JP6074338B2 - 液処理装置、濃度補正方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
104 循環ライン
106 ポンプ
112 分岐ライン
16 液処理ユニット
117 濃度補正部
4 制御部(制御装置)
Pi 注入位置
Claims (7)
- 処理液を貯留するタンクと、
前記タンクから出て前記タンクに戻る循環ラインと、
前記循環ライン内で処理液を循環させるポンプと、
前記循環ラインに設定された接続領域において前記循環ラインに接続された分岐ラインと、
前記循環ラインから前記分岐ラインに流入した処理液を用いて基板を処理する液処理ユニットと、
前記タンク及び前記循環ライン内に存在している処理液の濃度を測定する濃度計と、
前記タンクの出口よりも下流側であってかつ前記接続領域よりも上流側に設定された注入位置において、前記循環ラインに処理液構成成分を注入して前記循環ラインを流れる処理液に混合することにより、前記循環ラインを流れる処理液の濃度を補正する濃度補正部と、
を備え、
前記濃度補正部は、前記タンク及び前記循環ライン内に既に存在する処理液の濃度と、前記注入位置に向かって循環ライン内を流れる処理液の流量とに基づいて、前記注入位置に注入された処理液構成成分と前記循環ラインを注入位置に向かって流れてきた処理液との混合液の濃度が、混合後直ちに所定範囲内の目標値となるような、前記注入位置に注入すべき処理液構成成分の濃度および注入流量を計算により求め、この計算により求められた濃度および注入流量で処理液構成成分を前記注入位置に注入する液処理装置。 - 前記注入位置は、前記循環ラインの前記タンクの下流側であってかつ前記ポンプの上流側に位置する、請求項1記載の液処理装置。
- 処理液を貯留するタンクと、前記タンクから出て前記タンクに戻る循環ラインと、前記循環ライン内で処理液を循環させるポンプと、前記循環ラインに設定された接続領域において前記循環ラインに接続された分岐ラインと、前記循環ラインから前記分岐ラインに流入した処理液を用いて基板を処理する液処理ユニットとを備えた液処理装置において、処理液の濃度を補正する濃度補正方法において、
前記タンクおよび前記循環ライン内に存在する処理液の濃度が所定範囲から外れたときに、前記タンクの出口よりも下流側であってかつ前記接続領域よりも上流側に設定された注入位置において、前記循環ラインに処理液構成成分を注入して前記循環ラインを流れる処理液に混合することにより、前記循環ラインを流れる処理液の濃度を補正する補正工程と、
前記タンク及び前記循環ライン内に既に存在する処理液の濃度と、前記注入位置に向かって循環ライン内を流れる処理液の流量とに基づいて、前記注入位置に注入された処理液構成成分と前記循環ラインを注入位置に向かって流れてきた処理液との混合液の濃度が、混合後直ちに前記所定範囲内の目標値となるような、前記注入位置に注入すべき処理液構成成分の濃度および注入流量を求める計算工程と、
を備え、
前記補正工程において、前記計算工程により求められた濃度および注入流量で処理液構成成分が注入されることを特徴とする濃度補正方法。 - 前記注入位置は、前記循環ラインの前記タンクの下流側であってかつ前記ポンプの上流側に位置する、請求項3記載の濃度補正方法。
- 前記計算工程において、前記補正工程の開始前における前記タンクおよび前記循環ライン内に存在する処理液の濃度および総量に基づいて、前記補正工程の終了時における前記タンクおよび前記循環ライン内に存在する処理液の濃度を前記所定範囲内の目標値とするために必要な処理液構成成分の注入総量が計算され、前記補正工程を、処理液構成成分の注入総量が計算された値に達したことが検出されたときに終了させる、請求項3または4記載の濃度補正方法。
- 前記補正工程の開始前における前記タンクおよび前記循環ライン内の処理液の総量が所定値となるように前記タンク及び前記循環ライン内の処理液の一部を廃棄する廃棄工程をさらに備え、前記計算工程における処理液構成成分の注入総量の計算は、前記廃棄工程の終了後に前記タンク及び前記循環ライン内に存在する処理液の総量に基づいて行われる、請求項5記載の濃度補正方法。
- 処理液を貯留するタンクと、前記タンクから出て前記タンクに戻る循環ラインと、前記循環ライン内で処理液を循環させるポンプと、前記循環ラインに設定された接続領域において前記循環ラインに接続された分岐ラインと、前記循環ラインから前記分岐ラインに流入した処理液を用いて基板を処理する液処理ユニットと、前記タンクの出口よりも下流側であってかつ前記接続領域よりも上流側に設定された注入位置において、前記循環ラインを流れる処理液に処理液構成成分を注入することにより、前記循環ラインを流れる処理液の濃度を補正する濃度補正部と、コンピュータからなる制御部と、を備えた液処理装置を制御するためのプログラムが格納された記憶媒体であって、前記コンピュータからなる制御部により実行されることにより、前記液処理装置が請求項3から6のうちのいずれか一項に記載の濃度補正方法を実行することを特徴とする記憶媒体。
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