JP6007039B2 - 搬送トレー及び基板保持方法 - Google Patents
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Description
また、上記搬送トレーを用いて複数枚の基板を保持する本発明の基板保持方法は、前記シート材が、透孔の孔径と位置が異なる複数種のシート材の中から、保持する基板の外形及び枚数に応じて選択されることを特徴とする。
Claims (4)
- 複数枚の処理すべき基板を保持して真空処理装置に搬送される搬送トレーにおいて、
静電吸着用の電極が組み込まれると共に、ガス供給用のガス孔が開設されたトレー本体に、このガス孔を臨む、基板の外形よりも小さい複数の透孔を有する、前記トレー本体の輪郭に一致する外形を持つシート材を仮着して構成され、
トレー本体からシート材に向かう方向を上として、透孔を塞ぐようにしてシート材上面に基板を載置し、電極に電圧印加して基板を静電吸着すると、シート材がトレー本体に密着すると共に、シート材に基板がその下面周縁部で密着し、トレー本体の上面に基板下面と透孔とでガス溜まり空間が画成されるように構成したことを特徴とする搬送トレー。 - シート材上面に仮着される、基板の輪郭に一致する収容部を有する枠体を更に備え、電極に電圧印加すると、枠体がシート材に密着することを特徴とする請求項1記載の搬送トレー。
- 前記シート材が、前記トレー本体及び基板よりも硬度が低い材料で形成されたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の搬送トレー。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の搬送トレーを用いて複数枚の基板を保持する基板保持方法であって、
前記シート材は、透孔の孔径と位置が異なる複数種のシート材の中から、保持する基板の外形及び枚数に応じて選択されることを特徴とする基板保持方法。
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