JP6065310B2 - Conveying device, production system, and conveying method - Google Patents
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Description
本発明は、搬送装置、生産システムおよび搬送方法に関するものである。 The present invention relates to a transport apparatus, a production system, and a transport method.
従来、種々の製造ラインにおいて、物体の搬送にローラーコンベヤ（搬送装置）が用いられている。例えば、液晶ディスプレイの生産システムにおいて、ガラス製の基板（ガラス基板）や、ガラス基板を材料として含む液晶パネルを搬送するために用いられている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, in various production lines, roller conveyors (conveying devices) are used for conveying objects. For example, in a production system of a liquid crystal display, it is used for transporting a glass substrate (glass substrate) or a liquid crystal panel including a glass substrate as a material (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、上記特許文献に記載の装置において従来のローラーコンベヤを用いた場合、搬送中のガラス基材や液晶パネルがローラーコンベヤを構成するローラーに突き当たり、ローラーを削ることによって発塵することがある。生じた塵は、ガラス基板や液晶パネルの表面に付着することにより、ガラス基板や液晶パネルと他の部材との貼合不良を生じさせる異物となり、歩留まり低下の原因となりうる。 However, when a conventional roller conveyor is used in the apparatus described in the above-mentioned patent document, a glass substrate or a liquid crystal panel being transported may hit a roller constituting the roller conveyor, and dust may be generated by scraping the roller. The generated dust adheres to the surface of the glass substrate or the liquid crystal panel, and becomes a foreign matter that causes poor bonding between the glass substrate or the liquid crystal panel and other members, which can cause a decrease in yield.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、歩留まり低下を抑制する搬送装置を提供することを目的とする。また、このような搬送装置を含み、歩留まり低下を抑制することが可能な生産システムを提供することをあわせて目的とする。また、歩留まり低下を抑制する搬送方法を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the conveying apparatus which suppresses a yield fall. Another object of the present invention is to provide a production system that includes such a transfer device and can suppress a decrease in yield. Moreover, it aims at providing the conveying method which suppresses a yield fall.
上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、ガラス基板を含む構造体が載置され、一方向に前記構造体を搬送する搬送部と、前記構造体の搬送速度を制御する制御部と、を有し、前記搬送部は、軸支され軸周りを回転する複数のローラーを有し、前記複数のローラーは互いに離間して配列され、前記ローラーにおいて、前記構造体と接する表面は、ロックウェル硬さがＲ４０以上５０以下である樹脂材料で形成され、隣り合う２つの前記ローラーの間隔は、１００ｍｍ以上１４０ｍｍ以下であり、前記搬送速度は、３００ｍｍ／秒以上６００ｍｍ／秒以下の範囲で設定され、予め基準として定めた水平面に前記構造体の上面を合わせた状態から、前記構造体の先端側を支持することなく、前記構造体を前記間隔と同じ長さだけ水平方向に突き出した場合に、鉛直下方に垂れ下がる前記上面に係る先端の高さ位置から、前記水平面の高さ位置までの距離を、前記構造体の垂れ量としたとき、前記制御部は、前記垂れ量と前記搬送速度との積が０より大きく８５以下、且つ前記間隔と前記搬送速度との積が３００００以上５５０００以下となるように前記搬送速度を制限する搬送装置を提供する。 In order to solve the above problems, according to one embodiment of the present invention, a structure including a glass substrate is placed, a transport unit that transports the structure in one direction, and a control unit that controls the transport speed of the structure And the transport unit includes a plurality of rollers that are pivotally supported and rotate around the shaft, the plurality of rollers are arranged apart from each other, and the surface of the rollers that contacts the structure is Rockwell hardness is R40 or more and 50 or less, and the interval between two adjacent rollers is 100 mm or more and 140 mm or less, and the conveyance speed is in the range of 300 mm / second or more and 600 mm / second or less. From the state in which the upper surface of the structure is aligned with a preset horizontal plane as a reference, the structure is horizontally moved by the same length as the interval without supporting the distal end side of the structure. When the distance from the height position of the tip of the upper surface that hangs vertically downward to the height position of the horizontal plane is defined as the amount of sag of the structure, And a transport device that limits the transport speed so that the product of the interval and the transport speed is 30000 or more and 55000 or less.
本発明の一態様においては、前記制御部は、前記垂れ量と前記搬送速度との積が０より大きく７２以下、且つ前記間隔と前記搬送速度との積が３００００以上４７０００以下となるように前記搬送速度を制限することが望ましい。 In one aspect of the present invention, the control unit is configured so that a product of the sagging amount and the transport speed is greater than 0 and not greater than 72, and a product of the interval and the transport speed is not less than 30000 and not greater than 47000. It is desirable to limit the conveyance speed.
本発明の一態様においては、前記樹脂材料が，超高分子量ポリエチレンまたはポリエーテルエーテルケトンを含むことが望ましい。 In one aspect of the present invention, the resin material preferably contains ultrahigh molecular weight polyethylene or polyether ether ketone.
また、本発明の一態様は、ガラス基板を含む構造体として液晶パネルを搬送する上述の搬送装置と、前記搬送装置で搬送された前記液晶パネルに光学部材を貼合する貼合装置と、を有する生産システムを提供する。 One embodiment of the present invention includes the above-described transport device that transports a liquid crystal panel as a structure including a glass substrate, and a bonding device that bonds an optical member to the liquid crystal panel transported by the transport device. Provide production system with
また、本発明の一態様は、ガラス基板を含む構造体が載置され、一方向に前記構造体を搬送する搬送部を有する搬送装置を用い、前記搬送部は、軸支され軸周りを回転する複数のローラーを有し、前記複数のローラーは互いに離間して配列され、前記ローラーにおいて、前記構造体と接する表面は、ロックウェル硬さがＲ４０以上５０以下である樹脂材料で形成され、隣り合う２つの前記ローラーの間隔は、１００ｍｍ以上１４０ｍｍ以下であり、予め基準として定めた水平面に前記構造体の上面を合わせた状態から、前記構造体の先端側を支持することなく、前記構造体を前記間隔と同じ長さだけ水平方向に突き出した場合に、鉛直下方に垂れ下がる前記上面に係る先端の高さ位置から、前記水平面の高さ位置までの距離を、前記構造体の垂れ量としたとき、前記構造体の搬送速度を、３００ｍｍ／秒以上６００ｍｍ／秒以下の範囲内であって、前記垂れ量と前記搬送速度との積が０より大きく８５以下、且つ前記間隔と前記搬送速度との積が３００００以上５５０００以下となるように制御する搬送方法を提供する。 In one embodiment of the present invention, a structure including a glass substrate is placed, and a conveyance device including a conveyance unit that conveys the structure in one direction is used. The conveyance unit is pivotally supported and rotates around an axis. The plurality of rollers are arranged apart from each other, and a surface of the roller that is in contact with the structure is formed of a resin material having a Rockwell hardness of R40 or more and 50 or less, and adjacent to the structure. The interval between the two rollers that match each other is 100 mm or more and 140 mm or less. From the state in which the upper surface of the structure is aligned with a predetermined horizontal plane, the structure is supported without supporting the front end side of the structure. When protruding in the horizontal direction by the same length as the interval, the distance from the height position of the tip of the upper surface hanging downward vertically to the height position of the horizontal plane In this case, the transport speed of the structure is in the range of 300 mm / second or more and 600 mm / second or less, the product of the sagging amount and the transport speed is greater than 0 and 85 or less, and the interval Provided is a transport method for controlling the product of the transport speed to be 30000 or more and 55000 or less.
本発明によれば、歩留まり低下を抑制する搬送装置を提供することができる。また、本発明によれば、このような搬送装置を有し、歩留まり低下を抑制することが可能な生産システムを提供することができる。また、本発明によれば、歩留まり低下を抑制する搬送方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the conveying apparatus which suppresses a yield fall can be provided. In addition, according to the present invention, it is possible to provide a production system that has such a transport device and can suppress a decrease in yield. Moreover, according to this invention, the conveyance method which suppresses a yield fall can be provided.
以下、図１〜図２を参照しながら、本実施形態に係る搬送装置１について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
Hereinafter, the
（搬送装置）
図１は、本実施形態の搬送装置の一部を示す概略斜視図である。搬送装置１は、ガラス基板を含む構造体（以下、構造体と称することがある）を一方向に搬送する用途に用いられる。搬送装置１は、構造体が載置され、載置された構造体を一方向に搬送する搬送部２と、構造体の搬送速度を制御する制御部３と、を有している。
(Transport device)
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a part of the transport apparatus of the present embodiment. The
なお、本実施形態において「ガラス基板を含む構造体」とは、ガラス基板、ガラス基板を形成材料として含む液晶パネル、及びガラス基板を含み液晶パネルの製造過程において製造される中間製造物を包含するものとする。図では、搬送装置１を用いてガラス基板（以下、基板と略す）１００を矢印方向に搬送する様子を示している。
In this embodiment, the “structure including a glass substrate” includes a glass substrate, a liquid crystal panel including the glass substrate as a forming material, and an intermediate product including the glass substrate and manufactured in the manufacturing process of the liquid crystal panel. Shall. In the figure, a state in which a glass substrate (hereinafter abbreviated as a substrate) 100 is transported in the direction of an arrow using the
搬送部２は、軸支され軸周りを回転する複数のローラー２０を有している。ローラー２０は、複数（図では１０個）のコロ２１と、複数のコロ２１を貫通して保持する軸２２と、を有している。
The conveyance unit 2 includes a plurality of
複数のローラー２０は、互いに離間して配列されている。隣り合う２つのローラー２０の間隔（ピッチ）は、１００ｍｍ以上１４０ｍｍ以下となっている。
The plurality of
さらに、ローラー２０は、ローラー２０の軸２２を回転駆動させる駆動部２３と、軸２２を回転可能な状態で支持する軸受２４および軸受２５と、を有している。
Furthermore, the
コロ２１は、基板１００を下から支持する円板状の部材である。コロ２１の中心には、軸２２が貫通している。コロ２１は、例えば１つのローラー２０において３１０ｍｍの間に２個以上設けられている。
The
コロ２１の形成材料は、基板１００が突き当たった場合に削れにくいものが好ましい。本実施形態の搬送装置１において、コロ２１は、基板１００と接する表面のロックウェル硬さが、Ｒ４０以上５０以下である樹脂材料で形成されている。コロ２１は、このような樹脂材料で一体に設けられていてもよく、表面部分がこのような樹脂材料で形成され、内部は他の材料で形成されていることとしても構わない。コロ２１の表面がこのような数値範囲のロックウェル硬さを有することで、基板１００により傷つきにくく発塵が抑制され、同時に、基板１００を傷つけにくくなる。
The material for forming the
このようなロックウェル硬さを実現する樹脂材料としては、例えば、ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）や、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）を挙げることができる。これらの樹脂材料には、表面のロックウェル硬さが上述の数値範囲から外れない範囲で、通常知られた添加物を含むこととしてもよい。 Examples of the resin material that achieves such Rockwell hardness include UPE (ultra high molecular weight polyethylene) and PEEK (polyether ether ketone). These resin materials may contain a commonly known additive as long as the surface Rockwell hardness does not deviate from the above numerical range.
なお、本実施形態において「ロックウェル硬さ」は、ＪＩＳ Ｋ７２０２−２（プラスチック−硬さの求め方−第２部：ロックウェル硬さ）に規定された測定方法で測定される値（Ｒ硬さスケール）を指す。 In this embodiment, the “Rockwell hardness” is a value (R hardness measured by a measuring method defined in JIS K7202-2 (Plastics—Method of obtaining hardness—Part 2: Rockwell hardness). Scale).
コロ２１は、例えば、直径１１０ｍｍ以下となるように設定されている。コロ２１の外径の製作誤差は、例えば０．２ｍｍ以下である。
The
軸２２は、複数のコロ２１の中心をそれぞれ貫通している。軸２２が同方向に回転することにより、コロ２１が軸２２と同じ方向に回転し、複数のローラー２０の上に載置された基板１００を軸２２の延在方向と直交する方向（搬送方向）に搬送する。
The
本実施形態の搬送装置１では、軸２２の製作誤差は、−０．２５ｍｍ以上０ｍｍ以下となっている。
In the
駆動部２３は、各ローラー２０を回転駆動させるモーターや歯車など（不図示）を含み、制御部３の設定に応じて、ローラー２０の回転速度（または回転数）を制御している。図では、各ローラー２０にそれぞれ駆動部２３が付され、制御部３で制御される構成として示しているがこれに限らない。搬送部２の一部に駆動部２３が付されないローラー２０を用い、例えば、駆動部２３が付されたローラー２０と、駆動部２３が付されないローラー２０と、を交互に配置することとしてもよい。
The
ローラー２０の上に載置された基板１００は、ローラー２０の回転に応じて搬送方向に搬送される。すなわち、ローラー２０の回転速度は、載置された基板１００の搬送速度と相関しており、ローラー２０の回転速度を変更することで、基板１００の搬送速度を変更することができる。基板１００の搬送速度を制御するためには、ローラー２０の回転速度を制御すればよい。
The
本実施形態の搬送装置１では、生産性向上のため、基板１００の搬送速度を３００ｍｍ／秒以上６００ｍｍ／秒以下の範囲内で設定する。更には、搬送装置１が備える制御部３は、搬送する基板１００によりコロ２１が傷つき発塵することを抑制するため、基板１００の垂れ量（後述）に応じて、下記（１）（２）の条件（以下、それぞれ「条件（１）」「条件（２）」と称することがある）をいずれも満たすように、基板１００の搬送速度を制限している。
（１）垂れ量と基板１００の搬送速度との積が０より大きく８５以下
（２）隣り合う２つのローラー２０の間隔（ピッチ）と、基板１００の搬送速度との積が３００００以上５５０００以下
In the
(1) The product of the sagging amount and the transport speed of the
ここで「垂れ量」について説明する。図２は、垂れ量について説明する説明図であり、図では、垂れ量を符号Ｌで示している。 Here, the “sag amount” will be described. FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the sagging amount. In the figure, the sagging amount is indicated by a symbol L.
図に示すように、本実施形態において垂れ量Ｌとは、基準として定めた水平面（基準面Ｓ）に基板１００の上面１００ａを合わせた状態から、基板１００の先端側を支持することなく、基板１００をローラー２０のピッチＰと同じ長さだけ水平方向に突き出した場合において、鉛直下方に垂れ下がる基板１００の上面１００ａに係る先端１００ｂの高さ位置から、基準面Ｓの高さ位置までの距離のことを指す。垂れ量Ｌは、ローラー２０のピッチＰの関数である。
As shown in the figure, in the present embodiment, the sagging amount L refers to the substrate without supporting the front end side of the
搬送装置１を用いて基板１００を搬送する場合、隣り合うローラー２０の間では、基板１００の先端は支持されることなく空中に投げ出される。すると、基板１００は、自重のため自身の弾性率に応じてしなり、先端１００ｂが鉛直下方に垂れ下がる。このように垂れ下がった基板１００が、隣のローラー２０に乗り上げる際にコロ２１に突き当たり、コロ２１の表面を削ることで、発塵の原因の１つとなっている。
When the
基板１００が、コロ２１に突き当たった際に発塵するか否かは、基板１００の運動エネルギー（基板１００の搬送速度に対応）、基板１００がコロ２１に突き当たる際の侵入角度（基板１００の垂れ量に対応）に大きく依存する。基板１００の運動エネルギーが大きいほどコロ２１を削りやすく発塵しやすいことは言うまでもない。また、基板１００がコロ２１に突き当たる際の侵入角度について、コロ２１の外周の接線方向を０°、コロ２１の径方向を９０°とした場合、侵入角度が小さい方がコロ２１表面に基板１００が突き当たる際の衝撃をコロ２１の回転方向にいなしやすく、コロ２１に衝撃が伝わりにくい。その結果、コロ２１の表面が削れにくい。
Whether or not dust is generated when the
本実施形態の搬送装置１においては、コロ２１の表面が削れにくい条件（発塵しにくい条件）として、満たすべき２つの条件を定めている。１つは、基板１００の垂れ量に応じて定められる、垂れ量と基板１００の搬送速度との積についての数値範囲（条件（１））である。もう１つは、垂れ量に関係する数値であるローラー２０のピッチに応じて定められる、ピッチと基板１００の搬送速度との積についての数値範囲（条件（２））である。
In the
垂れ量、ピッチおよび基板１００の搬送速度は、いずれも大きい値であるとコロ２１から発塵し易くなることから、これらの数値の積は、それぞれの数値よりも発塵し易さをより誇張したパラメータとして用いることができる。
If the sagging amount, the pitch, and the conveyance speed of the
本実施形態の搬送装置１においては、上記条件（１）（２）で求められる各数値を、搬送速度を制限するためのパラメータとして用い、当該数値が所定の数値範囲に収まるように基板１００の搬送速度を制限することにより、発塵が抑制された搬送速度を設定可能としている。
In the
条件（１）（２）については、条件（１）について、垂れ量Ｌと基板１００の搬送速度との積は、０より大きく７５以下であり、且つ条件（２）について、ピッチＰと基板１００の搬送速度との積が３００００以上５００００以下であると、より発塵を抑制でき好ましい。
As for the conditions (1) and (2), the product of the sagging amount L and the conveyance speed of the
制御部３には、条件（１）を満たすような、垂れ量と搬送速度との対応関係を示すルックアップテーブルや関係式、および条件（２）を満たすような、ピッチと搬送速度との対応関係を示すルックアップテーブルや関係式が、それぞれ保存されている。また、装置の仕様により定まるピッチＰの値と、搬送する基板１００の種類に応じて定まる垂れ量の値とを、データとして保存しておくとよい。
The control unit 3 has a look-up table and a relational expression showing the correspondence between the amount of sag and the conveyance speed that satisfy the condition (1), and the correspondence between the pitch and the conveyance speed that satisfies the condition (2). Lookup tables and relational expressions indicating the relationships are stored respectively. In addition, the value of the pitch P determined by the specifications of the apparatus and the value of the amount of droop determined according to the type of the
これにより、搬送する基板１００の種類を制御部３に入力することで垂れ量が求められる。さらに、求められた垂れ量、および搬送装置１の仕様として保存されているピッチの値を用いて、発塵しにくい搬送速度の範囲を求め、搬送速度を求めた範囲に制限することができる。
Thus, the amount of sagging is obtained by inputting the type of the
制御部３による搬送速度の制限とは、例えば、制御部３で求められた搬送速度の範囲を超えた早い搬送速度を設定しようとした場合に、設定不能となるように制限処理がなされていることや、エラーメッセージや警告音などを用いて、使用者に適宜警告を発する仕様となっていることを指す。これにより、搬送装置１の使用者は、発塵しにくい搬送速度を確実に設定することができる。
The restriction of the conveyance speed by the control unit 3 is, for example, a restriction process so that the setting cannot be made when an attempt is made to set a high conveyance speed exceeding the range of the conveyance speed obtained by the control unit 3. In addition, it is a specification that issues a warning to the user as appropriate using an error message or a warning sound. Thereby, the user of the conveying
搬送装置１の使用者は、制限された搬送速度の範囲において、生産スケジュールや、その他の要因による搬送速度の調整の必要性を考慮しながら、適宜基板１００の搬送速度を設定することができる。
The user of the
（搬送方法）
なお、用いる搬送装置が、搬送装置１と同様の搬送部２の構成を有しながら、搬送装置１の制御部３のように、適切な搬送速度の範囲に制限する機能を有さない場合には、搬送装置の使用者が、搬送速度を設定することとなる。
(Conveying method)
In addition, when the conveyance apparatus to be used has the structure of the conveyance part 2 similar to the
その際、本実施形態の搬送方法によれば、使用者は、構造体の搬送速度を、３００ｍｍ／秒以上６００ｍｍ／秒以下の範囲内であって、垂れ量と搬送速度との積が０より大きく８５以下、且つ搬送装置におけるローラー間のピッチと搬送速度との積が３００００以上５５０００以下となるように制御する。これにより、使用者は、構造体の搬送中に発塵しにくい搬送速度を設定することができる。 At that time, according to the transport method of the present embodiment, the user can set the transport speed of the structure within the range of 300 mm / second to 600 mm / second, and the product of the sagging amount and the transport speed is 0. Control is performed so that the product of the pitch between the rollers in the transport device and the transport speed is 85 or more and 55000 or less. Thereby, the user can set the conveyance speed which is hard to generate | occur | produce dust during conveyance of a structure.
以上のような搬送装置１では、搬送中に発塵しにくく、生じた塵が原因となる貼合不良が起こりにくい。したがって、歩留まり低下を抑制することが可能な搬送装置１とすることができる。
In the above conveying
また、以上のような搬送方法によれば、歩留まり低下を抑制する搬送方法を提供することができる。 Moreover, according to the above conveying method, the conveying method which suppresses a yield fall can be provided.
（生産システム）
また、以上のような搬送装置１は、光学表示デバイスの生産システムの一部として用いることもできる。例えば、被搬送物として液晶パネルを搬送する上述の搬送装置と、搬送された液晶パネルの表面に対し、搬送方向の下流側で光学部材を貼合する貼合装置と、を有する生産システムに用いることができる。
(Production system)
Moreover, the above conveying
光学部材としては、偏光フィルムや、光路長調整用の種々の光学補償板などを例示することができる。 Examples of the optical member include a polarizing film and various optical compensation plates for adjusting the optical path length.
このような生産システムにおいては、まず、液晶パネルの搬送中の発塵が抑制されている。そのため、下流側で予定されている光学部材との貼合において、塵を挟み込んでしまうことによる歩留まりの低下を抑制することができる。 In such a production system, first, dust generation during transport of the liquid crystal panel is suppressed. Therefore, in the bonding with the optical member planned on the downstream side, it is possible to suppress a decrease in yield due to dust being caught.
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.
以下に本発明を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
実施例においては、下記仕様の搬送装置を用いた。図３は、実施例で用いた搬送装置のローラーを搬送方向から（下流側から）見た模式図である。図３においては、図１で用いたものと同じ符号を用いている。 In the examples, a transport device having the following specifications was used. FIG. 3 is a schematic view of the rollers of the transport device used in the examples as viewed from the transport direction (from the downstream side). In FIG. 3, the same reference numerals as those used in FIG. 1 are used.
（搬送装置の仕様）
ローラー１つあたりのコロの数：１０
１つのローラーにおけるコロの間隔（単位：ｍｍ）：図３参照
コロの外径：φ１１０ｍｍ
コロ表面の材質：ＵＰＥ
コロ表面のロックウェル硬さ：Ｒ硬度 ４５
(Conveyor specifications)
Number of rollers per roller: 10
Roller spacing (unit: mm) in one roller: see Fig. 3 Roller outer diameter: φ110mm
Roller surface material: UPE
Roller surface Rockwell hardness: R hardness 45
実施例では、上述した仕様の装置を用いて、ガラス基板（無アルカリガラス製、１．４ｍｍ×１１００ｍｍ×６３０ｍｍ）を搬送した後、コロの表面を目視観察して評価を行った。実施例においては、１日あたり５０００枚のガラス基板の連続搬送を１週間継続した後に、コロの表面を観察した。 In the examples, the glass substrate (made of alkali-free glass, 1.4 mm × 1100 mm × 630 mm) was conveyed using the apparatus having the above-mentioned specifications, and then the surface of the roller was visually observed and evaluated. In the examples, the surface of the roller was observed after continuous conveyance of 5000 glass substrates per day for one week.
ローラーのピッチ（単位：ｍｍ）、基板の垂れ量（単位：ｍｍ）および搬送速度（単位：ｍｍ／秒）を変更したときの、コロの表面状態への影響について、下記表１に示す。
なお、表１の「結果」欄においては、コロの表面に傷が確認されなかったものを「○」、コロの表面に傷は確認されたが、発塵による歩留まり低下のおそれが小さいと判断できるものを「△」、コロの表面に傷が確認され、発塵が懸念されるため歩留まり低下のおそれが大きいと判断できるものを「×」として記載している。評価の結果「○」「△」と評価できたものについては、歩留まり低下のおそれが小さく、使用可能であると判断した。
Table 1 below shows the influence on the roller surface state when the roller pitch (unit: mm), the sagging amount of the substrate (unit: mm), and the conveyance speed (unit: mm / second) are changed.
In the “Result” column of Table 1, “○” indicates that no scratch was observed on the surface of the roller, and scratch was confirmed on the surface of the roller, but it was determined that the risk of yield reduction due to dust generation was small. “Δ” indicates what can be done, and “×” indicates that the surface of the roller can be judged to have a high risk of yield reduction due to fear of dust generation. As a result of the evaluation, those that could be evaluated as “◯” and “Δ” were judged to be usable because there was little risk of yield reduction.
測定の結果、垂れ量と基板の搬送速度との積が０より大きく８５以下（条件１）、且つピッチと基板の搬送速度との積が３００００以上５５０００以下（条件２）となるように、搬送速度を制御すると、歩留まり低下を抑制することが可能であることが分かった。
これらの結果から、本発明の有用性が確かめられた。
As a result of the measurement, the product of the sagging amount and the substrate conveyance speed is larger than 0 and 85 or less (condition 1), and the product of the pitch and the substrate conveyance speed is 30000 or more and 55000 or less (condition 2). It was found that the yield reduction can be suppressed by controlling the speed.
From these results, the usefulness of the present invention was confirmed.
１…搬送装置、２…搬送部、３…制御部、２０…ローラー、２１…コロ、２２…軸、２３…駆動部、２４…軸受、２５…軸受、１００…ガラス基板（基板）、１００ａ…上面、１００ｂ…先端、Ｌ…垂れ量、Ｐ…ピッチ、Ｓ…水平面（基準面）
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記構造体の搬送速度を制御する制御部と、を有し、
前記搬送部は、軸周りを回転する複数のローラーを有し、前記複数のローラーは互いに離間して配列され、
全ての前記ローラーは、複数のコロと、前記複数のコロを貫通して保持する直線状の軸とを有し、
前記ローラーにおいて、前記構造体と接する表面は、ロックウェル硬さがＲ４０以上５０以下である樹脂材料で形成され、
隣り合う２つの前記ローラーの間隔は、１００ｍｍ以上１４０ｍｍ以下であり、
前記搬送速度は、３００ｍｍ／秒以上６００ｍｍ／秒以下の範囲で設定され、
予め基準として定めた水平面に前記構造体の上面を合わせた状態から、前記構造体の先端側を支持することなく、前記構造体を前記間隔と同じ長さだけ水平方向に突き出した場合に、鉛直下方に垂れ下がる前記上面に係る先端の高さ位置から、前記水平面の高さ位置までの距離を、前記構造体の垂れ量としたとき、
前記制御部は、前記垂れ量と前記搬送速度との積が７０以上８３．４以下、且つ前記間隔と前記搬送速度との積が４５８５０以上５５０００以下となるように前記搬送速度を制限する搬送装置。 A structure including a glass substrate is placed, and a transport unit that transports the structure in one direction;
A control unit for controlling the conveyance speed of the structure,
The transport unit includes a plurality of rollers that rotate around an axis , and the plurality of rollers are arranged apart from each other,
All the rollers have a plurality of rollers and a linear shaft that penetrates and holds the plurality of rollers,
In the roller, the surface in contact with the structure is formed of a resin material having a Rockwell hardness of R40 or more and 50 or less,
The interval between two adjacent rollers is 100 mm or more and 140 mm or less,
The conveyance speed is set in a range of 300 mm / second or more and 600 mm / second or less,
When the structure is protruded in the horizontal direction by the same length as the interval without supporting the front end side of the structure from the state in which the upper surface of the structure is aligned with a horizontal plane determined in advance as a reference, When the distance from the height position of the tip related to the upper surface that hangs downward to the height position of the horizontal plane is the amount of sag of the structure,
The control unit controls the transport speed so that a product of the sagging amount and the transport speed is 70 or more and 83.4 or less, and a product of the interval and the transport speed is 45850 or more and 55000 or less. .
前記搬送装置で搬送された前記液晶パネルに光学部材を貼合する貼合装置と、を有する生産システム。 The transport device according to claim 1 or 2 , wherein the liquid crystal panel is transported as a structure including a glass substrate,
A production system comprising: a bonding apparatus that bonds an optical member to the liquid crystal panel conveyed by the conveyance apparatus.
前記搬送部は、軸周りを回転する複数のローラーを有し、前記複数のローラーは互いに離間して配列され、
全ての前記ローラーは、複数のコロと、前記複数のコロを貫通して保持する直線状の軸とを有し、
前記ローラーにおいて、前記構造体と接する表面は、ロックウェル硬さがＲ４０以上５０以下である樹脂材料で形成され、
隣り合う２つの前記ローラーの間隔は、１００ｍｍ以上１４０ｍｍ以下であり、
予め基準として定めた水平面に前記構造体の上面を合わせた状態から、前記構造体の先端側を支持することなく、前記構造体を前記間隔と同じ長さだけ水平方向に突き出した場合に、鉛直下方に垂れ下がる前記上面に係る先端の高さ位置から、前記水平面の高さ位置までの距離を、前記構造体の垂れ量としたとき、
前記構造体の搬送速度を、３００ｍｍ／秒以上６００ｍｍ／秒以下の範囲内であって、前記垂れ量と前記搬送速度との積が７０以上８３．４以下、且つ前記間隔と前記搬送速度との積が４５８５０以上５５０００以下となるように制御する搬送方法。 A structure including a glass substrate is placed, and a transport device having a transport unit that transports the structure in one direction is used.
The transport unit includes a plurality of rollers that rotate around an axis , and the plurality of rollers are arranged apart from each other,
All the rollers have a plurality of rollers and a linear shaft that penetrates and holds the plurality of rollers,
In the roller, the surface in contact with the structure is formed of a resin material having a Rockwell hardness of R40 or more and 50 or less,
The interval between two adjacent rollers is 100 mm or more and 140 mm or less,
When the structure is protruded in the horizontal direction by the same length as the interval without supporting the front end side of the structure from the state in which the upper surface of the structure is aligned with a horizontal plane determined in advance as a reference, When the distance from the height position of the tip related to the upper surface that hangs downward to the height position of the horizontal plane is the amount of sag of the structure,
The transport speed of the structure is in the range of 300 mm / second or more and 600 mm / second or less, the product of the sagging amount and the transport speed is 70 or more and 83.4 or less, and the interval and the transport speed are A conveying method for controlling the product to be 45850 or more and 55000 or less.
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