JP6103906B2 - 弾性波装置と封止体 - Google Patents
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Description
本発明の実施例1の弾性波装置1Aは封止体7Aを有し、図2〜図5に示す特性を有する。
本発明の実施例2の弾性波装置1Bは封止体7Bを有し、図6〜図9に示す特性を有する。
2 圧電基板
3 櫛形電極
4 配線
5 空間
6 カバー体
7A、7B 封止体
8 端子電極
9 接続電極
Claims (20)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の表面上に弾性表面波を発生させるべく前記圧電基板上に設けられた櫛形電極と、
前記圧電基板の上に設けられ前記櫛形電極を前記圧電基板との間に封止する封止体と
を備え、
前記封止体は、前記封止体の第1のガラス転移温度よりも低温の第1の温度領域における第1の線膨張係数を有し、
前記第1の線膨張係数は、前記第1のガラス転移温度よりも高温の第2の温度領域における前記封止体の第2の線膨張係数よりも大きく、
前記圧電基板の線膨張係数は、前記第1の線膨張係数よりも小さくかつ前記第2の線膨張係数よりも大きい弾性波装置。 - 前記第1の線膨張係数は、前記圧電基板の表面によって画定される平面に平行かつ前記弾性表面波の伝播方向に垂直な方向における前記圧電基板の線膨張係数よりも大きい請求項1記載の弾性波装置。
- 前記第2の線膨張係数は、前記弾性表面波の伝播方向における前記圧電基板の線膨張係数よりも小さい請求項1記載の弾性波装置。
- 前記封止体は、前記第1のガラス転移温度よりも高温の第2のガラス転移温度を有し、
前記第2の温度領域は、前記第1のガラス転移温度と前記第2のガラス転移温度との間に存在し、
前記第2のガラス転移温度よりも高温の第3の温度領域における前記封止体の第3の線膨張係数が、前記第2の線膨張係数よりも大きい請求項1記載の弾性波装置。 - 前記第3の線膨張係数は、前記圧電基板の表面によって画定される平面に平行かつ前記弾性表面波の伝播方向に垂直な方向における前記圧電基板の線膨張係数よりも大きい請求項4記載の弾性波装置。
- 前記第1のガラス転移温度及び前記第2のガラス転移温度は前記封止体の硬化温度よりも低い請求項4に記載の弾性波装置。
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた櫛形電極と、
前記圧電基板の上に設けられ前記櫛形電極を前記圧電基板との間に封止する封止体と
を備え、
前記封止体は、前記封止体の硬化温度よりも低温の温度領域に複数のガラス転移温度を有し、
前記複数のガラス転移温度の一つを挟んで低温側と高温側とで、前記圧電基板の線膨張係数と前記封止体の線膨張係数の大小関係が逆転する弾性波装置。 - 圧電基板と、
前記圧電基板の表面上に弾性表面波を発生させるべく前記圧電基板上に設けられた櫛形電極と
前記圧電基板の上に設けられ前記櫛形電極を前記圧電基板との間に封止する封止体と
を備え、
前記封止体はガラス転移温度を有し、
前記封止体の線膨張係数が、前記ガラス転移温度よりも低温で前記圧電基板の線膨張係数よりも大きくかつ前記ガラス転移温度よりも高温で前記圧電基板の線膨張係数よりも小さい弾性波装置。 - 前記封止体は前記ガラス転移温度を複数有する請求項8記載の弾性波装置。
- 基板上に取り付けられた電子装置を封止する封止体であって、
前記封止体は、
前記封止体の第1のガラス転移温度よりも低温の第1の温度領域における第1の線膨張係数と、
前記第1のガラス転移温度よりも高温の第2の温度領域における第2の線膨張係数と
を有し、
前記第1のガラス転移温度は前記電子装置の使用温度領域内にあり、
前記第1の線膨張係数は前記第2の線膨張係数よりも大きく、
前記基板の線膨張係数は、前記第1の線膨張係数よりも小さくかつ前記第2の線膨張係数よりも大きい封止体。 - 前記第1の線膨張係数は、前記弾性表面波の前記伝播方向における前記圧電基板の線膨張係数よりも大きい請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記第2の線膨張係数は、前記圧電基板の表面によって画定される平面に平行かつ前記弾性表面波の伝播方向に垂直な方向における前記圧電基板の線膨張係数よりも小さい請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記第3の線膨張係数は、前記弾性表面波の前記伝播方向における前記圧電基板の線膨張係数よりも小さい請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板の線膨張係数は前記弾性表面波の伝播方向により異なる請求項8に記載の弾性波装置。
- 前記封止体は前記櫛形電極の上方に空間を画定する請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記櫛形電極と前記封止体との間に設けられたカバーをさらに備える請求項15に記載の弾性波装置。
- 前記封止体は無機充填材を包含する熱硬化性樹脂を含む請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1のガラス転移温度は前記弾性波装置の使用温度領域内にある請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記封止体は異なるタイプの熱硬化性樹脂を含み、
前記熱硬化性樹脂はそれぞれが互いに異なるガラス転移温度を有する請求項4に記載の弾性波装置。 - 前記第1のガラス転移温度は50℃以下である請求項19記載の弾性波装置。
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