタ１３によってパージの終了を確認することができる。
また、所定時間が経過しても、漏洩モニタ１３が検知した材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、外容器３内に材料が漏洩している可能性があることが分かる。
加えて、パージ中は、漏洩モニタ１３が外容器３の内部空間を監視するとともに、外容器３に設けた扉３ｂがロック機構１６によってロックされるので、パージ時に使用者が誤って扉３ｂを開ける事態を防ぐことができる。 When the used inner container 2 is replaced with a new inner container 2, an inert gas is introduced into the inner container 2 from the pressure feed pipe 6a and the supply pipe 6b, so that the material remaining in the pressure feed pipe 6a and the supply pipe 6b is purged. In addition, the end of the purge can be confirmed by the leak monitor 13.
In addition, even when the predetermined time has elapsed, if the amount of material leakage detected by the leakage monitor 13 exceeds a predetermined threshold, it can be seen that there is a possibility that the material is leaking into the outer container 3.
In addition, during the purge, the leakage monitor 13 monitors the internal space of the outer container 3, and the door 3b provided in the outer container 3 is locked by the lock mechanism 16, so that the user accidentally opens the door 3b during the purge. You can prevent the situation of opening.

なお、本発明は上記実施形態に限られたものではない。   The present invention is not limited to the above embodiment.

本実施形態では材料に液体材料を用いているが、例えば気体材料や固体材料等を用いることもできる。   In the present embodiment, a liquid material is used as the material, but a gas material, a solid material, or the like may be used, for example.

内容器は、材料に合わせて適宜変更することができる。つまり、例えば第１管状体及び第２管状体がともにケーシングから突出するように構成してもよいし、第１管状体及び第２管状体がともにケーシングを貫通するように構成してもよい。   The inner container can be appropriately changed according to the material. That is, for example, both the first tubular body and the second tubular body may be configured to protrude from the casing, or both the first tubular body and the second tubular body may be configured to penetrate the casing.

また、本実施形態の継手操作機構は、使用者が自ら作業を行うことが可能なグローブで構成されているが、使用者が遠隔操作する例えばマニピュレータ等の装置で構成してもよい。このように構成すれば、使用者は確実に自らの安全を確保しながら、内容器の交換作業を行うことができる。   Moreover, although the joint operation mechanism of this embodiment is comprised with the glove which a user can work by itself, you may comprise with apparatuses, such as a manipulator which a user operates remotely. If comprised in this way, the user can perform the replacement | exchange operation | work of an inner container, ensuring its own safety reliably.

外容器は、内容器や継手操作機構の構成に応じて適宜変更することができる。つまり、例えば継手操作機構が遠隔操作するものの場合、外容器に透明窓を設けずに、別途外容器内を撮像する撮像装置を設けることもできる。   The outer container can be appropriately changed according to the configurations of the inner container and the joint operation mechanism. That is, for example, in the case where the joint operation mechanism is remotely operated, it is possible to separately provide an imaging device for imaging the inside of the outer container without providing a transparent window in the outer container.

前記実施形態では、制御部が、ガス濃度モニタ又はガス検知器が送信した材料漏洩量のいずれか一方が閾値を超えている場合に、ロック機構及びアラームを作動させるが、ガス濃度モニタ及びガス検知器が送信した材料漏洩量の両方が閾値を超えている場合にロック機構及びアラームを作動してもよいし、液体検知器が液体を検知した検知信号や微差圧計が検知した検知信号を用いて作動するように構成してもよい。   In the above embodiment, the control unit activates the lock mechanism and the alarm when either the gas concentration monitor or the material leakage amount transmitted by the gas detector exceeds the threshold value. The lock mechanism and alarm may be activated when both the amount of material leakage transmitted by the device exceeds the threshold, or the detection signal detected by the liquid detector or the detection signal detected by the micro differential pressure gauge is used. It may be configured to operate.

前記実施形態では、不活性ガスが充満したことを判断するために、微差圧計を確認していたが、これは前記実施形態のガス濃度モニタとガス検知器がトリメチルアルミニウム等の液体材料のみを検知する仕様となっていたためである。そのため、ガス濃度モニタとガス検知器とが例えば酸素等を検知可能である場合は、ガス濃度モニタ及びガス検知器を確認することで不活性ガスが充満したか否かを確認してもよい。この場合は微差圧計を配置する必要がないので、装置構成を簡便なものとすることができる。   In the above embodiment, the micro differential pressure gauge is checked in order to determine that the inert gas is full. This is because the gas concentration monitor and the gas detector in the above embodiment use only a liquid material such as trimethylaluminum. This is because it was a specification to detect. Therefore, when the gas concentration monitor and the gas detector can detect, for example, oxygen or the like, it may be confirmed whether or not the inert gas is filled by checking the gas concentration monitor and the gas detector. In this case, since it is not necessary to arrange a micro differential pressure gauge, the apparatus configuration can be simplified.

なお、ガス濃度モニタ及びガス検知器のゼロ点補正を行うために、不活性ガス導入配管９ａと不活性ガス導出配管９ｂとを直接接続した管路を設けておいてもよい。   In order to perform zero point correction of the gas concentration monitor and the gas detector, a pipe line directly connecting the inert gas introduction pipe 9a and the inert gas outlet pipe 9b may be provided.

前記実施形態では、外容器の内部空間にロードセルを配置していたが、ロードセルが配置されていなくてもよい。この場合、制御部は、使用者が外容器に設けられた扉を閉めたことを検知してロック機構を作動することができる。   In the above embodiment, the load cell is arranged in the internal space of the outer container, but the load cell may not be arranged. In this case, the control unit can actuate the lock mechanism by detecting that the user has closed the door provided in the outer container.

前記実施形態では、不活性ガス導入流路にマスフロコントローラが配置されていたが、マスフロコントローラに代えて、マスフロメータを用いてもよいし、手動で不活性ガスの流量を調整するニードルバルブ等を用いることもできる。   In the above-described embodiment, the mass flow controller is arranged in the inert gas introduction flow path. However, instead of the mass flow controller, a mass flow meter may be used, a needle valve that manually adjusts the flow rate of the inert gas, or the like. Can also be used.

本発明は、その趣旨に反しない範囲で様々な変形が可能である。   The present invention can be variously modified without departing from the spirit of the present invention.

１・・・材料供給装置
２・・・内容器
２０・・導出ポート
３・・・外容器
４・・・接続継手
５・・・継手操作機構
６ａ・・圧送配管
６ｂ・・供給配管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Material supply apparatus 2 ... Inner container 20 ... Outlet port 3 ... Outer container 4 ... Connection joint 5 ... Joint operation mechanism 6a ... Pressure feed piping 6b ... Supply piping

Claims (6)

発火性を有する材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、
前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管を前記導出ポートに接続するための接続継手と、
前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記外容器内に配置される前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構と、
前記外容器の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構とを具備し、
前記不活性ガス充満機構が、
前記外容器の内部空間へ不活性ガスを導入する不活性ガス導入配管と、
前記外容器の内部空間から外部へ不活性ガスを導出する不活性ガス導出配管とを備え、
前記不活性ガス導入配管から導入される不活性ガスが、前記外側容器の内部空間において底部へ吹きつけられるように構成されていることを特徴とする材料供給装置。 An outer container for containing an ignitable material and an inner container having a lead-out port for leading the material away from the outside air;
A connection joint for connecting a supply pipe for supplying a material to a predetermined device outside the outer container to the outlet port;
A joint operating mechanism capable of operating the connection joint disposed in the outer container while maintaining a state isolated from the outside air from the outside of the outer container;
An inert gas filling mechanism for filling the inner space of the outer container with an inert gas ,
The inert gas filling mechanism is
An inert gas introduction pipe for introducing an inert gas into the internal space of the outer container;
An inert gas outlet pipe for leading inert gas from the inner space of the outer container to the outside,
The material supply apparatus, wherein the inert gas introduced from the inert gas introduction pipe is blown to the bottom in the internal space of the outer container . 前記外容器の内部空間における材料の漏洩を監視する漏洩モニタと、
前記内容器を出し入れするための前記外容器の扉に設けたロック機構と、
前記漏洩モニタで検知された材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、前記ロック機構を作動させて扉の開成を禁止する制御部とをさらに具備している請求項１記載の材料供給装置。 A leakage monitor for monitoring leakage of material in the internal space of the outer container;
A locking mechanism provided on the door of the outer container for taking in and out the inner container;
2. The material according to claim 1, further comprising: a control unit that activates the lock mechanism to prohibit the opening of the door when the amount of material leakage detected by the leakage monitor exceeds a predetermined threshold value. Feeding device. 前記漏洩モニタが、前記外容器の内部空間における材料の漏洩を検知する少なくとも２つ以上の検知器を備える請求項２記載の材料供給装置。   The material supply apparatus according to claim 2, wherein the leakage monitor includes at least two detectors that detect leakage of the material in the internal space of the outer container. 使用済み内容器を新しい内容器に交換するために、使用済み内容器の導出ポートを前記接続継手から外すと、前記供給配管から前記外容器の内部空間に不活性ガスが導入される請求項１、２又は３いずれかに記載の材料供給装置。 To replace a used inner container to a new inner container, according to claim 1 Disconnecting the outlet port of the used inner container from the connection joint, the inert gas in the internal space of the outer container from the supply pipe is introduced The material supply apparatus in any one of 2 or 3 . 発火性を有する材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器と、該内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、前記外容器内に配置されて前記導出ポートを前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管に接続するための接続継手とを具備した材料供給装置であって、
前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構と、
前記外容器の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構とをさらに具備し、
前記不活性ガス充満機構が、
前記外容器の内部空間へ不活性ガスを導入する不活性ガス導入配管と、
前記外容器の内部空間から外部へ不活性ガスを導出する不活性ガス導出配管とを備え、
前記不活性ガス導入配管から導入される不活性ガスが、前記外側容器の内部空間において底部へ吹きつけられるように構成されていることを特徴とする材料供給装置。 An inner container having a lead-out port for containing a material having ignitability and leading out the material, an outer container for storing the inner container in isolation from the outside air, and disposed in the outer container. A material supply device comprising a connection joint for connecting the outlet port to a supply pipe for supplying material to a predetermined device outside the outer container,
From the outside of the outer container, a joint operating mechanism capable of operating the connection joint while maintaining a state isolated from the outside air ,
An inert gas filling mechanism for filling the inner space of the outer container with an inert gas;
The inert gas filling mechanism is
An inert gas introduction pipe for introducing an inert gas into the internal space of the outer container;
An inert gas outlet pipe for leading inert gas from the inner space of the outer container to the outside,
The material supply apparatus, wherein the inert gas introduced from the inert gas introduction pipe is blown to the bottom in the internal space of the outer container . 材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、An outer container for containing the material and containing an inner container having a lead-out port for leading the material away from the outside air;
前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管を前記導出ポートに接続するための接続継手と、  A connection joint for connecting a supply pipe for supplying a material to a predetermined device outside the outer container to the outlet port;
前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記外容器内に配置される前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構とを具備し、  A joint operating mechanism capable of operating the connection joint disposed in the outer container while maintaining a state isolated from the outside air from the outside of the outer container;
使用済み内容器を新しい内容器に交換するために、使用済み内容器の導出ポートを前記接続継手から外すと、前記供給配管から前記外容器の内部空間に不活性ガスが導入されることを特徴とする材料供給装置。  In order to replace the used inner container with a new inner container, when the outlet port of the used inner container is removed from the connection joint, an inert gas is introduced from the supply pipe into the inner space of the outer container. Material supply device.

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