JP6095750B2 - 基板液処理装置及び基板液処理方法 - Google Patents
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Description
また、前記液回収部は、第1の液回収部と第2の液回収部とを有し、前記排気口は、第1の排気口と第2の排気口とを有し、前記固定カバーは、前記第1の排気口の一方側に隙間を形成することなく固定され、他方側が開放された第1の固定カバーと、前記第2の排気口の一方側に隙間を形成することなく固定され、他方側が開放された第2の固定カバーとを有し、前記昇降カップは、前記第1の固定カバーの上方に位置し、下端に支持凹部を形成した第1の昇降カップと、前記第2の固定カバーの上方に位置し、下方へ向けて伸延する遮蔽部材を設けた第2の昇降カップとを有し、前記第1の昇降カップを上昇させた場合であっても前記支持凹部の下端が前記第1の固定カバーの上端よりも下方に位置して前記第1の昇降カップと前記第1の固定カバーとの間を遮蔽し、前記第2の昇降カップを上昇させた場合であっても前記遮蔽部材の下端が前記第2の固定カバーの上端よりも下方に位置して前記第2の昇降カップと前記第2の固定カバーとの間を遮蔽することにした。
2 基板
23 基板回転機構
24 処理液供給機構
56 回収カップ
61,62,63 第1〜第3の液回収部
64,65,66 第1〜第3の排液口
70,71 第1及び第2の排気口
74,75 第1及び第2の固定カバー
80,81 第1及び第2の昇降カップ
84,85 第1及び第2のカップ昇降機構
Claims (10)
- 基板を処理液で処理する基板液処理装置において、
基板を保持するとともに保持した基板を回転させるための基板回転機構と、
基板に複数種類の処理液を選択的に供給する処理液供給機構と、
基板に供給した後の処理液を回収するための回収カップと、
処理液を回収するために回収カップに形成した複数の液回収部と、
複数の液回収部を仕切る仕切壁と、
液回収部から回収した処理液を排出するために回収カップの底部に形成した排液口と、
仕切壁の上部に形成した排気口と、
排気口の上方を覆うために固定された固定カバーと、
基板に供給した後の処理液を液回収部へ案内するために固定カバーの上方で昇降自在に設けた昇降カップと、
処理液の種類に応じて昇降カップを昇降させるためのカップ昇降機構と、
を有し、
前記固定カバーを前記昇降カップに形成した支持凹部によって覆い、前記昇降カップを上昇させた場合であっても前記支持凹部の下端が前記固定カバーの上端よりも下方に位置して前記昇降カップと前記固定カバーとの間を遮蔽することを特徴とする基板液処理装置。 - 前記液回収部は、第1の液回収部と第2の液回収部とを有し、
前記排気口は、第1の排気口と第2の排気口とを有し、
前記固定カバーは、前記第1の排気口の一方側に隙間を形成することなく固定され、他方側が開放された第1の固定カバーと、前記第2の排気口の一方側に隙間を形成することなく固定され、他方側が開放された第2の固定カバーとを有し、
前記昇降カップは、前記第1の固定カバーの上方に位置し、下端に支持凹部を形成した第1の昇降カップと、前記第2の固定カバーの上方に位置し、下方へ向けて伸延する遮蔽部材を設けた第2の昇降カップとを有し、
前記第1の昇降カップを上昇させた場合であっても前記支持凹部の下端が前記第1の固定カバーの上端よりも下方に位置して前記第1の昇降カップと前記第1の固定カバーとの間を遮蔽し、
前記第2の昇降カップを上昇させた場合であっても前記遮蔽部材の下端が前記第2の固定カバーの上端よりも下方に位置して前記第2の昇降カップと前記第2の固定カバーとの間を遮蔽することを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記排液口は、前記処理液供給機構から供給する処理液の種類ごとに複数個形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板液処理装置。
- 前記昇降カップは、カップ昇降機構で昇降させることで液回収部と前記いずれかの排液口とを連通させることを特徴とする請求項3に記載の基板液処理装置。
- 前記固定カバーに前記排気口の上方及び側方に張出した庇部を形成したことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 前記排気口を複数設けるとともに、前記回収カップの底部で複数の排気口を連通連結したことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 前記複数の液回収部の間に前記排気口を配置したことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 基板を処理液で処理する基板液処理方法において、
回転する基板に複数種類の処理液を選択的に供給し、
回収カップを用いて基板に供給した処理液を回収し、
回収カップの液回収部から回収した処理液を排液口から排出するとともに、排液口よりも上方に形成した排気口から排気し、
排気口の上方を覆うために固定された固定カバーに対して、固定カバーを支持凹部で覆う昇降カップを処理液の種類に応じて昇降させ、前記昇降カップを上昇させた場合であっても前記支持凹部の下端が前記固定カバーの上端よりも下方に位置して前記昇降カップと前記固定カバーとの間を遮蔽することを特徴とする基板液処理方法。 - 前記処理液供給機構から供給する処理液の種類ごとに形成した複数個の排液口から処理液を排出することを特徴とする請求項8に記載の基板液処理方法。
- 前記昇降カップを昇降させることで回収カップの液回収部を前記いずれかの排液口とを連通させることを特徴とする請求項9に記載の基板液処理方法。
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