JP6092086B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
RR∝P・V
ただし、RRは研磨レートを表し、Pは研磨パッド1に押し付けられるウェハWの表面圧力を表し、Vはウェハ表面と研磨パッド表面との相対速度を表す。
本発明の好ましい態様は、前記研磨テーブルと前記トップリングは同じ回転速度で回転することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記算出された応答倍率が0dBよりも大きい場合に、該応答倍率が0dB以下となるように前記バルブ制御部の動作を調整するチューニング器をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記圧力室と前記圧力レギュレータとの間に設けられたガスタンクをさらに備えたことを特徴とする。
本発明の一実施形態に係る研磨装置は、図1に示す研磨装置と基本的に同じ構成を有するので、その重複する説明を省略する。図9は、圧力レギュレータ15の一実施形態を示す模式図である。圧力レギュレータ15は、圧力室10内の気体の圧力を調整する圧力制御バルブ16と、この圧力制御バルブ16の下流側の気体の圧力(二次側圧力)を測定する圧力計17と、圧力の目標値Pcと圧力計17によって測定された圧力値Pactとの差分(偏差)を最小にするように圧力制御バルブ16の動作を制御するバルブ制御部25とを備えている。二次側圧力は、圧力室10内の圧力に相当する。目標値Pcは、トップリング5の圧力室10内の圧力の目標値である。
2 研磨テーブル
5 トップリング
10 圧力室
11 弾性膜
14 ロータリージョイント
15 圧力レギュレータ
16 圧力制御バルブ
17 圧力計
21,25,25A,25B バルブ制御部
26 切替器
28 気体流路
31 帯域除去フィルタ
33 応答倍率計測器
35 チューニング器
40 ガスタンク
Claims (8)
- 研磨パッドを支持するための回転可能な研磨テーブルと、
前記研磨パッドに基板を押し付けるための圧力室を有する回転可能なトップリングと、
前記圧力室内の気体の圧力を制御する圧力レギュレータとを備え、
前記圧力レギュレータは、圧力制御バルブと、該圧力制御バルブの下流側の気体の圧力を測定する圧力計と、前記圧力室内の圧力の目標値と該圧力計によって測定された圧力値との差分を最小にするように前記圧力制御バルブの動作を制御するバルブ制御部とを備え、
前記測定された圧力値の振動周波数が所定の周波数範囲内にあるとき、前記バルブ制御部の、前記目標値に対する前記測定された圧力値の比率を示す応答倍率は0dB以下であり、
前記研磨テーブルの回転速度に対応する周波数は、前記所定の周波数範囲内にあることを特徴とする研磨装置。 - 前記バルブ制御部は、第1のバルブ制御部と第2のバルブ制御部から構成され、
前記圧力レギュレータは、前記第1のバルブ制御部と前記第2のバルブ制御部とを切り替える切替器を有しており、
前記測定された圧力値の振動周波数が前記所定の周波数範囲内にあるとき、前記第1のバルブ制御部の前記応答倍率は0dB以下であり、
前記測定された圧力値の振動周波数が前記所定の周波数範囲内にあるとき、前記第2のバルブ制御部の前記応答倍率は0dBよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記圧力レギュレータは、前記測定された圧力値の振動周波数が前記所定の周波数範囲内にあるときの前記バルブ制御部の前記応答倍率を0dB以下に下げる帯域除去フィルタを備えることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記研磨テーブルと前記トップリングは同じ回転速度で回転することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記バルブ制御部の前記応答倍率を計測する応答倍率計測器をさらに備え、
前記応答倍率計測器は、
前記所定の周波数範囲内にある周波数でテスト目標値を振動させながら該テスト目標値を前記圧力レギュレータに入力し、
前記振動するテスト目標値を前記圧力レギュレータに入力しているときの前記圧力計の出力値を取得し、
前記出力値および前記テスト目標値から前記バルブ制御部の前記応答倍率を算出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の研磨装置。 - 前記算出された応答倍率が0dBよりも大きい場合に、該応答倍率が0dB以下となるように前記バルブ制御部の動作を調整するチューニング器をさらに備えたことを特徴とする請求項5に記載の研磨装置。
- 前記圧力室と前記圧力レギュレータとの間に設けられたガスタンクをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 研磨パッドを支持するための回転可能な研磨テーブルと、
前記研磨パッドに基板を押し付けるための圧力室を有する回転可能なトップリングと、
前記圧力室内の気体の圧力を制御する圧力レギュレータと、
前記圧力室と前記圧力レギュレータとの間に設けられたガスタンクとを備え、
前記圧力レギュレータは、圧力制御バルブと、該圧力制御バルブの下流側の気体の圧力を測定する圧力計と、前記圧力室内の圧力の目標値と該圧力計によって測定された圧力値との差分を最小にするように前記圧力制御バルブの動作を制御するバルブ制御部とを備えたことを特徴とする研磨装置。
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