JP6093741B2 - 研磨装置及びウェーハの研磨方法 - Google Patents
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Description
ここで旋回可能な位置とは、例えば、研磨ヘッド202aを旋回した際に、研磨ヘッド202aがドレッシング機構などの他の部材に接触しない位置のことである。
そして、研磨ヘッド202aは第1の定盤204aの研磨布に接触する位置まで下降し、研磨布が張り付けられた第1の定盤204aでの研磨が開始される。
前記研磨装置は、前記定盤を上下動することができる定盤上下動機構を有するものであることを特徴とする研磨装置を提供する。
このようなものであれば、研磨ヘッドとドレッシング機構を干渉させることなく、研磨ヘッドの旋回移動と定盤の上下動を並行して行うことができる。そのため、タクトタイムを短縮して生産性を向上できる。
研磨ヘッド上下動機構により、各種研磨ヘッドへの対応や、溝なし研磨布への対応が可能となり、上下動幅を20mm以下に抑えることにより、研磨軸の剛性の低下を確実に抑制でき、より確実に、研磨中にモーメント荷重がかかった際の研磨軸の変位量を小さくすることができる。
このようなものであれば、タクトタイムをより短縮することができる。
このようなものであれば、研磨布の摩耗によるドレッシング効果のばらつきを抑制できるとともに、時間がかかるドレッシング機構の高さの調整が必要なくなるので生産性が向上する。
前記研磨ヘッドで保持した前記ウェーハの研磨に用いる前記定盤の切り替えを、該定盤を下降させて前記研磨ヘッドを旋回移動させることによって行うことを特徴とするウェーハの研磨方法を提供する。
このようにすれば、研磨布の摩耗によるドレッシング効果のばらつきを抑制できるとともに、時間のかかるドレッシング機構の高さの調整が必要なくなるので生産性が向上する。
上述したように、ウェーハを研磨しているときに、研磨軸がモーメント荷重を受けた場合に、研磨軸に変位が生じ、これにより研磨しているウェーハの品質に悪影響を及ぼすという問題があった。
そして、これらを実施するための最良の形態について精査し、本発明を完成させた。
図5のように、本発明の研磨装置1は、ウェーハを保持するための研磨ヘッド2a〜2dと、複数の定盤4a〜4cと、ローディング/アンローディングステージ12を具備している。また、図1A、図1Bのように、研磨装置1は、定盤4a〜4cを上下動することができる定盤上下動機構5を具備している。定盤4a〜4cのそれぞれには、ウェーハWを研磨するための研磨布3が貼り付けられている。ウェーハWは、ローディング/アンローディングステージ12上で、研磨ヘッド2a〜2dへ装着される又は、研磨ヘッド2a〜2dから剥離されることができる。各定盤4a〜4cの上方には、ウェーハWの研磨を行う際に研磨剤7を定盤4a〜4c上に供給するための研磨剤供給機構8が設置されている(図3Bおよび図4B参照)。
ここでは、説明を容易にするために、2つの研磨ヘッドを符号2a〜2dで示し、2つの研磨軸を符号9a〜9dで示している。すなわち、1つの定盤に対して、2つの研磨ヘッドが割り当てられているような構成になっている。
定盤上下動機構5は、例えばボールねじを用いて構成することができる。そして、定盤上下動機構5は、定盤4a〜4cを上下動させ、所望の任意の高さ位置に停止させることができる。定盤上下動機構5は、定盤4a〜4cをそれぞれ独立して上下動させることができるように構成されている。例えば、図1A、図1Bに示す研磨装置1には、それぞれの定盤4a〜4cに対応する3つの独立した定盤上下動機構5が設けられている。定盤4a〜4cのストローク幅を、例えば100mmとすることができる。
具体的には、定盤が上下動の最下端まで下降した後、ドレッシング機構6が図3Aに示すような初期位置から、図4Aに示すように、研磨布3の上方に移動し、ドレッシングが行われる。
このようなものであれば、研磨ヘッドとドレッシング機構を干渉させることなく、研磨ヘッドの旋回移動と定盤の上下動を並行して行うことができる。そのため、タクトタイムを短縮して生産性を向上できる。
このように、両者の動きを並行して行うことができるので、上記定盤を切り替えるときや、ドレッシングを行う時のタクトタイムを短縮することができ、生産性を向上できる。
ここでは、具体的なウェーハの研磨方法の流れを、図5に示す第1の研磨軸9aに取り付けられた研磨ヘッド2aの動きを中心に説明しながら、図6のフロー図に基づいて説明する。
なお、ドレッシングを行うタイミングは特に限定されず、例えば、ウェーハの研磨が終了するたびに行っても良い。しかし、ドレッシング頻度の増加は生産性低下につながるため、使用する研磨布や研磨剤に合わせて、適切なタイミングでドレッシングを行うことが好ましい。
本発明の研磨装置を用意し、軸剛性を評価した。用意した研磨装置は、直径300mmのウェーハの研磨に対応したものとした。研磨ヘッドを20mmのストローク幅で上下動させる研磨ヘッド上下動機構を有するものとし、定盤上下動機構は上下動のストローク幅が100mmのものとした。
まず、ウェーハを研磨している際に、研磨ヘッドおよび研磨軸にモーメント荷重がかかった場合の影響について、シミュレーションにより解析を実施した。なお、シミュレーションは、Solidworks simulationを用いて行った。
シミュレーションの条件は、研磨時に約200kgfの横方向の荷重が研磨ヘッド2に負荷することを想定して行った。その結果、表1に示すように、研磨ヘッド2の平行方向の変位量は、8.18μmであった。
シミュレーションの条件は、研磨軸9に直接、約15kgfの横方向の荷重を与えた場合を想定して行った。その結果、研磨軸9の変位量は、表1に示すように、0.15μmであった。
本発明の定盤上下動機構を有さない、研磨ヘッド上下動機構のストローク幅が120mmの従来の研磨装置を用いて、実施例1と同様にして、シミュレーション及び、ばねばかり11を用いた軸剛性の評価を行った。
また、研磨軸に約15kgfの横方向の荷重を与えた場合を想定して行った研磨軸の変位量は、表2に示すように3.8μmであった。
定盤上下動機構および研磨ヘッド上下動機構を有する本発明の研磨装置において、研磨ヘッドが上下動の最下端から最上端まで移動するのに要する時間を測定した。なお、研磨ヘッド上下動機構のストローク幅は20mmで、研磨ヘッドの上下移動速度を35mm/秒に設定した。
その結果、移動時間は加減速に要する時間も入れて平均1.1秒であった。
本発明の定盤上下動機構を有さない、従来の研磨装置において、研磨ヘッドが上下動の最下端から最上端まで移動するのに要する時間を測定した。なお、研磨ヘッド上下動機構のストローク幅は120mmで、研磨ヘッドの上下移動速度は実施例2と同様に35mm/秒に設定した。
以上の結果より、実施例2では、研磨ヘッドの移動時間を比較例2に比べて大幅に短縮できた。
本発明の定盤上下動機構およびドレッシング機構を有する研磨装置を用いて、研磨布のドレッシングを行い、ドレッシングによる研磨布の厚さの変化を評価した。研磨布は、厚さ測定がし易い硬質の発泡ウレタン研磨布を用いた。また、研磨布の厚さが変化しやすいように、研磨布表層の除去効果が高いダイヤモンドドレッサーを用い、ドレッシング時間を延長し、繰り返しドレッシングを行った。
本発明の定盤上下動機構を有さない、定盤の高さ位置が固定の、従来の研磨装置を用いてドレッシング機構の高さの調整を行わなかった以外、実施例3と同様にドレッシングによる研磨布の厚さの変化を評価した。なお、研磨布及び、ドレッサーは実施例3と同じものを用いた。
その結果、図10に示すように、ドレッシングを繰り返すと研磨布の厚さの変化率が低下した。これは、ドレッシング効果が低下していることを示している。
本発明の定盤上下動機構およびドレッシング機構を有する研磨装置を用いて、実際に300mmのシリコンウェーハの研磨および、研磨布のドレッシングを行った。研磨サイクル中ではウェーハのピックアップと同時に研磨ヘッドの旋回動作を行うようにした。
その結果、比較例と比べて、平均3秒のサイクルタイム短縮が可能であった。
本発明の定盤上下動機構を有さない、従来の研磨装置を用いて、実際に300mmのシリコンウェーハの研磨および、研磨布のドレッシングを行った。
従来の研磨装置は、ウェーハのピックアップと同時に旋回動作がすることができないので、実施例3に比べて平均3秒サイクルタイムが遅いという結果になった。
4、4a、4b、4c…定盤、 5…定盤上下動機構、 6…ドレッシング機構、
7…研磨剤、 8…研磨剤供給機構、 9、9a、9b、9c、9d…研磨軸、
10…ダイレクトドライブモータ、 11…ばねばかり、
12…ローディング/アンローディングステージ、 W…ウェーハ。
Claims (5)
- ウェーハを保持するための研磨ヘッドと、前記ウェーハを研磨するための研磨布が貼り付けられた複数の定盤と、前記ウェーハを前記研磨ヘッドへ装着する又は、前記研磨ヘッドから剥離するためのローディング/アンローディングステージとを具備し、前記研磨ヘッドを旋回移動させることによって、前記研磨ヘッドで保持した前記ウェーハの研磨に用いる前記定盤を切り替えながら前記ウェーハを研磨するインデックス方式の研磨装置において、
前記研磨装置は、前記定盤を上下動することができる定盤上下動機構と前記研磨ヘッドを20mm以下のストローク幅で上下動させる研磨ヘッド上下動機構とを有し、前記研磨ヘッドの旋回移動と、前記定盤と前記研磨ヘッドの上下動とを、並行して行うことができるものであることを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨装置は、前記研磨ヘッドが旋回移動する軌道と干渉しない位置に、ドレッシング機構を設けたものであることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記定盤上下動機構は、前記ドレッシング機構で前記研磨布のドレッシングを行う際に、前記研磨布の摩耗に応じて、前記定盤の高さを調節するものであることを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の研磨装置を用いたウェーハの研磨方法であって、
前記研磨ヘッドで保持した前記ウェーハの研磨に用いる前記定盤の切り替えを、該定盤を下降させて前記研磨ヘッドを旋回移動させることによって行うことを特徴とするウェーハの研磨方法。 - 請求項2又は請求項3に記載の研磨装置を用いたウェーハの研磨方法であって、
前記研磨ヘッドで保持した前記ウェーハの研磨に用いる前記定盤の切り替えを、該定盤を下降させて前記研磨ヘッドを旋回移動させることによって行い、
前記ウェーハの研磨終了後に、前記研磨布の摩耗に応じて、前記定盤の高さを調節して前記研磨布のドレッシングを行う工程を有することを特徴とするウェーハの研磨方法。
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