JP5999789B2 - 有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法 - Google Patents
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Description
2 透光性電極層
3 有機層
31a 正孔注入層
32a 正孔輸送層
3b 発光層
3Rb 赤色発光層
3Gb 緑色発光層
3Bb 青色発光層
3c 電子輸送層
3d 電子注入層
4 電極層
5 補助電極
5a 補助電極材料膜
5b レジスト膜
5c マスク
5d レジストパターン
5e 絶縁被膜
5f 逆テーパー形状残留レジスト
5h 残留レジスト
Claims (4)
- 透光性基板上に設けられる透光性電極層を含む1対の電極層と、該1対の電極層に挟持され、有機エレクトロスミネッセンス物質を含有する有機層とを有し、前記透光性電極層上にその一部に接触して設けられる遮光性の補助電極と、該補助電極を被覆する絶縁被膜とを有する有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法であって、
前記透光性電極層上に補助電極材料膜を形成し、該補助電極材料膜上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィー工程により逆テーパー部を有さない残留レジスト及びテーパー部を有する補助電極を形成した後、該残留レジストをガラス転移温度以上に加熱して流動させ前記補助電極を被覆させて前記絶縁被膜を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。 - 前記フォトリソグラフィー工程におけるエッチングの際、酸素ガスを含有する混合ガスを用いることを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 前記レジストはアクリル系感光性樹脂を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 透光性基板上に設けられる透光性電極層を含む1対の電極層と、該1対の電極層に挟持され、有機エレクトロスミネッセンス物質を含有する有機層とを有し、前記透光性電極層上にその一部に接触して設けられる遮光性の補助電極と、該補助電極を被覆する絶縁被膜とを有する有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法であって、
前記透光性電極層上に補助電極材料膜を形成し、該補助電極材料膜上にレジストを塗布してレジスト膜を形成し、露光、現像して逆テーパー部を有さない残留レジストを形成し、前記補助電極材料膜をエッチングしてテーパー部を有する補助電極を形成した後、前記残留レジストをガラス転移温度以上に加熱して流動させ前記補助電極を被覆させて前記絶縁被膜を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
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