JP6029413B2 - プローブ及び被検体情報取得装置 - Google Patents
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Description
間隙を隔てて形成された一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を有する静電容量型の素子と、
前記素子より被検体側に設けられ、光を反射する光反射層と、
前記素子と前記光反射層との間に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記素子と前記支持層との間に設けられた音響マッチング層と、
を有し、
前記支持層は、破断応力が50MPa以上であり、前記支持層の音響インピーダンスよりも前記音響マッチング層の音響インピーダンスが小さいことを特徴とする。
間隙を隔てて形成された一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を有する静電容量型の素子と、
前記素子より被検体側に設けられ、光を反射する光反射層と、
前記素子と前記光反射層との間に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記素子と前記支持層との間に設けられた音響マッチング層と、
を有し、
前記支持層のヤング率は、前記音響マッチング層のヤング率よりも高く、且つ前記音響マッチング層の音響インピーダンスは、前記支持層の音響インピーダンスよりも小さいことを特徴とする。
図2(a)は、静電容量型トランスデューサ33の上面図であり、図2(b)は、図2(a)のA−B断面図である。静電容量型トランスデューサ33は、1つ以上のセル構造2を有する素子1(エレメント)を1つ以上有している。セル構造2とは、間隙を隔てて形成された一対の電極を備えており、一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が振動可能に支持されている構造を示す。図2では、4つの素子1のみを記載しているが、素子数は幾つでも構わない。また、各素子1は、9個のセル構造2から構成されているが、セル構造2の個数は幾つであっても構わない。セル構造の形状は、図2では円形であるが、四角形、六角形等の形状でも構わない。
本発明の静電容量型トランスデューサの駆動原理を説明する。音響波を受信する場合、電圧印加手段は、第1の電極と第2の電極8との間に電位差が生じるように、第1の電極に直流電圧を印加しておく。音響波を受信すると、第2の電極8が形成された振動膜7が撓むため、第2の電極8と第1の電極との間隔(間隙5の深さ方向の距離)が変わり、静電容量が変化する。この静電容量の変化によって、第2の電極8から電流が出力される。この電流を、不図示の電流−電圧変換素子によって電圧に変換し、音響波の受信信号とする。上述したように、引き出し配線の構成を変更することによって、第2の電極8に直流電圧を印加し、第1の電極から素子毎に電気信号を取り出してもよい。
図1に示すように、本実施形態のプローブは、静電容量型トランスデューサ33の振動膜7の上(被検体側)に音響マッチング層9が位置している。音響マッチング層9の音響インピーダンスは振動膜7の音響インピーダンスに近いことが好ましく、具体的には、音響インピーダンスは1MRayls以上2MRayls以下であることが好ましい。音響マッチング層9としては、ポリジメチルシロキサン(PDMS)を主成分とした有機ポリマーを架橋したシリコーンゴムが好ましい。PDMSにシリカ粒子等を添加したものや、PDMSの水素の一部をフッ素で置換したフロロシリコーンなどでもよい。シリコーンゴムは振動膜7に影響を与えることが少なく、その厚さは10μm以上900μm以下が好ましい。また、振動膜7の変形量やバネ定数などの機械特性を大きく変化させないよう、音響マッチング層9のヤング率は10MPa以下であることが好ましい。ポリジメチルシロキサン(PDMS)を主成分とした有機ポリマーを架橋したシリコーンゴムの場合、ヤング率は1MPa程度である。
支持層10としては、光反射層6が撓んだり変形したりすることを抑制できるように、音響マッチング層9よりもヤング率が大きいことが好ましい。具体的には、支持層10のヤング率は100MPa以上20GPa以下が好ましい。また、支持層10の音響インピーダンスは、音響マッチング層9に近い音響インピーダンスであることが好ましく、具体的には音響インピーダンスが1MRayls以上5MRayls以下であることが好ましい。
本実施形態の光反射層6は、素子1への光の入射を抑制するための部材である。具体的には、被検体への照射光またはその散乱光を反射するため部材である。被検体として、***等の生体を診断する場合、レーザー光として波長700nm以上1000nm以下の近赤外領域が用いられることが多い。光反射層6は、使用する波長領域の光(例えば700−1000nm)に対して、高い反射率(好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上の反射率)を有することが好ましい。具体的には、光反射層6は金属薄膜からなることが好ましく、Au、Ag、Al、Cuのうち少なくとも1つの元素を含む金属や、これらの合金を用いることができる。
図3は、静電容量型トランスデューサを内部に納める筐体である筐体枠11の先端部を示す模式図である。プローブの筐体枠11は金属もしくは合金で形成されていることが多く、アルミニウム、SUSなどが挙げられるが、セラミックスなどの他の材料であっても構わない。光反射層6は、プロ−ブの被検体側の面(被検体に対向した面)に平坦に配置されることが好ましい。光反射層6の平坦性が損なわれると、素子の表面と光反射層6との間に配置されている音響マッチング層9の厚さが一様でなくなるために、光音響波の界面反射条件が一様でなくなり、多重反射の干渉や受信強度の低下等、受信される音響波を乱す要因になる場合がある。このため光反射層6の平坦性を損ねずに、筐体に配置することが好ましい。
次に本実施形態のプローブの製造方法について詳細に説明する。まず、光反射層6を支持層10となるフィルム上に形成する。光反射層6として金属薄膜を用いる場合、光反射層6は、支持層10となるフィルムの上に、蒸着やスパッタリング等により形成することができる。Auを用いる場合は密着性が弱い場合が多いため、下地層としてCr膜を形成した後、Au膜を形成するとよい。また、オゾンアッシャーなどの表面処理を施してもよい。また、金属薄膜でなく、TiO2などの酸化膜の誘電体層を多層にしてフィルム上に形成することもできる。
上記実施形態で説明したプローブは、音響波を受信する被検体情報取得装置に適用することができる。被検体からの音響波をプローブ内の静電容量型トランスデューサ33で受信し、静電容量型トランスデューサ33から出力される電気信号を用い、光吸収係数などの被検体の光学特性値を反映した被検体内の情報を取得することができる。
以下、プローブの作製方法の一例として第1の実施例を説明する。プローブの筐体枠11はSUS製で作成した。支持層10は、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ製ルミラ―F−65)を使用した。蒸着にて、Cr膜10nmの密着層とAu膜150nmとの積層膜を形成し光反射層6とした。筐体枠11に支持層10を貼り付ける工程は以下のように行った。
2 セル構造
3 シリコン基板
4 支持部
5 間隙
6 光反射層
7 振動膜
8 第2の電極
9 音響マッチング層
10 ポリエステルフィルム
11 筐体枠
12 上端面
13 デバイスボード
14 フレキシブル基板
15 封止剤
16 加圧用治具
Claims (27)
- 被検体からの音響波を受信するためのプローブであって、
間隙を隔てて形成された一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を有する静電容量型の素子と、
前記素子より被検体側に設けられ、光を反射する光反射層と、
前記素子と前記光反射層との間に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記素子と前記支持層との間に設けられた音響マッチング層と、
を有し、
前記支持層は、破断応力が50MPa以上であり、前記支持層の音響インピーダンスよりも前記音響マッチング層の音響インピーダンスが小さいことを特徴とするプローブ。 - 前記支持層は、前記光反射層に接してこれを支持することを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 前記支持層の溶解度パラメータが、前記プローブが接する音響媒質の溶解度パラメータに対して5以上離れていることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブ。
- 前記支持層は、前記音響マッチング層よりヤング率が高いことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記支持層は、音響インピーダンスが1MRayls以上5MRayls以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記支持層は、ヤング率が100MPa以上20GPa以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記音響マッチング層は、音響インピーダンスが1MRayls以上2MRayls以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記音響マッチング層は、ヤング率が10MPa以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記支持層の厚さは、30μm以下であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記素子を納めた筐体を有し、
前記支持層の加熱収縮率は1.2%以上であり、前記支持層は前記筐体に接着されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のプローブ。 - 前記支持層がポリエステルからなることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記ポリエステルはポリエチレンテレフタレートであることを特徴とする請求項11に記載のプローブ。
- 前記光反射層は、Au、Ag、Al、Cuのうち、少なくも一つの元素を含む金属薄膜からなることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記光反射層は、誘電体の多層膜からなることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記音響マッチング層の厚さは、10μm以上900μm以下の範囲にあることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記光反射層が撓みにくくなるように、前記支持層は、前記音響マッチング層よりヤング率が高いことを特徴とする請求項4に記載のプローブ。
- 前記支持層側から入射する前記音響波の前記支持層と前記素子との前記音響インピーダンスの差により生ずる反射が少なくなるように前記支持層の音響インピーダンスよりも前記音響マッチング層の音響インピーダンスが小さいことを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 前記支持体層は、前記マッチング層の位置する範囲を超えて外側に伸びて前記光反射層を支持することを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載のプローブ。
- 被検体からの音響波を受信するためのプローブであって、
間隙を隔てて形成された一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を有する静電容量型の素子と、
前記素子より被検体側に設けられ、光を反射する光反射層と、
前記素子と前記光反射層との間に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記素子と前記支持層との間に設けられた音響マッチング層と、
を有し、
前記支持層のヤング率は、前記音響マッチング層のヤング率よりも高く、且つ前記音響マッチング層の音響インピーダンスは、前記支持層の音響インピーダンスよりも小さいことを特徴とするプローブ。 - 前記支持層は、音響インピーダンスが1MRayls以上5MRayls以下であることを特徴とする請求項19に記載のプローブ。
- 前記支持層は、ヤング率が100MPa以上20GPa以下であることを特徴とする請求項19又は20に記載のプローブ。
- 前記音響マッチング層は、音響インピーダンスが1MRayls以上2MRayls以下であることを特徴とする請求項19乃至21のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記音響マッチング層は、ヤング率が10MPa以下であることを特徴とする請求項19乃至22のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記支持層の厚さは、30μm以下であることを特徴とする請求項19乃至23のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記光反射層が撓みにくくなるように、前記支持層は、前記音響マッチング層よりヤング率が高いことを特徴とする請求項19に記載のプローブ。
- 前記支持層側から入射する前記音響波の前記支持層と前記素子との前記音響インピーダンスの差により生ずる反射が少なくなるように前記支持層の音響インピーダンスよりも前記音響マッチング層の音響インピーダンスが小さいことを特徴とする請求項19に記載のプローブ。
- 請求項1乃至26のいずれか1項に記載のプローブと、光源と、データ処理装置と、を有し、
前記プローブは、前記光源からの光が被検体に照射されることにより発生する音響波を受信して電気信号に変換し、
前記データ処理装置は、前記電気信号を用いて被検体内の情報を取得することを特徴とする被検体情報取得装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012226898A JP6029413B2 (ja) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | プローブ及び被検体情報取得装置 |
EP13186072.8A EP2719327B1 (en) | 2012-10-12 | 2013-09-26 | Probe, object information acquisition apparatus, and method of manufacturing the probe |
US14/052,351 US9618386B2 (en) | 2012-10-12 | 2013-10-11 | Probe, object information acquisition apparatus, and method of manufacturing the probe |
CN201310475572.0A CN103720487B (zh) | 2012-10-12 | 2013-10-12 | 探测器、被检体信息获取装置及制造探测器的方法 |
US15/450,841 US10401214B2 (en) | 2012-10-12 | 2017-03-06 | Probe, object information acquisition apparatus, and method of manufacturing the probe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012226898A JP6029413B2 (ja) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | プローブ及び被検体情報取得装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014076242A JP2014076242A (ja) | 2014-05-01 |
JP6029413B2 true JP6029413B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=49378015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012226898A Active JP6029413B2 (ja) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | プローブ及び被検体情報取得装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9618386B2 (ja) |
EP (1) | EP2719327B1 (ja) |
JP (1) | JP6029413B2 (ja) |
CN (1) | CN103720487B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103976743A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-13 | 江西科技师范大学 | 基于cMUT环形阵列的微型光声传感器 |
KR20160023156A (ko) | 2014-08-21 | 2016-03-03 | 삼성전자주식회사 | 전자소자의 패키징 시스템 및 패키징 방법 |
JP2016122759A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | キヤノン株式会社 | 貫通配線を有する電子デバイスの作製方法 |
JP6429711B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2018-11-28 | キヤノン株式会社 | 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 |
MX2017013315A (es) * | 2015-05-22 | 2018-01-25 | Halliburton Energy Services Inc | Transductores ultrasonicos con material piezoelectrico integrado en soporte. |
JP6590601B2 (ja) * | 2015-09-04 | 2019-10-16 | キヤノン株式会社 | トランスデューサユニット、トランスデューサユニットを備えた音響波用プローブ、音響波用プローブを備えた光音響装置 |
JP6632431B2 (ja) * | 2016-03-08 | 2020-01-22 | キヤノン株式会社 | 超音波トランスデューサユニット及びそれを備える情報取得装置 |
US11009487B2 (en) * | 2016-09-19 | 2021-05-18 | The Regents Of The University Of Michigan | Multi-modal biosensor having an acoustic detector with integrated optical interferometry |
CN110300631B (zh) * | 2017-02-24 | 2021-09-24 | 传感频谱有限责任公司 | 其中包括声学匹配区域的超声设备 |
CN109171660A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-01-11 | 深圳先进技术研究院 | 光声成像探头及应用 |
JP6660990B2 (ja) * | 2018-10-10 | 2020-03-11 | 富士フイルム株式会社 | 音響波プローブ用組成物、これを用いた音響波プローブ用シリコーン樹脂、音響波プローブおよび超音波プローブ、音響波測定装置、超音波診断装置、光音響波測定装置および超音波内視鏡ならびに音響波プローブ用シリコーン樹脂の製造方法 |
CN110491989A (zh) * | 2019-08-08 | 2019-11-22 | 汕头大学 | 一种高灵敏度柔性电子皮肤及其制备方法 |
US11564831B1 (en) | 2020-10-13 | 2023-01-31 | Hyper Ice, Inc. | System and methods for monitoring and/or controlling temperature in a therapy device |
CN114027793B (zh) * | 2021-11-09 | 2024-02-02 | 山东大学 | 一种高灵敏抗干扰光声成像*** |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5110751B2 (ja) * | 2000-08-24 | 2012-12-26 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波診断装置 |
JP4234393B2 (ja) | 2002-10-31 | 2009-03-04 | 株式会社東芝 | 生体情報計測装置 |
JP4643153B2 (ja) | 2004-02-06 | 2011-03-02 | 株式会社東芝 | 非侵襲生体情報映像装置 |
JP2006091117A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Ricoh Co Ltd | 画像形成方法及び画像形成装置 |
US8460195B2 (en) * | 2007-01-19 | 2013-06-11 | Sunnybrook Health Sciences Centre | Scanning mechanisms for imaging probe |
EP2143381A4 (en) * | 2007-05-10 | 2012-03-14 | Konica Minolta Med & Graphic | ULTRASONIC TRANSMITTER / RECEIVER, ULTRASONIC SOUND AND ULTRASONIC DIAGNOSTICS |
JP5546111B2 (ja) | 2007-06-29 | 2014-07-09 | キヤノン株式会社 | 超音波探触子、該超音波探触子を備えた検査装置 |
US8251909B2 (en) | 2007-07-16 | 2012-08-28 | Arnold Stephen C | Acoustic imaging probe incorporating photoacoustic excitation |
WO2009125773A1 (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-15 | 国立大学法人埼玉大学 | 機械電気変換素子、機械電気変換装置及びその製造方法 |
JP2009272824A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波振動子セル、超音波振動子および超音波内視鏡 |
JP4829934B2 (ja) | 2008-07-11 | 2011-12-07 | キヤノン株式会社 | 検査装置 |
JP4900979B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2012-03-21 | キヤノン株式会社 | 光音響装置および光音響波を受信するための探触子 |
JP2012086037A (ja) | 2008-08-27 | 2012-05-10 | Canon Inc | 光音響装置および光音響波を受信するための探触子 |
JP2011072702A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 超音波探触子用音響レンズおよび超音波探触子 |
JP5393552B2 (ja) | 2010-03-19 | 2014-01-22 | キヤノン株式会社 | 測定装置 |
JP5843496B2 (ja) * | 2010-07-22 | 2016-01-13 | キヤノン株式会社 | 音響波検出器および音響波測定装置 |
WO2012053160A1 (ja) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | パナソニック株式会社 | 超音波検査装置及び超音波検査方法 |
JP5787586B2 (ja) * | 2011-04-14 | 2015-09-30 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置 |
JP5911274B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2016-04-27 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線撮像システム |
JP5943677B2 (ja) * | 2012-03-31 | 2016-07-05 | キヤノン株式会社 | 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 |
-
2012
- 2012-10-12 JP JP2012226898A patent/JP6029413B2/ja active Active
-
2013
- 2013-09-26 EP EP13186072.8A patent/EP2719327B1/en active Active
- 2013-10-11 US US14/052,351 patent/US9618386B2/en active Active
- 2013-10-12 CN CN201310475572.0A patent/CN103720487B/zh active Active
-
2017
- 2017-03-06 US US15/450,841 patent/US10401214B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103720487B (zh) | 2015-12-02 |
US20170176396A1 (en) | 2017-06-22 |
US20140102204A1 (en) | 2014-04-17 |
US10401214B2 (en) | 2019-09-03 |
EP2719327B1 (en) | 2020-03-25 |
EP2719327A1 (en) | 2014-04-16 |
CN103720487A (zh) | 2014-04-16 |
US9618386B2 (en) | 2017-04-11 |
JP2014076242A (ja) | 2014-05-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150226 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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