JP6021276B2 - クライオ吸着パネル及びその製造方法、並びにそれを用いた真空装置 - Google Patents
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Description
油拡散ポンプやターボ分子ポンプは排気した気体を圧縮してポンプの外に放出するが、クライオ排気ポンプはクライオパネルに凝縮と吸着により貯め込んでいるため、定期的に気体を放出し、再生しなければならない。
前記低融点金属は、好ましくは、インジウム、亜鉛、ガリウム、スズ、ビスマス、鉛、インジウム合金、スズ合金、ウッドメタル、ガリンスタン、ローズ合金のいずれかから選択される。
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図3は、本発明のクライオ吸着パネルに使用される吸着剤の実施の形態の概略図である。吸着材301は所定の形状に成形されたものであり、ここではペレット状であって、特に円柱状に成形された活性炭、若しくはモレキュラーシーブが該当する。吸着材301は、冷却基板との接着部分(図面では吸着材301の下方の一部)となる部位に予め金属膜層305を形成される。
図5では、溝加工部分だけではなく冷却基板403の全面にインジウム合金層401を塗布して接着する場合であるが、この際、例えば超音波ウェルダーを用いてインジウム合金層401を塗り込むと万遍なく容易に塗り拡げられる。次いで加熱温度を維持しつつ、吸着材301の金属膜層305を冷却基板403のインジウム合金層401に接合するように乗せ、その後、温度を下げることによってインジウム合金層401が固化し、吸着材301と冷却基板403を無機的に接着することができる。
このようにして製作した試験パネルに対して、液体窒素(約−190℃)に10分間浸漬した後、取り出し、ヒートガンで強制加熱乾燥(約80℃)する操作を10回繰り返したが、活性炭は脱落等することは無かった。また触診しても活性炭が脱落することは無かった。また無理に剥がそうとすると、接着面ではなく活性炭自体が砕けてしまい、強固な接着面が実現できていることが分かった。
図6は、クライオ吸着パネル400の両面に吸着材301を貼付した実施の形態を示す。中心にはクライオ冷媒配管502が通っており、このクライオ冷媒配管502内には冷媒504が通されて冷却される。クライオ冷媒配管502に接続された冷却基板403は、その両面に吸着材301を載置するための溝加工が予め施されている。まず一方の片面については、上記の方法にて吸着材301をインジウムを使用して貼付させる。他方の片面については、インジウムが溶ける温度まで温度を上昇させてしまうと先に貼付した吸着材301が剥がれ落ちてしまうため、他方の片面に対してはより融点が低いインジウム合金、例えばインジウムとAgとの合金を使用してより低温の方法にて吸着材301を貼付させる。このようにクライオ吸着パネル400の両面に吸着材301を貼付することにより、より高い吸着排気性能を得ることができる。
以上で説明した吸着材の貼付方法によるクライオ吸着パネルは十分な固着力を有し、かつ熱応力等で吸着材が剥がれ落ちるリスクが少ないというメリットがあるものの、大きな面積にスパッタ成膜処理を施した吸着材を一粒ずつ貼り付けるのは非常に手間がかかり、製作コストが増大する。この問題に対し、以下で示すように、予め溝加工を施した銅製の配列冶具に吸着材を配列させておき、スパッタ成膜処理と基板への貼付を一体で行うことを可能とした。
図7には配列冶具406およびサポートフレーム404を用いて製造したクライオ吸着パネル400を示す。銅製の冷却基板403には上記で説明したような吸着材301に合わせた溝加工等を施す必要はない。配列冶具406、サポートフレーム404および吸着材301はインジウム合金層401を介して接続されており、吸着材301とインジウム合金層401との間は上記で説明した金属膜層305によって強固に接続されている。
本発明に係るインジウム接着方式と従来方式である有機接着方式の排気性能を比較した。比較の為、両者とも同じ面積を有する冷却基板に同じ活性炭(クラレケミカル株式会社製 クラレコール(登録商標)4GS)を貼り付けた。上で記載しているように有機接着方式の場合にインジウム接着方式と同数の活性炭を均一に貼付することは非常に困難であったが、同等に並べることができたので比較実験を行うことができた。試験方法は試験用真空容器に冷凍機(RDK−408D)を設置し、排気パネルを第2段冷却ステージに取り付けて冷却する。その後、マスフローコントローラで一定流量(SCCM=Pa・m3/s)のH2ガスを真空容器内に導入し、真空計にて容器内の真空度(Pa)を測定することにより、排気速度S(m3/s)を求めた。図14にインジウム接着と有機接着とにより製作したクライオパネルの排気速度を示す。両者とも圧力依存性がなく、ほぼ同等の排気性能を有している。
Claims (6)
- 冷却された状態でガスを吸着するクライオ吸着パネルであって、
前記クライオ吸着パネルは、冷却基板と、前記冷却基板に接着される吸着材とを具備し、
前記吸着材は、前記冷却基板との接着部分に金属膜層を備えており、前記金属膜層を備えた前記吸着材は、低融点金属を介して前記冷却基板に接着されていることを特徴とするクライオ吸着パネル。 - 前記金属膜層は、Ti、Cr又はTiCからなる密着層、Ni、Ni−Cr、TiW、Ta、TaN、TiN又はMoWからなるバリア層、及び、Cu、Ag又はAuからなる濡れ層の積層膜であることを特徴とする請求項1に記載のクライオ吸着パネル。
- 前記低融点金属は、インジウム、亜鉛、ガリウム、スズ、ビスマス、鉛、インジウム合金、スズ合金、ウッドメタル、ガリンスタン、ローズ合金のいずれかから選択されることを特徴とする請求項1又は2に記載のクライオ吸着パネル。
- 冷却された状態でガスを吸着するクライオ吸着パネルの製造方法であって、
ガスを吸着する吸着材の少なくとも一部に金属膜層を形成する工程と、
前記クライオ吸着パネルの冷却基板上で低融点金属を加熱して溶融させる工程と、
前記溶融された低融点金属上に前記吸着材の前記金属膜層が形成された部分を接合させる工程と、
前記低融点金属から除熱して前記吸着材と前記冷却基板とを接着させる工程と、を具備することを特徴とするクライオ吸着パネルの製造方法。 - 冷却された状態でガスを吸着するクライオ吸着パネルの製造方法であって、
ガスを吸着する吸着材を配列させるように構成された配列治具と、前記配列治具に組み合わせられ前記吸着材を支持できるように構成されたサポートフレームとを組み合わせる工程と、
前記配列治具に前記吸着材を配列する工程と、
前記吸着材を前記サポートフレームで支持した状態で前記配列治具を取り外す工程と、
前記サポートフレームと、前記サポートフレームに支持された前記吸着材とを上下から固定治具で挟むことによって固定する工程と、
前記サポートフレーム及び前記吸着材を固定した前記固定治具を前記吸着材の露出された部分をスパッタリングのターゲットに対向する位置になるようにスパッタリング装置内に取り付ける工程と、
前記固定された吸着材の露出した部分に前記スパッタリング装置によって金属膜層を形成する工程と、
前記スパッタリング装置から前記固定治具を取り外す工程と、
ヒーター上に低融点金属を配して前記ヒーターを加熱することによって前記低融点金属を溶融する工程と、
前記固定治具の前記吸着材の金属膜層を形成された部分と前記サポートフレームとを前記ヒーターよって前記溶融された低融点金属に浸し、その後除熱することによって前記サポートフレームと前記吸着材とを接着させる工程と、
前記固定治具を取り外す工程と、
前記サポートフレームに前記配列治具を再度組み合わせる工程と、
前記クライオ吸着パネルの冷却基板上で低融点金属を加熱して溶融させる工程と、
前記冷却基板の前記溶融された低融点金属上に前記サポートフレームと前記配列治具とを接合させる工程と、
前記低融点金属から除熱して前記サポートフレームと前記配列治具とを前記冷却基板に接着させる工程と、を具備することを特徴とするクライオ吸着パネルの製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載されたクライオ吸着パネルを具備するクライオ排気ポンプをゲートバルブを介さずに直接接続されることを特徴とする真空装置。
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2014
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