JP6025165B2 - Update system for control program of semiconductor manufacturing equipment - Google Patents
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Description
本発明は、ユニット毎にその動作を制御するユニットコントローラを有する分散制御方式の半導体製造装置において、ユニットコントローラの制御プログラムを更新する、半導体製造装置の制御プログラムの更新システムに関する。 The present invention relates to a control program update system for a semiconductor manufacturing apparatus that updates a control program for a unit controller in a distributed control type semiconductor manufacturing apparatus having a unit controller that controls the operation of each unit.
半導体製造装置の一例として電子部品実装装置は、電子部品を撮像するカメラユニット、電子部品を搬送する搬送ユニット、電子部品をプリント基板に実装する実装ヘッド等の複数のユニットから構成され、分散制御方式においてはユニット毎にユニットコントローラを設置し、ユニットコントローラが制御プログラムを実行することにより各ユニットの動作を制御する。そして、メインコントローラが、各ユニットコントローラを統括する。 As an example of a semiconductor manufacturing apparatus, an electronic component mounting apparatus is composed of a plurality of units such as a camera unit that images an electronic component, a transport unit that transports the electronic component, and a mounting head that mounts the electronic component on a printed circuit board. The unit controller is installed for each unit, and the unit controller controls the operation of each unit by executing a control program. The main controller controls each unit controller.
このような分散制御方式の半導体製造装置において、ユニットコントローラの制御プログラムを更新する場合は、従来の制御プログラムが書き込まれたＲＯＭを新しい制御プログラムが書き込まれたＲＯＭと交換するか、あるいはユニットコントローラにメインコントローラから更新プログラムを提供し、更新プログラムにより制御プログラムを更新する（例えば特許文献１）。 In such a distributed control type semiconductor manufacturing apparatus, when updating the control program of the unit controller, replace the ROM in which the conventional control program is written with the ROM in which the new control program is written, or replace the ROM with the unit controller. An update program is provided from the main controller, and the control program is updated by the update program (for example, Patent Document 1).
前述のとおり半導体製造装置は、複数のユニットコントローラを有し、各ユニットコントローラが制御プログラムを実行することにより各ユニットの動作を制御するが、半導体製造装置を全体として機能させるには各ユニットを調和させながら動作させる必要がある。そのためには、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン管理が重要である。すなわち、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョンの組合せを適切にする必要がある。 As described above, the semiconductor manufacturing apparatus has a plurality of unit controllers, and each unit controller controls the operation of each unit by executing a control program. However, to make the semiconductor manufacturing apparatus function as a whole, the units are harmonized. It is necessary to make it operate. To that end, version management of the control program of each unit controller is important. That is, it is necessary to make the combination of the version of the control program of each unit controller appropriate.
しかしながら、特許文献１に記載の更新システムにおいては、更新プログラムのバージョンの適否は考慮されておらず、結果として、更新された制御プログラム間でバージョン不整合が生じることがあり、半導体製造装置全体としての各ユニットの動作の整合性が損なわれるという問題があった。 However, in the update system described in Patent Document 1, the suitability of the version of the update program is not considered, and as a result, version mismatch may occur between the updated control programs, and the semiconductor manufacturing apparatus as a whole There is a problem that the consistency of the operation of each unit is impaired.
本発明が解決しようとする課題は、更新プログラムによりユニットコントローラ毎に制御プログラムを更新する更新システムにおいて、更新後の制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止し、半導体製造装置の各ユニットコントローラの制御プログラムの更新が適切に実行されるようにすることにある。 The problem to be solved by the present invention is to prevent version inconsistency between updated control programs in an update system that updates a control program for each unit controller using an update program. This is to ensure that the control program is properly updated.
本発明の第１の態様は、半導体製造装置のユニット毎に設置され、制御プログラムを実行することにより前記ユニットの動作を制御するユニットコントローラに、メインコントローラから更新プログラムを提供し、その更新プログラムによりユニットコントローラの制御プログラムを更新する半導体製造装置の制御プログラムの更新システムであって、前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備えたことを特徴とする。このように、メインコントローラにおいて、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータと各ユニットコントローラに提供しようとする更新プログラムのバージョン情報の組合せとが一致するか否かを判定し、一致すると判定されたときのみに各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供するようにすることで、制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止できる。 According to a first aspect of the present invention, an update program is provided from a main controller to a unit controller that is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and controls the operation of the unit by executing a control program. A system for updating a control program for a semiconductor manufacturing apparatus for updating a control program for a unit controller, wherein the main controller has version combination data indicating a combination of version information of update programs necessary for each unit controller, and each unit A function for determining whether a combination of version information of update programs provided to the controller matches the version combination data, and a combination of version information of update programs provided to each unit controller is the version set. When it is determined that coincides with the allowed data, characterized by comprising a function of providing a respective update to each unit controller. In this way, in the main controller, it is determined whether or not the version combination data indicating the combination of version information of the update program required for each unit controller matches the combination of version information of the update program to be provided to each unit controller. By determining and providing an update program to each unit controller only when it is determined that they match, it is possible to prevent version mismatch between the control programs.
本発明の第２の態様は、前記メインコントローラが、バージョン組合せデータとしてユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備えたことを特徴とする。この第２の態様によっても、前記第１の態様と同様に制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止できる。 According to a second aspect of the present invention, the main controller has version combination data indicating a combination of version information of a control program necessary for the unit controller as version combination data, and version information of an update program provided to each unit controller A function for determining whether or not the version combination data matches the version combination data, and when it is determined that the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data, an update program is sent to each unit controller. It is provided with the function to provide. Also according to the second aspect, it is possible to prevent version mismatch between the control programs as in the first aspect.
本発明の第３の態様は、前記メインコントローラが、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合、それらの更新プログラムのバージョン情報を前記バージョン組合せデータの対応するバージョン情報と置き換えた上で、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正であるときに、前記一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備えたことを特徴とする。このように、メインコントローラにおいて、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定し、適正と判定されたときのみに一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供するようにすることで、制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止できる。 According to a third aspect of the present invention, the main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs provided to each unit controller, and provides an update program to a part or all of the unit controllers. If the version information of those update programs is replaced with the corresponding version information of the version combination data, the function for determining whether the version combination data after the version information replacement is appropriate, and In some cases, a function of providing an update program to each of the part or all of the unit controllers is provided. In this way, the main controller determines whether or not the version combination data after the version information replacement is appropriate, and provides an update program to some or all of the unit controllers only when it is determined appropriate. Thus, it is possible to prevent version inconsistency between the control programs.
通常、更新プログラムは、少なくとも上位及び下位の２段階のバージョン情報を含むことが多い。この場合、下位のバージョン情報は細かい不具合の修正などの改訂を表しており、下位のバージョンが異なっていても制御プログラム間でバージョン不整合を起こすことは少ない。したがって、本発明の一形態では、上位のバージョン情報を使用して、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否か、あるいは前記バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する。また、更新プログラムのバージョン情報が、上位、中位及び下位の３段階のバージョン情報からなる場合は、上位、又は上位及び中位のバージョン情報を使用して、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否か、あるいは前記バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する。このように、細かい不具合の修正などの改訂を表す下位のバージョン情報を考慮せずにバージョンの整合性を判定するようにすることで、バージョンの整合性確保に過度の制約条件を課すことなく、より現実的で実用性のあるプログラム更新を実行できる。 In general, the update program often includes at least upper and lower two-stage version information. In this case, the lower version information represents a revision such as minor defect correction, and even if the lower version is different, there is little possibility of version mismatch between the control programs. Therefore, according to one aspect of the present invention, whether the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data using the higher version information, or the version combination after the replacement of the version information Determine whether the data is appropriate. In addition, when the version information of the update program is composed of the upper, middle, and lower level version information, the update program provided to each unit controller using the upper, upper, or middle version information is used. It is determined whether or not version information matches the version combination data, or whether or not the version combination data after replacement of the version information is appropriate. In this way, by determining the consistency of the version without considering the lower version information representing revisions such as minor bug corrections, without imposing excessive restrictions on ensuring the consistency of the version, More realistic and practical program updates can be performed.
また、本発明において、メインコントローラは、起動時に、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報の組合せを確認し、そのバージョン情報の組合せが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正でないときに、ユニットコントローラに更新プログラムを再提供する機能とを更に備えることが好ましい。これらの機能を備えることで、更新プログラムによる制御プログラムの更新に不具合（エラー）が生じているものがあったとしても、起動時に事前にバージョン不整合を発見でき、バージョン不整合が発見された場合は、更新プログラムを再提供するので、バージョン不整合が生じることをより確実に防止できる。この場合、バージョン不整合が発見されたユニットコントローラの制御プログラムの更新プログラムのみを再提供するようにしてもよく、再度、全体のバージョン整合性をとるために全てのユニットコントローラに対してそれぞれの更新プログラムを再提供するようにしてもよい。 In the present invention, when the main controller is activated, the main controller checks the combination of version information of the control programs of each unit controller and determines whether or not the combination of version information is appropriate. It is preferable to further include a function of re-providing the update program to the unit controller. By providing these functions, even if there is a problem (error) in updating the control program by the update program, version mismatch can be found in advance at startup, and version mismatch is found Since the update program is re-provided, it is possible to prevent the occurrence of version mismatch more reliably. In this case, only the update program of the control program of the unit controller in which version inconsistency is found may be re-provided, and again, all the unit controllers are updated in order to maintain the overall version consistency. The program may be re-provided.
本発明において、ユニットコントローラは、メインコントローラから提供される更新プログラムに付加された付加情報に基づき、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定する機能と、前記提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合すると判定されたときに、その更新プログラムにより制御プログラムを更新する機能とを備えたものとすることが好ましい。ユニットコントローラがこれらの機能を備えることで、誤ってそのユニットコントローラに適合しない更新プログラムが提供されたとしても制御プログラムの更新は実行されず、そのユニットコントローラに適合する更新プログラムが提供された場合にのみ制御プログラムの更新が実行される。したがって、制御プログラムが誤って更新されたり、更新中にエラーが発生したりすることを防止でき、各ユニットコントローラの制御プログラムを適切に更新できる。 In the present invention, the unit controller is provided with a function for determining whether or not the provided update program is compatible with the unit controller based on the additional information added to the update program provided from the main controller. When it is determined that the update program is compatible with the unit controller, it is preferable to have a function of updating the control program by the update program. If the unit controller has these functions, even if an update program that does not conform to the unit controller is provided by mistake, the update of the control program is not executed, and an update program that conforms to the unit controller is provided. Only the control program is updated. Therefore, it is possible to prevent the control program from being updated erroneously or to generate an error during the update, and the control program of each unit controller can be updated appropriately.
提供される更新プログラムがそのユニットコントローラに適合するか否かの判定は、更新プログラムに付加情報としてユニット名を付加しておき、ユニットコントローラが付加情報のユニット名と当該ユニットコントローラが制御対象とするユニット名とを照合することで行うことができ、それらが一致したときに適合すると判定する。 To determine whether the provided update program is compatible with the unit controller, the unit name is added as additional information to the update program, and the unit controller sets the unit name of the additional information and the unit controller as the control target. This can be done by checking the unit name, and when they match, it is determined to match.
また、メインコントローラから提供される更新プログラムにエラーがないことをチェックするために、更新プログラムの付加情報としてプログラムチェックコードを付加しておき、ユニットコントローラにおいて、そのプログラムチェックコードをチェックし、更新プログラムにエラーが発見されなかったときに、その更新プログラムにより制御プログラムを更新するようにすることが好ましい。これにより、エラーのある更新プログラムにより制御プログラムが誤って更新されることを防止でき、各ユニットコントローラの制御プログラムをより適切に更新できる。 In addition, in order to check that there is no error in the update program provided from the main controller, a program check code is added as additional information of the update program, the program check code is checked in the unit controller, and the update program It is preferable that the control program is updated by the update program when no error is found. Thereby, it is possible to prevent the control program from being erroneously updated by an update program having an error, and the control program of each unit controller can be updated more appropriately.
更に、本発明においてユニットコントローラは、起動時に制御プログラムをチェックする機能と、チェックの結果、制御プログラムにエラーが発見されたときに、メインコントローラに更新プログラムの提供を要求する機能とを備えることが好ましい。ユニットコントローラがこのような機能を備えることで、更新中の通信不具合などにより、ユニットコントローラの制御プログラムに不具合（エラー）が生じたとしても、改めて更新処理を行い、エラーを解消することができる。このような再更新の処理は、エラーが発見された制御プログラムに対してのみ実行してもよいし、再度、全ての制御プログラムに対して実行してもよい。 Further, in the present invention, the unit controller has a function of checking the control program at the time of startup, and a function of requesting the main controller to provide an update program when an error is found in the control program as a result of the check. preferable. When the unit controller has such a function, even if a malfunction (error) occurs in the control program of the unit controller due to a communication malfunction during the update, the update process can be performed again to eliminate the error. Such re-update processing may be executed only for the control program in which an error is found, or may be executed again for all control programs.
本発明によれば、メインコントローラが、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョンが適正か否かを判定し、その判定により適正であるときに、ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供するので、更新された制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止できる。したがって、制御プログラムの更新後においても、半導体製造装置全体としての各ユニットの動作の整合性を維持することができる。 According to the present invention, the main controller determines whether or not the version of the update program to be provided to each unit controller is appropriate, and provides the update program to each unit controller when the determination is appropriate. It is possible to prevent version inconsistency between the control programs that have been changed. Therefore, even after the control program is updated, the consistency of the operation of each unit as the entire semiconductor manufacturing apparatus can be maintained.
また、メインコントローラが、起動時に制御プログラム間のバージョン整合性を確認し、その結果、バージョン不整合が発見された場合に、ユニットコントローラに更新プログラムを再提供するようにすれば、バージョン不整合が生じることをより確実に防止できる。 In addition, if the main controller checks the version consistency between the control programs at startup, and if a version mismatch is found as a result, the update program is re-provided to the unit controller. It can prevent more reliably.
更に、ユニットコントローラが、メインコントローラから提供される更新プログラムに付加された付加情報に基づき、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定し、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合すると判定されたときに、その更新プログラムにより制御プログラムを更新する、すなわち、そのユニットコントローラに適合する更新プログラムが提供された場合にのみ、制御プログラムの更新が実行されるようにすることで、制御プログラムが誤って更新されたり、更新中にエラーが発生したりすることを防止でき、各ユニットコントローラの制御プログラムを適切に更新できる。 Further, the unit controller determines whether the provided update program is compatible with the unit controller based on the additional information added to the update program provided from the main controller, and the provided update program is the unit. When it is determined that the controller is suitable, the control program is updated by the update program, that is, the control program is updated only when an update program suitable for the unit controller is provided. Thus, it is possible to prevent the control program from being updated erroneously or to generate an error during the update, and the control program of each unit controller can be updated appropriately.
また更に、ユニットコントローラが、起動時に制御プログラムをチェックし、その結果、制御プログラムにエラーが発見された場合に、メインコントローラに更新プログラムの提供を要求し、再更新するようにすることで、各ユニットコントローラの制御プログラムをより適切に更新できる。 Furthermore, the unit controller checks the control program at startup, and if an error is found in the control program, the unit controller requests the main controller to provide an update program and re-updates each The control program of the unit controller can be updated more appropriately.
図１は、本発明に係る半導体製造装置の制御プログラムの更新システムの一例を示すシステム構成図である。同図において、半導体製造装置は、複数のユニットＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘから構成され、そのユニット毎にユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを設置し、ユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘが制御プログラムを実行することにより各ユニットＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘの動作を制御する。そして、メインコントローラが、各ユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを統括する。この半導体製造装置におけるユニットの例は、電子部品を撮像するカメラユニット、電子部品を搬送する搬送ユニット、電子部品をプリント基板に実装する実装ヘッド等である。 FIG. 1 is a system configuration diagram showing an example of a control program update system for a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention. In the figure, the semiconductor manufacturing apparatus is composed of a plurality of units A, B, C... X, and unit controllers A, B, C. C ... X controls the operation of each unit A, B, C ... X by executing the control program. And the main controller supervises each unit controller A, B, C ... X. Examples of units in this semiconductor manufacturing apparatus are a camera unit that images an electronic component, a transport unit that transports the electronic component, a mounting head that mounts the electronic component on a printed circuit board, and the like.
図２はメインコントローラの構成例を示し、図３はユニットコントローラの構成例を示す。メインコントローラは中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びハードディスク（ＨＤＤ）を有し、各ユニットコントローラはマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）及び書き換え可能なＲＯＭ（以下、単に「ＲＯＭ」という。）を有する。メインコントローラのＨＤＤにはユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを統括制御する統括制御プログラムが格納され、各ユニットコントローラのＲＯＭには、対応するユニットの制御プログラムが格納されている。 FIG. 2 shows a configuration example of the main controller, and FIG. 3 shows a configuration example of the unit controller. The main controller has a central processing unit (CPU) and a hard disk (HDD), and each unit controller has a microprocessor (MPU) and a rewritable ROM (hereinafter simply referred to as “ROM”). The main controller HDD stores an overall control program for overall control of the unit controllers A, B, C... X, and the ROM of each unit controller stores the corresponding unit control program.
図４は、本発明において、ユニットコントローラの制御プログラムを更新する手順を示す概念図である。 FIG. 4 is a conceptual diagram showing a procedure for updating the control program of the unit controller in the present invention.
各ユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘには、それぞれ制御対象のユニットＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘに対応する制御プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘが格納されている。これらの制御プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを更新するには、通信回線や外部媒体などからメインコントローラに更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを入力（コピー）し、メインコントローラが、更新実行プログラムを実行してユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘと通信を行うことにより、更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・ＸをユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘに提供する。そして、ユニットコントローラＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘが、メインコントローラから提供された更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘにより、当該ユニットコントローラの制御プログラムを更新する。 Each unit controller A, B, C... X stores control programs A, B, C... X corresponding to the controlled units A, B, C. To update these control programs A, B, C... X, the update programs A, B, C... X are input (copied) to the main controller from a communication line or an external medium, and the main controller By executing the update execution program and communicating with the unit controllers A, B, C... X, the update programs A, B, C. provide. Then, the unit controllers A, B, C... X update the control program of the unit controller with the update programs A, B, C.
図５は、更新プログラムの構成例を示す。更新プログラムは、その本体をなすプログラムコードのほかに、制御プログラムを適切に更新できるように付加情報を有する。図５の例では、付加情報として、バージョン情報、制御対象のユニット名、プログラムチェックコード及びプログラムサイズを有する。付加情報に基づく動作は後述する。 FIG. 5 shows a configuration example of the update program. The update program has additional information so that the control program can be appropriately updated in addition to the program code forming the main body. In the example of FIG. 5, the additional information includes version information, a unit name to be controlled, a program check code, and a program size. The operation based on the additional information will be described later.
図６はメインコントローラのＨＤＤの構成例を示し、図７はユニットコントローラのＲＯＭの構成例を示す。メインコントローラのＨＤＤには、図２で説明した統括制御プログラムのほかに、起動プログラムと更新実行プログラムが格納されている。ユニットコントローラのＲＯＭには、図３で説明した制御プログラムのほかに、起動プログラムと更新実行プログラムが格納されている。それぞれの起動プログラムと更新実行プログラムの動作は後述する。 6 shows a configuration example of the HDD of the main controller, and FIG. 7 shows a configuration example of the ROM of the unit controller. The HDD of the main controller stores a start program and an update execution program in addition to the overall control program described in FIG. The ROM of the unit controller stores a start program and an update execution program in addition to the control program described in FIG. The operation of each start program and update execution program will be described later.
以下、本発明の更新システムの動作を説明する。 Hereinafter, the operation of the update system of the present invention will be described.
図８は、本発明による制御プログラムの更新処理の第１段階を示すフロー図である。制御プログラムの更新処理は、ユーザー又はサービスエンジニアがメインコントローラのインターフェイスより更新実行プログラムを起動して更新動作を開始することにより、開始する。 FIG. 8 is a flowchart showing the first stage of the control program update processing according to the present invention. The update process of the control program starts when the user or service engineer starts the update execution program from the interface of the main controller and starts the update operation.
メインコントローラは、通信回線や外部媒体などから入力（コピー）された更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを各ユニットコントローラに提供する前に、更新プログラムのバージョンの組合せが妥当であるか否かを判定する。具体的には、メインコントローラは、更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘの付加情報に基づき各更新プログラムのバージョン情報を確認し、そのバージョン情報の組合せがバージョン組合せデータと一致するか否かを判定する。バージョン組合せデータは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すものである。言い換えればバージョン組合せデータは、各ユニットコントローラに適用する更新プログラムのバージョンの適切な組合せを示すもので、例えば、ユニットコントローラ毎に適切な更新プログラムのバージョン情報をリスト形式で対応させたものである。このようなバージョン組合せデータは、更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘと共に通信回線や外部媒体などからメインコントローラに入力されるか、予めメインコントローラに入力される。 The main controller determines whether the combination of update programs is valid before providing each unit controller with the update programs A, B, C... X input (copied) from a communication line or an external medium. Determine whether. Specifically, the main controller confirms the version information of each update program based on the additional information of the update programs A, B, C... X, and whether or not the combination of the version information matches the version combination data. Determine. The version combination data indicates a combination of update program version information necessary for each unit controller. In other words, the version combination data indicates an appropriate combination of the versions of the update program applied to each unit controller. For example, version information of the appropriate update program is associated with each unit controller in a list format. Such version combination data is input to the main controller from a communication line, an external medium, or the like together with the update programs A, B, C... X, or is input to the main controller in advance.
メインコントローラは、入力された更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘのバージョン情報の組合せがバージョン組合せデータと一致すると判定された場合にのみ、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘを提供する。これにより、更新後の制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止できる。なお、更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘのバージョン情報の組合せがバージョン組合せデータと一致しない場合は更新処理を終了し、例えばエラー表示を行う。 Only when it is determined that the combination of the version information of the input update programs A, B, C... X matches the version combination data, the main controller sends the update programs A, B, C,.・ ・ Provide X. As a result, it is possible to prevent version mismatch between the updated control programs. If the combination of the version information of the update programs A, B, C... X does not match the version combination data, the update process is terminated and, for example, an error display is performed.
ここで、更新プログラムは、少なくとも上位及び下位の２段階のバージョン情報を含むことが多い。例えば、更新プログラムのバージョン情報は「xx.yy」で表される。この場合、下位のバージョン情報「yy」は細かい不具合の修正などの改訂を表しており、下位のバージョンが異なっていても制御プログラム間でバージョン不整合を起こすことは少ない。したがって、本発明の一形態では、少なくとも上位のバージョン情報「xx」の組合せが一致したときに、更新プログラムのバージョン情報の組合せがバージョン組合せデータと一致すると判定する。また、更新プログラムのバージョン情報が、上位、中位及び下位の３段階、例えば「xx.yy.zz」で表される場合は、上位及び中位のバージョン情報「xx.yy」の組合せ又は上位のバージョン情報「xx」の組合せが一致したときに、更新プログラムのバージョン情報の組合せがバージョン組合せデータと一致すると判定することができる。このように、細かい不具合の修正などの改訂を表す下位のバージョン情報を考慮せずにバージョンの整合性を判定することで、バージョンの整合性確保に過度の制約条件を課すことなく、より現実的で実用性のあるプログラム更新を実行できる。なお、バージョン情報が、上位、中位及び下位の３段階で表される場合において、バージョン情報の整合性の判定に中位のバージョン情報を考慮するか否かは、適宜選択することができる。例えば、更新プログラムＡとＢとの整合性及び更新プログラムＣとＤとの整合性の判定には中位のバージョン情報まで考慮し、更新プログラムＡ，Ｂと更新プログラムＣ，Ｄとの整合性には中位のバージョン情報は考慮せずに上位のバージョン情報のみを考慮するようにすることもできる。すなわち、半導体製造装置のユニット間の動作の関連性の強弱に応じて、バージョン情報の整合性の判定に中位のバージョン情報まで考慮するか否かを選択できる。 Here, the update program often includes at least upper and lower two-stage version information. For example, the version information of the update program is represented by “xx.yy”. In this case, the lower version information “yy” represents a revision such as minor defect correction, and even if the lower version is different, there is little possibility of version mismatch between the control programs. Therefore, according to one aspect of the present invention, it is determined that the combination of the version information of the update program matches the version combination data when at least the combination of the higher version information “xx” matches. In addition, when the version information of the update program is represented by three levels of upper, middle, and lower levels, for example, “xx.yy.zz”, the combination of the upper and middle version information “xx.yy” or the upper level When the combination of the version information “xx” matches, it can be determined that the combination of the version information of the update program matches the version combination data. In this way, by determining version consistency without considering lower version information representing revisions such as minor bug fixes, it is more realistic without imposing excessive constraints on ensuring version consistency. Can perform practical program updates. In the case where the version information is expressed in three levels, upper level, middle level, and lower level, whether or not to consider the middle version information in determining the consistency of the version information can be appropriately selected. For example, in determining the consistency between the update programs A and B and the consistency between the update programs C and D, even the middle version information is taken into consideration, and the consistency between the update programs A and B and the update programs C and D is considered. Can consider only the upper version information without considering the middle version information. In other words, it is possible to select whether or not to consider even the middle version information in the determination of the consistency of the version information according to the strength of the relevance of the operation between the units of the semiconductor manufacturing apparatus.
また、本発明においては、図８のフロー図において「バージョン情報の組合せ判定」の前か後の段階で、更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘ自体のチェックを行うことができる。具体的には、各更新プログラムＡ，Ｂ，Ｃ・・・Ｘに付加情報として付加されたプログラムコードをチェックし、エラーの有無を判定する。更新プログラムにエラーが発見された場合は更新処理を終了し、更新プログラムを再入力するなどの処置を講じたうえで、再度、図８の処理を行う。 In the present invention, the update programs A, B, C... X themselves can be checked before or after the “version information combination determination” in the flowchart of FIG. Specifically, the program code added as additional information to each of the update programs A, B, C... X is checked to determine whether there is an error. When an error is found in the update program, the update process is terminated, and after taking measures such as re-inputting the update program, the process of FIG. 8 is performed again.
以上説明した図８のフローでは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せをバージョン組合せデータとしたが、本発明では、各ユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せをバージョン組合せデータとし、このバージョン組合せデータを使用して更新プログラムのバーションの適否を判定することもできる。この場合、メインコントローラが、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致（整合）するか否かを判定し、その判定により一致（整合）すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する。このとき、メインコントローラは、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供することができる。一部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合であっても、その更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致（整合）するか否かの判定は可能であり、その判定により一致（整合）すると判定されたときに、前記一部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する。なお、各ユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータは、図８のフローの場合と同様に、更新プログラムと共に通信回線や外部媒体などからメインコントローラに入力されるか、予めメインコントローラに入力される。 In the flow of FIG. 8 described above, the combination of the version information of the update program required for each unit controller is the version combination data. However, in the present invention, the combination of the version information of the control program required for each unit controller is the version combination. It is also possible to determine the suitability of the version of the update program using this version combination data as data. In this case, the main controller determines whether or not the version information of the update program provided to each unit controller matches (matches) the version combination data, and when it is determined by the determination to match (match), An update program is provided to each unit controller. At this time, the main controller can provide an update program to some or all of the unit controllers. Even when an update program is provided to some unit controllers, it is possible to determine whether or not the version information of the update program matches (matches) the version combination data. ), An update program is provided to the some unit controllers. The version combination data indicating the combination of the version information of the control program required for each unit controller is input to the main controller from the communication line or external medium together with the update program, as in the case of the flow of FIG. Input in advance to the main controller.
また、本発明において一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供するときに、更新プログラムのバージョン整合性を判定する他の形態としては、メインコントローラに、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを持たせ、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合、それらの更新プログラムのバージョン情報を前記バージョン組合せデータの対応するバージョン情報と置き換えた上で、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定し、その判定により適正であるときに、前記一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供するようにすることもできる。この場合、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータは、予めメインコントローラに入力することができるほか、メインコントローラが各ユニットコントローラと通信して、その制御プログラムのバージョン情報を得ることによって作成することもできる。また、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かの判定は、例えばメインコントローラに、予めリスト形式で適正なバージョン組合せデータを持たせておき、この適正なバージョン組合せデータとバージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータとを突き合わせることによって行うことができる。この場合、前述のように更新プログラム及び制御プログラムが上位、中位及び下位の３段階、例えば「xx.yy.zz」で表される場合は、上位及び中位のバージョン情報「xx.yy」又は上位のバージョン情報「xx」を使用して前記突き合わせを行い、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定することができる。また、前記突き合わせのほか、メインコントローラに、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定するプログラム（アルゴリズム）を持たせておき、そのプログラムにより適否を判定することもできる。 As another form of determining the version consistency of the update program when providing an update program to some or all of the unit controllers in the present invention, the control program provided to each unit controller in the main controller When providing version combination data indicating a combination of version information and providing an update program to some or all unit controllers, the version information of those update programs is replaced with the corresponding version information of the version combination data. Thus, it is possible to determine whether or not the version combination data after the version information replacement is appropriate, and when the determination is appropriate, an update program can be provided to each of the part or all of the unit controllers. In this case, the version combination data indicating the combination of the version information of the control program provided to each unit controller can be input to the main controller in advance, and the main controller communicates with each unit controller to control the control program. It can also be created by obtaining version information. Further, the determination as to whether or not the version combination data after the version information replacement is appropriate is made, for example, by giving the main controller the appropriate version combination data in a list format in advance, and after the version information replacement with the appropriate version combination data This can be done by matching the version combination data. In this case, as described above, when the update program and the control program are represented by the upper, middle and lower three stages, for example, “xx.yy.zz”, the upper and middle version information “xx.yy” Alternatively, it is possible to determine whether or not the version combination data after the replacement of the version information is appropriate by performing the matching using the upper version information “xx”. In addition to the matching, the main controller may have a program (algorithm) for determining whether the version combination data after the version information replacement is appropriate, and the suitability can be determined by the program.
図９は、更新プログラムによる制御プログラムの更新処理の概要を示す。図８の処理を経たうえで、メインコントローラから通信によりユニットコントローラに更新プログラムＸが提供されると、ユニットコントローラＸの更新実行プログラムが更新プログラムＸにより制御プログラムＸを更新する。更新プログラムは、典型的には更新された制御プログラムそのものであり、これを古い制御プログラムと置き換えることにより、制御プログラムを更新する。このほか、更新プログラムにより古い制御プログラムの一部を置き換えて制御プログラムを更新することもできる。 FIG. 9 shows an overview of control program update processing by the update program. When the update program X is provided to the unit controller by communication from the main controller after the processing in FIG. 8, the update execution program of the unit controller X updates the control program X with the update program X. The update program is typically the updated control program itself, and the control program is updated by replacing this with an old control program. In addition, the control program can be updated by replacing a part of the old control program with the update program.
以上のように、本発明では、事前に更新プログラムのバージョン情報の整合性を確認したうえで更新処理を行うので、更新後の制御プログラム間でバージョン不整合が生じることを防止できる。ただし、更新プログラムによる制御プログラムの更新に不具合（エラー）が生じた場合、結果としてバージョン不整合が生じることがある。そこで、本発明では、メインコントローラの起動時に各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報を制御プログラムの付加情報により確認し、バージョン不整合が発見された場合は、制御プログラムの更新処理をやり直すフローを付加することが好ましい。そのフローの一例を図１０に示す。 As described above, according to the present invention, the update process is performed after confirming the consistency of the version information of the update program in advance, so that it is possible to prevent version mismatch between the updated control programs. However, if a malfunction (error) occurs in the update of the control program by the update program, version mismatch may occur as a result. Therefore, in the present invention, when starting the main controller, the version information of the control program of each unit controller is checked by the additional information of the control program, and if a version mismatch is found, a flow is added to restart the control program update process. It is preferable to do. An example of the flow is shown in FIG.
メインコントローラが起動すると、まずメインコントローラの起動プログラムが起動する。そしてメインコントローラは、各ユニットコントローラと通信して、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報を確認し、そのバージョン情報の組合せが適正か否かを判定する。例えば、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報の組合せが、前述したバージョン組合せデータ（各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せ、すなわち更新後の制御プログラムのバージョン情報の適正な組合せを示すデータ）と一致するか否かを判定する。判定の結果、制御プログラムのバージョン情報の組合せが適正であれば、メインコントローラは統括制御プログラムに移行し、通常の統括制御の動作を行う。制御プログラムのバージョン情報の組合せが適正でない場合、メインコントローラは更新プログラムをユニットコントローラに再提供し、更新プログラムによる制御プログラムの更新動作を再実行する。この場合、バージョン不整合が発見されたユニットコントローラの制御プログラムの更新プログラムのみを再提供するようにしてもよく、再度、全体のバージョン整合性をとるために全てのユニットコントローラに対してそれぞれの更新プログラムを再提供するようにしてもよい。なお、メインコントローラは、上記判定を行い、必要に応じて更新プログラムを再提供できるように、最新のバージョン組合せデータと更新プログラムをメモリに記憶させておく機能を有する。 When the main controller is activated, the activation program for the main controller is activated first. Then, the main controller communicates with each unit controller, checks the version information of the control program of each unit controller, and determines whether or not the combination of the version information is appropriate. For example, the combination of the version information of the control program of each unit controller is the version combination data (the combination of the version information of the update program necessary for each unit controller, that is, the proper combination of the version information of the updated control program) Data) is determined. As a result of the determination, if the combination of the version information of the control program is appropriate, the main controller shifts to the overall control program and performs the normal overall control operation. When the combination of the version information of the control program is not proper, the main controller re-provides the update program to the unit controller, and re-executes the control program update operation by the update program. In this case, only the update program of the control program of the unit controller in which version inconsistency is found may be re-provided, and again, all the unit controllers are updated in order to maintain the overall version consistency. The program may be re-provided. The main controller has a function of storing the latest version combination data and the update program in the memory so that the determination can be performed and the update program can be re-provided as necessary.
本発明において、更新動作時のユニットコントローラの基本機能は、図９に示したとおり、メインコントローラから提供された更新プログラムにより制御プログラムを更新することにある。ただし、本発明においてユニットコントローラは、誤ってそのユニットコントローラに適合しない更新プログラム（例えば、他のユニットコントローラ用の更新プログラム）が提供されたときに制御プログラムが誤って更新されたり、更新中にエラーが発生したりすることを防止するために、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定する機能を備えることが好ましい。その機能に基づく処理フローを図１１に示す。 In the present invention, the basic function of the unit controller at the time of the update operation is to update the control program by the update program provided from the main controller, as shown in FIG. However, in the present invention, the unit controller is erroneously updated when an update program (for example, an update program for another unit controller) that does not conform to the unit controller is provided by mistake, or an error occurs during the update. It is preferable to provide a function for determining whether the provided update program is compatible with the unit controller. A processing flow based on the function is shown in FIG.
図１１に示すように、メインコントローラの更新実行プログラムにより更新実行コマンドがコントロールユニットに送信されると、ユニットコントローラは制御プログラムから更新実行プログラムに移行する。その後、図８の処理を経たうえで、メインコントローラからユニットコントローラに更新プログラムの付加情報が提供される。ユニットコントローラは、その付加情報に基づき、当該更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定（チェック）し、適合すると判定されたときにのみ、その更新プログラムにより制御プログラムの更新処理を実行する。この適合性の判定は、付加情報のユニット名を使用して行うことができる。すなわち、ユニットコントローラが付加情報のユニット名と当該ユニットコントローラが制御対象とするユニット名とを照合し、それらが一致したときに適合すると判定する。 As shown in FIG. 11, when the update execution command is transmitted to the control unit by the update execution program of the main controller, the unit controller shifts from the control program to the update execution program. After that, after the processing of FIG. 8, additional information of the update program is provided from the main controller to the unit controller. The unit controller determines (checks) whether or not the update program is compatible with the unit controller based on the additional information, and executes the update process of the control program with the update program only when it is determined to be compatible To do. This suitability determination can be made using the unit name of the additional information. That is, the unit controller collates the unit name of the additional information with the unit name to be controlled by the unit controller, and determines that they match when they match.
なお、図１１の例では、更新プログラムの付加情報のみを先にユニットコントローラに提供し、適合することが確認された後に、更新プログラム全体をユニットコントローラに提供するようにしているが、最初から更新プログラム全体をユニットコントローラに提供し、その付加情報により適合性を判定するようにしてもよい。また、ユニットコントローラは、更新処理前に、更新プログラムの付加情報であるプログラムチェックコードをチェックすることにより更新プログラムのエラーの有無をチェックし、エラーが発見されなかった場合にのみ更新処理を実行するようにしてもよい。 In the example of FIG. 11, only the additional information of the update program is provided to the unit controller first, and after it is confirmed that it is compatible, the entire update program is provided to the unit controller. The entire program may be provided to the unit controller, and the compatibility may be determined based on the additional information. In addition, the unit controller checks whether there is an error in the update program by checking a program check code which is additional information of the update program before the update process, and executes the update process only when no error is found. You may do it.
このようにユニットコントローラが、提供された更新プログラムの適合性を更新処理前にチェックする機能を有することで、制御プログラムが誤って更新されたり、更新中にエラーが発生したりすることを防止でき、各ユニットコントローラの制御プログラムを適切に更新できる。 In this way, the unit controller has a function to check the compatibility of the provided update program before the update process, so that it is possible to prevent the control program from being updated accidentally or causing an error during the update. The control program for each unit controller can be updated appropriately.
更に、本発明においてユニットコントローラは、起動時に制御プログラムをチェックする機能を有することが好ましい。その機能に基づく処理フローを図１２に示す。 Furthermore, in the present invention, the unit controller preferably has a function of checking a control program at the time of activation. A processing flow based on the function is shown in FIG.
図１２に示すようにユニットコントローラが起動すると起動プログラムが実行され、その起動プログラムにより、当該ユニットコントローラの制御プログラムのチェックが実行される。具体的には、制御プログラムの付加情報であるプログラムチェックコードにより制御プログラムのエラーの有無をチェックする。チェックの結果、制御プログラムにエラーが発見された場合、ユニットコントローラは、例えばエラーコードを送信することにより、メインコントローラに更新プログラムの提供を要求する。メインコントローラは、ユニットコントローラからの更新プログラムの提供要求を受けて更新プログラムをユニットコントローラに提供する。このとき、メインコントローラとユニットコントローラは、いずれも更新実行プログラムに移行する。これにより、図８、図９及び図１１で説明した制御プログラムの更新処理が再実行され、制御プログラムのエラーを解消することができる。なお、このような再更新の処理は、エラーが発見された制御プログラムに対してのみ実行してもよいし、再度、全ての制御プログラムに対して実行してもよい。 As shown in FIG. 12, when the unit controller is activated, the activation program is executed, and the control program of the unit controller is checked by the activation program. Specifically, the presence or absence of an error in the control program is checked by a program check code which is additional information of the control program. If an error is found in the control program as a result of the check, the unit controller requests the main controller to provide an update program, for example, by transmitting an error code. The main controller receives the update program provision request from the unit controller and provides the update program to the unit controller. At this time, both the main controller and the unit controller shift to the update execution program. As a result, the update process of the control program described with reference to FIGS. 8, 9, and 11 is executed again, and the error of the control program can be eliminated. Such re-update processing may be executed only for the control program in which an error is found, or may be executed again for all control programs.
一方、制御プログラムのチェックの結果、エラーが発見されなかった場合は、通常動作により制御プログラムを起動し実行する。 On the other hand, if no error is found as a result of checking the control program, the control program is started and executed by normal operation.
Claims (16)
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、
前記更新プログラム及び前記制御プログラムのバージョン情報が、少なくとも上位及び下位の２段階のバージョン情報を含み、前記メインコントローラは、少なくとも上位のバージョン情報が一致したときに、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報又はその組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定することを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of update programs necessary for each unit controller, and whether or not the combination of version information of update programs provided to each unit controller matches the version combination data. And a function of providing an update program to each unit controller when it is determined that the combination of version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data .
The version information of the update program and the control program includes at least upper and lower two-stage version information, and the main controller provides an update program to be provided to each unit controller when at least the upper version information matches. An update system for a control program of a semiconductor manufacturing apparatus, wherein version information or a combination thereof is determined to be coincident with the version combination data .
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、
前記更新プログラム及び前記制御プログラムのバージョン情報が、少なくとも上位及び下位の２段階のバージョン情報を含み、前記メインコントローラは、少なくとも上位のバージョン情報が一致したときに、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報又はその組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定することを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs necessary for each unit controller, and whether or not the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data. A function of determining, and a function of providing an update program to each unit controller when it is determined that version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data ,
The version information of the update program and the control program includes at least upper and lower two-stage version information, and the main controller provides an update program to be provided to each unit controller when at least the upper version information matches. An update system for a control program of a semiconductor manufacturing apparatus, wherein version information or a combination thereof is determined to be coincident with the version combination data .
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合、それらの更新プログラムのバージョン情報を前記バージョン組合せデータの対応するバージョン情報と置き換えた上で、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正であるときに、前記一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、
前記更新プログラム及び前記制御プログラムのバージョン情報が、少なくとも上位及び下位の２段階のバージョン情報を含み、前記メインコントローラは、上位のバージョン情報を使用して、前記バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定することを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs provided to each unit controller, and when providing an update program to a part or all of the unit controllers, the version of those update programs A function for determining whether or not the version combination data after the replacement of the version information is appropriate after replacing the information with the corresponding version information of the version combination data, and part or all of the information when the determination is appropriate With a function to provide an update program to each unit controller ,
The version information of the update program and the control program includes at least upper and lower two-stage version information, and the main controller uses the upper version information and the version combination data after the replacement of the version information is appropriate. update system control program of the semiconductor manufacturing apparatus characterized by determining whether.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能と、起動時に、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報の組合せを確認し、そのバージョン情報の組合せが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正でないときに、ユニットコントローラに更新プログラムを再提供する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of update programs necessary for each unit controller, and whether or not the combination of version information of update programs provided to each unit controller matches the version combination data. A function for determining whether the combination of version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data, a function for providing an update program to each unit controller, and at startup, A function that checks the combination of version information of the control programs of each unit controller and determines whether the combination of version information is appropriate. Update system control program of the semiconductor manufacturing apparatus characterized by comprising a function of.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能と、起動時に、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報の組合せを確認し、そのバージョン情報の組合せが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正でないときに、ユニットコントローラに更新プログラムを再提供する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs necessary for each unit controller, and whether or not the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data. A function for providing an update program to each unit controller when it is determined that the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data; A function that checks the combination of version information of the control program, determines whether the combination of version information is appropriate, and a function that re-provides an update program to the unit controller when the combination is not correct Update system control program of the semiconductor manufacturing apparatus characterized by a.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合、それらの更新プログラムのバージョン情報を前記バージョン組合せデータの対応するバージョン情報と置き換えた上で、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正であるときに、前記一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能と、起動時に、各ユニットコントローラの制御プログラムのバージョン情報の組合せを確認し、そのバージョン情報の組合せが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正でないときに、ユニットコントローラに更新プログラムを再提供する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs provided to each unit controller, and when providing an update program to a part or all of the unit controllers, the version of those update programs A function for determining whether or not the version combination data after the replacement of the version information is appropriate after replacing the information with the corresponding version information of the version combination data, and part or all of the information when the determination is appropriate A function that provides each unit controller with an update program, a function that checks the combination of version information of the control program of each unit controller at startup, and determines whether or not the combination of version information is appropriate. If not right To update the system control program of the semiconductor manufacturing apparatus characterized by comprising a function to re-provide an update to the unit controller.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、
前記ユニットコントローラは、メインコントローラから提供される更新プログラムに付加された付加情報に基づき、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定する機能と、前記提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合すると判定されたときに、その更新プログラムにより制御プログラムを更新する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of update programs necessary for each unit controller, and whether or not the combination of version information of update programs provided to each unit controller matches the version combination data. And a function of providing an update program to each unit controller when it is determined that the combination of version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data.
The unit controller has a function of determining whether the provided update program is compatible with the unit controller based on additional information added to the update program provided from the main controller, and the provided update program A control program update system for a semiconductor manufacturing apparatus, comprising: a function for updating a control program by the update program when it is determined that the unit controller is compatible.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、
前記ユニットコントローラは、メインコントローラから提供される更新プログラムに付加された付加情報に基づき、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定する機能と、前記提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合すると判定されたときに、その更新プログラムにより制御プログラムを更新する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs necessary for each unit controller, and whether or not the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data. A function of determining, and a function of providing an update program to each unit controller when it is determined that version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data,
The unit controller has a function of determining whether the provided update program is compatible with the unit controller based on additional information added to the update program provided from the main controller, and the provided update program A control program update system for a semiconductor manufacturing apparatus, comprising: a function for updating a control program by the update program when it is determined that the unit controller is compatible .
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合、それらの更新プログラムのバージョン情報を前記バージョン組合せデータの対応するバージョン情報と置き換えた上で、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正であるときに、前記一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、
前記ユニットコントローラは、メインコントローラから提供される更新プログラムに付加された付加情報に基づき、提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合するか否かを判定する機能と、前記提供される更新プログラムが当該ユニットコントローラに適合すると判定されたときに、その更新プログラムにより制御プログラムを更新する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 A semiconductor which is installed for each unit of a semiconductor manufacturing apparatus and provides an update program from a main controller to a unit controller which controls the operation of the unit by executing a control program, and updates the control program of the unit controller by the update program An update system for a control program of a manufacturing apparatus,
The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs provided to each unit controller, and when providing an update program to a part or all of the unit controllers, the version of those update programs A function for determining whether or not the version combination data after the replacement of the version information is appropriate after replacing the information with the corresponding version information of the version combination data, and part or all of the information when the determination is appropriate With a function to provide an update program to each unit controller,
The unit controller has a function of determining whether the provided update program is compatible with the unit controller based on additional information added to the update program provided from the main controller, and the provided update program A control program update system for a semiconductor manufacturing apparatus, comprising: a function for updating a control program by the update program when it is determined that the unit controller is compatible .
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な更新プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報の組合せが前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、 The main controller has version combination data indicating a combination of version information of update programs necessary for each unit controller, and whether or not the combination of version information of update programs provided to each unit controller matches the version combination data. And a function of providing an update program to each unit controller when it is determined that the combination of version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data.
前記ユニットコントローラは、起動時に制御プログラムをチェックする機能と、チェックの結果、制御プログラムにエラーが発見されたときに、メインコントローラに更新プログラムの提供を要求する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 The unit controller has a function of checking a control program at startup, and a function of requesting the main controller to provide an update program when an error is found in the control program as a result of the check. An update system for a control program of a semiconductor manufacturing apparatus.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに必要な制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致するか否かを判定する機能と、各ユニットコントローラに提供する更新プログラムのバージョン情報が前記バージョン組合せデータと一致すると判定されたときに、各ユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、 The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs necessary for each unit controller, and whether or not the version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data. A function of determining, and a function of providing an update program to each unit controller when it is determined that version information of the update program provided to each unit controller matches the version combination data,
前記ユニットコントローラは、起動時に制御プログラムをチェックする機能と、チェックの結果、制御プログラムにエラーが発見されたときに、メインコントローラに更新プログラムの提供を要求する機能とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラムの更新システム。 The unit controller has a function of checking a control program at startup, and a function of requesting the main controller to provide an update program when an error is found in the control program as a result of the check. An update system for a control program of a semiconductor manufacturing apparatus.
前記メインコントローラは、各ユニットコントローラに提供されている制御プログラムのバージョン情報の組合せを示すバージョン組合せデータを有し、一部又は全部のユニットコントローラに更新プログラムを提供する場合、それらの更新プログラムのバージョン情報を前記バージョン組合せデータの対応するバージョン情報と置き換えた上で、バージョン情報置き換え後のバージョン組合せデータが適正か否かを判定する機能と、その判定により適正であるときに、前記一部又は全部のユニットコントローラにそれぞれ更新プログラムを提供する機能とを備え、 The main controller has version combination data indicating a combination of version information of control programs provided to each unit controller, and when providing an update program to a part or all of the unit controllers, the version of those update programs A function for determining whether or not the version combination data after the replacement of the version information is appropriate after replacing the information with the corresponding version information of the version combination data, and part or all of the information when the determination is appropriate With a function to provide an update program to each unit controller,
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