JP6023367B1 - キャリア付銅箔、積層体、プリント配線板の製造方法及び電子機器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記キャリア付銅箔がキャリアの両方の面に極薄銅層を有し、前記一方または両方の極薄銅層の上に前記表面処理層を有する場合において、前記一方または両方の極薄銅層と表面処理層との間に、
クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層を有する。
前記キャリア付銅箔がキャリアの両方の面に極薄銅層を有し、前記一方または両方の極薄銅層の上に前記表面処理層を有する場合において、前記一方または両方の表面処理層表面に、
クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層を有する。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板とを積層する工程、及び、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板とを積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程を経て銅張積層板を形成し、
その後、セミアディティブ法、サブトラクティブ法、パートリーアディティブ法又はモディファイドセミアディティブ法のいずれかの方法によって、回路を形成する工程を含むプリント配線板の製造方法である。
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層を形成した後に、前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程、及び、
前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させた後に、前記極薄銅層または前記キャリアを除去することで、前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含むプリント配線板の製造方法である。
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成した後に、前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程、及び、
前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させた後に、前記極薄銅層または前記キャリアを除去することで、前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含む。
前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に回路を形成する工程、
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層を形成した後に、前記キャリアを剥離させる工程、及び、
前記キャリアを剥離させた後に、前記極薄銅層を除去することで、前記極薄銅層側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含む。
前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に回路を形成する工程、
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成した後に、前記キャリアを剥離させる工程、及び、
前記キャリアを剥離させた後に、前記極薄銅層を除去することで、前記極薄銅層側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含む。
前記キャリア付銅箔の樹脂基板と積層した側とは反対側の極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に樹脂層と回路との2層を、少なくとも1回設ける工程、及び、
前記樹脂層及び回路の2層を形成した後に、前記キャリア付銅箔から前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程
を含むプリント配線板の製造方法である。
前記キャリア付銅箔の樹脂基板と積層した側とは反対側の極薄銅層側表面に樹脂層と回路との2層を、少なくとも1回設ける工程、及び、
前記樹脂層及び回路の2層を形成した後に、前記キャリア付銅箔から前記キャリアを剥離させる工程
を含む。
前記樹脂層及び回路の2層を形成した後に、前記積層体を構成しているキャリア付銅箔から前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程
を含むプリント配線板の製造方法である。
本発明のキャリア付銅箔は、キャリアと、中間層と、極薄銅層と、表面処理層とをこの順に備える。キャリア付銅箔自体の使用方法として公知のキャリア付銅箔の使用方法を用いることができる。例えば極薄銅層上の表面処理層表面またはキャリア表面を紙基材フェノール樹脂、紙基材エポキシ樹脂、合成繊維布基材エポキシ樹脂、ガラス布・紙複合基材エポキシ樹脂、ガラス布・ガラス不織布複合基材エポキシ樹脂及びガラス布基材エポキシ樹脂、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等の絶縁基板に貼り合わせて熱圧着後に極薄銅層またはキャリアを剥がし、極薄銅層またはキャリアを目的とする導体パターンにエッチングし、最終的にプリント配線板を製造することができる。
表面処理層がZnとNiとからなるZn合金である場合には、表面処理層中のZn比率(質量%)〔=Znの付着量(μg/dm2)/{Znの付着量(μg/dm2)+Niの付着量(μg/dm2)}×100〕を51質量%以上に制御する。表面処理層中のZn比率を51質量%以上と高くすることで、Niによる回路形成性の劣化を抑制し、回路形成性を向上させるためである。前記表面処理層中のZn比率(質量%)の上限値としては、100質量%未満であるのが好ましく、99.9質量%以下であるのがより好ましく、99質量%以下であるのが更により好ましく、98質量%以下であるのが更により好ましく、97質量%以下であるのが更により好ましく、95質量%以下であるのが更により好ましく、85質量%以下であるのが更により好ましく、65質量%以下であるのが更により好ましく、60質量%以下であるのが更により好ましく、55質量%以下であるのが更により好ましい。また、前記表面処理層中のZn比率(質量%)は、51質量%以上100質量%未満とするのが好ましく、52〜97質量%とするのがより好ましく、55〜97質量%とするのが更により好ましく、60〜95質量%とするのが更により好ましい。Zn比率を100%よりも低い値とすることで、樹脂と極薄銅層との間に薬品が染み込む可能性を低減でき、例えば樹脂と極薄銅層との積層体を薬品に浸漬させた場合の、当該積層体の耐薬品性を向上する効果が有る。
キャリア付銅箔の極薄銅層側表面の表面粗さRzの制御は、キャリアの極薄銅層側の表面粗さRzを制御するか、極薄銅層形成時のめっき液の組成を制御することで(例えば光沢剤を添加する。)、行うことができる。
キャリア付銅箔のキャリア側表面のRzの制御は、キャリア表面をエッチング等の化学研磨やショットブラストやバフ研磨等の機械研磨をすることで、また、キャリアが電解金属箔である場合には、キャリア製造時のめっき液の組成を制御するか、電解ドラムの表面粗さを制御することで、また、キャリアが圧延金属箔である場合には、圧延ロールの表面粗さを制御することで、行うことができる。
本発明に用いることのできるキャリアは金属箔または樹脂フィルムである。キャリアとして金属箔を用いる場合には、例えばキャリアは銅箔、銅合金箔、ニッケル箔、ニッケル合金箔、鉄箔、鉄合金箔、ステンレス箔、アルミニウム箔、アルミニウム合金箔等の形態で提供される。キャリアとして樹脂フィルムを用いる場合には、例えばポリイミドフィルム、絶縁樹脂フィルム、LCP(液晶ポリマー)フィルム、PETフィルム、フッ素樹脂フィルム、ポリアミドフィルム、ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム、ポリアミドイミドフィルムの形態で提供される。
本発明に用いることのできるキャリアは典型的には圧延銅箔や電解銅箔の形態で提供される。一般的には、電解銅箔は硫酸銅めっき浴からチタンやステンレスのドラム上に銅を電解析出して製造され、圧延銅箔は圧延ロールによる塑性加工と熱処理を繰り返して製造される。銅箔の材料としてはタフピッチ銅(JIS H3100 合金番号C1100)や無酸素銅(JIS H3100 合金番号C1020またはJIS H3510 合金番号C1011)といった高純度の銅の他、例えばSn入り銅、Ag入り銅、Cr、Zr又はMg等を添加した銅合金、Ni及びSi等を添加したコルソン系銅合金のような銅合金も使用可能である。なお、本明細書において用語「銅箔」を単独で用いたときには銅合金箔も含むものとする。
なお、キャリアの極薄銅層を設ける側の表面とは反対側の表面に粗化処理層を設けてもよい。当該粗化処理層を公知の方法を用いて設けてもよく、後述の粗化処理により設けてもよい。キャリアの極薄銅層を設ける側の表面とは反対側の表面に粗化処理層を設けることは、キャリアを当該粗化処理層を有する表面側から樹脂基板などの支持体に積層する際、キャリアと樹脂基板が剥離し難くなるという利点を有する。
<電解液組成>
銅:80〜110g/L
硫酸:70〜110g/L
塩素:10〜100質量ppm
ニカワ:0.01〜15質量ppm、好ましくは1〜10質量ppm(なお、ニカワ濃度が5質量ppm以上である場合については、塩素は不要である。)
<電解液組成>
銅:90〜110g/L
硫酸:90〜110g/L
塩素:50〜100mg/L
レベリング剤1(ビス(3−スルフォプロピル)ジスルフィド):10〜50mg/L
レベリング剤2(ジアルキルアミノ基含有重合体):10〜50mg/L
上記のジアルキルアミノ基含有重合体には例えば以下の化学式のジアルキルアミノ基含有重合体を用いることができる。
<製造条件>
電流密度:50〜200A/dm2
電解液温度:40〜70℃
電解液線速:3〜5m/sec
電解時間:0.5〜10分間
キャリアの片面又は両面上には中間層を設ける。キャリアと中間層との間には他の層を設けてもよい。本発明で用いる中間層は、キャリア付銅箔が絶縁基板への積層工程前にはキャリアから極薄銅層が剥離し難い一方で、絶縁基板への積層工程後にはキャリアから極薄銅層が剥離可能となるような構成であれば特に限定されない。例えば、本発明のキャリア付銅箔の中間層はCr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Zn、これらの合金、これらの水和物、これらの酸化物、有機物からなる群から選択される一種又は二種以上を含んでも良い。また、中間層は複数の層であっても良い。
また、例えば、中間層はキャリア側からCr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種の元素からなる単一金属層、或いは、Cr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種又は二種以上の元素を含む合金層または前述の元素群から選択された一種又は二種以上の元素からなる合金層を形成し、その上にCr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種又は二種以上の元素の水和物または酸化物または有機物からなる層を形成することで構成することができる。
また、例えば、中間層はキャリア側からCr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種の元素からなる単一金属層、或いは、Cr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種又は二種以上の元素を含む合金層または前述の元素群から選択された一種又は二種以上の元素からなる合金層を2層以上形成することで構成することができる。
また、例えば、中間層はキャリア側から有機物層を形成し、その上に、Cr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種の元素からなる単一金属層、或いは、Cr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、P、Cu、Al、Znで構成された元素群から選択された一種又は二種以上の元素を含む合金層または前述の元素群から選択された一種又は二種以上の元素からなる合金層を形成することで構成することができる。
中間層を片面にのみ設ける場合、キャリアの反対面にはNiめっき層などの防錆層を設けることが好ましい。なお、中間層をクロメート処理や亜鉛クロメート処理やめっき処理で設けた場合には、クロムや亜鉛など、付着した金属の一部は水和物や酸化物となっている場合があると考えられる。
また、例えば、中間層は、キャリア上に、ニッケル、ニッケル−リン合金又はニッケル−コバルト合金と、クロムとがこの順で積層されて構成することができる。ニッケルと銅との接着力はクロムと銅の接着力よりも高いので、極薄銅層を剥離する際に、極薄銅層とクロムとの界面で剥離するようになる。また、中間層のニッケルにはキャリアから銅成分が極薄銅層へと拡散していくのを防ぐバリア効果が期待される。中間層におけるニッケルの付着量は好ましくは100μg/dm2以上40000μg/dm2以下、より好ましくは100μg/dm2以上4000μg/dm2以下、より好ましくは100μg/dm2以上2500μg/dm2以下、より好ましくは100μg/dm2以上1000μg/dm2未満であり、中間層におけるクロムの付着量は5μg/dm2以上100μg/dm2以下であることが好ましい。中間層を片面にのみ設ける場合、キャリアの反対面にはNiめっき層などの防錆層を設けることが好ましい。
なお、中間層がモリブデン、コバルト、タングステンのいずれか一種以上を含む場合には、当該元素の付着量はそれぞれ5μg/dm2以上、50μg/dm2以上であることが好ましく、3000μg/dm2以下、2000μg/dm2以下、1000μg/dm2以下であることがキャリアと極薄銅層とのより良好な剥離性を得ることができるために好ましい。
中間層が含有する有機物としては、窒素含有有機化合物、硫黄含有有機化合物及びカルボン酸の中から選択される1種又は2種以上からなるものを用いることが好ましい。窒素含有有機化合物、硫黄含有有機化合物及びカルボン酸のうち、窒素含有有機化合物は、置換基を有する窒素含有有機化合物を含んでいる。具体的な窒素含有有機化合物としては、置換基を有するトリアゾール化合物である1,2,3−ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、N’,N’−ビス(ベンゾトリアゾリルメチル)ユリア、1H−1,2,4−トリアゾール及び3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール等を用いることが好ましい。
硫黄含有有機化合物には、メルカプトベンゾチアゾール、チオシアヌル酸及び2−ベンズイミダゾールチオール等を用いることが好ましい。
カルボン酸としては、特にモノカルボン酸を用いることが好ましく、中でもオレイン酸、リノール酸及びリノレイン酸等を用いることが好ましい。
前述の有機物は厚みで5nm以上80nm以下含有するのが好ましく、10nm以上70nm以下含有するのがより好ましい。
中間層の上には極薄銅層を設ける。中間層と極薄銅層との間には他の層を設けてもよい。極薄銅層は、硫酸銅、ピロリン酸銅、スルファミン酸銅、シアン化銅等の電解浴を利用した電気めっきにより形成することができ、一般的な電解銅箔で使用され、高電流密度での銅箔形成が可能であることから硫酸銅浴が好ましい。極薄銅層の厚みは特に制限はないが、一般的にはキャリアよりも薄く、例えば12μm以下である。典型的には0.01〜12μmであり、より典型的には0.05〜12μmであり、より典型的には0.1〜12μmであり、より典型的には0.15〜12μmであり、より典型的には0.2〜12μmであり、より典型的には0.3〜12μmであり、より典型的には0.5〜12μmであり、より典型的には1〜6μm、更に典型的には1.5〜5μm、更に典型的には2〜5μmである。なお、プリント配線板等の製造時におけるキャリア付銅箔の加工のしやすさを考慮すると、極薄銅層の厚みは1〜7μmが好ましく、より好ましくは1.5〜6μmであり、より好ましくは2〜6μmであり、より好ましくは2〜5μmであり、より好ましくは3〜5μmである。なお、キャリアの両面に極薄銅層を設けてもよい。
表面処理層をZnまたはZn合金で構成し、且つ、表面処理層におけるZnの付着量を30μg/dm2以上に制御することで、極薄銅層表面の酸化変色を良好に抑制することができる。極薄銅層表面の一部が酸化変色していると、プリント配線板の製造工程中で用いられる各種の表面処理、エッチング処理が不均一になることがあるため、絶縁基板との加熱圧着後の酸化変色を抑制することは重要である。また、表面処理層におけるZnの付着量を300μg/dm2以下に制御することで、絶縁基板へ加熱圧着によって貼り合わせたときのフクレの発生を良好に抑制することができる。Znの付着量が300μg/dm2を超えるとフクレが発生しやすくなる理由は必ずしも明らかではないが、絶縁基板との加熱圧着時の熱により表面処理層中のZnが極薄銅層内に拡散して中間層に到達し、中間層の成分と反応してフクレが生じていると推察される。表面処理層におけるZnの付着量は、好ましくは50〜280μg/dm2、より好ましくは80〜240μg/dm2である。
本発明の表面処理層は、耐熱層または防錆層として用いることもできる。
極薄銅層と表面処理層との間に、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層を設けても良い。また、表面処理層表面に、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層を設けても良い。また、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層が、表面処理層表面にこの順で設けられたクロメート処理層及びシランカップリング処理層であってもよい。キャリア表面に、シランカップリング処理層を設けても良い。キャリア表面にシランカップリング処理層を設けることでキャリア側の表面を絶縁基板に貼り合わせる時の密着性を高めることができる。
前記シランカップリング処理層は、公知のシランカップリング剤を使用して形成してもよく、エポキシ系シラン、アミノ系シラン、メタクリロキシ系シラン、メルカプト系シラン、ビニル系シラン、イミダゾール系シラン、トリアジン系シランなどのシランカップリング剤などを使用して形成してもよい。なお、このようなシランカップリング剤は、2種以上混合して使用してもよい。中でも、アミノ系シランカップリング剤又はエポキシ系シランカップリング剤を用いて形成したものであることが好ましい。
また、極薄銅層、耐熱層、防錆層、シランカップリング処理層またはクロメート処理層の表面に、国際公開番号WO2008/053878、特開2008−111169号、特許第5024930号、国際公開番号WO2006/028207、特許第4828427号、国際公開番号WO2006/134868、特許第5046927号、国際公開番号WO2007/105635、特許第5180815号、特開2013−19056号に記載の表面処理を行うことができる。
前記リン含有エポキシ樹脂として公知のリンを含有するエポキシ樹脂を用いることができる。また、前記リン含有エポキシ樹脂は例えば、分子内に2以上のエポキシ基を備える9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキサイドからの誘導体として得られるエポキシ樹脂であることが好ましい。
この樹脂層の厚みは0.1〜80μmであることが好ましい。
また、当該プリント配線板を用いて電子機器を作製してもよく、当該電子部品類が搭載されたプリント回路板を用いて電子機器を作製してもよく、当該電子部品類が搭載されたプリント基板を用いて電子機器を作製してもよい。以下に、本発明に係るキャリア付銅箔を用いたプリント配線板の製造工程の例を幾つか示す。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法によりすべて除去する工程、
前記極薄銅層をエッチングにより除去することにより露出した前記樹脂にスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記樹脂および前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について無電解めっき層を設ける工程、
前記無電解めっき層の上にめっきレジストを設ける工程、
前記めっきレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のめっきレジストを除去する工程、
前記めっきレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解めっき層を設ける工程、
前記めっきレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解めっき層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層と、前記絶縁樹脂基板とにスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法によりすべて除去する工程、
前記極薄銅層をエッチング等により除去することにより露出した前記樹脂および前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について無電解めっき層を設ける工程、
前記無電解めっき層の上にめっきレジストを設ける工程、
前記めっきレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のめっきレジストを除去する工程、
前記めっきレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解めっき層を設ける工程、
前記めっきレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解めっき層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層と、前記絶縁樹脂基板とにスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法によりすべて除去する工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記極薄銅層をエッチング等により除去することにより露出した前記樹脂および前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について無電解めっき層を設ける工程、
前記無電解めっき層の上にめっきレジストを設ける工程、
前記めっきレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のめっきレジストを除去する工程、
前記めっきレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解めっき層を設ける工程、
前記めっきレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解めっき層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法によりすべて除去する工程、
前記極薄銅層をエッチングにより除去することにより露出した前記樹脂の表面について無電解めっき層を設ける工程、
前記無電解めっき層の上にめっきレジストを設ける工程、
前記めっきレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のめっきレジストを除去する工程、
前記めっきレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解めっき層を設ける工程、
前記めっきレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解めっき層及び極薄銅層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層と絶縁基板にスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について無電解めっき層を設ける工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層表面にめっきレジストを設ける工程、
前記めっきレジストを設けた後に、電解めっきにより回路を形成する工程、
前記めっきレジストを除去する工程、
前記めっきレジストを除去することにより露出した極薄銅層をフラッシュエッチングにより除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層の上にめっきレジストを設ける工程、
前記めっきレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のめっきレジストを除去する工程、
前記めっきレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解めっき層を設ける工程、
前記めっきレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解めっき層及び極薄銅層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層と絶縁基板にスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について触媒核を付与する工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層表面にエッチングレジストを設ける工程、
前記エッチングレジストに対して露光し、回路パターンを形成する工程、
前記極薄銅層および前記触媒核を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法により除去して、回路を形成する工程、
前記エッチングレジストを除去する工程、
前記極薄銅層および前記触媒核を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法により除去して露出した前記絶縁基板表面に、ソルダレジストまたはメッキレジストを設ける工程、
前記ソルダレジストまたはメッキレジストが設けられていない領域に無電解めっき層を設ける工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層と絶縁基板にスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について無電解めっき層を設ける工程、
前記無電解めっき層の表面に、電解めっき層を設ける工程、
前記電解めっき層または/および前記極薄銅層の表面にエッチングレジストを設ける工程、
前記エッチングレジストに対して露光し、回路パターンを形成する工程、
前記極薄銅層および前記無電解めっき層および前記電解めっき層を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法により除去して、回路を形成する工程、
前記エッチングレジストを除去する工程、
を含む。
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板を積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程、
前記キャリアを剥がして露出した極薄銅層と絶縁基板にスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について無電解めっき層を設ける工程、
前記無電解めっき層の表面にマスクを形成する工程、
マスクが形成されいない前記無電解めっき層の表面に電解めっき層を設ける工程、
前記電解めっき層または/および前記極薄銅層の表面にエッチングレジストを設ける工程、
前記エッチングレジストに対して露光し、回路パターンを形成する工程、
前記極薄銅層および前記無電解めっき層を酸などの腐食溶液を用いたエッチングやプラズマなどの方法により除去して、回路を形成する工程、
前記エッチングレジストを除去する工程、
を含む。
まず、表面に表面処理層が形成された極薄銅層を有するキャリア付銅箔(1層目)を準備する。なお、当該工程で表面に表面処理層が形成されたキャリアを有するキャリア付銅箔(1層目)を準備してもよい。
次に、極薄銅層の表面処理層上にレジストを塗布し、露光・現像を行い、レジストを所定の形状にエッチングする。なお、当該工程でキャリアの表面処理層上にレジストを塗布し、露光・現像を行い、レジストを所定の形状にエッチングしてもよい。
次に、回路用のめっきを形成した後、レジストを除去することで、所定の形状の回路めっきを形成する。
次に、回路めっきを覆うように(回路めっきが埋没するように)極薄銅層上に埋め込み樹脂を設けて樹脂層を積層し、続いて別のキャリア付銅箔(2層目)を表面処理層側から接着させる。なお、当該工程で回路メッキを覆うように(回路メッキが埋没するように)キャリア上に埋め込み樹脂を設けて樹脂層を積層し、続いて別のキャリア付銅箔(2層目)をキャリア側または表面処理層側から接着させてもよい。
次に、2層目のキャリア付銅箔からキャリアを剥がす。なお、2層目のキャリア付銅箔をキャリア側から接着させた場合には、2層目のキャリア付銅箔から極薄銅層を剥がしてもよい。
次に、樹脂層の所定位置にレーザー穴あけを行い、回路めっきを露出させてブラインドビアを形成する。
次に、ブラインドビアに銅を埋め込みビアフィルを形成する。
次に、ビアフィル上に回路めっきを形成する。
次に、1層目のキャリア付銅箔からキャリアを剥がす。なお、当該工程で1層目のキャリア付銅箔から極薄銅層を剥がしてもよい。
次に、フラッシュエッチングにより両表面の極薄銅層(2層目に銅箔を設けた場合には銅箔、1層目の回路用のメッキをキャリアの表面処理層上に設けた場合にはキャリア)を除去し、樹脂層内の回路めっきの表面を露出させる。
次に、樹脂層内の回路めっき上にバンプを形成し、当該はんだ上に銅ピラーを形成する。このようにして本発明のキャリア付銅箔を用いたプリント配線板を作製する。
なお、上述のプリント配線板の製造方法で、「極薄銅層」をキャリアに、「キャリア」を極薄銅層に読み替えて、キャリア付銅箔のキャリア側の表面に回路を形成して、樹脂で回路を埋め込み、プリント配線板を製造することも可能である。
なお、本明細書において、「積層体A」または「積層体B」と特に記載していない「積層体」は、少なくとも積層体A及び積層体Bを含む積層体を示す。
(a)冶金的接合方法:融接(アーク溶接、TIG(タングステン・イナート・ガス)溶接、MIG(メタル・イナート・ガス)溶接、抵抗溶接、シーム溶接、スポット溶接)、圧接(超音波溶接、摩擦撹拌溶接)、ろう接;
(b)機械的接合方法:かしめ、リベットによる接合(セルフピアッシングリベットによる接合、リベットによる接合)、ステッチャー;
(c)物理的接合方法:接着剤、(両面)粘着テープ
前述した積層体に用いる樹脂基板、樹脂層、樹脂、プリプレグは、本明細書に記載した樹脂層であってもよく、本明細書に記載した樹脂層に用いる樹脂、樹脂硬化剤、化合物、硬化促進剤、誘電体、反応触媒、架橋剤、ポリマー、プリプレグ、骨格材等を含んでもよい。
なお、前述のキャリア付銅箔または積層体は平面視したときに樹脂又はプリプレグ又は樹脂基板又は樹脂層よりも小さくてもよい。
〔キャリア〕
以下の条件にて電解銅箔を作製し、キャリアとした。なお、キャリアの厚みは18〜300μmとした。
(実施例および比較例のキャリアの製造条件)
・電解銅箔(通常)
<電解液組成>
銅:80〜110g/L
硫酸:70〜110g/L
塩素:10〜100質量ppm
ニカワ:0.01〜15質量ppm
<製造条件>
電流密度:50〜200A/dm2
電解液温度:40〜70℃
電解液線速:3〜5m/sec
電解時間:0.5〜10分間
なお、にかわ濃度を高くする、および又は、電流密度を低くすることで、電解銅箔の表面粗さRzの値を小さくすることができる。また、電解銅箔を製造する際に使用する電解ドラムの表面を研磨ブラシやバフ等で研磨して、通常よりも電解ドラムの表面の粗さを小さくすることで、電解銅箔の表面粗さRzの値を小さくすることができる。
<電解液組成>
銅:90〜110g/L
硫酸:90〜110g/L
塩素:50〜100mg/L
レベリング剤1(ビス(3−スルフォプロピル)ジスルフィド):10〜50mg/L
レベリング剤2(ジアルキルアミノ基含有重合体):10〜50mg/L
上記のジアルキルアミノ基含有重合体には例えば以下の化学式のジアルキルアミノ基含有重合体を用いることができる。
電流密度:50〜200A/dm2
電解液温度:40〜70℃
電解液線速:3〜5m/sec
電解時間:0.5〜10分間
なお、レベリング剤1および/またはレベリング剤2の濃度を高くすることで、電解銅箔の表面粗さRzの値を小さくすることができる。
JX日鉱日石金属株式会社製のJIS H3100 合金番号C1100で規格されるタフピッチ銅の組成を有する厚み18μmの圧延銅箔を用いた。
各実施例、比較例について、キャリアの極薄銅層を設ける側の表面にNi層形成処理と電解クロメート処理とをこの順で行い、中間層を設けた。
・Ni層形成処理
銅箔のシャイニー面に対して、以下の条件でロール・トウ・ロール型の連続めっきラインで電気めっきすることにより8000μg/dm2の付着量のNi層を形成した。
<電解液組成>
硫酸ニッケル:270〜280g/L
塩化ニッケル:35〜45g/L
酢酸ニッケル:10〜20g/L
クエン酸三ナトリウム:15〜25g/L
光沢剤:サッカリン、ブチンジオール等
ドデシル硫酸ナトリウム:55〜75質量ppm
pH:4〜6
<製造条件>
電解液温度:55〜65℃
電流密度:7〜11A/dm2
水洗及び酸洗後、引き続き、ロール・トウ・ロール型の連続めっきライン上で、Ni層の上に11μg/dm2の付着量のCr層を以下の条件で電解クロメート処理することにより付着させた。
<電解液組成>
重クロム酸カリウム1〜10g/L
pH:7〜10
<製造条件>
電解液温度:40〜60℃
電流密度:0.1〜2.6A/dm2
クーロン量:0.5〜30As/dm2
引き続き、ロール・トウ・ロール型の連続めっきライン上で、中間層の上に厚み1〜5μmの極薄銅層を以下の条件で電気めっきすることにより形成し、キャリア付銅箔を製造した。
・めっき浴A
銅濃度:30〜120g/L
H2SO4濃度:20〜120g/L
・めっき浴B
銅:90〜110g/L
H2SO4:90〜110g/L
塩素:50〜100mg/L
レベリング剤1(ビス(3−スルフォプロピル)ジスルフィド):10〜50mg/L
レベリング剤2(ジアルキルアミノ基含有重合体):10〜50mg/L
上記のジアルキルアミノ基含有重合体には例えば以下の化学式のジアルキルアミノ基含有重合体を用いることができる。
・めっき条件
電解液温度:20〜80℃
電流密度:10〜100A/dm2
極薄銅層表面に以下の表面処理、電解クロメート処理、及び、シランカップリング処理をこの順に行った。なお、実施例11については電解クロメート処理及びシランカップリング処理を行わなかった。また、実施例9については電解クロメート処理を行わなかった。また、実施例10についてはシランカップリング処理を行わなかった。
・表面処理
表1に記載の表面処理条件にて、各実施例及び比較例の極薄銅層表面に表面処理を行った。
比較例8においては、表面処理を行う前に粗化処理を行い、粗化処理層を設けた。粗化処理は、下記に示す銅めっき浴ならびにめっき条件でやけめっきを行った。
・めっき浴
Cu:10g/L
H2SO4:100g/L
・めっき条件
電流密度:80A/dm2
時間:2秒
液温:25℃
<電解液組成>
K2Cr2O7
(Na2Cr2O7或いはCrO3):2〜10g/L
NaOH或いはKOH:10〜50g/L
ZnO或いはZnSO4・7H2O:0.05〜10g/L
pH:7〜13
<製造条件>
電解液温度:20〜80℃
電流密度:0.05〜5A/dm2
時間:5〜30秒
Cr付着量:10〜150μg/dm2
<電解液組成>
ビニルトリエトキシシラン水溶液
(ビニルトリエトキシシラン濃度:0.1〜1.4wt%)
pH:4〜5
<製造条件>
電解液温度:25〜60℃
浸漬時間:5〜30秒
<極薄銅層側表面のZnおよびその他の元素の付着量の測定>
亜鉛(Zn)及びクロム付着量はサンプルを温度が100℃である濃度7質量%の塩酸にて溶解して、VARIAN社製の原子吸光分光光度計(型式:AA240FS)を用いて原子吸光法により定量分析を行うことで測定し、ニッケル付着量はサンプルを濃度20質量%の硝酸で溶解してSII社製のICP発光分光分析装置(型式:SPS3100)を用いてICP発光分析によって測定し、モリブデンおよびその他の元素の付着量はサンプルを硝酸と塩酸の混合液(硝酸濃度:20質量%、塩酸濃度:12質量%)にて溶解して、VARIAN社製の原子吸光分光光度計(型式:AA240FS)を用いて原子吸光法により定量分析を行うことで測定した。
なお、前記亜鉛およびその他の元素の付着量の測定は以下のようにして行った。まず、キャリア付銅箔から極薄銅層を剥離した後、極薄銅層に中間層の一部または全部が付着していない場合には、極薄銅層を上述の方法により溶解した後、上述の方法で測定した。
また、キャリア付銅箔から極薄銅層を剥離した際に、極薄銅層に中間層の一部または全部が付着している場合には、キャリア付銅箔の極薄銅層側表面以外の表面を耐酸性を有するテープ等によりマスキングした後に、マスキングされていないキャリア付銅箔の極薄銅層側表面を上述の方法により溶解した後に、上述の方法で測定した。なお極薄銅層の厚みが1.5μm以上である場合には、極薄銅層側表面を表面から0.5μm厚みのみ溶解した。極薄銅層の厚みが1.5μm未満である場合には、極薄銅層の厚みの30%の厚みを溶解する。
なお、サンプルが上記濃度20質量%の硝酸または上記濃度7質量%の塩酸に溶解しにくい場合には、硝酸と塩酸の混合液(硝酸濃度:20質量%、塩酸濃度:12質量%)にてサンプルを溶解した後に、上述の方法によって、亜鉛およびその他の元素の付着量を測定することができる。
なお、「元素の付着量」とは、サンプル単位面積(1dm2)当たりの当該元素の付着量(質量)のことを言う。
なお、Zn合金におけるZn比率は以下の式に基づいて算出した。
Zn比率(%)=Zn付着量(μg/dm2)/〔Zn付着量(μg/dm2)+Zn以外の元素(Cuを除く)の付着量の合計(μg/dm2)〕×100
また、Zn合金であるか否かの判定が難しい場合には、XPS(エックス線光電子分光法)等の方法により深さ方向(極薄銅層の厚み方向)の各元素の濃度分析ができる装置を用いて、キャリア付銅箔の極薄銅層側表面から深さ方向の各元素の濃度分析を行い、同一の深さ位置においてZnとその他の元素が検出された場合には、Zn合金であると判定することができる。
重量法による極薄銅層の厚みの測定
キャリア付銅箔の重量を測定した後、極薄銅層を引き剥がし、キャリアの重量を測定し、前者と後者との差を極薄銅層の重量と定義する。
・試料の大きさ:10cm角シート(プレス機で打ち抜いた10cm角シート)
・試料の採取:任意の3箇所
以下の式により各試料の重量法による極薄銅層の厚みを算出した。
重量法による極薄銅層の厚み(μm)={(10cm角シートのキャリア付銅箔の重量(g/100cm2))−(前記10cm角シートのキャリア付銅箔から極薄銅層を引き剥がした後の、キャリアの重量(g/100cm2))}/銅の密度(8.96g/cm3)×0.01(100cm2/cm2)×10000μm/cm
なお、試料の重量測定には、小数点以下4桁まで測定可能な精密天秤を使用した。そして、得られた重量の測定値をそのまま上記計算に使用した。
・3箇所の重量法による極薄銅層の厚みの算術平均値を、重量法による極薄銅層の厚みとした。
また、精密天秤にはアズワン株式会社 IBA−200を用い、プレス機は、野口プレス株式会社製HAP−12を用いた。
なお、極薄銅層の上に粗化処理層、表面処理層、クロメート処理層、シランカップリング処理層等の層を形成した場合には、当該粗化処理層、表面処理層、クロメート処理層、シランカップリング処理層等の層を形成した後に上記測定を行った。そのため、本願発明において「極薄銅層の厚み」は、極薄銅層の上に粗化処理層、表面処理層、クロメート処理層、シランカップリング処理層等の層を形成した場合には、極薄銅層の厚みと、粗化処理層、表面処理層、クロメート処理層、シランカップリング処理層等の層の厚みの合計の厚みを意味する。
所定の表面処理層を設けた後(クロメート処理層および/またはシランカップリング処理層を設けたキャリア付銅箔は、その後)のキャリア付銅箔の極薄銅層側表面の表面粗さRzを、JIS B0601−1994に準拠して、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000(LEXT OLS 4000)にて、測定した。Rzを任意に10箇所測定し、そのRzの10箇所の平均値をRzの値とした。また、同様にキャリアの極薄銅層を設ける側の表面の表面粗さRzおよびキャリアの極薄銅層を設ける側とは反対側の表面の表面粗さRzも測定した。
なお、上記Rzについては、極薄銅層及びキャリア表面の観察において評価長さ(基準長さ)257.9μm、カットオフ値ゼロの条件で、キャリアが圧延銅箔である場合は圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、または、キャリアが電解銅箔である場合は電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。表面粗さRzの測定環境温度は23〜25℃とした。
(1)極薄銅層側積層後の剥離強度(A)
作製したキャリア付銅箔の表面処理層側を絶縁基板上に貼り合わせて、真空中、圧力25kgf/cm2、220℃で2時間の条件下で加熱プレスした後、ロードセルにてキャリア側を引っ張り、90°剥離法(JIS C 6471 8.1)に準拠して測定した。
(2)キャリア側積層後、極薄銅層側めっきアップ後の剥離強度(B)
作製したキャリア付銅箔のキャリア側を絶縁基板上に貼り合わせて、表面処理層側の表目に極薄銅層の厚みと銅めっきの厚みとの合計厚みが18μmとなるように銅めっきを形成し、続いて、真空中、圧力25kgf/cm2、220℃で2時間の条件下で加熱プレスした後、ロードセルにて極薄銅層側を引っ張り、90°剥離法(JIS C 6471 8.1)に準拠して測定した。
(3)上記(1)及び(2)で測定した剥離強度の差の絶対値を算出した。
なお、表2の「剥離強度(A)」の欄および「剥離強度(B)」の欄の「×」はキャリア付銅箔からキャリアまたは極薄銅層が剥離できなかったことを意味する。
作製したキャリア付銅箔のキャリア側を絶縁基板上に貼り合わせて、真空中、圧力20kgf/cm2、220℃で2時間の条件下で加熱プレスした後、220℃の空気中で4時間保持し、常温まで冷却した。その後、光学顕微鏡で10cm四方の領域について5視野観察を行って極薄銅層側表面のフクレの個数を目視でカウントし、10cm四方の領域あたりのフクレ個数を、5視野で観察されたフクレ個数の合計値を算術平均することにより算出した。
フクレの評価基準は以下の通りである。
×:10cm四方あたりのフクレ個数が2個以上
○:10cm四方あたりのフクレ個数が1個以上より大きく2個未満
○○:10cm四方あたりのフクレ個数が0個より大きく1個未満
◎:10cm四方あたりのフクレ個数が0個
作製したキャリア付銅箔のキャリア側を絶縁基板上に貼り合わせて、20kgf/cm2、220℃で2時間の条件下で真空加熱プレスした後、極薄銅層表面を目視で確認し、酸化変色を評価した。評価基準は以下の通りである。
×:酸化変色した部分があり、表面色調が不均一
△:全体的に表面色調が茶色に変化
〇:酸化変色していない
キャリア付銅箔(極薄銅層への表面処理を施されたキャリア付銅箔は、当該表面処理後のキャリア付銅箔)を極薄銅層側からビスマレイミドトリアジン樹脂基板に貼り合わせた後、キャリアを剥がし、極薄銅層の厚みが2μmよりも厚い場合には露出した極薄銅層表面をエッチングして極薄銅層の厚みを2μmとし、極薄銅層の厚みが2μmよりも薄い場合には露出した極薄銅層表面に銅めっきを行って極薄銅層と銅めっきの合計厚みを2μmとした。続いて、露出した極薄銅層表面(または露出した極薄銅層表面をエッチングして極薄銅層の厚みを2μmとした極薄銅層表面、または、露出した極薄銅層表面に銅めっきを行って極薄銅層と銅めっきの合計厚みを2μmとした極薄銅層表面)に29μm幅のパターン銅めっき層をL/S=29μm/11μmとなるように形成し(極薄銅層とパターン銅めっき層との厚み合計18.0μm)、続いて以下の条件で、パターン銅めっき層を回路上端幅20μmの銅めっき層となるまでフラッシュエッチングを行った。続いて、図1に示すように、上面観察によって、平面視した際に銅めっき層の幅20μmの回路上端から回路が伸びる方向と直角方向に伸びる銅および/または表面処理層の残渣で構成された裾引き部の、銅めっき層の回路上端から回路が伸びる方向と直角方向の最大長さL(μm)を測定し、裾引きが生じている各箇所を同様に測定し、最大長さが最大のものを採用した。観察は、SEMを用いて1000倍観察した後、100μm×100μmの領域を3箇所観察した。
(エッチング条件)
・エッチング形式:スプレーエッチング
・スプレーノズル:フルコーン型
・スプレー圧:0.10MPa
・エッチング液温:30℃
・エッチング液組成:
H2O2 18g/L
H2SO4 92g/L
Cu 8g/L
添加剤 株式会社JCU製 FE−830IIW3C 適量
残部水
観察した最大裾引き長さLを用いて回路形成性の指標としてエッチングファクタ(EF)を以下の式を用いて計算した。
(EF)=2×18/(L−20)
エッチングファクタが6以上あれば回路断面形状が矩形と考えることができ、回路形成性が良好であると判断した。
試験条件及び試験結果を表1及び2に示す。
実施例1〜14では、剥離強度(A)と剥離強度(B)がともに2〜30gf/cmの範囲で剥離可能であり、かつ剥離強度(A)と剥離強度(B)の差が20gf/cm以下であった。また、フクレの発生が抑制され、酸化変色も無く、回路形成性が良好であった。
比較例1では、表面処理層がないため、酸化変色が発生した。
比較例2、3、4では、それぞれZn付着量が10μg/dm2、25μg/dm2、25μg/dm2と少なく、酸化変色が発生した。また、比較例2、3、5、9〜11はZn比率が51質量%未満と低く、それぞれ回路形成性が不良であった。また、比較例5では、Zn比率が30質量%と低く、回路形成性が不良であった。
比較例6、7では、それぞれZn付着量が320μg/dm2、310μg/dm2と高いため、フクレが発生した。
比較例8では、粗化処理層を設けたため、酸化変色が発生した。
Claims (29)
- キャリアと、中間層と、極薄銅層と、表面処理層とをこの順に備えたキャリア付銅箔であって、
前記極薄銅層表面には粗化処理層が設けられておらず、
前記表面処理層はZnまたはZn合金からなり、且つ、前記表面処理層におけるZnの付着量が30〜300μg/dm2であり、前記表面処理層がZn合金である場合にはZn合金中のZn比率が51質量%以上であるキャリア付銅箔。 - 前記Zn合金が、Znと、Ni、Co、Cu、Mo及びMnからなる群から選択された1種以上の元素とを含む請求項1に記載のキャリア付銅箔。
- 前記Zn合金が、Znと、Ni、Co、Cu、Mo及びMnからなる群から選択された1種以上の元素とからなる請求項1に記載のキャリア付銅箔。
- 前記表面処理層はZnと、CoおよびNiからなる群から選択される1種以上の元素とからなるZn合金であり、前記表面処理層中のZn比率が51質量%以上100質量%未満である請求項1に記載のキャリア付銅箔。
- 前記表面処理層はZnとCoとからなるZn合金であり、前記表面処理層中のZn比率が51質量%以上100質量%未満である請求項1に記載のキャリア付銅箔。
- 前記表面処理層はZnとNiとからなるZn合金であり、前記表面処理層中のZn比率が51質量%以上100質量%未満である請求項1に記載のキャリア付銅箔。
- 前記極薄銅層側表面の表面粗さRzが0.1〜2.0μmである請求項1〜6のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
- 前記キャリアの厚みが5〜500μmである請求項1〜7のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
- 前記極薄銅層の厚みが0.01〜12μmである請求項1〜8のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
- 前記キャリア付銅箔がキャリアの一方の面に極薄銅層を有する場合において、前記極薄銅層と表面処理層との間に、または、
前記キャリア付銅箔がキャリアの両方の面に極薄銅層を有し、前記一方または両方の極薄銅層の上に前記表面処理層を有する場合において、前記一方または両方の極薄銅層と表面処理層との間に、
クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層を有する請求項1〜9のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。 - 前記キャリア付銅箔がキャリアの一方の面に極薄銅層を有する場合において、前記表面処理層表面に、または、
前記キャリア付銅箔がキャリアの両方の面に極薄銅層を有し、前記一方または両方の極薄銅層の上に前記表面処理層を有する場合において、前記一方または両方の表面処理層表面に、
クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層を有する請求項1〜9のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。 - 前記クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層が、前記表面処理層表面にクロメート処理層とシランカップリング処理層とがこの順で設けられた層である請求項11に記載のキャリア付銅箔。
- 前記表面処理層上に、樹脂層を備える請求項1〜10のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
- 前記クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された1種以上の層の上に、樹脂層を備える請求項11又は12に記載のキャリア付銅箔。
- 前記キャリア表面に、シランカップリング処理層を有する請求項1〜14のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔を有する積層体。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔と樹脂とを含む積層体であって、前記キャリア付銅箔の端面の一部または全部が前記樹脂により覆われている積層体。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔を二つと樹脂とを有し、前記二つのキャリア付銅箔のうちの一方のキャリア付銅箔の極薄銅層側表面と、他方のキャリア付銅箔の極薄銅層側表面とがそれぞれ露出するように樹脂に設けられた積層体。
- 一つの請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔を前記キャリア側又は前記極薄銅層側から、もう一つの請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔の前記キャリア側又は前記極薄銅層側に積層した積層体。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔を用いてプリント配線板を製造するプリント配線板の製造方法。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔と絶縁基板とを準備する工程、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板とを積層する工程、及び、
前記キャリア付銅箔と絶縁基板とを積層した後に、前記キャリア付銅箔のキャリアを剥がす工程を経て銅張積層板を形成し、
その後、セミアディティブ法、サブトラクティブ法、パートリーアディティブ法又はモディファイドセミアディティブ法のいずれかの方法によって、回路を形成する工程を含むプリント配線板の製造方法。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に回路を形成する工程、
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層を形成した後に、前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程、及び、
前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させた後に、前記極薄銅層または前記キャリアを除去することで、前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含むプリント配線板の製造方法。 - 前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に回路を形成する工程、
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成した後に、前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程、及び、
前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させた後に、前記極薄銅層または前記キャリアを除去することで、前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含む請求項22に記載のプリント配線板の製造方法。 - 前記キャリア付銅箔を前記キャリア側から樹脂基板に積層する工程、
前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に回路を形成する工程、
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層を形成した後に、前記キャリアを剥離させる工程、及び、
前記キャリアを剥離させた後に、前記極薄銅層を除去することで、前記極薄銅層側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含む請求項22に記載のプリント配線板の製造方法。 - 前記キャリア付銅箔を前記キャリア側から樹脂基板に積層する工程、
前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に回路を形成する工程、
前記回路が埋没するように前記キャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面に樹脂層を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成する工程、
前記樹脂層上に回路を形成した後に、前記キャリアを剥離させる工程、及び、
前記キャリアを剥離させた後に、前記極薄銅層を除去することで、前記極薄銅層側表面に形成した、前記樹脂層に埋没している回路を露出させる工程
を含む請求項22に記載のプリント配線板の製造方法。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔の前記極薄銅層側表面または前記キャリア側表面と樹脂基板とを積層する工程、
前記キャリア付銅箔の樹脂基板と積層した側とは反対側の極薄銅層側表面または前記キャリア側表面に樹脂層と回路との2層を、少なくとも1回設ける工程、及び、
前記樹脂層及び回路の2層を形成した後に、前記キャリア付銅箔から前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程
を含むプリント配線板の製造方法。 - 前記キャリア付銅箔の前記キャリア側表面と樹脂基板とを積層する工程、
前記キャリア付銅箔の樹脂基板と積層した側とは反対側の極薄銅層側表面に樹脂層と回路との2層を、少なくとも1回設ける工程、及び、
前記樹脂層及び回路の2層を形成した後に、前記キャリア付銅箔から前記キャリアを剥離させる工程
を含む請求項26に記載のプリント配線板の製造方法。 - 請求項16〜19のいずれか一項に記載の積層体のいずれか一方または両方の面に樹脂層と回路との2層を、少なくとも1回設ける工程、及び、
前記樹脂層及び回路の2層を形成した後に、前記積層体を構成しているキャリア付銅箔から前記キャリアまたは前記極薄銅層を剥離させる工程
を含むプリント配線板の製造方法。 - 請求項20〜28のいずれか一項に記載の方法で製造されたプリント配線板を用いて電子機器を製造する電子機器の製造方法。
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