JP6053382B2 - 撮像装置、撮像システム、および撮像装置の製造方法。 - Google Patents
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Description
103 受光部
104 絶縁体
106a 導波路部材(第1部材)
106b 連結部材(第3部材)
107 第2部材
108 遮光部
114 第4部材
Claims (14)
- 複数の受光部が配された基板と、
前記基板の上に配された絶縁体と、
前記基板の上に、それぞれの前記基板への射影が前記複数の受光部のいずれかと少なくとも部分的に重なるように配され、それぞれの側面を前記絶縁体に囲まれた複数の第1部材と、
前記絶縁体および前記複数の第1部材の上に配された第2部材と、
前記第2部材の上に配され、前記第2部材の屈折率よりも高い屈折率を有する第4部材と、
前記第2部材に配された遮光部と、を備え、
前記第2部材と前記遮光部とが、それぞれ前記第4部材に接するように配され、
前記第4部材が、複数のレンズを構成することを特徴とする撮像装置。 - 前記基板の上に配された複数の配線層をさらに備え、
前記絶縁体は、それぞれが前記複数の配線層の間に配された複数の絶縁膜を含んで構成されたことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記遮光部は、前記複数の配線層のうち前記基板からもっとも離れて配された配線層よりも、前記基板の近くに配されたことを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。
- 前記遮光部は、前記複数の配線層のうち異なる配線層に含まれる2つの配線を互いに電気的に接続する導電部材と同じ材料で構成されたことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の撮像装置。
- 前記複数の受光部のうちの一部の受光部を遮光する第2の遮光部を有し、
前記基板から前記第2部材に配された前記遮光部までの距離は、前記基板から前記第2の遮光部までの距離よりも短いことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記基板から前記第2部材に配された前記遮光部の上面までの距離は、前記基板から前記第2の遮光部の下面までの距離と等しい、または長いことを特徴とする請求項5に記載の撮像装置。
- 前記遮光部の前記基板への射影が前記第1部材の前記基板への射影を囲むように、前記遮光部が格子状に配されたことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記遮光部は、金属または前記金属を含む合金で構成された第1部分と、前記第2部材の前記金属に対する拡散係数よりも低い拡散係数を有する材料で構成された第2部分とを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記第2部材の上に配された複数のレンズをさらに備え、
前記複数のレンズを構成する材料の屈折率は、前記第2部材の屈折率よりも高いことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記複数の第1部材は、それぞれ、前記複数の受光部へ光を導くための光導波路を構成することを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記遮光部の前記基板への射影が、前記複数の第1部材のうち隣り合う2つの第1部材の間に配された前記絶縁体の部分の前記基板への射影と少なくとも部分的に重なるように、前記遮光部が配されたことを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の撮像装置。
- 請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置からの信号を処理する信号処理部と、を備えた撮像システム。 - 複数の受光部が配された基板と、
前記基板の上に配された絶縁体と、
前記基板の上に、それぞれの前記基板への射影が前記複数の受光部のいずれかと少なくとも部分的に重なるように配され、それぞれの側面を前記絶縁体に囲まれた複数の第1部材と、
前記絶縁体および前記複数の第1部材の上に配された第2部材と、
前記第2部材の上に配され、前記第2部材とは異なる材料からなる第4部材と、
前記第2部材に配された遮光部と、を備え、
前記第2部材と前記遮光部とが、それぞれ前記第4部材に接するように配され、
前記第4部材が、複数のレンズを構成することを特徴とする撮像装置。 - 前記第2部材はシリコン酸化膜であり、前記第4部材はシリコン窒化膜であることを特徴とする請求項13に記載の撮像装置。
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