JP6068779B2

JP6068779B2 - Control devices for linear and rotary robots

Info

Publication number: JP6068779B2
Application number: JP2011066785A
Authority: JP
Inventors: 菲菲章; 雅則伊藤
Original assignee: Daiichi Electric Co Ltd
Current assignee: Daiichi Electric Co Ltd
Priority date: 2011-03-24
Filing date: 2011-03-24
Publication date: 2017-01-25
Anticipated expiration: 2031-03-24
Also published as: JP2012203589A

Description

本発明は、高精度な位置決めが要求される工作機械等において、可動体の位置決め制御を行う直進型及び回転型ロボットの制御装置に関する。 The present invention relates to a controller for a linear type and a rotary type robot that performs positioning control of a movable body in a machine tool or the like that requires high-precision positioning.

例えば、試料を載置したステージテーブルを、２次元平面内で互いに直交するＸ方向およびＹ方向に沿って移動させる移動ステージ装置（Ｘ−Ｙステージ装置ともいう）は、各種工作機械等に利用されている。２次元平面内を移動させる移動ステージ装置では、Ｘ軸制御機構、Ｙ軸制御機構が必要であり、これら２軸を制御する際に互いの軸方向のクロストーク（一方の軸を変位させた時に他方の軸が僅かに変位する現象）を回避する必要がある。そのため、従来、Ｘ軸ステージとＹ軸ステージとを積み重ねた２段構造にすることがなされている。Ｘ軸ステージとＹ軸ステージとを積み重ねた２段構造の装置では、下側のステージは上側のステージの重量を支持することとなり、移動動作に大きな負荷が掛かることとなって、最高移動速度を低く抑えたり、駆動機構を大型にしたりする必要がある等の問題があり、時間当たりの処理量に大きな制約を生じたり、機械のコストが過大になるという問題を生じていた。 For example, a moving stage device (also referred to as an XY stage device) that moves a stage table on which a sample is placed along an X direction and a Y direction orthogonal to each other in a two-dimensional plane is used in various machine tools and the like. ing. A moving stage device that moves in a two-dimensional plane requires an X-axis control mechanism and a Y-axis control mechanism. When these two axes are controlled, crosstalk in the axial direction (when one of the axes is displaced) It is necessary to avoid a phenomenon in which the other shaft is slightly displaced. Therefore, conventionally, a two-stage structure in which an X-axis stage and a Y-axis stage are stacked has been made. In an apparatus with a two-stage structure in which an X-axis stage and a Y-axis stage are stacked, the lower stage supports the weight of the upper stage, and a large load is applied to the movement operation, so that the maximum movement speed is achieved. There have been problems such as the need to keep it low and the drive mechanism to be large, and this has caused problems such as large restrictions on the amount of processing per hour and excessive machine costs.

また、例えば、２軸フライス盤などのステージテーブル上の対象物を加工する装置では、刃の切り込み深さ、移動速度、加工対象物の材質などにより負荷が絶えず変化するという問題がある。 Further, for example, in an apparatus for processing an object on a stage table such as a 2-axis milling machine, there is a problem that the load constantly changes depending on the cutting depth of the blade, the moving speed, the material of the object to be processed, and the like.

このように、ステージ装置で様々な仕事を正確、迅速に行う為には、ステージの移動距離を要求される速度で精密に制御しなければならない。しかし、作業目的に応じて、移動ピッチ、負荷の重量、機械の固体差など様々な要因が変化する。また機械の組み合わせ使用の場合、外乱トルクも発生する。これらに対して、従来の制御法では一律にひとつの制御則で全ての状況に対応することができない。そのために、上記の要因が変化するたび、制御パラメータの調節が必要不可欠である。また、作業環境による機械の振動モードの変化、外乱トルクなどの影響も制御精度の向上を妨げる。 Thus, in order to perform various tasks accurately and quickly with the stage device, the moving distance of the stage must be precisely controlled at a required speed. However, various factors such as movement pitch, load weight, and machine-to-machine difference vary depending on the work purpose. Also, when using a combination of machines, disturbance torque is also generated. On the other hand, in the conventional control method, it is not possible to cope with all situations with a single control law. Therefore, it is essential to adjust the control parameters whenever the above factors change. In addition, changes in the vibration mode of the machine due to the work environment, disturbance torque, and other effects also hinder the improvement of control accuracy.

こうした問題に対し、従来、機械的構造を改良して上記の問題を解消しようとする試みがなされてきた。例えば、特許文献１（特開２００２−２２８６８号公報）では、ベースと外枠フレーム（ステージ）との間に中間部材（中間フレーム）を配設し、さらに、ベースと中間部材との間にＸ方向に変位可能な弾性ヒンジを配置し、中間部材と外枠フレーム（ステージ）との間にＹ方向に変位可能な弾性ヒンジを配置し、コンパクトな構成で、高速かつ高精度の制御を可能としたＸ−Ｙステージの支持構造が開示されている（特許文献１参照）。これによれば、Ｘ方向及びＹ方向へ外枠フレーム（ステージ）を駆動するリニアモータなどの適宜の駆動手段を設けることにより、外枠フレーム（ステージ）をＸ−Ｙ平面内における任意の方向へ微小駆動することができる。 In the past, attempts have been made to solve the above problems by improving the mechanical structure. For example, in Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-22868), an intermediate member (intermediate frame) is disposed between the base and the outer frame frame (stage), and further, X is disposed between the base and the intermediate member. An elastic hinge that can be displaced in the direction is arranged, and an elastic hinge that can be displaced in the Y direction is arranged between the intermediate member and the outer frame (stage), enabling high-speed and high-precision control with a compact configuration. An XY stage support structure is disclosed (see Patent Document 1). According to this, by providing appropriate driving means such as a linear motor for driving the outer frame (stage) in the X direction and the Y direction, the outer frame (stage) can be moved in an arbitrary direction in the XY plane. It can be driven minutely.

特許文献１に記載されたＸ−Ｙステージの支持構造は、弾性ヒンジを用いるとともに、ベースに対して、中間部材や弾性ヒンジが左右前後対称あるいは点対称となるように取り付けられており、その結果、Ｚ方向、Ｘ軸回転（θｘ）、Ｙ軸回転（θｙ）、Ｚ軸回転（θｚ）については、「剛体」として機能するようにして、クロストークが発生しないようにしてある。 The support structure of the XY stage described in Patent Document 1 uses an elastic hinge, and is attached to the base so that the intermediate member and the elastic hinge are left-right anteroposterior symmetric or point symmetric. The Z direction, the X-axis rotation (θx), the Y-axis rotation (θy), and the Z-axis rotation (θz) function as “rigid bodies” so that crosstalk does not occur.

一方、Ｘ方向及びＹ方向へ外枠フレームを駆動するリニアモータなどの適宜の駆動手段を設けることが記載されているが、これら駆動手段の外枠フレームへの取り付け位置についても、外枠フレームの重量バランスがＸ軸方向に左右対称、Ｙ軸方向に前後対称になるように配慮して取り付けることが、クロストークを生じないようにするためには必要となる。しかしながら、実際には、Ｘ方向に１つの駆動手段が左右いずれか一辺に取り付けられ、Ｙ方向に１つの駆動手段が前後いずれか一辺に取り付けられることにより重量バランスが非対称になる。駆動手段が非対称に取り付けられる結果、Ｘ方向またはＹ方向のリニアモータが駆動されると、Ｚ軸回転が生じてクロストークが発生することとなる。 On the other hand, although it is described that appropriate drive means such as a linear motor for driving the outer frame frame in the X direction and the Y direction is provided, the mounting position of these drive means to the outer frame frame is also described. In order to prevent crosstalk, it is necessary to attach so that the weight balance is symmetrical in the X-axis direction and symmetrical in the longitudinal direction in the Y-axis direction. However, in reality, one driving means is attached to either the left or right side in the X direction, and one driving means is attached to any one of the front and rear sides in the Y direction, so that the weight balance becomes asymmetric. As a result of the asymmetrical mounting of the driving means, when the X-direction or Y-direction linear motor is driven, Z-axis rotation occurs and crosstalk occurs.

特開２００２−２２８６８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-22868

本発明は、高精度な位置決めが要求される工作機械等において、比較的単純な構造を保ちつつ、迅速かつ高精度な位置決めを実現する直進型ロボットの制御装置を提供することを目的とする。なお、本発明の動作原理は、角度制御においても同様に適用できる。従って、本発明は比較的単純な構造を保ちつつ、迅速かつ高精度な位置決めを実現する回転型ロボットの制御を提供することも目的とする。 An object of the present invention is to provide a control device for a straight-ahead robot that achieves quick and highly accurate positioning while maintaining a relatively simple structure in a machine tool or the like that requires highly accurate positioning. The operation principle of the present invention can be similarly applied to angle control. Therefore, an object of the present invention is to provide control of a rotary robot that realizes quick and highly accurate positioning while maintaining a relatively simple structure.

本発明では、上記の課題を達成するために、H無限大制御理論に基づく制御系の新しい形態を提案する。
従来においても、H無限大制御理論に基づく制御は考えられていた。図５に示すのがそのような制御システムの構成である。ここで、制御器は数式的に以下の３つの部分に分かれる。
１）モータの速度が定常誤差なく追従できるように設計された速度制御器
２）速度制御ループを含めたモータに対して設計されたH∞角度制御器
３）ゲイン可変のフィードフォーワード制御器 The present invention proposes a new form of a control system based on the H-infinity control theory in order to achieve the above-described problems.
Conventionally, control based on H-infinity control theory has been considered. FIG. 5 shows the configuration of such a control system. Here, the controller is mathematically divided into the following three parts.
1) Speed controller designed to follow the motor speed without steady error 2) H∞ angle controller designed for the motor including the speed control loop 3) Feedforward controller with variable gain

まず、上述諸問題を解決するために、達成すべき制御性能を整理する。
(i)基本性能：目標位置信号に対する定常誤差を解消する。ステップ外乱トルクに対する定常誤差を解消する。
(ii)ロバスト性：負荷の重量、機械の固体差、振動モータ変化があっても一定の制御性能が維持できる。
(ii)追従性：応答プロセスの中に、オーバーシュートと応答遅れを最
小限に抑える。
(iv)H無限大制御器の設計方法：上述制御性能を達成するH無限大制御器の設計方式を確立する。 First, in order to solve the above problems, the control performance to be achieved is organized.
(i) Basic performance: Eliminates a steady-state error with respect to the target position signal. Eliminates steady-state error for step disturbance torque.
(ii) Robustness: A constant control performance can be maintained even if there is a load weight, machine differences, and vibration motor changes.
(ii) Follow-up: Overshoot and response delay are minimized in the response process.
Keep it to the minimum.
(iv) Design method for H-infinity controller: Establish a design method for H-infinity controller that achieves the above-mentioned control performance.

上述(i)は制御系の基本性能である。これに対して、制御系の構造上、位置制御ループが１型（一つの積分）であれば、目標位置信号に対する定常誤差零の要求を満たすことができる。一般にモータの運動特性より、モータトルクから位置までの伝達関数には構造的に積分要素が含まれるので、位置制御器（下で述べるH∞制御器）でシステムが安定であれば、要求を満たすことができる。外乱トルクに対しても定常誤差が零であるためには、位置制御ループを２型（２個の積分）にすることもあるが、応答特性に大きなオーバーシュートを引き起こす可能性が大きい。そのためここでは、速度制御ループを位置制御ループの内部に構成することで問題を解決する。その速度制御ループに、一つの積分を含むような速度制御（例えばPI制御）であればよい。 The above (i) is the basic performance of the control system. On the other hand, if the position control loop is of type 1 (one integral) due to the structure of the control system, the requirement of zero steady state error for the target position signal can be satisfied. In general, the transfer function from the motor torque to the position includes an integral element structurally based on the motor's motion characteristics, so if the system is stable with the position controller (H∞ controller described below), the requirements are met. be able to. Since the stationary error is zero even with respect to disturbance torque, the position control loop may be of type 2 (two integrals), but there is a high possibility of causing a large overshoot in response characteristics. Therefore, here, the problem is solved by configuring the speed control loop inside the position control loop. Any speed control (for example, PI control) that includes one integral in the speed control loop may be used.

上述(ii)は、制御対象と環境の変動に対するロバスト的性質である。このために、H∞制御理論に基づき、ロバスト安定性とロバストパフォーマンスを持たせるH∞制御器を設計する。すなわち、速度制御ループ（閉ループ）を含んだモータを対象に、位置制御器として設計し、その出力は速度ループへの目標信号として与える。これによって、システム全体のロバスト安定性が保証され、ロバストパフォーマンスも実現できる。 The above (ii) is a robust property with respect to changes in the controlled object and the environment. For this purpose, we design an H∞ controller that has robust stability and robust performance based on H∞ control theory. That is, a motor including a speed control loop (closed loop) is designed as a position controller, and its output is given as a target signal to the speed loop. As a result, the robust stability of the entire system is guaranteed, and the robust performance can also be realized.

上述(iii)は、主にロボット動作中の加速、減速時に起こりやすい応答遅れ、またはオーバーシュートに対する抑制性能である。これに対して、フィードフォーワード（FF）制御器を設置し、目標信号と測定したモータ速度に基づき、モータの速度制御ループへ目標信号の補正量として与える。フィードフォーワード制御器のゲインは制御対象の速度変化に応じて変化（速度が上がるとき大きく、下がるとき小さく）するように設計し、ある上限を超えない範囲で、補正された目標速度信号を与えることによって、制御対象の加速時の遅れと減速時のオーバーシュートを抑えることができる。 The above-mentioned (iii) is mainly the performance of suppressing the response delay or overshoot that is likely to occur during acceleration and deceleration during robot operation. On the other hand, a feedforward (FF) controller is installed, and given as a correction amount of the target signal to the motor speed control loop based on the target signal and the measured motor speed. The feedforward controller gain is designed to change according to the speed change of the control target (large when the speed increases, small when the speed decreases), and gives a corrected target speed signal within a range that does not exceed a certain upper limit As a result, it is possible to suppress the delay during acceleration of the controlled object and the overshoot during deceleration.

最後に、(iv)はH∞制御器の設計方法に関する技術である。制御対象の伝達関数に積分要素が含まれたとき、H無限大制御問題の標準形の条件を満たさなくなり、解が存在しない、即ち、H無限大制御器が設計できないことが知られている。本発明者らは、このような難点を回避するための方法を提案する。すなわち、本発明には以下の装置が含まれる。 Finally, (iv) is a technique related to the design method of the H∞ controller. It is known that when an integral element is included in the transfer function to be controlled, the standard form condition of the H-infinity control problem is not satisfied and no solution exists, that is, the H-infinity controller cannot be designed. The present inventors propose a method for avoiding such difficulties. That is, the present invention includes the following devices.

[１] ベースに対して移動可能に支持された対象物を少なくとも１つの駆動手段により１軸以上の方向に移動させる直進型ロボットの制御装置において、前記制御装置が、前記駆動手段に駆動信号を出力する１つの積分要素を含む１型の速度制御器と、前記駆動手段の速度情報を前記速度制御器に帰還させる速度フィードバック手段と、目標位置指令と前記駆動手段の駆動位置情報とに基づいて前記速度制御器に速度指令を出力するＨ無限大制御器と、前記駆動手段の駆動位置情報を前記Ｈ無限大制御器に帰還させる位置フィードバック手段と、前記目標位置指令に基づき目標速度の補正量である所定の信号を出力し、前記Ｈ無限大制御器の速度指令に前記所定の信号を加えて前記速度制御器に入力して応答速度を向上するフィードフォワード制御器を備え、前記Ｈ無限大制御器が、前記駆動手段、前記速度制御器、前記速度フィードバック手段、前記Ｈ無限大制御器、前記位置フィードバック手段からなる閉ループシステムを安定させることを特徴とする直進型ロボットの制御装置。
[２] 前記フィードフォワード制御器は、前記駆動手段の速度情報に基づいて、前記所定の信号のゲインを変化させるように構成されている、請求項1に記載の直進型ロボットの制御装置。
[３] 前記フィードフォワード制御器は、前記駆動手段が目標位置近傍で前記所定速度から減速を開始した場合に、前記駆動手段の所定速度からの速度低下に応じて前記所定の信号のゲインを減少させるように構成されている請求項１又は２に記載の直進型ロボットの御制御装置。
[４] 前記駆動手段として互いに直交するＸ方向およびＹ方向に駆動するＸ方向アクチュエータとＹ方向アクチュエータとを備えた請求項１〜３のいずれかに記載の直進型ロボットの制御装置。
[５] ベースに対して移動可能に支持された対象物を少なくとも１つの駆動手段により１軸以上の周囲に回転させる回転型ロボットの制御装置において、前記制御装置が、前記駆動手段に駆動信号を出力する１つの積分要素を含む１型の角速度制御器と、前記駆動手段の角速度情報を前記角速度制御器に帰還させる角速度フィードバック手段と、目標角度指令と前記駆動手段の駆動角度情報とに基づいて前記角速度制御器に角速度指令を出力するＨ無限大制御器と、前記駆動手段の駆動角度情報を前記Ｈ無限大制御器に帰還させる角度フィードバック手段と、前記目標角度指令に基づき目標角速度の補正量である所定の信号を出力し、前記Ｈ無限大制御器の角速度指令に前記所定の信号を加えて前記角速度制御器に入力して応答速度を向上するフィードフォワード制御器を備え、前記Ｈ無限大制御器が、前記駆動手段、前記角速度制御器、前記角速度フィードバック手段、前記Ｈ無限大制御器、前記角度フィードバック手段からなる閉ループシステムを安定させることを特徴とする回転型ロボットの制御装置。 [1] In a control device for a straight-ahead robot that moves an object supported movably with respect to a base in a direction of one axis or more by at least one drive means, the control device sends a drive signal to the drive means. Based on a type 1 speed controller including one integral element to be output, speed feedback means for feeding back speed information of the driving means to the speed controller, a target position command and driving position information of the driving means An H-infinity controller that outputs a speed command to the speed controller; position feedback means that feeds back drive position information of the drive means to the H-infinity controller; and a correction amount for a target speed based on the target position command . It outputs a predetermined No. signal is, the H-infinity controller feedforward said adding a predetermined signal to the speed command to increase the response speed is input to the speed controller of the A control unit, the H-infinity controller is the driving means, the speed controller, the speed feedback means, the H-infinity controller, and wherein Rukoto to stabilize the closed loop system consisting of said position feedback means A control device for a straight-ahead robot.
[2] The control device for the straight-ahead robot according to [1], wherein the feedforward controller is configured to change a gain of the predetermined signal based on speed information of the driving means .
[3] The feedforward controller, when the drive unit starts to decelerate from the predetermined velocity at the vicinity of the target position, reducing the gain of said predetermined signal in response to the speed reduction from the predetermined speed of the drive means The control device for a straight-ahead robot according to claim 1 or 2, wherein the control device is configured to cause the robot to move.
[4] The linear robot control apparatus according to any one of [1] to [3], wherein the driving means includes an X-direction actuator and a Y-direction actuator that are driven in the X direction and the Y direction orthogonal to each other.
[5] In a control apparatus for a rotary robot that rotates an object supported so as to be movable relative to a base around at least one axis by at least one drive means, the control apparatus sends a drive signal to the drive means. Based on a type 1 angular velocity controller including one integral element to be output , angular velocity feedback means for feeding back angular velocity information of the driving means to the angular velocity controller, a target angle command and driving angle information of the driving means. An H-infinity controller that outputs an angular velocity command to the angular velocity controller, angle feedback means that feeds back drive angle information of the driving means to the H-infinity controller, and a correction amount of the target angular velocity based on the target angle command It outputs a predetermined No. signal is, by inputting to improve the response speed to the angular velocity controller by adding a predetermined signal to the angular velocity command of the H-infinity controller It includes a feedforward controller, wherein the H-infinity controller is the driving means, the angular velocity controller, the angular velocity feedback means, the H-infinity controller, the Rukoto to stabilize the closed loop system consisting of said angle feedback means A control device for a rotating robot.

本発明の装置によれば、パラメータの切り替えが必要なくなり、かつステップ状外乱に対する定常誤差も無くし、機械の振動を抑制する効果も得られる。また、簡便な構造で迅速かつ高精度な制御が可能になるので、生産性の向上及び製造コストの低減を実現できる。 According to the apparatus of the present invention, there is no need to switch parameters, there is no steady error with respect to stepped disturbance, and the effect of suppressing machine vibration can be obtained. In addition, since a quick and highly accurate control is possible with a simple structure, productivity can be improved and manufacturing cost can be reduced.

図１は、本発明が提案する直進型ロボット制御装置の一般形を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a general form of a linear robot controller proposed by the present invention. 図２は、本発明の直進型ロボット制御装置の一実施態様を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of the straight robot control device of the present invention. 図３は、H無限大制御器を設計するに当たって、上述重み関数W1とW２を含めた一般化システムを示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a generalized system including the above-described weight functions W1 and W2 in designing the H-infinity controller. 図４は、各制御系における入出力を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing input / output in each control system. 図５は本発明の第２の実施形態示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention. 図６は、フィードフォワード制御器における可変ゲインの一例を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing an example of a variable gain in the feedforward controller. 図７は本発明の位置制御装置における、目標位置信号ｒをステップ状変化するときの出力信号ｙの時間応答曲線である。FIG. 7 is a time response curve of the output signal y when the target position signal r is changed stepwise in the position control apparatus of the present invention. 図8は、従来型の位置制御装置における、目標位置信号ｒをステップ状変化するときの出力信号ｙの時間応答曲線である。FIG. 8 is a time response curve of the output signal y when the target position signal r is changed stepwise in the conventional position control apparatus. 図９は、時間[μｓｅｃ]をとり、目標位置指令ｒに対する応答（上図：検出位置情報ｙ）及び（下図：偏差ｅy[ｒａｄ]）を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing a response (upper figure: detected position information y) and (lower figure: deviation ey [rad]) with respect to the target position command r taking time [μsec]. 図１０は、図９の円Ａで示す範囲を拡大したグラフである。FIG. 10 is a graph in which the range indicated by circle A in FIG. 9 is enlarged. 図１１は、図9に示す制御器に対応する実施例において、ノミナルプラントP0（ｓ）（図5参照）が変動した場合の応答を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing a response when the nominal plant P0 (s) (see FIG. 5) fluctuates in the embodiment corresponding to the controller shown in FIG. 図１２はフィードフォワード制御器の出力信号ｆを速度制御器２０（図5参照）の出力信号に加えた比較例（背景技術において説明した特許文献２に対応する比較例）において、ノミナルプラントP0（ｓ）（図5参照）が変動した場合の応答を示すグラフである。12 shows a comparative example in which the output signal f of the feedforward controller is added to the output signal of the speed controller 20 (see FIG. 5) (a comparative example corresponding to Patent Document 2 described in the background art). 6 is a graph showing a response when s) (see FIG. 5) fluctuates.

以下、本発明について説明する。なお、本発明において直進型ロボットは、ｎ軸リニア搬送ロボットやｎ次元プロッタ、ｎ軸フライスなどを含む。ここで、ｎは１以上の整数であり、好ましくは２及び３である。また、回転型ロボットは、多関節ロボットを含む。これらの位置・角度を同時に制御することもできる。なお、以下の説明において、直進型ロボットの制御装置を単に「位置制御装置」、回転型ロボットの制御装置を単に「回転制御装置」ともいう。 The present invention will be described below. In the present invention, the straight-ahead robot includes an n-axis linear transfer robot, an n-dimensional plotter, an n-axis milling machine, and the like. Here, n is an integer of 1 or more, preferably 2 and 3. The rotary robot includes an articulated robot. These positions and angles can be controlled simultaneously. In the following description, the control device for the straight robot is also simply referred to as “position control device”, and the control device for the rotary robot is also simply referred to as “rotation control device”.

図１は、本発明が提案する位置制御装置１００の一般形である。
位置制御装置１００は、外部から入力された目標信号（目標位置信号又は目標角度信号）rと、エンコーダなど制御対象の位置（又は角度）信号に基づき、制御対象への駆動信号を出力するように構成される。また、位置制御装置１００はサーボモータ２００を駆動する。
サーボモータ２００は、例えば、ステージ装置の１つの軸上でステージや搬送物を移動させるためのものであり、外部から入力された目標信号は、例えば、ステージ装置における目標位置であり、制御対象の位置（又は角度）は、例えば、計測器やセンサなどによる直接または間接の測定値である。 FIG. 1 shows a general form of a position control apparatus 100 proposed by the present invention.
The position control device 100 outputs a drive signal to the control target based on a target signal (target position signal or target angle signal) r input from the outside and a position (or angle) signal of the control target such as an encoder. Composed. In addition, the position control device 100 drives the servo motor 200.
The servo motor 200 is, for example, for moving a stage or a transported object on one axis of the stage device, and the target signal input from the outside is, for example, a target position in the stage device, and is a control target. The position (or angle) is, for example, a direct or indirect measurement value by a measuring instrument or a sensor.

図２は、本発明の制御装置の第１の実施態様である（第１の実施態様は位置制御装置であり、第２の実施態様は回転制御装置である。以下の説明では、基本的に第１の実施態様について説明するが、第２の実施態様は、位置を角度、速度を角速度で読み替えればよい（必要であればこれらに従い他の文言も読み替える））。 FIG. 2 shows a first embodiment of the control device of the present invention (the first embodiment is a position control device, and the second embodiment is a rotation control device. In the following description, basically, The first embodiment will be described, but in the second embodiment, the position may be read as an angle and the speed as an angular velocity (if necessary, other words are read accordingly).

位置制御装置１００は一つの積分を含む（１型）速度制御器２０と、H無限大制御器１０とFF制御器３０との３つの制御器を有する。 The position control device 100 has a speed controller 20 including one integral (type 1), and three controllers, an H infinity controller 10 and an FF controller 30.

速度制御器２０はモータの速度ｖが目標速度Vrに追従するように設計する。設計に当たっては、モータの駆動トルクTから速度ｖまでの伝達関数Po(s)を用いて、ステップ目標信号に対して定常誤差なく追従するように設計する。Po(s)は入力信号Tと出力信号ｖの同定実験データより得られた数値モデルである場合も、物理原理によるモデルである場合も同じである。サーボモータの物理モデルは一般にPo (s)=1/(Js+D_L)として、モータと負荷を併せたノミナル（変動しない）特性を表す。ここで、Jはサーボモータ２００の慣性モーメントおよびサーボモータ２００に駆動される機構の慣性モーメントの換算値の和である。Dは摩擦係数である。このような速度制御器は例えばPI補償器のように一つの積分要素を含めたものでよい。この場合、速度制御器の伝達関数は(As+B)／sとなる。なお、ここで１／ｓは積分要素である。 The speed controller 20 is designed so that the motor speed v follows the target speed Vr. In the design, the transfer function Po (s) from the drive torque T of the motor to the speed v is used to follow the step target signal without a steady error. Po (s) is the same whether it is a numerical model obtained from the identification experiment data of the input signal T and the output signal v or a model based on the physical principle. The physical model of the servo motor is generally expressed as Po (s) = 1 / (Js + D _L ) and represents the nominal (non-varying) characteristics of the motor and the load. Here, J is the sum of the converted values of the moment of inertia of the servo motor 200 and the moment of inertia of the mechanism driven by the servo motor 200. D is a coefficient of friction. Such a speed controller may include one integral element such as a PI compensator. In this case, the transfer function of the speed controller is (As + B) / s. Here, 1 / s is an integral element.

続いてH無限大制御器１０を位置（角度）制御器として設計する。この場合の制御対象は、速度制御器を含めた速度閉ループと速度情報ｖを位置（角度）情報に変換する積分要素１／ｓと直列結合した拡大プラントP(s)である。 Subsequently, the H-infinity controller 10 is designed as a position (angle) controller. The controlled object in this case is a speed closed loop including a speed controller and an expansion plant P (s) coupled in series with an integral element 1 / s for converting speed information v into position (angle) information.

H無限大制御理論においては、拡大したプラントのノミナルな性質だけでなく、不確かさ（負荷変動やモータ個体差によるモデル誤差）と外乱に強いロバスト安定性を持つ制御器K(s)の設計ができる。このために、フィードバックシステムの安定性を満たすと共に、外乱の影響を受けにくいことを評価する感度関数
を小さく抑えることと、モデル変動に対するロバスト安定性に関わる相補感度関数
を小さく抑えることが必要である。 In H-infinity control theory, design of controller K (s) with robust stability against uncertainties (model error due to load fluctuations and individual motor differences) and disturbances, as well as the nominal characteristics of the expanded plant. it can. For this purpose, a sensitivity function that satisfies the stability of the feedback system and evaluates it to be less susceptible to disturbances
And the complementary sensitivity function for robust stability against model variations
Must be kept small.

しかし、S+T=１より、上述SとTの両方を自由に小さくすることができないため、異なる周波数領域にSとTをそれぞれ小さくすることで両立を図る。感度を小さくしたい周波数領域（低周波領域）において、その周波数領域に大きな値をとる関数W1(s)を決め、また相補感度関数Tを小さくしたい周波数領域（高周波領域）に大きな値をとる関数W2(s)を決め、
となるように制御器K(s)を求める。図３はH無限大制御器を設計するに当たって、上述重み関数W1とW２を含めた一般化システムを示す。 However, since S + T = 1, both S and T cannot be freely reduced. Therefore, both S and T are reduced in different frequency regions. In the frequency region (low frequency region) where the sensitivity is to be reduced, a function W1 (s) that takes a large value in that frequency region is determined, and the function W2 that takes a large value in the frequency region (high frequency region) where the complementary sensitivity function T is desired to be reduced decide (s),
The controller K (s) is obtained so that FIG. 3 shows a generalized system including the above-described weight functions W1 and W2 in designing the H-infinity controller.

重みつき感度関数
は図3-1の信号wからZ1までの伝達関数、重みつき相補感度関数
は信号wからZ2までの伝達関数となる。図3-1を図3-2のように書き換えると、一般化プラント表現が得る。この一般化プラントに対して、信号wから出力z1及びz2への伝達関数
の無限大ノルム
が所定の値γより小さく、かつK(s)、P(s)を繋がる閉ループシステムが安定であるように制御器K(s)を求めることによって、ロバスト性を持つ位置制御器が設計される。 Weighted sensitivity function
Is the transfer function from signal w to Z1 in Fig. 3-1, weighted complementary sensitivity function
Is the transfer function from signal w to Z2. Rewriting Figure 3-1 as shown in Figure 3-2 gives the generalized plant representation. For this generalized plant, the transfer function from signal w to outputs z1 and z2
Infinite norm
A robust position controller is designed by obtaining the controller K (s) so that the closed-loop system connecting K (s) and P (s) is stable and is smaller than a predetermined value γ .

上述制御器K(s)の設計に当たって、H無限大制御理論による標準問題の解を適用するが、図２に示した拡大プラントPの伝達関数に積分要素1／sを含めているので、図３−２で示す一般化プラントの状態空間表現におけるH無限大標準問題に必要な前提条件
を満たさない。このような場合、通常に解が存在しないという判断が出される。本発明はこの問題を回避するため、拡大プラントの伝達関数を
と表し、
について、積分器を内蔵するH無限大制御器
をまず求める。 In designing the controller K (s), the solution of the standard problem based on the H-infinity control theory is applied, but the integral element 1 / s is included in the transfer function of the expanded plant P shown in FIG. Prerequisites required for H-infinity standard problem in state space representation of generalized plant shown in 3-2
Does not meet. In such a case, a determination is normally made that there is no solution. The present invention avoids this problem by changing the transfer function of the expansion plant.
And
H-infinity controller with built-in integrator
First ask for.

このために、重み関数
を
のように積分を一つ含むような伝達関数として与える。即ち位置制御ループが安定でかつ
伝達関数
の無限大ノルム
が所定の値γより小さいという条件を満たすように
を求める。この時、求めた
は必ず積分が内蔵する。続いて
を
のように分離し、積分要素
を除いた
を得る。 To this end, the weight function
The
Is given as a transfer function including one integral. That is, the position control loop is stable and the transfer function
Infinite norm
To satisfy the condition that is smaller than the predetermined value γ
Ask for. At this time, asked
Always has a built-in integral. continue
The
Separating the integral elements as
Excluding
Get.

ここで、
であることから、
はもとのシステム図２のH無限大制御器となる。
最後に、フィードフォーワード（FF）制御器について説明する。FF制御器の実施形態は２種類可能である。図２は第１の実施形態である。FF制御器３０は、目標位置指令により、速度制御器へ、目標速度の補正量fを出力する。この場合、FF制御器３０の機能は伝達関数
で表す。これによって、応答速度の向上を図る。 here,
Because
The original system becomes the H infinity controller of FIG.
Finally, the feedforward (FF) controller will be described. There are two possible embodiments of the FF controller. FIG. 2 shows the first embodiment. The FF controller 30 outputs a target speed correction amount f to the speed controller in response to the target position command. In this case, the function of the FF controller 30 is a transfer function.
Represented by Thereby, the response speed is improved.

従来型のFF制御信号は直接制御対象（モータ）へ入力することであるが、その場合は、モータの特性変動の影響を受けやすく、FF制御の効果が低減するという問題点がある。本発明では、FF信号をH無限大制御器の出力信号に加えることによって、モデル誤差の影響を受けずに、FF制御の効果を高めることができる。 The conventional FF control signal is directly input to the control target (motor). However, in this case, there is a problem that the effect of the FF control is reduced because the FF control signal is easily affected by fluctuations in the characteristics of the motor. In the present invention, by adding the FF signal to the output signal of the H-infinity controller, the effect of the FF control can be enhanced without being affected by the model error.

図５は本発明の第２の実施形態である。FF制御器４３０はFF制御器３０の基に、制御対象の速度信号もフィードバックする。ここでは
の係数
は一定の上限を設けて、速度信号ｖによって変化する。すなわち、
となる。 FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention. The FF controller 430 also feeds back a speed signal to be controlled based on the FF controller 30. here
Coefficient of
Varies with the speed signal v with a certain upper limit. That is,
It becomes.

図６は可変ゲイン
のイメージである。これによって、モータ加速時の応答遅れと減速時のオーバーシュートを低減する効果が高められる。 Figure 6 shows variable gain
It is an image. This enhances the effect of reducing response delay during motor acceleration and overshoot during deceleration.

具体的な計算・指示はコンピュータなどの計算・指示手段により行い、FF制御その他の制御部の構成要素は、当業者に知られている任意の構成を用いることができる。装置全体の機械的・電気的構成は、例えば、ｎ軸リニア搬送装置であれば、上記制御部を除いて従来のｎ軸リニア搬送装置と同様の構成を用いることができる。 The specific calculation / instruction is performed by calculation / instruction means such as a computer, and the FF control and other components of the control unit can use any configuration known to those skilled in the art. For example, if the mechanical / electrical configuration of the entire apparatus is an n-axis linear conveyance device, the same configuration as that of a conventional n-axis linear conveyance device can be used except for the control unit.

実施例
以下、本発明によるリニア搬送装置について、位置制御装置の効果について説明する。 Examples Hereinafter, effects of the position control device will be described for the linear transport device according to the present invention.

図７は位置制御装置１００に基づいた設計した位置制御結果であり、目標位置信号ｒをステップ状変化するときの出力信号ｙの時間応答曲線である。図8−１、図８−２に示す従来型制御の結果と明らかな有意差を示している。すなわち、負荷条件を変えたステップ応答性能に関して、従来型では、本発明と同等の応答性を持たせると大きなオーバーシュートを示し、その割合は、負荷が小さいほど大きくなる（図８−１）。また、オーバーシュートを押さえると応答性が悪くなり、その程度は、高負荷ほど大きくなる（図８−２）。 FIG. 7 shows a position control result designed based on the position control device 100, and is a time response curve of the output signal y when the target position signal r changes stepwise. This shows a clear significant difference from the results of the conventional control shown in FIGS. That is, with respect to the step response performance with different load conditions, the conventional type shows a large overshoot if the same responsiveness as that of the present invention is given, and the ratio increases as the load decreases (FIG. 8-1). Moreover, if overshoot is suppressed, the responsiveness deteriorates, and the extent becomes larger as the load becomes higher (FIG. 8-2).

次に、図９および図１０は、フィードフォーワード効果を確認するために行った実験である。ここで、図９の上側のグラフは、縦軸にサーボモータの出力軸の回転角度[ｒａｄ]、横軸に時間[μｓｅｃ]をとり、目標位置指令ｒに対する応答（検出位置情報ｙ）を示している。また、図９の下側のグラフは、縦軸に目標位置指令ｒに対する偏差ｅy[ｒａｄ]、横軸に時間[μｓｅｃ]をとり、上側のグラフに対応する各時刻における偏差ｅyの発生量を示している。図１０のグラフは、縦軸と横軸の拡大率が等しくないため、縦に引き伸ばされたグラフとなっている。この実施例は、位置制御装置400（即ちフィードフォワード制御は第２実行態４３０）を用いた構成である。図９に示すように、サーボモータ200の出力軸の目標位置を回転角度９４．２５[ｒａｄ]とし、０〜２００[μｓｅｃ]の加速領域と、２００〜６００[μｓｅｃ]の一定角速度領域と、６００〜８００[μｓｅｃ]の減速（位置決め）領域を含むように目標位置指令ｒを入力した例を示している。 Next, FIG. 9 and FIG. 10 are experiments conducted to confirm the feedforward effect. Here, the upper graph in FIG. 9 shows the response (detected position information y) to the target position command r, where the vertical axis represents the rotation angle [rad] of the servo motor output shaft and the horizontal axis represents time [μsec]. ing. In the lower graph of FIG. 9, the vertical axis represents the deviation ey [rad] relative to the target position command r, the horizontal axis represents the time [μsec], and the amount of deviation ey generated at each time corresponding to the upper graph is shown. Show. The graph of FIG. 10 is a graph stretched vertically because the enlargement ratios of the vertical axis and the horizontal axis are not equal. In this embodiment, the position control device 400 (that is, the feedforward control is the second execution state 430) is used. As shown in FIG. 9, the target position of the output shaft of the servo motor 200 is a rotation angle of 94.25 [rad], an acceleration region of 0 to 200 [μsec], a constant angular velocity region of 200 to 600 [μsec], In this example, the target position command r is input so as to include a deceleration (positioning) region of 600 to 800 [μsec].

図9に示すように、目標位置指令rに対する応答は、２００〜６００[μｓｅｃ]の一定角速度領域において位置偏差が０となっている。上記のように１型の制御系では、ランプ入力に相当する一定角速度領域において定常偏差が発生する（図4の(d)参照）ので、位置偏差が略0となるという本実施例の結果は、FF制御器４３０によるゲイン補償によって偏差を減少させていることを示している。また、目標位置（９４．２５ [ｒａｄ]）近傍（図９の破線で囲まれた領域A）における位置決め挙動を見ると、オーバーシュートも発生していない。詳細には、目標位置（９４．２５ [ｒａｄ]）近傍の７００〜９００[μｓｅｃ]の範囲（図９の破線で囲まれた領域A）を拡大した図１０に示すように、サーボモータ２００の出力軸の回転角度（実線）が位置指令（破線）に対して、遥かに下回る過減衰の応答を示しながら、約８００[μｓｅｃ]付近で目標位置（９４．２５ [ｒａｄ]）に偏差０で収束していることが分かる。このような僅かな過減衰を示す特性は、特にオーバーシュートの発生が問題となる産業用ロボットの駆動制御に用いられる位置制御装置の特性としては、望ましい目標追従特性である。以上から、フィードフォワード第２実施形態による位置制御装置４００を用いた制御系が位置決め制御において良好な制御特性を示していると言える。 As shown in FIG. 9, the response to the target position command r has a position deviation of 0 in a constant angular velocity region of 200 to 600 [μsec]. As described above, in the type 1 control system, a steady-state deviation occurs in the constant angular velocity region corresponding to the ramp input (see (d) of FIG. 4). , The deviation is reduced by the gain compensation by the FF controller 430. Further, when the positioning behavior in the vicinity of the target position (94.25 [rad]) (the area A surrounded by the broken line in FIG. 9) is seen, no overshoot occurs. Specifically, as shown in FIG. 10 in which the range of 700 to 900 [μsec] in the vicinity of the target position (94.25 [rad]) (region A surrounded by a broken line in FIG. 9) is enlarged, The output shaft rotation angle (solid line) is far less than the position command (dashed line), while the response is over-damped, with a deviation of 0 to the target position (94.25 [rad]) around 800 [μsec]. It turns out that it has converged. Such a characteristic showing a slight overdamping is a desirable target following characteristic as a characteristic of a position control device used for drive control of an industrial robot in which occurrence of overshoot is a problem. From the above, it can be said that the control system using the position control device 400 according to the feedforward second embodiment shows good control characteristics in the positioning control.

更に、図１１および図１２を参照して、図９および図１０に示した実験結果に基づき、ノミナルプラントP0（ｓ）が変動した場合の効果について説明する。
図１１は、図9に示した制御器４００に対応する実施例において、ノミナルプラントP0（ｓ）（図5参照）が変動した場合の応答を示している。図１２はフィードフォワード制御器の出力信号ｆを速度制御器２０（図5参照）の出力信号に加えた比較例（背景技術において説明した特許文献２に対応する比較例）において、ノミナルプラントP0（ｓ）（図5参照）が変動した場合の応答を示している。ここで、図１１および図１２の上側のグラフは、縦軸にサーボモータの出力軸の回転角度[ｒａｄ]、横軸に時間[μｓｅｃ]をとり、目標位置指令ｒに対する応答（検出位置情報ｙ）を示している。また、図１１および図１２の下側のグラフは、縦軸に目標位置指令ｒに対する偏差ｅy[ｒａｄ]、横軸に時間[μｓｅｃ]をとり、上側のグラフに対応する各時刻における偏差ｅyの発生量を示している。 Furthermore, with reference to FIG. 11 and FIG. 12, the effect when the nominal plant P0 (s) fluctuates will be described based on the experimental results shown in FIG. 9 and FIG.
FIG. 11 shows a response when the nominal plant P0 (s) (see FIG. 5) fluctuates in the embodiment corresponding to the controller 400 shown in FIG. 12 shows a comparative example in which the output signal f of the feedforward controller is added to the output signal of the speed controller 20 (see FIG. 5) (a comparative example corresponding to Patent Document 2 described in the background art). The response when s) (see FIG. 5) fluctuates is shown. Here, in the upper graphs of FIGS. 11 and 12, the vertical axis represents the rotation angle [rad] of the servo motor output shaft and the horizontal axis represents time [μsec], and the response to the target position command r (detected position information y ). In the lower graphs of FIGS. 11 and 12, the vertical axis represents the deviation ey [rad] with respect to the target position command r, the horizontal axis represents the time [μsec], and the deviation ey at each time corresponding to the upper graph. The amount generated is shown.

図１１に示すように、前述の第２実施形態に対応する実施例では、ノミナルプラントP0（ｓ）が変動した場合においても、２００〜６００[μｓｅｃ]の一定角速度領域において位置指令と検出位置との間の位置偏差が０となっている。ここで、図１２に示す比較例度領域において定常偏差が発生する（図4の(d)参照）ので、位置偏差が略0となるという本実施例の結果は、FF制御器４３０によるゲイン補償によって偏差を減少させていることを示している。また、目標位置（９４．２５ [ｒａｄ]）近傍（図９の破線で囲まれた領域A）における位置決め挙動を見ると、オーバーシュートも発生していない。詳細には、目標位置（９４．２５ [ｒａｄ]）近傍の７００〜９００[μｓｅｃ]の範囲（図９の破線で囲まれた領域A）を拡大した図１０に示すように、サーボモータ２００の出力軸の回転角度（実線）が位置指令（破線）に対して、遥かに下回る過減衰の応答を示しながら、約８００[μｓｅｃ]付近で目標位置（９４．２５ [ｒａｄ]）に偏差０で収束していることが分かる。このような僅かな過減衰を示す特性は、特にオーバーシュートの発生が問題となる産業用ロボットの駆動制御に用いられる位置制御装置の特性としては、望ましい目標追従特性である。以上から、位置制御装置４００を用いた制御系が位置決め制御において良好な制御特性を示していると言える。
なお、ここでは位置制御について説明したが、角度制御についても同様である。 As shown in FIG. 11, in the example corresponding to the second embodiment described above, even when the nominal plant P0 (s) fluctuates, the position command and the detected position are detected in the constant angular velocity region of 200 to 600 [μsec]. The position deviation between is 0. Here, since a steady-state deviation occurs in the comparative example region shown in FIG. 12 (see FIG. 4D), the result of this embodiment that the position deviation becomes substantially zero is the gain compensation by the FF controller 430. Indicates that the deviation is reduced. Further, when the positioning behavior in the vicinity of the target position (94.25 [rad]) (the area A surrounded by the broken line in FIG. 9) is seen, no overshoot occurs. Specifically, as shown in FIG. 10 in which the range of 700 to 900 [μsec] in the vicinity of the target position (94.25 [rad]) (region A surrounded by a broken line in FIG. 9) is enlarged, The output shaft rotation angle (solid line) is far less than the position command (dashed line), while the response is over-damped, with a deviation of 0 to the target position (94.25 [rad]) around 800 [μsec]. It turns out that it has converged. Such a characteristic showing a slight overdamping is a desirable target following characteristic as a characteristic of a position control device used for drive control of an industrial robot in which occurrence of overshoot is a problem. From the above, it can be said that the control system using the position control device 400 exhibits good control characteristics in the positioning control.
In addition, although position control was demonstrated here, it is the same also about angle control.

本発明の直進型及び回転型ロボットの制御装置は、例えば単軸ロボット、多軸ロボット、多関節ロボットに用いることができる。 The control device for a straight type and rotary type robot of the present invention can be used for, for example, a single-axis robot, a multi-axis robot, and an articulated robot.

Claims

ベースに対して移動可能に支持された対象物を少なくとも１つの駆動手段により１軸以上の方向に移動させる直進型ロボットの制御装置において、前記制御装置が、前記駆動手段に駆動信号を出力する１つの積分要素を含む１型の速度制御器と、前記駆動手段の速度情報を前記速度制御器に帰還させる速度フィードバック手段と、目標位置指令と前記駆動手段の駆動位置情報とに基づいて前記速度制御器に速度指令を出力するＨ無限大制御器と、前記駆動手段の駆動位置情報を前記Ｈ無限大制御器に帰還させる位置フィードバック手段と、前記目標位置指令に基づき目標速度の補正量である所定の信号を出力し、前記Ｈ無限大制御器の速度指令に前記所定の信号を加えて前記速度制御器に入力して応答速度を向上するフィードフォワード制御器を備え、前記Ｈ無限大制御器が、前記駆動手段、前記速度制御器、前記速度フィードバック手段、前記Ｈ無限大制御器、前記位置フィードバック手段からなる閉ループシステムを安定させることを特徴とする直進型ロボットの制御装置。 The control device of the linear robot to move in one axis or more directions by at least one driving means movably supported object relative to the base, wherein the controller outputs a drive signal to the drive means 1 One of the type 1 of the speed controller including an integral element, and velocity feedback means for the speed information is fed back to the speed controller of the drive means, the speed control based on the driving position information of the target position command to the driving means and H-infinity controller for outputting a speed command to the vessel, a correction amount of the target speed based on the driving position information and position feedback means for feeding back to the H-infinity controller, the target position command of the drive means a predetermined the outputs signal, the feedforward control H wherein by adding a predetermined signal to the speed command infinity controller to improve the response speed is input to the speed controller Comprising a vessel, the H-infinity controller is the driving means, the speed controller, the speed feedback means, the H-infinity controller, characterized Rukoto to stabilize the closed loop system consisting of said position feedback means A controller for a straight-ahead robot.

前記フィードフォワード制御器は、前記駆動手段の速度情報に基づいて、前記所定の信号のゲインを変化させるように構成されている、請求項1に記載の直進型ロボットの制御装置。 2. The linear robot control device according to claim 1, wherein the feedforward controller is configured to change a gain of the predetermined signal based on speed information of the driving unit .

前記フィードフォワード制御器は、前記駆動手段が目標位置近傍で前記所定速度から減速を開始した場合に、前記駆動手段の所定速度からの速度低下に応じて前記所定の信号のゲインを減少させるように構成されている請求項１又は２に記載の直進型ロボットの御制御装置。 The feedforward controller, when the drive unit starts to decelerate from the predetermined velocity at the vicinity of the target position, so as to reduce the gain of said predetermined signal in response to the speed reduction from the predetermined speed of the drive means The control apparatus for a straight-ahead robot according to claim 1 or 2, wherein

前記駆動手段として互いに直交するＸ方向およびＹ方向に駆動するＸ方向アクチュエータとＹ方向アクチュエータとを備えた請求項１〜３のいずれかに記載の直進型ロボットの制御装置。 The linear robot control apparatus according to claim 1, further comprising an X-direction actuator and a Y-direction actuator that are driven in the X direction and the Y direction orthogonal to each other as the driving unit .

ベースに対して移動可能に支持された対象物を少なくとも１つの駆動手段により１軸以上の周囲に回転させる回転型ロボットの制御装置において、前記制御装置が、前記駆動手段に駆動信号を出力する１つの積分要素を含む１型の角速度制御器と、前記駆動手段の角速度情報を前記角速度制御器に帰還させる角速度フィードバック手段と、目標角度指令と前記駆動手段の駆動角度情報とに基づいて前記角速度制御器に角速度指令を出力するＨ無限大制御器と、前記駆動手段の駆動角度情報を前記Ｈ無限大制御器に帰還させる角度フィードバック手段と、前記目標角度指令に基づき目標角速度の補正量である所定の信号を出力し、前記Ｈ無限大制御器の角速度指令に前記所定の信号を加えて前記角速度制御器に入力して応答速度を向上するフィードフォワード制御器を備え、前記Ｈ無限大制御器が、前記駆動手段、前記角速度制御器、前記角速度フィードバック手段、前記Ｈ無限大制御器、前記角度フィードバック手段からなる閉ループシステムを安定させることを特徴とする回転型ロボットの制御装置。 In the control device of the rotary robot to rotate around one or more axes by at least one driving means movably supported object relative to the base, wherein the controller outputs a drive signal to the drive means 1 One type angular velocity controller including two integral elements, angular velocity feedback means for feeding back angular velocity information of the driving means to the angular velocity controller, and the angular velocity control based on a target angle command and driving angle information of the driving means and H-infinity controller for outputting an angular velocity instruction to the vessel, a correction amount of the angle feedback unit for feeding back, the target angular speed based on the target angle command the drive angle information to the H-infinity controller of the drive means a predetermined Fi to the outputs signal, improves the response speed the predetermined signal in addition to the angular velocity command of the H-infinity controller and input to the angular velocity controller Comprising a chromatography-forward controller, the H-infinity controller is the driving means, the angular velocity controller, the angular velocity feedback means, the H-infinity controller, characterized Rukoto to stabilize the closed loop system consisting of said angle feedback means A control device for a rotary robot.