JP6091315B2 - ホログラフィック反射撮像装置および方法 - Google Patents
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Description
調査対象物体と接触する接触面および放射波を部分反射するための撮像面を有する部分反射表面と、
前記放射波を部分反射表面の前記撮像面に投射するための少なくとも1つの放射源と、
前記部分反射表面で反射した場合に前記放射波を受けるように配置された画像センサとを備え、
前記画像センサは、部分反射表面の撮像面で反射した前記放射波と、部分反射表面の前記接触面と接触した場合に調査対象物体で反射した放射波との間の干渉パターンを決定するように構成される。
調査対象物体を部分反射表面に接触させることと、
少なくとも部分的にコヒーレントな放射波を部分反射表面に入射させることと、
放射波を部分反射表面から部分反射させ、放射波を部分反射表面を通して部分透過させることと、
部分反射表面を通過した放射波を調査対象物体から反射させることと、
部分反射表面で反射した放射波と調査対象物体で反射した放射波との間の干渉パターンを決定することとを含む。
Claims (19)
- 調査対象物体を撮像するためのホログラフィック撮像装置であって、
調査対象物体と接触する接触面および、放射波を部分反射して参照ビームとするための撮像面を有する部分反射表面と、
放射波を部分反射表面の撮像面に投射するための少なくとも1つの放射源と、
部分反射表面で反射した場合に放射波を受けるように配置された画像センサとを備え、
画像センサは、部分反射表面の撮像面で反射した放射波と、部分反射表面の接触面と接触した調査対象物体で反射した放射波との間の干渉パターンを決定するように構成されている、装置。 - 画像センサの上に配置された第1表面、および部分反射表面である第2表面を有する、透過材料からなるスラブをさらに備える請求項1記載の装置。
- 放射源は、画像センサと部分反射表面との間に設置される請求項1記載の装置。
- 画像センサは、放射波に空間コヒーレンスを付与するために、少なくとも1つの放射源と光学的に結合した少なくとも1つのアパーチャを備える請求項1記載の装置。
- 少なくとも1つの放射源は、少なくとも1つのアパーチャの内側に設置される請求項4記載の装置。
- 少なくとも1つのアパーチャを閉じるために、画像センサの上に配置されたMEMSベースの光バルブをさらに備える請求項4記載の装置。
- 少なくとも1つの放射源は、放射波を部分反射表面に向けるためのMEMSデバイスを備える請求項1記載の装置。
- 画像センサの上に配置された第1表面、および部分反射表面である第2表面を有する半透明プリズムをさらに備える請求項1記載の装置。
- 少なくとも1つの放射源は、光導波路、発光ダイオード、またはレーザを備える請求項1記載の装置。
- 物体からの複数の画像を記録するために、調査対象物体の1つ以上または少なくとも1つの放射源に対して、画像センサを移動させるための駆動手段をさらに備える請求項1記載の装置。
- 画像センサは、マルチスペクトルまたはハイパースペクトルの画像センサを備える請求項1記載の装置。
- 少なくとも1つの放射源は、異なる波長の光を放出するための複数の光源を備える請求項1記載の装置。
- 装置は、物体によって反射して画像センサに向かう放射波の方向を変更するように構成された追加の中間の光学素子を備えていない請求項1記載の装置。
- 少なくとも1つの放射源および画像センサは、半導体回路チップ上で一体化されている請求項1記載の装置。
- 調査対象物体を撮像するための方法であって、
調査対象物体を部分反射表面に接触させるステップと、
少なくとも部分的にコヒーレントな放射波を部分反射表面に入射させるステップと、
放射波を部分反射表面から部分反射させ、放射波を部分反射表面を通して部分透過させるステップと、
部分反射表面を通過した放射波を調査対象物体から反射させるステップと、
部分反射表面で反射した放射波と調査対象物体で反射した放射波との間の干渉パターンを決定するステップとを含む方法。 - 干渉パターンを考慮して、調査対象物体の画像表現を再構築するステップをさらに含む請求項15記載の方法。
- 部分反射表面で反射した放射波、および調査対象物体で反射した放射波を受けるように配置された画像センサによって干渉パターンを決定するステップをさらに含み、
画像センサは、透過材料からなるスラブの第1表面に配置され、
部分反射表面は、透過材料からなるスラブの第2表面である請求項15記載の方法。 - 少なくとも1つの放射源が、放射波を投射するように構成され、
少なくとも1つの放射源および画像センサは、半導体集積チップを形成している、請求項17記載の方法。 - 調査対象物体で反射した放射波を、部分反射表面および透過材料を除いて追加の中間の光学素子を通過させることなく、調査対象物体で反射した放射波を、再び部分反射表面を通して画像センサに向けて通過させるステップをさらに含む、請求項17記載の方法。
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