JP6055614B2 - クランプデバイス、アセンブリ、およびリソグラフィ投影装置 - Google Patents
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Description
パターンプリンティングの限界の理論的な推定値は、式(1)に示す分解能のレイリー基準によって与えることができる:
ここで、λは、使用される放射の波長であり、NAは、パターンを印刷するために使用される投影システムの開口数である。k1は、レイリー定数とも呼ばれるプロセス依存調整係数であり、CDは、印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズの縮小は、3つの方法、すなわち露光波長λを短くすること、開口数NAを大きくすること、またはk1の値を小さくすること、によって達成可能であるということになる。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (14)
- 2つの部品をともにクランプするクランプデバイスであって、
前記2つの部品を互いに対する位置合わせされた位置に動かすアライナと、
前記2つの部品を前記位置合わせされた位置で維持するクランプと、
前記2つの部品を、前記位置合わせされた位置から、ある切り離された位置に導くディスコネクトと、
電流を運動エネルギーに変換するアクチュエータと、を備え、
前記アライナ、前記クランプ、および前記ディスコネクトは、前記アクチュエータによって駆動され、
前記クランプデバイスは、前記2つの部品の1つに固定され、
前記アライナは、回転可能部材を備え、
前記アクチュエータは、前記回転可能部材を回転させ、
前記回転可能部材は、前記2つの部品の他の1つが持つ凹所と協働して前記回転可能部材の回転によって前記2つの部品を位置合わせされた位置に動かす突出またはエッジ、または前記2つの部品の他の1つが持つ突出と協働して前記回転可能部材の回転によって前記2つの部品を位置合わせされた位置に動かす凹所を備える、クランプデバイス。 - 前記凹所は、V溝である、請求項1に記載のクランプデバイス。
- 2つの部品をともにクランプするクランプデバイスであって、
前記2つの部品を互いに対する位置合わせされた位置に動かすアライナと、
前記2つの部品を前記位置合わせされた位置で維持するクランプと、
前記2つの部品を、前記位置合わせされた位置から、ある切り離された位置に導くディスコネクトと、
電流を運動エネルギーに変換するアクチュエータと、を備え、
前記アライナ、前記クランプ、および前記ディスコネクトは、前記アクチュエータによって駆動され、
前記クランプは、偏心して回転可能である回転可能デバイスを備え、
前記アクチュエータは、前記回転可能デバイスをクランプ位置まで回転させることによって前記2つの部品を互いに押す、クランプデバイス。 - 前記回転可能デバイスは、円筒状部材を備える、請求項3に記載のクランプデバイス。
- 前記回転可能デバイスは、前記円筒状部材に対して回転可能である円筒状外側シェルを備える、請求項4に記載のクランプデバイス。
- 前記回転可能デバイスは、前記円筒状部材と前記円筒状外側シェルとの間にころ軸受を備える、請求項5に記載のクランプデバイス。
- 前記クランプは、前記2つの部品の1つに固定され、
前記アライナは、回転可能部材を備え、前記アクチュエータは、前記回転可能部材を回転させ、
前記回転可能部材は、前記2つの部品の他の1つが持つ凹所と協働して前記回転可能部材の回転によって前記2つの部品を位置合わせされた位置に動かす突出、または前記2つの部品の他の1つが持つ突出と協働して前記回転可能部材の回転によって前記2つの部品を位置合わせされた位置に動かす凹所を備え、
前記回転可能部材は、前記回転可能デバイスを前記クランプ位置に運ぶキャリアを備える、請求項3〜6のいずれか1項に記載のクランプデバイス。 - 前記回転可能デバイスは、前記回転可能デバイスを回転させるカムに連結され、前記キャリアは、前記カムをつかみかつ前記カムを前記回転可能デバイスが前記クランプ位置にある位置に動かす凹所である、請求項7に記載のクランプデバイス。
- 前記ディスコネクトは、前記2つの部品を互いから分離する持上げ部材を備える、請求項3〜8のいずれか1項に記載のクランプデバイス。
- 前記ディスコネクトは、前記持上げ部材が前記2つの部品を互いから分離する際に、前記2つの部品間の分離を制限する抑制部材を備える、請求項9に記載のクランプデバイス。
- 前記ディスコネクトは、前記持上げ部材が前記2つの部品を互いから分離するために、前記持上げ部材を押す1つ以上の更なる回転可能デバイスを備える、請求項9または10に記載のクランプデバイス。
- 前記アライナは、回転可能部材を備え、
前記回転可能部材は、前記2つの部品のうちの第1部分が持つ凹所と協働して前記回転可能部材の回転によって前記2つの部品を位置合わせされた位置に動かす突出、または前記2つの部品のうちの第1部分が持つ突出と協働して前記回転可能部材の回転によって前記2つの部品を位置合わせされた位置に動かす凹所を備え、
前記アクチュエータは、前記回転可能部材を回転させ、
前記回転可能部材は、前記持上げ部材が前記2つの部品を互いから分離するために、前記1つ以上の更なる回転可能デバイスを運んで前記持上げ部材を押すキャリアを備える、請求項11に記載のクランプデバイス。 - 照明システムと、放射源と、該照明システムおよび該放射源をともにクランプする請求項1〜12のいずれか1項に記載のクランプデバイスと、を備える、アセンブリ。
- 請求項13に記載のアセンブリを備える、リソグラフィ投影システム。
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