JP6080658B2 - カーボンナノチューブ生成用基板の製造方法、カーボンナノチューブ生成用基板及びカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法 - Google Patents
カーボンナノチューブ生成用基板の製造方法、カーボンナノチューブ生成用基板及びカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法 Download PDFInfo
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前記基板上の触媒粒子と炭素含有ガスとを反応させることにより生成したカーボンナノチューブを前記基板から剥離し、
前記基板に残された炭素含有物を酸素雰囲気中にて熱分解することにより除去して前記触媒粒子を露出させた後、
前記触媒粒子と前記炭素含有ガスとを反応させることを特徴とする。
また、微粒化作業を行う前にバリア膜形成作業を行うことが好ましい。
前記基板上の触媒粒子と炭素含有ガスとを反応させることにより生成したカーボンナノチューブを前記基板から剥離し、
前記基板に残された炭素含有物を酸素雰囲気中にて熱分解することにより除去して前記触媒粒子を露出させた後、
前記触媒粒子と前記炭素含有ガスとを反応させることを特徴とする。
[実施例1]
次に、実施例1に係るカーボンナノチューブ生成用基板の製造方法について、図2を用いて説明する。
上記のカーボンナノチューブ生成用基板を用いて、基板1上の触媒粒子2と炭素含有ガスとを反応させることにより生成したカーボンナノチューブを基板1から剥離又は転写し、基板1に残された炭素含有物を酸素雰囲気中にて熱分解することにより除去して触媒粒子2を露出させた後、触媒粒子2と炭素含有ガスとを反応させることにより再びカーボンナノチューブ生成用基板として利用することができる。実施例1においては、剥離又は転写の方法は公知のものを用いればよく、特に限定されない。一般的には、カーボンナノチューブとは、基板1から垂直方向に生成されたものを指し、カーボンナノチューブが剥離又は転写された後、基板1には、長さの短いカーボンナノチューブや非晶質炭素等の残渣が付着している。基板1を再利用するためには、このような残渣を熱又は酸素プラズマによる酸化処理を行って除去する必要があり、場合によっては、さらに酸化処理により酸化された触媒を還元するために還元処理を行うことがある。実施例1に係るカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法によれば、これらの酸化及び還元処理を経ても、触媒粒子2はバリア粒子3により保護されていることにより剥離することがないため、再度触媒を担持させることなく、再利用することができる。
次に、本発明に係る実施例2について、図3を用いて説明する。実施例1と同一であるカーボンナノチューブ生成用基板及びカーボンナノチューブ生成用基板再利用方法については説明を省略し、実施例1とは異なる製造方法についてのみ説明する。なお、実施例1と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
[実験例]
<実験例1>
<比較例1>
2 触媒粒子
3 バリア粒子
4 触媒層
5 触媒膜
6 バリア膜
7 穴
Claims (4)
- 基板と、当該基板上に配置される触媒層とを具備し、前記基板上に前記触媒層を形成する工程は、前記基板上に触媒膜を形成する触媒膜形成作業と、カーボンナノチューブの成長に寄与しないバリア膜を形成するバリア膜形成作業と、前記触媒膜及び前記バリア膜を微粒化する微粒化作業とを備え、前記微粒化作業によって、触媒粒子及びバリア粒子がそれぞれ複数形成されるとともに複数の触媒粒子間にバリア粒子が配置されるカーボンナノチューブ生成用基板を再利用するに際して、
前記基板上の触媒粒子と炭素含有ガスとを反応させることにより生成したカーボンナノチューブを前記基板から剥離し、
前記基板に残された炭素含有物を酸素雰囲気中にて熱分解することにより除去して前記触媒粒子を露出させた後、
前記触媒粒子と前記炭素含有ガスとを反応させる
ことを特徴とするカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法。 - 触媒膜形成作業は、蒸着法又はスパッタリングを用いる
ことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法。 - 微粒化作業を行う前にバリア膜形成作業を行う
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法。 - 基板と、当該基板上に配置される触媒層とを具備し、前記基板上に前記触媒層を形成する工程は、スピンコート法、ディップコート法、ロールコート法及びスプレー法のうち少なくとも1つを用いて前記基板上に触媒膜を形成する触媒膜形成作業と、カーボンナノチューブの成長に寄与しないバリア膜を形成するバリア膜形成作業とを備え、 複数の触媒粒子間にバリア粒子が配置されるカーボンナノチューブ生成用基板を再利用するに際して、
前記基板上の触媒粒子と炭素含有ガスとを反応させることにより生成したカーボンナノチューブを前記基板から剥離し、
前記基板に残された炭素含有物を酸素雰囲気中にて熱分解することにより除去して前記触媒粒子を露出させた後、
前記触媒粒子と前記炭素含有ガスとを反応させる
ことを特徴とするカーボンナノチューブ生成用基板の再利用方法。
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