JP6024163B2 - ジャイロセンサー、及び電子機器 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、上記問題点に着目し、角速度をより正確に検出可能なジャイロセンサー及び電子機器を提供することを目的とする。
[適用例1]検出部を備えた駆動質量部と、前記駆動質量部を第1方向に振動させる駆動部と、を有し、前記駆動質量部は、前記第1方向に沿った側壁を備え、前記駆動質量部の前記側壁と対向する位置に、前記駆動質量部の前記第1方向に交差する方向の変位を検出するための検出電極が配置されていることを特徴とするジャイロセンサー。
また、検出部を備えた駆動質量部と、前記駆動質量部を第1方向に振動させる駆動部と、を有し、前記駆動質量部は、前記第1方向に沿った側壁を備え、前記駆動質量部の前記側壁と対向する位置に、前記駆動質量部の前記第1方向に交差する方向の変位を検出する検出電極が配置されていることを特徴とするジャイロセンサー。
また、角速度に応じたコリオリ力により変位する検出部を備えた駆動質量部と、前記駆動質量部を第1方向に振動させる駆動部と、を有し、前記駆動質量部は、前記第1方向に延びる一対の第1梁部と、前記第1方向に交差する方向に延びる一対の第2梁部と、を備え、前記駆動質量部の前記一対の第1梁部の長手方向の一方と他方に設けられ前記第1梁部と対向する位置に、前記駆動部の振動による前記駆動質量部の前記第1方向に交差する方向の変位を検出する検出電極が配置されていることを特徴とするジャイロセンサー。
上記構成により、駆動質量部の変位を、各検出電極と駆動質量部との間の静電容量の差分により検出することができるので、駆動質量部の感応性軸方向の変位を高感度に検出することができる。
特に、検出電極を第1梁部の長手方向の両端に配置した場合、各検出電極と駆動質量部との間の静電容量の変化にもとづいて各検出電極に印加する印加電圧を制御することにより、各検出電極の駆動質量部に対する静電引力を制御して駆動質量部の感応性軸方向の振動の振幅を低減することができる。これにより、検出される角速度における、駆動質量部の感応性軸方向の成分を低減することができる。
また、前記駆動部は、前記第1方向に沿って前記駆動質量部の前記第1梁部に設けられ、前記検出電極は、前記駆動部に隣接して配置されていることを特徴とする適用例1乃至4のいずれか1例に記載にジャイロセンサー。
また、前記駆動質量部の前記第1梁部と、前記第1梁部に対向する前記検出電極の側壁と、からは、電極指がそれぞれ振幅方向に並ぶように交互に延出していることを特徴とする適用例1乃至5のいずれか1例に記載のジャイロセンサー。
また、前記検出電極は、前記駆動質量部の前記第1梁部に対向する側が幅広となっていることを特徴とする適用例1乃至6のいずれか1例に記載のジャイロセンサー。
[適用例9]適用例1乃至8のいずれか1例に記載のジャイロセンサーを搭載したことを特徴とする電子機器。
上記構成により、角速度をより正確に測定可能な電子機器となる。
端子24Hは、導電膜22Hを介して接合配線50Bに電気的に接続される。接合配線50Bは、導電膜22Nを介して、固定電極46Bを電気的に並列に接続している。これにより、端子24Hは、接合配線50B、導電膜22Nを介して固定電極46Bに電気的に接続される。
Claims (6)
- 角速度に応じたコリオリ力により変位する検出部を備えた駆動質量部と、
前記駆動質量部を第1方向に振動させる駆動部と、を有し、
前記駆動質量部は、前記第1方向に延びる一対の第1梁部と、前記第1方向に交差する方向に延びる一対の第2梁部と、を備え、
前記駆動質量部の前記一対の第1梁部の長手方向の一方と他方に設けられ前記第1梁部と対向する位置に、前記駆動部の振動による前記駆動質量部の前記第1方向に交差する方向の変位を検出する検出電極が配置されていることを特徴とするジャイロセンサー。 - 前記駆動部は、前記第1方向に沿って前記駆動質量部の前記第1梁部に設けられ、
前記検出電極は、
前記駆動部に隣接して配置されていることを特徴とする請求項1に記載にジャイロセンサー。 - 前記駆動質量部の前記第1梁部と、前記第1梁部に対向する前記検出電極の側壁と、からは、電極指がそれぞれ振幅方向に並ぶように交互に延出していることを特徴とする請求項1又は2に記載のジャイロセンサー。
- 前記検出電極は、前記駆動質量部の前記第1梁部に対向する側が幅広となっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のジャイロセンサー。
- 前記駆動質量部とベース基板とを接続している駆動バネと、を備え、
平面視にて、前記駆動バネを通過し、前記第1方向と直交する第1仮想線と、前記駆動部を通過し、前記第1方向と直交する第2仮想線と、を有し、
前記検出部は、前記第1仮想線と前記第2仮想線との間に設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のジャイロセンサー - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のジャイロセンサーを搭載したことを特徴とする電子機器。
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