JP5998980B2 - Piezoelectric motor, robot hand, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, liquid feed pump, printing device, electronic watch, projection device, transport device - Google Patents

Description

本発明は、圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検
査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置に関する。 The present invention relates to a piezoelectric motor, a robot hand, a robot, an electronic component transport device, an electronic component inspection device, a liquid feed pump, a printing device, an electronic timepiece, a projection device, and a transport device.

圧電材料を含む振動体を振動させて、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。
この圧電モーターは、電磁力を利用してローターを回転させる方式の電磁モーターに比べ
て小型でありながら、大きな駆動力を得ることができ、さらに、対象物を高分解能で位置
決めすることができるという特徴と有している。 A piezoelectric motor that drives an object by vibrating a vibrating body including a piezoelectric material is known.
This piezoelectric motor is smaller than an electromagnetic motor that uses an electromagnetic force to rotate a rotor, but can obtain a large driving force and can also position an object with high resolution. Features and has.

圧電モーターは、次のような原理で動作する。先ず、振動体に電圧を印加して、伸縮方
向の振動と屈曲方向の振動とを発生させる。すると、振動体の伸縮方向の端面は楕円を描
くように運動するので、この端面に設けた凸部を対象物に押し付けることによって、対象
物を摩擦駆動することができる。このような動作原理から、圧電モーターは、振動体の凸
部を対象物に押し付けた状態で使用する必要があり、バネ等の付勢部材を用いて、振動体
の凸部が設けられた側とは反対側の端面を対象物に向けて押圧することが行われている（
例えば、特許文献１）。 The piezoelectric motor operates on the following principle. First, a voltage is applied to the vibrating body to generate vibration in the expansion / contraction direction and vibration in the bending direction. Then, the end face in the expansion / contraction direction of the vibrating body moves so as to draw an ellipse, and the object can be friction driven by pressing the convex portion provided on the end face against the object. From such an operating principle, it is necessary to use the piezoelectric motor in a state in which the convex portion of the vibrating body is pressed against the object, and the side on which the convex portion of the vibrating body is provided using a biasing member such as a spring. It is performed by pressing the end surface opposite to the object toward the object (
For example, Patent Document 1).

特開２００８−１８７７６８号公報JP 2008-187768 A

しかしながら、圧電モーターは、振動体の凸部と対象物との間に働く摩擦力によって対
象物を駆動するので、従来の圧電モーターを長期間に亘って使用していると、凸部が当接
する対象物の一定の部分だけが深く摩耗してしまうという問題があった。そして、こうし
た摩耗が進むと、凸部と対象物との間に十分な摩擦力が働かなくなる結果、圧電モーター
の駆動性能が低下してしまう。 However, since the piezoelectric motor drives the object by a frictional force acting between the convex part of the vibrating body and the object, the convex part comes into contact when the conventional piezoelectric motor is used for a long period of time. There was a problem that only certain portions of the object were worn deeply. When such wear progresses, a sufficient frictional force does not work between the convex portion and the object, resulting in a decrease in the driving performance of the piezoelectric motor.

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになさ
れたものであり、振動体の凸部の当接によって対象物が摩耗しても、圧電モーターの駆動
性能を維持することが可能な技術の提供を目的とする。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-described problems of the prior art, and the drive performance of the piezoelectric motor can be improved even if the object is worn by the contact of the convex portion of the vibrating body. The purpose is to provide technology that can be maintained.

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を
採用した。すなわち、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、対象物に当接する当接部
と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記対象物に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする。 In order to solve at least a part of the problems described above, the piezoelectric motor of the present invention employs the following configuration. That is,
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates / contracts, and abuts against an object;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the object;
With
The plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which bending vibration occurs with respect to the vibrating body.

ここで、本発明の「付勢部材」とは、弾性材料を含んで成形され、外力を受けて撓み（
変形し）、元の形に戻ろうとする復元力によって、撓み方向とは逆方向に付勢する機械要
素をいうものとする。 Here, the “biasing member” of the present invention is formed by including an elastic material and is bent by receiving an external force (
Deformation) refers to a mechanical element that is biased in the direction opposite to the direction of bending by a restoring force to return to its original shape.

このような本発明の圧電モーターでは、撓められた複数の付勢部材の付勢力（復元力）
によって振動体が伸縮方向に付勢され、対象物に振動体の凸部（伸縮方向の端部）を押し
付けることが可能となる。この状態で、振動体が伸縮方向および屈曲方向に振動すると、
振動体の凸部と対象物との間に生じる摩擦力によって対象物を屈曲方向に駆動することが
できる。そして、凸部から受ける摩擦力によって対象物が磨耗すると、振動体は対象物に
向かって伸縮方向に移動する。このとき、振動体に対して伸縮方向および屈曲方向の何れ
にも交差する方向（延設方向）から設けられた複数の付勢部材が撓んだ姿勢から復元しよ
うとすることで、振動体は延設方向にも移動し、それに伴って、凸部が対象物に当接する
位置（当接位置）も延設方向に移動する。このように対象物の当接位置が磨耗するのに伴
って延設方向に当接位置が移動するので、一定の位置だけが深く磨耗することがなく、凸
部を対象物の磨耗が進んでいない位置に当接させることができる。その結果、対象物と凸
部との接触状態（対象物と凸部との間に生じる摩擦力）が大きく変化することを抑制して
圧電モーターの駆動性能を維持することが可能となる。 In such a piezoelectric motor of the present invention, the biasing force (restoring force) of the plurality of deflected biasing members.
Thus, the vibrating body is urged in the expansion / contraction direction, and the convex portion (end portion in the expansion / contraction direction) of the vibration body can be pressed against the object. In this state, when the vibrating body vibrates in the expansion / contraction direction and the bending direction,
The object can be driven in the bending direction by the frictional force generated between the convex portion of the vibrating body and the object. When the object is worn by the frictional force received from the convex portion, the vibrating body moves in the expansion / contraction direction toward the object. At this time, the vibrating body tries to recover from the posture in which the plurality of biasing members provided from the direction (extending direction) intersecting both the expansion and contraction direction and the bending direction with respect to the vibrating body, Along with the movement in the extending direction, the position where the convex portion abuts on the object (abutting position) also moves in the extending direction. As the contact position of the object wears in this way, the contact position moves in the extending direction, so that only a certain position does not wear deeply, and wear of the object progresses on the convex portion. It can be brought into contact with a position that is not present. As a result, it is possible to maintain the driving performance of the piezoelectric motor while suppressing a large change in the contact state between the object and the convex portion (friction force generated between the target object and the convex portion).

上述した本発明の圧電モーターでは、圧電材料を含む圧電素子と、圧電素子が貼付され
るプレートとを含んで振動体を構成することとして、複数の付勢部材とプレートとを、一
枚の板材を折り曲げて形成してもよい。 In the above-described piezoelectric motor of the present invention, the vibrating body is configured to include a piezoelectric element including a piezoelectric material and a plate to which the piezoelectric element is attached. You may bend and form.

このようにすれば、プレート（振動体）と、複数の付勢部材とを別体とした場合に比べ
て、両者を接合する工程（接合ビスによる締結、接着剤による接着、ポイント溶接など）
を省くことができるので、圧電モーターの製造が容易となる。加えて、接合ビスなどの接
合部材が不要となるので、圧電モーターの製造コストの低減を図ることができる。 In this way, compared to the case where the plate (vibrating body) and the plurality of urging members are separated, the step of joining the two (fastening with joining screws, bonding with an adhesive, point welding, etc.)
This makes it easy to manufacture a piezoelectric motor. In addition, since a joining member such as a joining screw is not required, the manufacturing cost of the piezoelectric motor can be reduced.

また、上述した本発明の圧電モーターでは、次のようにしてもよい。先ず、複数の付勢
部材として第１板バネおよび第２板バネを含み、振動体の屈曲方向の両側にプレートと第
１板バネとを接続する第１支持部を設け、振動体の屈曲方向の両側にプレートと第２板バ
ネとを接続する第２支持部を設ける。これら第１支持部および第２支持部は、振動体の屈
曲振動の振幅が小さい複数の節部のうち何れかの両側に設ける。そして、第１板バネおよ
び第２板バネと第１支持部および第２支持部とプレートとを、一枚の板材で形成する。こ
こで、本発明の「板バネ」とは、弾性材料を含んで板状に成形されて、面する方向からの
外力を受けて撓み（変形し）、元の形に戻ろうとする復元力によって、撓み方向とは逆方
向に付勢する機械要素をいうものとする。 Further, the piezoelectric motor of the present invention described above may be configured as follows. First, a first plate spring and a second plate spring are included as a plurality of urging members, and first support portions for connecting the plate and the first plate spring are provided on both sides in the bending direction of the vibrating body. The 2nd support part which connects a plate and a 2nd leaf | plate spring is provided in both sides. The first support portion and the second support portion are provided on either side of a plurality of node portions having a small amplitude of flexural vibration of the vibrating body. Then, the first plate spring, the second plate spring, the first support portion, the second support portion, and the plate are formed from a single plate material. Here, the “plate spring” of the present invention is formed into a plate shape including an elastic material, and is subjected to an external force from the facing direction to bend (deform) and return to its original shape. The mechanical element that is biased in the direction opposite to the bending direction is meant.

このように支持部（第１支持部、第２支持部）を振動体の節部の両側に設けることによ
って、節部とは異なる部分（振動体の屈曲振動の振幅が大きい腹部など）の両側に支持部
を設ける場合に比べて、振動体で発生する振動が支持部から板バネ（第１板バネ、第２板
バネ）に伝わる（振動が外部に逃げる）ことを抑制することができる。その結果、駆動エ
ネルギーの損失を少なくし、圧電モーターで対象物を効率よく駆動することができる。ま
た、こうした支持部も板バネやプレートと一体に形成しておけば、圧電モーターの製造を
容易にしたり、製造コストの低減を図ったりすることが可能となる。 By providing the support portions (first support portion and second support portion) on both sides of the node portion of the vibrating body in this way, both sides of a portion different from the node portion (such as an abdomen where the amplitude of bending vibration of the vibrating body is large). Compared with the case where the support portion is provided on the base plate, it is possible to suppress the vibration generated by the vibrating body from being transmitted from the support portion to the leaf springs (first leaf spring, second leaf spring) (vibration escapes to the outside). As a result, the loss of drive energy can be reduced and the object can be efficiently driven by the piezoelectric motor. Further, if such a support portion is also formed integrally with a leaf spring or a plate, it becomes possible to facilitate the manufacture of the piezoelectric motor or to reduce the manufacturing cost.

また、上述した本発明の圧電モーターでは、第１支持部と第２支持部とに接続される補
強部を設けることとして、第１板バネおよび第２板バネと第１支持部および第２支持部と
プレートと補強部とを、一枚の板材で形成してもよい。 Further, in the above-described piezoelectric motor of the present invention, the first leaf spring, the second leaf spring, the first support portion, and the second support are provided by providing the reinforcing portion connected to the first support portion and the second support portion. The part, the plate, and the reinforcing part may be formed of a single plate material.

このように第１支持部と第２支持部とに接続する補強部を設けておけば、支持部（第１
支持部、第２支持部）の剛性が高まるので、振動体で発生する振動が支持部から板バネに
伝わることを、さらに抑制することができる。また、このような補強部も板バネや支持部
やプレートと一体に形成しておけば、圧電モーターの製造を容易にしたり、製造コストの
低減を図ったりすることが可能となる。 Thus, if the reinforcement part connected to a 1st support part and a 2nd support part is provided, a support part (1st
Since the rigidity of the support portion and the second support portion is increased, it is possible to further suppress the vibration generated in the vibrating body from being transmitted from the support portion to the leaf spring. In addition, if such a reinforcing portion is formed integrally with the leaf spring, the support portion, and the plate, it is possible to facilitate the manufacture of the piezoelectric motor and to reduce the manufacturing cost.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
指部で対象物を把持可能なロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対する前記指部の移動、あるいは前記指部の関節の回動に連動する可動部と
、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とするロボットハンドとして把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A robot hand that can hold an object with a finger,
A base body erected so that the finger portion is movable;
A movable part interlocked with the movement of the finger part relative to the base or the rotation of the joint of the finger part;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
It can also be grasped as a robot hand characterized in that the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which bending vibrations occur with respect to the vibrating body.

このような本発明のロボットハンドでは、振動体の凸部が当接する可動部の磨耗による
指部の駆動性能の低下を抑制することができるので、指部で対象物を把持する精度を維持
することが可能となる。 In such a robot hand according to the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the finger portion due to wear of the movable portion with which the convex portion of the vibrating body abuts, so the accuracy of gripping the object with the finger portion is maintained. It becomes possible.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部の回動に連動する可動部と、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とするロボットとして把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
An arm provided with a rotatable joint, and
A hand portion provided on the arm portion;
A main body provided with the arm,
A robot equipped with
A movable part interlocking with the rotation of the joint part;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
It can also be grasped as a robot characterized in that the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body.

このような本発明のロボットでは、振動体の凸部が当接する可動部の磨耗による関節部
の駆動性能の低下を抑制することができるので、ロボットの動作精度を維持することが可
能となる。尚、ハンド部は、例えば対象物を把持する動作や、ネジ締めなどを行うネジ締
め動作、塗装動作、溶接動作などを行うハンド部とすることができる。 In the robot according to the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the joint portion due to wear of the movable portion with which the convex portion of the vibrating body abuts, and thus it is possible to maintain the operation accuracy of the robot. The hand unit may be a hand unit that performs, for example, an operation for gripping an object, a screw tightening operation for performing screw tightening, a painting operation, a welding operation, or the like.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部を備える電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を把持した前記把持部の移動に連動する可動部と、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
An electronic component transport apparatus including a gripping unit that grips an electronic component,
A movable part that interlocks with the movement of the gripping part that grips the electronic component;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
The plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which the bending vibration is performed with respect to the vibrating body. .

このような本発明の電子部品搬送装置では、振動体の凸部が当接する可動部の磨耗によ
る把持部の駆動性能の低下を抑制することができるので、電子部品を搬送する精度を維持
することが可能となる。 In such an electronic component conveying device of the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the gripping portion due to wear of the movable portion with which the convex portion of the vibrating body abuts, so that the accuracy of conveying the electronic component is maintained. Is possible.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記電子部品を把持した前記把持部の移動に連動する可動部と、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A gripper for gripping electronic components;
An inspection unit for inspecting the electronic component;
An electronic component inspection apparatus comprising:
A movable part that interlocks with the movement of the gripping part that grips the electronic component;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
The plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which bending vibration occurs with respect to the vibrating body. .

このような本発明の電子部品検査装置では、振動体の凸部が当接する可動部の磨耗によ
る把持部の駆動性能の低下を抑制することができるので、電子部品を検査する精度を維持
することが可能となる。 In such an electronic component inspection apparatus of the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the gripping portion due to wear of the movable portion with which the convex portion of the vibrating body abuts, so that the accuracy of inspecting the electronic component is maintained. Is possible.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能なチューブと、
前記チューブに当接して前記チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を移動させる移動部と、
を備える送液ポンプであって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記移動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記移動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする送液ポンプとして把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A tube through which liquid can flow;
A closing portion that contacts the tube and closes the tube;
A moving part for moving the blocking part;
A liquid feed pump comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the moving portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the moving portion;
With
It can also be grasped as a liquid feed pump characterized in that the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body.

このような本発明の送液ポンプでは、振動体の凸部が当接する移動部の磨耗による閉塞
部の駆動性能の低下を抑制することができるので、チューブ内の液体を送液する精度を維
持することが可能となる。 In such a liquid feed pump of the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the closed portion due to wear of the moving portion with which the convex portion of the vibrating body abuts, so that the accuracy of feeding the liquid in the tube is maintained. It becomes possible to do.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる移動部と、
を備える印刷装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記移動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記移動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする印刷装置として把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A print head for printing an image on a medium;
A moving unit for moving the print head;
A printing apparatus comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the moving portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the moving portion;
With
The plurality of urging members may be provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which the bending vibration occurs with respect to the vibrating body.

このような本発明の印刷装置では、振動体の凸部が当接する移動部の磨耗による印刷ヘ
ッドの駆動性能の低下を抑制することができるので、画像を印刷する精度を維持すること
が可能となる。 In such a printing apparatus of the present invention, it is possible to suppress a decrease in the print head drive performance due to wear of the moving portion with which the convex portion of the vibrating body abuts, so that the accuracy of printing an image can be maintained. Become.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
を備える電子時計であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記回転円板に当接する
当接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記回転円板に前記当接部
を当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする電子時計として把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A coaxial rotating gear, and a rotatable rotating disk;
A gear train including a plurality of gears;
A pointer connected to the gear train and indicating the time;
An electronic timepiece comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the rotating disk;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the rotating disk;
With
It can also be grasped as an electronic timepiece characterized in that the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which the vibrating body vibrates.

このような本発明の電子時計では、振動体の凸部が当接する回転円板の磨耗による指針
の駆動性能の低下を抑制することができるので、電子時計の動作精度を維持することが可
能となる。 In such an electronic timepiece of the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the pointer due to wear of the rotating disk with which the convex portion of the vibrating body abuts, so that it is possible to maintain the operation accuracy of the electronic timepiece. Become.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光を発生させる光源と、
光学レンズを含み、前記光を投影する投影部と、
前記光学レンズを移動させる移動部と、
を備える投影装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記移動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記移動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする投影装置として把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A light source that generates light;
A projection unit including an optical lens and projecting the light;
A moving unit for moving the optical lens;
A projection device comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the moving portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the moving portion;
With
It can also be grasped as a projection device characterized in that the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body.

このような本発明の投影装置では、振動体の凸部が当接する移動部の磨耗による光学レ
ンズの駆動性能の低下を抑制することができるので、光学レンズによる光の投影状態を調
整する精度を維持することが可能となる。 In such a projection apparatus according to the present invention, it is possible to suppress a decrease in the driving performance of the optical lens due to wear of the moving part with which the convex part of the vibrating body abuts. Can be maintained.

また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記対象物に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記対象物に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする搬送装置として把握することもできる。 Moreover, this invention can also be grasped | ascertained in the following aspects. That is,
A transport device for transporting an object,
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end of the vibrating body in the expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the object;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the object;
With
The plurality of urging members may be provided from a direction that intersects both the expansion and contraction direction and the bending direction in which bending vibration occurs with respect to the vibrating body.

このような本発明の搬送装置では、振動体の凸部が当接する対象物の磨耗による駆動性
能の低下を抑制することができるので、対象物を搬送する精度を維持することが可能とな
る。 In such a transport apparatus according to the present invention, it is possible to suppress a decrease in driving performance due to wear of the target object with which the convex portion of the vibrating body abuts, and therefore it is possible to maintain the accuracy of transporting the target object.

本実施例の圧電モーターの構成を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the structure of the piezoelectric motor of a present Example. 振動体の構造を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structure of the vibrating body. 圧電モーターの動作原理を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation principle of a piezoelectric motor. 振動体の節部を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the node part of the vibrating body. 振動体が対象物に向かって付勢される様子を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed a mode that a vibrating body was urged | biased toward a target object. 振動体に対して２つの板バネをＺ方向から設けることで、対象物の摩耗による圧電モーターの駆動性能の低下を抑制できる理由を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the reason which can suppress the fall of the drive performance of a piezoelectric motor by abrasion of a target object by providing two leaf | plate springs with respect to a vibrating body from a Z direction. 第１変形例の圧電モーターを構成する一体成形部の形状を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the shape of the integrally molded part which comprises the piezoelectric motor of a 1st modification. 第２変形例の圧電モーターを構成する一体成形部の形状を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the shape of the integrally molded part which comprises the piezoelectric motor of a 2nd modification. 第３変形例の圧電モーターを構成する一体成形部の形状を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the shape of the integrally molded part which comprises the piezoelectric motor of a 3rd modification. 第４変形例の圧電モーターを構成する一体成形部の形状を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the shape of the integrally molded part which comprises the piezoelectric motor of a 4th modification. 実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。It is explanatory drawing which illustrated the robot hand incorporating the piezoelectric motor of the Example or the modification. ロボットハンドを備えた単腕のロボットを例示した説明図である。It is explanatory drawing which illustrated the single arm robot provided with the robot hand. ロボットハンドを備えた複腕のロボットを例示した説明図である。It is explanatory drawing which illustrated the robot of the multiple arms provided with the robot hand. 実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。It is the perspective view which illustrated the electronic component test | inspection apparatus comprised incorporating the piezoelectric motor of the Example or the modification. 把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。It is explanatory drawing about the fine adjustment mechanism incorporated in the holding | grip apparatus. 実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ送液ポンプを例示した説明図である。It is explanatory drawing which illustrated the liquid feeding pump incorporating the piezoelectric motor of the Example or the modification. 実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。It is the perspective view which illustrated the printing apparatus incorporating the piezoelectric motor of the Example or the modification. 実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ電子時計を例示した説明図である。It is explanatory drawing which illustrated the electronic timepiece incorporating the piezoelectric motor of the Example or the modification. 実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ投影装置を例示した斜視図である。It is the perspective view which illustrated the projection apparatus incorporating the piezoelectric motor of the Example or the modification.

図１は、本実施例の圧電モーター１００の構成を示した斜視図である。図示されている
ように、本実施例の圧電モーター１００は、大まかには、圧電材料を含む振動体１１０と
、振動体１１０を所定方向に付勢するための２つの板バネ（前方板バネ１４０，後方板バ
ネ１５０）などから構成されている。振動体１１０は直方体形状をしており、長手方向の
端面には、圧電モーター１００によって駆動される対象物に当接する凸部１２２が設けら
れている。この振動体１１０の詳細な構造については別図を用いて後述する。尚、以下で
は、振動体１１０の長手方向をＸ方向と称する。また、図中に示すように、Ｘ方向と直交
する振動体１１０の短手方向をＹ方向と称し、Ｘ方向およびＹ方向と直交する振動体１１
０の厚さ方向をＺ方向と称するものとする。 FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration of a piezoelectric motor 100 according to the present embodiment. As shown in the drawing, the piezoelectric motor 100 according to the present embodiment roughly includes a vibrating body 110 including a piezoelectric material and two leaf springs (forward leaf springs 140) for biasing the vibrating body 110 in a predetermined direction. , Rear leaf spring 150) and the like. The vibrating body 110 has a rectangular parallelepiped shape, and a convex portion 122 that comes into contact with an object driven by the piezoelectric motor 100 is provided on an end face in the longitudinal direction. The detailed structure of the vibrating body 110 will be described later with reference to another drawing. Hereinafter, the longitudinal direction of the vibrating body 110 is referred to as an X direction. Further, as shown in the figure, the short direction of the vibrating body 110 orthogonal to the X direction is referred to as the Y direction, and the vibrating body 11 orthogonal to the X direction and the Y direction.
The thickness direction of 0 is referred to as the Z direction.

２つの板バネ（前方板バネ１４０，後方板バネ１５０）は、振動体１１０の長手方向（
Ｘ方向）に離間して配置されている。振動体１１０の凸部が設けられた側にある前方板バ
ネ１４０は、圧電モーター１００を設置する箇所（Ｘ−Ｙ平面）に固定ビス１４４で固定
される固定部１４２からＺ方向（図中の上方）に折り曲げて、振動体１１０を間に挟むよ
うに一対で設けられている。この前方板バネ１４０はＸ方向に面しており、Ｘ方向に撓む
ことが可能である。また、前方板バネ１４０の先端側（固定部１４２とは反対側）はＸ方
向（図中の奥側）に折り曲げられて、台座部１４６が形成されている。図１に示されてい
るように振動体１１０のＹ方向に向いた両側面には、一対の前方支持部１２４と一対の後
方支持部１２５とが設けられており、このうち前方支持部１２４が台座部１４６に接合ビ
ス１２６によって接合されている。尚、前方支持部１２４と台座部１４６との接合方法は
、接着や溶接などであってもよい。 The two leaf springs (the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150) are in the longitudinal direction of the vibrating body 110 (
Are spaced apart in the X direction). The front leaf spring 140 on the side of the vibrating body 110 on which the convex portion is provided is moved in the Z direction (in the drawing) from the fixing portion 142 that is fixed by a fixing screw 144 at a location (XY plane) where the piezoelectric motor 100 is installed. The pair is provided so as to be bent upward) and sandwich the vibrating body 110 therebetween. The front leaf spring 140 faces the X direction and can be bent in the X direction. Further, the front end side of the front leaf spring 140 (the side opposite to the fixed portion 142) is bent in the X direction (the back side in the drawing) to form a pedestal portion 146. As shown in FIG. 1, a pair of front support portions 124 and a pair of rear support portions 125 are provided on both side surfaces of the vibrating body 110 facing in the Y direction. The pedestal portion 146 is joined by a joining screw 126. In addition, adhesion | attachment, welding, etc. may be sufficient as the joining method of the front support part 124 and the base part 146. FIG.

また、振動体１１０の凸部１２２が設けられた側とは反対側にある後方板バネ１５０は
、Ｙ−Ｚ平面に関して前方板バネ１４０と面対称に設けられている。すなわち、後方板バ
ネ１５０は、固定ビス１５４で固定される固定部１５２からＺ方向（図面の上方）に折り
曲げて、振動体１１０を間に挟むように一対で設けられており、Ｘ方向に撓むことが可能
である。また、後方板バネ１５０の先端側（固定部１５２とは反対側）はＸ方向（図中の
手前側）に折り曲げられて、台座部１５６が形成されており、振動体１１０の後方支持部
１２５が台座部１５６に接合ビス１２７によって接合されている。尚、本実施例の前方板
バネ１４０および後方板バネ１５０は、本発明の「付勢部材」に相当している。また、本
実施例の前方支持部１２４および後方支持部１２５は、本発明の「第１支持部」および「
第２支持部」に相当している。 Further, the rear leaf spring 150 on the side opposite to the side on which the convex portion 122 of the vibrating body 110 is provided is provided symmetrically with the front leaf spring 140 with respect to the YZ plane. That is, the rear leaf spring 150 is provided in a pair so as to bend in the Z direction (upward in the drawing) from the fixing portion 152 fixed by the fixing screw 154 and sandwich the vibrating body 110 therebetween. Is possible. Further, the front end side of the rear leaf spring 150 (the side opposite to the fixed portion 152) is bent in the X direction (front side in the drawing) to form a pedestal portion 156, and the rear support portion 125 of the vibrating body 110 is formed. Is joined to the pedestal 156 by a joining screw 127. The front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 of this embodiment correspond to the “biasing member” of the present invention. Further, the front support portion 124 and the rear support portion 125 of the present embodiment are the “first support portion” and “
This corresponds to the “second support portion”.

図２は、振動体１１０の構造を示した説明図である。図２（ａ）には、Ｘ−Ｚ平面で切
断した振動体１１０の断面図が示されている。図示されているように、振動体１１０は、
圧電材料を含んで板状の形成された２枚の圧電素子（表圧電素子１３０，裏圧電素子１３
１）の間に、金属平板で形成されたシム板１２０を挟んで貼り合わせた積層構造となって
いる。また、圧電素子（表圧電素子１３０，裏圧電素子１３１）のシム板１２０と接する
面とは反対側の面には、圧電素子に電圧を印加するための電極（表電極１３２，裏電極１
３３）が設けられている。 FIG. 2 is an explanatory view showing the structure of the vibrating body 110. FIG. 2A illustrates a cross-sectional view of the vibrating body 110 cut along the XZ plane. As shown, the vibrating body 110 is
Two piezoelectric elements (a front piezoelectric element 130 and a back piezoelectric element 13) formed into a plate shape including a piezoelectric material.
1), a laminated structure in which a shim plate 120 formed of a metal flat plate is sandwiched therebetween. Further, on the surface of the piezoelectric element (front piezoelectric element 130, back piezoelectric element 131) opposite to the surface in contact with the shim plate 120, an electrode for applying a voltage to the piezoelectric element (front electrode 132, back electrode 1).
33).

金属製のシム板１２０は、圧電素子（表圧電素子１３０，裏圧電素子１３１）を補強す
るだけでなく、表圧電素子１３０および裏圧電素子１３１に電圧を印加するための共通電
極としての役割を有しており、グランドに接地されている。また、前述したように振動体
１１０の長手方向（Ｘ方向）の端部には、対象物に当接する凸部１２２が設けられており
、この凸部１２２は、一枚の板材から打ち抜きによってシム板１２０と一体に形成されて
いる。尚、本実施例のシム板１２０は、本発明の「プレート」に相当している。 The metal shim plate 120 not only reinforces the piezoelectric elements (the front piezoelectric element 130 and the back piezoelectric element 131), but also serves as a common electrode for applying a voltage to the front piezoelectric element 130 and the back piezoelectric element 131. And is grounded to ground. Further, as described above, the convex portion 122 that abuts on the object is provided at the end of the vibrating body 110 in the longitudinal direction (X direction), and the convex portion 122 is shim by punching from a single plate material. It is formed integrally with the plate 120. The shim plate 120 of this embodiment corresponds to a “plate” of the present invention.

図２（ｂ）には、振動体１１０をＺ方向（表圧電素子１３０側）から見た平面図が示さ
れている。前述したように表圧電素子１３０のシム板１２０と接する面とは反対側の面（
上面）には、表圧電素子１３０に電圧を印加するための表電極１３２が設けられており、
図２（ｂ）に示されているように、表圧電素子１３０の上面を格子状に４分割するように
４つの矩形形状の表電極１３２が設けられている。また、図示は省略するが、裏圧電素子
１３１のシム板１２０と接する面とは反対側の面（下面）にも同様に、その下面を格子状
に４分割するように４つの矩形形状の裏電極１３３が設けられている。 FIG. 2B shows a plan view of the vibrating body 110 viewed from the Z direction (the surface piezoelectric element 130 side). As described above, the surface of the surface piezoelectric element 130 opposite to the surface in contact with the shim plate 120 (
On the upper surface), a surface electrode 132 for applying a voltage to the surface piezoelectric element 130 is provided,
As shown in FIG. 2B, four rectangular surface electrodes 132 are provided so that the upper surface of the surface piezoelectric element 130 is divided into four in a lattice shape. Further, although not shown in the figure, the back surface of the four rectangular shapes is similarly formed on the surface (lower surface) opposite to the surface in contact with the shim plate 120 of the back piezoelectric element 131 so that the lower surface is divided into four grids. An electrode 133 is provided.

また、前述したように振動体１１０のＹ方向に向いた両側面には、一対の前方支持部１
２４と一対の後方支持部１２５とが設けられており、これら支持部１２４，１２５は、一
枚の板材から打ち抜きによってシム板１２０と一体に形成されている。 Further, as described above, the pair of front support portions 1 are provided on both side surfaces of the vibrating body 110 facing in the Y direction.
24 and a pair of rear support portions 125 are provided, and these support portions 124 and 125 are integrally formed with the shim plate 120 by punching from one plate material.

図３は、圧電モーター１００の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１００は、
振動体１１０の表電極１３２および裏電極１３３に一定周期で電圧を印加したときに、振
動体１１０の凸部１２２が楕円運動することによって動作する。振動体１１０の凸部１２
２が楕円運動するのは次の理由による。尚、表圧電素子１３０に設けられた表電極１３２
と、裏圧電素子１３１に設けられた裏電極１３３とはＸ−Ｙ平面に関して面対称であって
基本的には同じであるため、ここでは、表電極１３２を例に説明する。 FIG. 3 is an explanatory diagram showing the operating principle of the piezoelectric motor 100. The piezoelectric motor 100 is
When a voltage is applied to the front electrode 132 and the back electrode 133 of the vibrating body 110 at a constant period, the convex portion 122 of the vibrating body 110 operates by elliptical motion. Convex part 12 of vibrating body 110
The reason why 2 moves elliptically is as follows. Note that the surface electrode 132 provided on the surface piezoelectric element 130.
Since the back electrode 133 provided on the back piezoelectric element 131 is plane-symmetric with respect to the XY plane and is basically the same, here, the front electrode 132 will be described as an example.

先ず、周知のように圧電材料を含む圧電素子（表圧電素子１３０，裏圧電素子１３１）
は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、
４つの表電極１３２の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと
、振動体１１０（表圧電素子１３０）は、長手方向（Ｘ方向）に伸縮する動作を繰り返す
。このように振動体１１０が長手方向（Ｘ方向）に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と
呼ぶ。以下では、振動体１１０が伸縮する方向（図中の±Ｘ方向）を「伸縮方向」と呼ぶ
。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに
伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波
数（共振周波数）は、表圧電素子１３０の物性と、表圧電素子１３０の寸法（幅Ｗ、長さ
Ｌ、厚さＴ）とによって決定される。 First, as is well known, a piezoelectric element containing a piezoelectric material (front piezoelectric element 130, back piezoelectric element 131)
Has a property of expanding when a positive voltage is applied. Therefore, as shown in FIG.
When a positive voltage is applied to all four front electrodes 132 and then the release of the applied voltage is repeated, the vibrating body 110 (the front piezoelectric element 130) repeats an operation of expanding and contracting in the longitudinal direction (X direction). The operation in which the vibrating body 110 repeatedly expands and contracts in the longitudinal direction (X direction) is referred to as “stretching vibration”. Hereinafter, the direction (± X direction in the drawing) in which the vibrating body 110 expands and contracts is referred to as the “stretching direction”. Further, when the frequency at which the positive voltage is applied is changed, the amount of expansion / contraction suddenly increases when a certain frequency is reached, and a kind of resonance phenomenon occurs. The frequency at which resonance occurs due to stretching vibration (resonance frequency) is determined by the physical properties of the surface piezoelectric element 130 and the dimensions (width W, length L, thickness T) of the surface piezoelectric element 130.

また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの
表電極１３２を組（表電極１３２ａおよび表電極１３２ｄの組、あるいは表電極１３２ｂ
および表電極１３２ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると、振動体１１
０（表圧電素子１３０）は、長手方向（Ｘ方向）の先端部（凸部１２２が設けられた部分
）が、図面上で左右方向（Ｙ方向）に首を振るような動作を繰り返す。例えば、図３（ｂ
）に示したように、表電極１３２ａおよび表電極１３２ｄの組に一定周期で正電圧を印加
すると、振動体１１０は、長手方向の先端部が右方向に移動する動作を繰り返す。また、
図３（ｃ）に示したように、表電極１３２ｂおよび表電極１３２ｃの組に一定周期で正電
圧を印加すると、振動体１１０は、長手方向の先端部が左方向に移動する動作を繰り返す
。このような振動体１１０の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。以下では、振動体１１０が屈曲
振動する方向（図中の±Ｙ方向）を「屈曲方向」と呼ぶ。こうした屈曲振動についても、
表圧電素子１３０の物性と、表圧電素子１３０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによっ
て決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１３２
に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１０は右方向あるいは左方向
（Ｙ方向）に大きく首を振って振動する。 Further, as shown in FIG. 3B or FIG. 3C, a pair of two surface electrodes 132 that are diagonal to each other (a group of the surface electrode 132a and the surface electrode 132d, or the surface electrode 132b).
As a set of the front electrode 132c), a positive voltage is applied at a constant period. Then, the vibrating body 11
0 (surface piezoelectric element 130) repeats the operation in which the front end portion (the portion provided with the convex portion 122) in the longitudinal direction (X direction) swings the head in the left-right direction (Y direction) on the drawing. For example, FIG.
), When a positive voltage is applied to the set of the front electrode 132a and the front electrode 132d at a constant period, the vibrating body 110 repeats the operation of moving the distal end portion in the longitudinal direction to the right. Also,
As shown in FIG. 3C, when a positive voltage is applied to the set of the front electrode 132b and the front electrode 132c at a constant period, the vibrating body 110 repeats the operation in which the longitudinal tip moves to the left. Such an operation of the vibrating body 110 is referred to as “bending vibration”. Hereinafter, the direction in which the vibrating body 110 undergoes bending vibration (± Y direction in the drawing) is referred to as “bending direction”. About such bending vibration,
There is a resonance frequency determined by the physical properties of the surface piezoelectric element 130 and the dimensions (width W, length L, thickness T) of the surface piezoelectric element 130. Accordingly, the two front electrodes 132 that are diagonal to each other.
On the other hand, when a positive voltage is applied at the resonance frequency, the vibrating body 110 vibrates with a large swing in the right direction or the left direction (Y direction).

ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）
に示した屈曲振動の共振周波数も、表圧電素子１３０の物性や、表圧電素子１３０の寸法
（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、表圧電素子１３０の寸法（幅Ｗ
、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば、２つの共振周波数を一致させることができる
。そして、そのような表圧電素子１３０に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す
ような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）
に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。そ
の結果、図３（ｂ）に示す態様で表電極１３２ａおよび表電極１３２ｄの組に電圧を印加
した場合には、振動体１１０の先端部（凸部１２２が設けられた部分）が図面上で時計回
りに楕円を描くような動作（楕円運動）を行う。また、図３（ｃ）に示す態様で表電極１
３２ｂおよび表電極１３２ｃの組に電圧を印加した場合には、振動体１１０の先端部が図
面上で反時計回りの楕円運動を行う。尚、以上の説明では表電極１３２に正電圧を印加す
るものとして説明した。しかし、周知のように圧電材料は、負電圧を印加することによっ
ても変形する。従って、表電極１３２に負電圧を印加することによって屈曲振動（および
伸縮振動）を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加す
ることによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良い。また、上述した説明で
は、共振周波数の電圧を印加するものとして説明した。しかし、共振周波数を含んだ波形
の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。さらに、裏
圧電素子１３１についても、表圧電素子１３０と同様に、裏電極１３３に電圧を印加する
ことによって屈曲振動および伸縮振動を発生させることができる。 Here, the resonance frequency of the stretching vibration shown in FIG. 3A is also shown in FIG. 3B or FIG.
The resonance frequency of the bending vibration shown in FIG. 5 is also determined by the physical properties of the surface piezoelectric element 130 and the dimensions (width W, length L, thickness T) of the surface piezoelectric element 130. Accordingly, the dimension of the surface piezoelectric element 130 (width W
If the length L and the thickness T) are appropriately selected, the two resonance frequencies can be matched. When a voltage in the form of bending vibration as shown in FIG. 3B or FIG. 3C is applied to such a surface piezoelectric element 130 at a resonance frequency, FIG. 3B or FIG. c)
At the same time, the stretching vibration shown in FIG. 3A is also induced by resonance. As a result, when a voltage is applied to the set of the front electrode 132a and the front electrode 132d in the mode shown in FIG. 3B, the tip of the vibrating body 110 (the portion where the convex portion 122 is provided) is Performs an operation that draws an ellipse clockwise (elliptic motion). In addition, the surface electrode 1 in the embodiment shown in FIG.
When a voltage is applied to the set of 32b and front electrode 132c, the tip of the vibrating body 110 performs a counterclockwise elliptical motion on the drawing. In the above description, a positive voltage is applied to the front electrode 132. However, as is well known, the piezoelectric material is also deformed by applying a negative voltage. Therefore, bending vibration (and expansion / contraction vibration) may be generated by applying a negative voltage to the surface electrode 132, or bending vibration (and expansion / contraction) by applying an alternating voltage that repeats a positive voltage and a negative voltage. (Vibration) may be generated. In the above description, it is assumed that a voltage having a resonance frequency is applied. However, it is sufficient to apply a voltage having a waveform including the resonance frequency. For example, a pulse voltage may be used. Further, similarly to the front piezoelectric element 130, the back piezoelectric element 131 can generate bending vibration and stretching vibration by applying a voltage to the back electrode 133.

圧電モーター１００は、このような振動体１１０の楕円運動を利用して対象物を駆動す
る。すなわち、振動体１１０の凸部１２２を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生さ
せる。すると、凸部１２２は、振動体１１０が伸張する際には対象物に押しつけられた状
態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動し、振動体１１０が収縮す
る際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象
物は、凸部１２２から受ける摩擦力によって一方向に駆動される。 The piezoelectric motor 100 drives the object using such elliptical motion of the vibrating body 110. That is, elliptical motion is generated in a state where the convex portion 122 of the vibrating body 110 is pressed against the object. Then, the convex portion 122 moves from the left to the right (or from the right to the left) while being pressed against the object when the vibrating body 110 extends, and when the vibrating body 110 contracts. Repeats the operation of returning to the original position while being away from the object. As a result, the object is driven in one direction by the frictional force received from the convex portion 122.

ここで、前述のように電圧の印加によって屈曲振動を発生させる振動体１１０は、全体
が一様に振動するわけではなく、凸部１２２が設けられた先端部に比べて屈曲振動の振幅
が小さい部分（節部）を有する。図４は、振動体１１０の節部１１６を示した説明図であ
る。図４では、振動体１１０に電圧を印加していない状態を破線で示し、振動体１１０の
表電極１３２ａおよび表電極１３２ｄの組に電圧を印加して先端部が右方向に移動した状
態を実線で示している。図示されているように、振動体１１０には、Ｘ方向の端部と同様
の振幅で振動する２カ所の腹部１１４（１１４ａ，１１４ｂ）と、それに比べて屈曲振動
の振幅が小さい３カ所の節部１１６（前節部１１６ａ，中節部１１６ｂ，後節部１１６ｃ
）とが存在する。 Here, as described above, the vibrating body 110 that generates bending vibration by applying a voltage does not vibrate uniformly, and the amplitude of bending vibration is smaller than that of the tip portion provided with the convex portion 122. It has a part (node part). FIG. 4 is an explanatory view showing the node portion 116 of the vibrating body 110. In FIG. 4, a state in which no voltage is applied to the vibrating body 110 is indicated by a broken line, and a state in which the tip is moved rightward by applying a voltage to the set of the surface electrode 132a and the surface electrode 132d of the vibrating body 110 is a solid line. Is shown. As shown in the figure, the vibrating body 110 includes two abdominal portions 114 (114a and 114b) that vibrate with the same amplitude as the end portion in the X direction, and three nodes that have smaller bending vibration amplitudes. Part 116 (front joint part 116a, middle joint part 116b, rear joint part 116c
) And exist.

これら３か所の節部１１６のうち、凸部１２２に近い側にある前節部１１６ａのＹ方向
の両側には、前述した一対の前方支持部１２４が設けられており、凸部１２２から遠い側
にある後節部１１６ｃのＹ方向の両側には、前述した一対の後方支持部１２５が設けられ
ている（図２（ｂ）参照）。このように振動体１１０の支持部１２４，１２５を節部１１
６の両側に設けることによって、節部１１６と異なる部分（腹部１１４など）に設ける場
合に比べて、振動体１１０で発生する振動が支持部１２４，１２５を介して板バネ１４０
，１５０に伝わる（振動が外部に逃げる）ことを抑制することができる。その結果、駆動
エネルギーの損失を少なくして、対象物を効率よく駆動することができる。 Of these three node portions 116, the pair of front support portions 124 described above are provided on both sides in the Y direction of the front node portion 116 a on the side close to the protrusion portion 122, and the side far from the protrusion portion 122. The pair of rear support portions 125 described above are provided on both sides in the Y direction of the rear joint portion 116c (see FIG. 2B). In this way, the support portions 124 and 125 of the vibrating body 110 are connected to the node portion 11.
6, the vibration generated in the vibrating body 110 is caused by the leaf spring 140 via the support portions 124 and 125 as compared with the case where the vibration member 110 is provided on a portion different from the node portion 116 (such as the abdomen 114).
, 150 (vibration escapes to the outside) can be suppressed. As a result, the loss of driving energy can be reduced and the object can be driven efficiently.

以上に説明した圧電モーター１００の動作原理から明らかなように、対象物が受ける駆
動力は凸部１２２との間で生じる摩擦力に等しいので、圧電モーター１００は、振動体１
１０の凸部１２２を対象物に押し付けておく必要がある。本実施例の圧電モーター１００
では、２つの板バネ（前方板バネ１４０，後方板バネ１５０）を用いて振動体１１０を対
象物に向けて付勢する方式を採用している。 As is apparent from the operation principle of the piezoelectric motor 100 described above, the driving force received by the object is equal to the frictional force generated between the protrusion 122 and the piezoelectric motor 100 is the vibrating body 1.
It is necessary to press the ten convex portions 122 against the object. Piezoelectric motor 100 of this embodiment
In this case, a method of urging the vibrating body 110 toward the object using two leaf springs (the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150) is employed.

図５は、振動体１１０が対象物Ｗに向かって付勢される様子を示した説明図である。前
述したように振動体１１０は、Ｙ方向に向いた両側面に設けられた一対の前方支持部１２
４および一対の後方支持部１２５が、前方板バネ１４０および後方板バネ１５０の一端（
図中の上端）に設けられた台座部１４６，１５６に接合されている。これら前方板バネ１
４０および後方板バネ１５０は、振動体１１０に対してＺ方向（振動体１１０の伸縮方向
および屈曲方向の何れにも交差する方向）から延設されており、且つ、Ｘ方向（振動体１
１０の伸縮方向）に面してＸ方向に撓むことが可能である。そして、振動体１１０の凸部
１２２が設けられた側とは反対側（後方側）に向かって前方板バネ１４０および後方板バ
ネ１５０を撓ませると、前方板バネ１４０および後方板バネ１５０の復元力によって、振
動体１１０を凸部１２２が設けられた側（前方側）に向かって付勢（押圧）することがで
きる。尚、前方板バネ１４０および後方板バネ１５０が撓む際には、振動体１１０は水平
移動ではなく、Ｚ方向（図中の下方）にも移動する。 FIG. 5 is an explanatory view showing a state in which the vibrating body 110 is urged toward the object W. FIG. As described above, the vibrating body 110 is a pair of front support portions 12 provided on both side surfaces facing the Y direction.
4 and the pair of rear support portions 125 are one ends of the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 (
It is joined to pedestals 146 and 156 provided at the upper end in the drawing. These front leaf springs 1
40 and the rear leaf spring 150 are extended from the vibration body 110 in the Z direction (direction intersecting both the expansion and contraction direction and the bending direction of the vibration body 110), and in the X direction (vibration body 1).
It is possible to bend in the X direction facing (10 stretch directions). And if the front leaf | plate spring 140 and the rear leaf | plate spring 150 are bent toward the opposite side (back side) to the side in which the convex part 122 of the vibrating body 110 was provided, the decompression | restoration of the front leaf | plate spring 140 and the rear leaf | plate spring 150 will be carried out. By virtue of the force, the vibrating body 110 can be urged (pressed) toward the side where the convex portion 122 is provided (front side). Note that when the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 are bent, the vibrating body 110 moves not in the horizontal direction but also in the Z direction (downward in the drawing).

図５には、対象物Ｗとして回転円板を駆動する例が示されており、前方板バネ１４０お
よび後方板バネ１５０の固定部１４２，１５２を回転円板Ｗに対して適切な位置に固定し
て、前方板バネ１４０および後方板バネ１５０を後方側に撓めておけば、振動体１１０の
凸部１２２を回転円板Ｗの外周面に押し付けることができる。この状態で振動体１１０に
電圧を印加することによって凸部１２２が楕円運動を行うと、回転円板Ｗの外周面と凸部
１２２との間に生じる摩擦力によって回転円板Ｗを回転させることができる。尚、圧電モ
ーター１００による対象物Ｗの駆動は、回転運動に限られるわけではなく、直進運動（並
進運動）も可能である。 FIG. 5 shows an example in which a rotating disk is driven as the object W, and the fixing portions 142 and 152 of the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 are fixed at appropriate positions with respect to the rotating disk W. Then, if the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 are bent rearward, the convex portion 122 of the vibrating body 110 can be pressed against the outer peripheral surface of the rotating disk W. In this state, when the convex portion 122 performs an elliptical motion by applying a voltage to the vibrating body 110, the rotating disc W is rotated by the frictional force generated between the outer peripheral surface of the rotating disc W and the convex portion 122. Can do. The driving of the object W by the piezoelectric motor 100 is not limited to a rotational motion, and a linear motion (translational motion) is also possible.

また、対象物Ｗは、振動体１１０の凸部１２２から受ける摩擦力によって駆動されるこ
とから、圧電モーター１００を長期間に亘って使用していると、凸部１２２が当接する部
分が徐々に摩耗する。こうした摩耗が進む（深く摩耗する）と、対象物Ｗと凸部１２２と
の接触状態（対象物Ｗと凸部１２２との間に生じる摩擦力）が変化するので、対象物Ｗの
駆動量や駆動精度（対象物Ｗの位置決め精度など）が低下してしまうことがある。そこで
、本実施例の圧電モーター１００では、振動体１１０を対象物Ｗに向けて付勢する２つの
板バネ（前方板バネ１４０，後方板バネ１５０）が振動体１１０に対してＺ方向（振動体
１１０の伸縮方向および屈曲方向の何れにも交差する方向）から延設されている。こうす
ることで、対象物Ｗの摩耗による圧電モーター１００の駆動性能の低下を抑制することが
できる。 Further, since the object W is driven by the frictional force received from the convex portion 122 of the vibrating body 110, when the piezoelectric motor 100 is used for a long period of time, the portion where the convex portion 122 abuts gradually. Wear. When such wear proceeds (deeply wears), the contact state between the object W and the convex part 122 (friction force generated between the object W and the convex part 122) changes. The driving accuracy (such as positioning accuracy of the object W) may decrease. Therefore, in the piezoelectric motor 100 of the present embodiment, the two leaf springs (the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150) that urge the vibrating body 110 toward the object W are in the Z direction (vibration) with respect to the vibrating body 110. The body 110 extends in a direction that intersects both the expansion and contraction direction and the bending direction. By doing so, it is possible to suppress a decrease in driving performance of the piezoelectric motor 100 due to wear of the object W.

図６は、振動体１１０に対して２つの板バネ１４０，１５０をＺ方向から設けることで
、対象物Ｗの摩耗による圧電モーター１００の駆動性能の低下を抑制できる理由を示した
説明図である。図６には、対象物Ｗが摩耗する前の圧電モーター１００の状態が破線で示
されており、圧電モーター１００の使用によって対象物Ｗが摩耗した状態が実線で示され
ている。前述したように２つの板バネ（前方板バネ１４０，後方板バネ１５０）は、振動
体１１０の後方側（凸部１２２が設けられた側とは反対側）に撓められており、復元力で
振動体１１０を対象物Ｗに向かって付勢（押圧）している。そして、振動体１１０の凸部
１２２から受ける摩擦力によって対象物Ｗが摩耗すると、振動体１１０は対象物Ｗに向か
ってＸ方向に移動する。このとき、振動体１１０に対してＺ方向から設けられた２つの板
バネ１４０，１５０が撓んだ姿勢から復元しようとすることで、振動体１１０はＺ方向（
図中の上方）にも移動し、それに伴って、振動体１１０の凸部１２２が対象物Ｗに当接す
る位置（以下、当接位置）もＺ方向（図中の上方）に移動する。このように対象物Ｗの当
接位置が摩耗するのに伴ってＺ方向に当接位置が移動するので、一定の位置だけを深く摩
耗することがなく、凸部１２２を対象物Ｗの摩耗が進んでいない位置に当接させることが
できる。その結果、対象物Ｗと凸部１２２との接触状態が大きく変化することを抑制して
圧電モーター１００の駆動性能を維持することが可能となる。 FIG. 6 is an explanatory diagram showing the reason why the deterioration of the driving performance of the piezoelectric motor 100 due to the wear of the object W can be suppressed by providing the two leaf springs 140 and 150 with respect to the vibrating body 110 from the Z direction. . In FIG. 6, the state of the piezoelectric motor 100 before the object W is worn is indicated by a broken line, and the state where the object W is worn by the use of the piezoelectric motor 100 is indicated by a solid line. As described above, the two leaf springs (the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150) are bent toward the rear side of the vibrating body 110 (the side opposite to the side where the convex portion 122 is provided), and the restoring force. Thus, the vibrating body 110 is biased (pressed) toward the object W. When the object W is worn by the frictional force received from the convex portion 122 of the vibrating body 110, the vibrating body 110 moves in the X direction toward the object W. At this time, by trying to restore the posture in which the two leaf springs 140 and 150 provided in the Z direction with respect to the vibrating body 110 are bent, the vibrating body 110 is in the Z direction (
Accordingly, the position where the convex portion 122 of the vibrating body 110 abuts against the object W (hereinafter referred to as the abutment position) also moves in the Z direction (upward in the figure). As the contact position of the object W is worn in this way, the contact position moves in the Z direction, so that only a certain position is not worn deeply, and the protrusion 122 is worn by the object W. It can be brought into contact with a position not advanced. As a result, it is possible to maintain the drive performance of the piezoelectric motor 100 by suppressing a large change in the contact state between the object W and the convex portion 122.

尚、本実施例の圧電モーター１００では、２つの板バネ（前方板バネ１４０，後方板バ
ネ１５０）を振動体１１０に対してＺ方向（振動体１１０の伸縮方向および屈曲方向の何
れにも直交する方向）から延設しているが、Ｚ方向に限られず、振動体１１０の伸縮方向
および屈曲方向の何れにも交差する方向であればよい。例えば、伸縮方向に対して６０度
傾斜し、屈曲方向に対して８０度傾斜した方向から２つの板バネ１４０，１５０を延設し
てもよい。２つの板バネ１４０，１５０を延設する方向（延設方向）が振動体１１０の伸
縮方向および屈曲方向の何れにも交差していれば、対象物Ｗの摩耗に伴って２つの板バネ
１４０，１５０が撓んだ姿勢から復元しようとすることで、振動体１１０の凸部１２２が
対象物Ｗに当接する位置（当接位置）が延設方向に移動するので、凸部１２２を対象物の
摩耗が進んでいない位置に当接させることができる。 In the piezoelectric motor 100 of the present embodiment, two leaf springs (the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150) are orthogonal to the vibrating body 110 in both the Z direction (the expansion and contraction direction and the bending direction of the vibrating body 110). However, the direction is not limited to the Z direction, and may be any direction that intersects both the expansion and contraction direction and the bending direction of the vibrating body 110. For example, the two leaf springs 140 and 150 may be extended from a direction inclined by 60 degrees with respect to the expansion / contraction direction and inclined by 80 degrees with respect to the bending direction. If the direction (extension direction) in which the two leaf springs 140 and 150 are extended intersects both the expansion and contraction direction and the bending direction of the vibrating body 110, the two leaf springs 140 are associated with wear of the object W. , 150 is restored from the bent posture, the position (contact position) at which the convex portion 122 of the vibrating body 110 abuts against the object W moves in the extending direction. Can be brought into contact with a position where the wear is not progressing.

以下では、上述した本実施例の圧電モーター１００の変形例について説明する。尚、変
形例の説明にあたっては、上述の実施例と同様の構成部分については、先に説明した実施
例と同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。 Below, the modification of the piezoelectric motor 100 of the present Example mentioned above is demonstrated. In the description of the modified example, the same components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the above-described embodiment, and the detailed description thereof is omitted.

図７は、第１変形例の圧電モーター１００を構成する一体成形部１８０の形状を示した
説明図である。図７（ａ）には、第１変形例の一体成形部１８０の展開図が示されている
。この一体成形部１８０は、一枚の金属平板からの打ち抜きにより形成されている。図示
されているように一体成形部１８０には、振動体１１０を構成するシム板１２０が一対の
前方板バネ１４０および一対の後方板バネ１５０と一体に設けられている。シム板１２０
と前方板バネ１４０との間は一対の前方支持部１２４で繋がっており、シム板１２０と後
方板バネ１５０との間は一対の後方支持部１２５で繋がっている。また、圧電モーター１
００を設置する際に前方板バネ１４０を固定する固定部１４２や、後方板バネ１５０を固
定する固定部１５２も一体成形部１８０内に設けられている。さらに、一体成形部１８０
には、前述した実施例にはない構成である補強部１２８が設けられており、この補強部１
２８は、前方支持部１２４の前方板バネ１４０側の端部と後方支持部１２５の後方板バネ
１５０側の端部とに接続している。 FIG. 7 is an explanatory view showing the shape of the integrally molded portion 180 constituting the piezoelectric motor 100 of the first modification. FIG. 7A shows a development view of the integrally molded portion 180 of the first modified example. The integrally formed portion 180 is formed by punching from a single metal flat plate. As shown in the figure, the integral molding portion 180 is provided with a shim plate 120 constituting the vibrating body 110 integrally with a pair of front leaf springs 140 and a pair of rear leaf springs 150. Shim plate 120
And the front leaf spring 140 are connected by a pair of front support portions 124, and the shim plate 120 and the rear leaf spring 150 are connected by a pair of rear support portions 125. The piezoelectric motor 1
A fixing part 142 for fixing the front leaf spring 140 and a fixing part 152 for fixing the rear leaf spring 150 when installing 00 are also provided in the integral molding part 180. Furthermore, the integral molding part 180
Is provided with a reinforcing portion 128 having a configuration not in the above-described embodiment.
28 is connected to the end part of the front support part 124 on the front plate spring 140 side and the end part of the rear support part 125 on the rear plate spring 150 side.

このような一枚の金属平板から打ち抜いて形成された一体成形部１８０は、図７（ａ）
中の破線に沿って谷折りに折り曲げられ、一点鎖線に沿って山折りに折り曲げられる。尚
、一枚の金属平板から打ち抜きと同時に折り曲げを行ってもよい。図７（ｂ）には、一体
成形部１８０を折り曲げた後の状態が斜視図で示されている。こうして一体成形部１８０
を折り曲げた後、表電極１３２が設けられた表圧電素子１３０と裏電極１３３が設けられ
た裏圧電素子１３１との間にシム板１２０を挟んで貼り合わせる（図２（ａ）参照）こと
で振動体１１０が作製される。図７（ｂ）に示されているように、第１変形例の前方板バ
ネ１４０および後方板バネ１５０は、前述した実施例と同様に、振動体１１０に対してＺ
方向（振動体１１０の伸縮方向および屈曲方向の何れにも交差する方向）から延設されて
おり、且つ、Ｘ方向（振動体１１０の伸縮方向）に面してＸ方向に撓むことが可能である
。 The integrally formed portion 180 formed by punching from such a single metal flat plate is shown in FIG.
It is folded into a valley fold along the broken line inside, and folded into a mountain fold along the alternate long and short dash line. It should be noted that bending may be performed simultaneously with punching from one metal flat plate. FIG. 7B is a perspective view showing a state after the integrally molded portion 180 is bent. Thus, the integrally molded portion 180
After the sheet is bent, the shim plate 120 is sandwiched between the front piezoelectric element 130 provided with the front electrode 132 and the back piezoelectric element 131 provided with the back electrode 133 (see FIG. 2A). The vibrating body 110 is produced. As shown in FIG. 7 (b), the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 of the first modification are Z with respect to the vibrating body 110 in the same manner as in the above-described embodiment.
It extends from the direction (the direction intersecting both the expansion and contraction direction and the bending direction of the vibrating body 110) and can be bent in the X direction facing the X direction (the expansion and contraction direction of the vibration body 110). It is.

このような第１変形例の圧電モーター１００においても、前述した実施例と同様に、前
方板バネ１４０および後方板バネ１５０を振動体１１０の後方側（凸部１２２が設けられ
た側とは反対側）に撓めておけば、振動体１１０が前方側（凸部１２２が設けられた側）
に向かって付勢（押圧）されるので、凸部１２２を対象物に押し当てることができる。ま
た、対象物の当接位置（凸部１２２が当接する位置）が摩耗すると、２つの板バネ１４０
，１５０が撓んだ姿勢から復元しようとすることで、振動体１１０が対象物に向かってＸ
方向に移動するだけでなくＺ方向にも移動するので、凸部１２２を対象物の摩耗が進んで
いない位置に当接させることができる。その結果、対象物の摩耗による圧電モーター１０
０の駆動性能の低下を抑制することが可能となる。 In the piezoelectric motor 100 according to the first modified example, the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 are arranged on the rear side of the vibrating body 110 (the side opposite to the side on which the convex portion 122 is provided) as in the above-described embodiment. If it is bent to the side), the vibrating body 110 is on the front side (the side on which the convex portion 122 is provided).
The projection 122 can be pressed against the object. Further, when the contact position of the object (position where the convex portion 122 contacts) is worn, the two leaf springs 140 are used.
, 150 tries to recover from the bent posture, so that the vibrating body 110 moves toward the object X
Since it moves not only in the direction but also in the Z direction, the convex part 122 can be brought into contact with a position where the wear of the object has not progressed. As a result, the piezoelectric motor 10 due to wear of the object.
It is possible to suppress a decrease in driving performance of zero.

また、第１変形例の前方支持部１２４および後方支持部１２５についても、前述した実
施例と同様に、振動体１１０の節部１１６の両側に設けておくことで（図４参照）、振動
体１１０で発生する振動が支持部１２４，１２５を介して板バネ１４０，１５０に伝わる
（振動が外部に逃げる）ことを抑制することができる。そして、第１変形例のように前方
支持部１２４と後方支持部１２５とに接続する補強部１２８を設けておけば、支持部１２
４，１２５の板バネ１４０，１５０側の付け根（板バネ１４０，１５０に接続する部分）
の剛性が高まるので、さらに振動の伝わりを抑制することができる。 Also, the front support portion 124 and the rear support portion 125 of the first modified example are provided on both sides of the node portion 116 of the vibrating body 110 (see FIG. 4), similarly to the above-described embodiment, so that the vibrating body. It is possible to suppress vibration generated in 110 from being transmitted to the leaf springs 140 and 150 via the support portions 124 and 125 (vibration escapes to the outside). And if the reinforcement part 128 connected to the front support part 124 and the back support part 125 is provided like a 1st modification, the support part 12 will be provided.
4,125 leaf springs 140, 150 side root (portion connected to leaf springs 140, 150)
Since the rigidity of the is increased, the transmission of vibration can be further suppressed.

また、第１変形例の圧電モーター１００では、一枚の金属平板から打ち抜いた一体成形
部１８０を折り曲げることで、シム板１２０、前方板バネ１４０、後方板バネ１５０が一
体に成形されている。このため、シム板１２０と、前方板バネ１４０および後方板バネ１
５０とを別体とした場合に比べて、両者を接合する工程を省くことができるので、圧電モ
ーター１００の製造が容易となる。加えて、接合ビスなどの接合部材が不要となるので、
圧電モーター１００の製造コストの低減を図ることができる。 Further, in the piezoelectric motor 100 of the first modified example, the shim plate 120, the front plate spring 140, and the rear plate spring 150 are integrally formed by bending an integrally formed portion 180 punched from one metal flat plate. Therefore, the shim plate 120, the front leaf spring 140, and the rear leaf spring 1
Compared with the case where 50 is a separate body, the step of joining the two can be omitted, so that the piezoelectric motor 100 can be easily manufactured. In addition, since joint members such as joint screws are not required,
The manufacturing cost of the piezoelectric motor 100 can be reduced.

図８は、第２変形例の圧電モーター１００を構成する一体成形部１８０の形状を示した
説明図である。図８（ａ）には、第２変形例の一体成形部１８０の展開図が示されている
。第２変形例の一体成形部１８０も、前述した第１変形例と同様に、一枚の金属平板から
の打ち抜きにより形成されている。第２変形例の一体成形部１８０は、補強部１２８のＹ
方向の両側に曲げ部１２９が設けられている点で、第１変形例の一体成形部１８０とは異
なっている。この曲げ部１２９は、図中に一点鎖線で示したＸ方向の折り目に沿って山折
りに折り曲げられる。 FIG. 8 is an explanatory view showing the shape of the integrally molded portion 180 constituting the piezoelectric motor 100 of the second modified example. FIG. 8A shows a development view of the integrally molded portion 180 of the second modification. Similarly to the first modified example described above, the integrally molded portion 180 of the second modified example is also formed by punching from a single metal flat plate. The integrally molded portion 180 of the second modified example is the Y of the reinforcing portion 128.
This is different from the integrally molded portion 180 of the first modified example in that bent portions 129 are provided on both sides in the direction. The bent portion 129 is bent into a mountain fold along a fold in the X direction indicated by a one-dot chain line in the drawing.

図８（ｂ）には、第２変形例の一体成形部１８０を折り曲げた後の状態が斜視図で示さ
れている。このように前方支持部１２４と後方支持部１２５とに接続する補強部１２８の
両側に曲げ部１２９を設けることにより、補強部１２８の剛性を高めることができる。そ
の結果、振動体１１０で発生する振動が支持部１２４，１２５を介して板バネ１４０，１
５０に伝わることを抑制する効果を高めることができる。 FIG. 8B shows a perspective view of the state after the integrally molded portion 180 of the second modified example is bent. Thus, by providing the bent portions 129 on both sides of the reinforcing portion 128 connected to the front support portion 124 and the rear support portion 125, the rigidity of the reinforcing portion 128 can be increased. As a result, the vibration generated in the vibrating body 110 is transmitted through the support portions 124 and 125 to the leaf springs 140 and 1.
The effect which suppresses transmitting to 50 can be heightened.

図９は、第３変形例の圧電モーター１００を構成する一体成形部１８０の形状を示した
説明図である。図９には、第３変形例の一体成形部１８０を折り曲げた後の状態が斜視図
で示されている。第１変形例の一体成形部１８０（図７参照）と比較すると、第３変形例
の一体成形部１８０には、補強部１２８が設けられておらず、その代わりに、一体成形部
１８０とは別体に設けられた補強板１６０が、前方支持部１２４および後方支持部１２５
に接合ビス１６２，１６３で接合されている。 FIG. 9 is an explanatory view showing the shape of the integrally molded portion 180 constituting the piezoelectric motor 100 of the third modified example. FIG. 9 is a perspective view showing a state after the integrally molded portion 180 of the third modified example is bent. Compared to the integrally molded portion 180 of the first modification (see FIG. 7), the integrally molded portion 180 of the third modified example is not provided with the reinforcing portion 128. The reinforcing plate 160 provided separately is a front support portion 124 and a rear support portion 125.
Are joined by joint screws 162 and 163.

このような第３変形例の圧電モーター１００では、一体成形部１８０よりも剛性の高い
補強板１６０を用いることによって、振動体１１０で発生する振動が支持部１２４，１２
５を介して板バネ１４０，１５０に伝わることを抑制する効果を高めることができる。 In the piezoelectric motor 100 according to the third modified example, by using the reinforcing plate 160 having rigidity higher than that of the integrally molded portion 180, vibration generated in the vibrating body 110 is supported by the support portions 124 and 12.
The effect of suppressing the transmission to the leaf springs 140 and 150 via 5 can be enhanced.

図１０は、第４変形例の圧電モーター１００を構成する一体成形部１８０の形状を示し
た説明図である。図１０には、第４変形例の一体成形部１８０を折り曲げた後の状態が斜
視図で示されている。第４変形例の一体成形部１８０には、前方支持部１２４および後方
支持部１２５が設けられておらず、振動体１１０の長手方向（Ｘ方向）の端部に前方板バ
ネ１４０および後方板バネ１５０が直接繋がっている。 FIG. 10 is an explanatory view showing the shape of the integrally molded portion 180 constituting the piezoelectric motor 100 of the fourth modified example. FIG. 10 is a perspective view showing a state after the integrally molded portion 180 of the fourth modified example is bent. The integrally molded portion 180 of the fourth modified example is not provided with the front support portion 124 and the rear support portion 125, and the front leaf spring 140 and the rear leaf spring are disposed at the end in the longitudinal direction (X direction) of the vibrating body 110. 150 are directly connected.

このような第４変形例の一体成形部１８０であれば、前方支持部１２４や後方支持部１
２５を有する場合に比べて形状が簡単になるので、一枚の金属平板からの一体成形部１８
０の打ち抜きや折り曲げによる圧電モーター１００の製造が容易となる。 In the case of such an integrally molded part 180 of the fourth modified example, the front support part 124 and the rear support part 1
Since the shape becomes simple compared to the case of having 25, the integrally formed portion 18 from a single metal flat plate.
Manufacture of the piezoelectric motor 100 by punching or bending zero is facilitated.

上述した実施例の圧電モーター１００あるいは変形例の圧電モーター１００は、対象物
の摩耗による駆動性能の低下を抑制することができるため、以下のような装置の駆動装置
として好適に組み込むことができる。 Since the piezoelectric motor 100 of the above-described embodiment or the piezoelectric motor 100 of the modified example can suppress a decrease in driving performance due to wear of the object, it can be suitably incorporated as a driving device of the following device.

図１１は、実施例あるいは変形例の圧電モーター１００を組み込んだロボットハンド２
００を例示した説明図である。図示したロボットハンド２００は、基台２０２から複数本
の指部２０３が立設されており、手首２０４を介してアーム２１０に接続されている。こ
こで、図１１（ａ）に示されるように、指部２０３の根元の部分（可動部）は基台２０２
内で移動可能となっており、この指部２０３の根元の部分に凸部１２２を押しつけた状態
で圧電モーター１００が搭載されている。このため、圧電モーター１００を動作させるこ
とで、指部２０３を移動させて対象物を把持することができる。この圧電モーター１００
は、指部２０３を移動させる駆動部となっている。また、手首２０４の部分にも、手首２
０４の端面に凸部１２２を押しつけた状態で圧電モーター１００が搭載されている。この
ため、圧電モーター１００を動作させることで、基台２０２全体を回転させることが可能
である。 FIG. 11 shows a robot hand 2 incorporating the piezoelectric motor 100 of the embodiment or the modified example.
It is explanatory drawing which illustrated 00. The illustrated robot hand 200 has a plurality of fingers 203 standing from a base 202 and is connected to an arm 210 via a wrist 204. Here, as shown in FIG. 11A, the base portion (movable portion) of the finger 203 is a base 202.
The piezoelectric motor 100 is mounted with the convex portion 122 pressed against the base portion of the finger portion 203. For this reason, by operating the piezoelectric motor 100, the finger part 203 can be moved and the object can be gripped. This piezoelectric motor 100
Is a driving unit that moves the finger unit 203. In addition, the wrist 2 is also attached to the wrist 204.
The piezoelectric motor 100 is mounted with the convex portion 122 pressed against the end face of 04. For this reason, it is possible to rotate the whole base 202 by operating the piezoelectric motor 100.

また、図１１（ｂ）に示されるように、指部２０３には、指部２０３の屈曲を可能とす
る関節部２０５が設けられている。この関節部２０５にも、関節部２０５の回動させる部
分（可動部）に凸部１２２を押し付けた状態で圧電モーター１００が搭載されている。こ
のため、圧電モーター１００を動作させることで、指部２０３を屈曲させることができる
。 In addition, as shown in FIG. 11B, the finger part 203 is provided with a joint part 205 that allows the finger part 203 to be bent. Also in the joint portion 205, the piezoelectric motor 100 is mounted in a state where the convex portion 122 is pressed against a portion (movable portion) to be rotated of the joint portion 205. For this reason, the finger part 203 can be bent by operating the piezoelectric motor 100.

図１２は、ロボットハンド２００（ハンド部）を備えた単腕のロボット２５０を例示し
た説明図である。図示されるようにロボット２５０は、複数本のリンク部２１２（リンク
部材）と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備え
たアーム２１０（腕部）を有している。また、ロボットハンド２００はアーム２１０の先
端に接続されている。そして、関節部２２０には、関節部２２０を屈曲させるための駆動
部として実施例あるいは変形例の圧電モーター１００が内蔵されており、関節部２２０の
回動させる部分（可動部）に凸部１２２が押し付けられている。このため、圧電モーター
１００を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲（回動）
させることが可能である。 FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating a single-arm robot 250 including the robot hand 200 (hand unit). As shown in the figure, the robot 250 has an arm 210 (arm part) including a plurality of link parts 212 (link members) and a joint part 220 that connects the link parts 212 in a bendable state. doing. The robot hand 200 is connected to the tip of the arm 210. The joint portion 220 incorporates the piezoelectric motor 100 of the embodiment or the modified example as a drive portion for bending the joint portion 220, and the convex portion 122 is provided on a portion to be rotated (movable portion) of the joint portion 220. Is pressed. Therefore, by operating the piezoelectric motor 100, each joint 220 is bent (rotated) by an arbitrary angle.
It is possible to make it.

図１３は、ロボットハンド２００を備えた複腕のロボット２６０を例示した説明図であ
る。図示されるようにロボット２６０は、複数本のリンク部２１２と、それらリンク部２
１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０を複数本（図
示した例では２本）有している。アーム２１０の先端には、ロボットハンド２００や、工
具２０１（ハンド部）が接続されている。また、頭部２６２には複数台のカメラ２６３が
搭載され、本体部２６４の内部には全体の動作を制御する制御部２６６が搭載されている
。更に、本体部２６４の底面に設けられたキャスター２６８によって搬送可能である。こ
のロボット２６０にも、関節部２２０には、関節部２２０を屈曲させるための駆動部とし
て実施例あるいは変形例の圧電モーター１００が内蔵されており、関節部２２０の回動さ
せる部分（可動部）に凸部１２２が押し付けられている。このため、圧電モーター１００
を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲（回動）させる
ことが可能である。 FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating a multi-armed robot 260 including the robot hand 200. As shown in the figure, the robot 260 includes a plurality of link portions 212 and the link portions 2.
There are a plurality of arms 210 (two in the illustrated example) provided with joints 220 that connect the twelve members in a bendable state. A robot hand 200 and a tool 201 (hand unit) are connected to the tip of the arm 210. In addition, a plurality of cameras 263 are mounted on the head 262, and a control unit 266 that controls the overall operation is mounted inside the main body 264. Further, it can be conveyed by a caster 268 provided on the bottom surface of the main body 264. Also in this robot 260, the joint unit 220 incorporates the piezoelectric motor 100 of the embodiment or the modified example as a drive unit for bending the joint unit 220, and a part to which the joint unit 220 is rotated (movable unit). Convex part 122 is pressed on. For this reason, the piezoelectric motor 100
By operating, each joint part 220 can be bent (rotated) by an arbitrary angle.

図１４は、実施例あるいは変形例の圧電モーター１００を組み込んで構成された電子部
品検査装置３００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置３００は、大まか
には基台３１０と、基台３１０の側面に立設された支持台３３０とを備えている。基台３
１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ３１２ｕ
と、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ３１２ｄとが設けられ
ている。また、上流側ステージ３１２ｕと下流側ステージ３１２ｄとの間には、電子部品
１の姿勢を確認するための撮像装置３１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１
がセットされる検査台３１６（検査部）とが設けられている。尚、電子部品１の代表的な
ものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「ＬＣＤやＯＬＥＤなどの表示デバ
イス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥ
ＭＳデバイス」などが挙げられる。 FIG. 14 is a perspective view illustrating an electronic component inspection apparatus 300 configured by incorporating the piezoelectric motor 100 of the example or the modification. The illustrated electronic component inspection apparatus 300 is roughly provided with a base 310 and a support base 330 standing on the side surface of the base 310. Base 3
10 is an upstream stage 312u on which the electronic component 1 to be inspected is placed and transported.
And a downstream stage 312d on which the inspected electronic component 1 is placed and conveyed. Further, between the upstream stage 312u and the downstream stage 312d, an imaging device 314 for confirming the posture of the electronic component 1 and the electronic component 1 for inspecting the electrical characteristics.
Is provided with an inspection table 316 (inspection unit). Representative examples of the electronic component 1 include “semiconductor”, “semiconductor wafer”, “display device such as LCD and OLED”, “crystal device”, “various sensors”, “inkjet head”, “various types” ME
MS device "etc. are mentioned.

また、支持台３３０には、基台３１０の上流側ステージ３１２ｕおよび下流側ステージ
３１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ３３２が設けられており、Ｙス
テージ３３２からは、基台３１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部３３４が延設されている
。また、腕部３３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ３３６が設けられている
。そして、Ｘステージ３３６には、撮像カメラ３３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能
なＺステージを内蔵した把持装置３５０が設けられている。また、把持装置３５０の先端
には、電子部品１を把持する把持部３５２が設けられている。更に、基台３１０の前面側
には、電子部品検査装置３００の全体の動作を制御する制御装置３１８も設けられている
。尚、本実施例では、支持台３３０に設けられたＹステージ３３２や、腕部３３４や、Ｘ
ステージ３３６や、把持装置３５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。 Further, the support base 330 is provided with a Y stage 332 that is movable in a direction (Y direction) parallel to the upstream stage 312u and the downstream stage 312d of the base 310, and from the Y stage 332, the base An arm portion 334 is extended in the direction toward X (X direction). An X stage 336 is provided on the side surface of the arm 334 so as to be movable in the X direction. The X stage 336 is provided with an imaging camera 338 and a gripping device 350 incorporating a Z stage movable in the vertical direction (Z direction). In addition, a grip portion 352 that grips the electronic component 1 is provided at the tip of the grip device 350. Further, a control device 318 for controlling the overall operation of the electronic component inspection apparatus 300 is also provided on the front side of the base 310. In this embodiment, the Y stage 332, the arm portion 334, the X
The stage 336 and the gripping device 350 correspond to the “electronic component transport device” of the present invention.

以上のような構成を有する電子部品検査装置３００は、次のようにして電子部品１の検
査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ３１２ｕに載せられて、検査
台３１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かし
て、上流側ステージ３１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置３５０を
移動させる。このとき、撮像カメラ３３８を用いて電子部品１の位置を確認することがで
きる。そして、把持装置３５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置３５０を降下
させて、把持部３５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置３５０を撮像装置３
１４の上に移動させて、撮像装置３１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、
把持装置３５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そし
て、把持装置３５０を検査台３１６の上まで移動させた後、把持装置３５０に内蔵された
Ｚステージを動かして電子部品１を検査台３１６の上にセットする。把持装置３５０内の
微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台３１６の正しい位置
に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台３１６を用いて電子部品１の電
気的な特性の検査が終了したら、今度は検査台３１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙ
ステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、下流側ステージ３１２ｄの上まで把
持装置３５０を移動させ、下流側ステージ３１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側
ステージ３１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。 The electronic component inspection apparatus 300 having the above configuration inspects the electronic component 1 as follows. First, the electronic component 1 to be inspected is placed on the upstream stage 312u and moved to the vicinity of the inspection table 316. Next, the Y stage 332 and the X stage 336 are moved to move the gripping device 350 to a position directly above the electronic component 1 placed on the upstream stage 312u. At this time, the position of the electronic component 1 can be confirmed using the imaging camera 338. When the gripping device 350 is lowered using the Z stage built in the gripping device 350 and the electronic component 1 is gripped by the gripping portion 352, the gripping device 350 is directly used as the imaging device 3.
14, and the posture of the electronic component 1 is confirmed using the imaging device 314. continue,
The attitude of the electronic component 1 is adjusted using a fine adjustment mechanism built in the gripping device 350. Then, after moving the gripping device 350 onto the inspection table 316, the Z stage built in the gripping device 350 is moved to set the electronic component 1 on the inspection table 316. Since the posture of the electronic component 1 is adjusted using the fine adjustment mechanism in the gripping device 350, the electronic component 1 can be set at the correct position on the inspection table 316. When the inspection of the electrical characteristics of the electronic component 1 is completed using the inspection table 316, the electronic component 1 is picked up from the inspection table 316 and then Y
The stage 332 and the X stage 336 are moved to move the gripping device 350 over the downstream stage 312d, and the electronic component 1 is placed on the downstream stage 312d. Thereafter, the downstream stage 312d is moved to transport the electronic component 1 that has been inspected to a predetermined position.

図１５は、把持装置３５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示され
るように把持装置３５０内には、把持部３５２に接続された回転軸３５４や、回転軸３５
４が回転可能に取り付けられた微調整プレート３５６（可動部）などが設けられている。
また、微調整プレート３５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方
向およびＹ方向に移動可能である。 FIG. 15 is an explanatory diagram of a fine adjustment mechanism built in the gripping device 350. As shown in the drawing, in the gripping device 350, a rotating shaft 354 connected to the gripping portion 352, and the rotating shaft 35
A fine adjustment plate 356 (movable part) to which 4 is rotatably attached is provided.
Further, the fine adjustment plate 356 is movable in the X direction and the Y direction while being guided by a guide mechanism (not shown).

ここで、図１５に斜線を付して示されるように、回転軸３５４の端面に向けて回転方向
用の圧電モーター１００θが搭載されており、圧電モーター１００θの凸部（図示は省略
）が回転軸３５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１００θを動作
させることによって、回転軸３５４（および把持部３５２）をθ方向に任意の角度だけ精
度良く回転させることが可能である。また、微調整プレート３５６に向けてＸ方向用の圧
電モーター１００ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１００ｙとが設けられており、それぞれ
の凸部（図示は省略）が微調整プレート３５６の表面に押しつけられている。このため、
圧電モーター１００ｘを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部
３５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モータ
ー１００ｙを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）を
Ｙ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能である。従って、図１４の電子部
品検査装置３００は、圧電モーター１００θ、圧電モーター１００ｘ、圧電モーター１０
０ｙを動作させることにより、把持部３５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整するこ
とが可能である。 Here, as shown by hatching in FIG. 15, a piezoelectric motor 100θ for rotation direction is mounted toward the end surface of the rotation shaft 354, and a convex portion (not shown) of the piezoelectric motor 100θ rotates. It is pressed against the end face of the shaft 354. Therefore, by operating the piezoelectric motor 100θ, the rotation shaft 354 (and the grip portion 352) can be accurately rotated by an arbitrary angle in the θ direction. In addition, an X-direction piezoelectric motor 100x and a Y-direction piezoelectric motor 100y are provided toward the fine adjustment plate 356, and respective convex portions (not shown) are pressed against the surface of the fine adjustment plate 356. It has been. For this reason,
By operating the piezoelectric motor 100x, the fine adjustment plate 356 (and the grip portion 352) can be accurately moved by an arbitrary distance in the X direction. Similarly, by operating the piezoelectric motor 100y, the fine adjustment plate It is possible to accurately move 356 (and the grip portion 352) by an arbitrary distance in the Y direction. Accordingly, the electronic component inspection apparatus 300 of FIG. 14 includes the piezoelectric motor 100θ, the piezoelectric motor 100x, and the piezoelectric motor 10.
By operating 0y, it is possible to finely adjust the posture of the electronic component 1 gripped by the grip portion 352.

図１６は、実施例あるいは変形例の圧電モーター１００を組み込んで構成された送液ポ
ンプ４００を例示した説明図である。図１６（ａ）には送液ポンプ４００を上面視した平
面図が示されており、図１６（ｂ）には送液ポンプ４００を側面視した断面図が示されて
いる。図示されるように送液ポンプ４００は、矩形形状のケース４０２内に円板形状のロ
ーター４０４（移動部）が回転可能に設けられており、ケース４０２とローター４０４と
の間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ４０６が挟持されている。また、チ
ューブ４０６の一部は、ローター４０４に設けられたボール４０８（閉塞部）によって押
しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター４０４が回転すると、ボール
４０８がチューブ４０６を押しつぶす位置が移動するので、チューブ４０６内の液体が送
液される。そして、圧電モーター１００の凸部１２２をローター４０４の外周面に押し付
けた状態で設ければ、ローター４０４を駆動する駆動部として用いることができる。こう
すれば、極僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ４００を実現するこ
とができる。 FIG. 16 is an explanatory view exemplifying a liquid feed pump 400 configured by incorporating the piezoelectric motor 100 of the example or the modification. FIG. 16A shows a plan view of the liquid feed pump 400 as viewed from above, and FIG. 16B shows a cross-sectional view of the liquid feed pump 400 as viewed from the side. As shown in the figure, a liquid feed pump 400 is provided with a disk-shaped rotor 404 (moving part) rotatably in a rectangular-shaped case 402, and between the case 402 and the rotor 404, a chemical solution or the like is provided. A tube 406 through which the liquid flows is sandwiched. A part of the tube 406 is crushed and closed by a ball 408 (blocking portion) provided on the rotor 404. Therefore, when the rotor 404 rotates, the position where the ball 408 crushes the tube 406 moves, so that the liquid in the tube 406 is fed. If the convex portion 122 of the piezoelectric motor 100 is pressed against the outer peripheral surface of the rotor 404, the piezoelectric motor 100 can be used as a drive unit that drives the rotor 404. In this way, it is possible to realize a small liquid feed pump 400 that can accurately deliver a very small amount of liquid.

図１７は、実施例あるいは変形例の圧電モーター１００を組み込んだ印刷装置５００を
例示した斜視図である。図示した印刷装置５００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射し
て画像を印刷する、いわゆるインクジェットプリンターである。尚、印刷装置５００が印
刷する「画像」には、文字、図形、絵画、模様、写真映像などが含まれるものとする。印
刷装置５００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ５０１や
、排出口５０２や、複数の操作ボタン５０５が設けられている。また、背面側には供給ト
レイ５０３が設けられている。供給トレイ５０３に印刷媒体２をセットして操作ボタン５
０５を操作すると、供給トレイ５０３から印刷媒体２が吸い込まれて、印刷装置５００の
内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷された後、排出口５０２から排出される。 FIG. 17 is a perspective view illustrating a printing apparatus 500 incorporating the piezoelectric motor 100 according to the embodiment or the modification. The illustrated printing apparatus 500 is a so-called inkjet printer that prints an image by ejecting ink onto the surface of the print medium 2. The “image” printed by the printing apparatus 500 includes characters, graphics, paintings, patterns, photographic images, and the like. The printing apparatus 500 has a substantially box-shaped appearance, and is provided with a paper discharge tray 501, a discharge port 502, and a plurality of operation buttons 505 at the front center. A supply tray 503 is provided on the back side. The printing medium 2 is set on the supply tray 503 and the operation button 5
When 05 is operated, the print medium 2 is sucked from the supply tray 503, an image is printed on the surface of the print medium 2 inside the printing apparatus 500, and then discharged from the discharge port 502.

印刷装置５００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動する印刷ヘッド５２０
と、印刷ヘッド５２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール５１０が設けられ
ている。また、図示した印刷ヘッド５２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する印字部５
２２や、印刷ヘッド５２０を主走査方向に走査するための走査部５２４などから構成され
ている。印字部５２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設け
られており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また
、走査部５２４には、駆動部としての圧電モーター１００ｍ，１００ｓが搭載されている
。圧電モーター１００ｍの凸部（図示は省略）はガイドレール５１０に押しつけられてい
る。このため、圧電モーター１００ｍを動作させることで、印刷ヘッド５２０を主走査方
向に移動させることができる。また、圧電モーター１００ｓの凸部１２２は、印字部５２
２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｓを動作させることで、
印字部５２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが
可能である。また、印刷装置５００には、ロール紙５０４を切断するための切断機構５３
０も搭載されている。切断機構５３０は、用紙カッター５３６を先端に搭載したカッター
ホルダー５３２と、カッターホルダー５３２を貫通して主走査方向に延設されたガイド軸
５３４とを備えている。カッターホルダー５３２内には圧電モーター１００ｃが搭載され
ており、圧電モーター１００ｃの図示しない凸部はガイド軸５３４に押し付けられている
。このため、圧電モーター１００ｃを動作させるとカッターホルダー５３２がガイド軸５
３４に沿って主走査方向に移動し、用紙カッター５３６がロール紙５０４を切断する。ま
た、印刷媒体２を紙送りするための駆動部として圧電モーター１００を用いることも可能
である。 Inside the printing apparatus 500 is a print head 520 that reciprocates in the main scanning direction on the print medium 2.
And a guide rail 510 for guiding the movement of the print head 520 in the main scanning direction. The illustrated print head 520 includes a printing unit 5 that ejects ink onto the print medium 2.
22 and a scanning unit 524 for scanning the print head 520 in the main scanning direction. A plurality of ejection nozzles are provided on the bottom surface side (side facing the printing medium 2) of the printing unit 522, and ink can be ejected from the ejection nozzles toward the printing medium 2. The scanning unit 524 is equipped with piezoelectric motors 100m and 100s as driving units. A convex portion (not shown) of the piezoelectric motor 100m is pressed against the guide rail 510. For this reason, the print head 520 can be moved in the main scanning direction by operating the piezoelectric motor 100m. Further, the convex portion 122 of the piezoelectric motor 100 s has a printing portion 52.
2 is pressed against. For this reason, by operating the piezoelectric motor 100s,
It is possible to bring the bottom side of the printing unit 522 closer to the printing medium 2 or away from the printing medium 2. Further, the printing apparatus 500 includes a cutting mechanism 53 for cutting the roll paper 504.
0 is also installed. The cutting mechanism 530 includes a cutter holder 532 having a paper cutter 536 mounted at the tip thereof, and a guide shaft 534 extending through the cutter holder 532 in the main scanning direction. A piezoelectric motor 100 c is mounted in the cutter holder 532, and a convex portion (not shown) of the piezoelectric motor 100 c is pressed against the guide shaft 534. Therefore, when the piezoelectric motor 100c is operated, the cutter holder 532 is moved to the guide shaft 5
34, the paper cutter 536 cuts the roll paper 504. It is also possible to use the piezoelectric motor 100 as a drive unit for feeding the print medium 2 to paper.

図１８は、実施例あるいは変形例の圧電モーター１００を組み込んだ電子時計６００の
内部構造を例示した説明図である。図１８では、電子時計６００の時刻表示側とは反対側
（裏蓋側）から見た平面図が示されている。図１８に例示した電子時計６００の内部には
、円板形状の回転円板６０２と、回転円板６０２の回転を、時刻を表示する指針（図示省
略）に伝達する歯車列６０４と、回転円板６０２を駆動する駆動部としての圧電モーター
１００と、電力供給部６０６と、水晶チップ６０８と、ＩＣ６１０とを備えている。また
、電力供給部６０６や、水晶チップ６０８、ＩＣ６１０は、図示しない回路基板に搭載さ
れている。歯車列６０４は、図示しないラチェットを含む複数の歯車で構成されており、
隣り合う歯車同士の歯を噛み合わせて順次回転を伝達するように配列されている。尚、図
示が煩雑となることを避けるために、図１８では、歯車の歯先を結んだ線を細い一点鎖線
で表し、歯車の歯元を結んだ線を太い実線で表している。従って、太い実線および細い一
点鎖線による二重の円形は歯車を表していることになる。また、歯先を示す細い一点鎖線
については全周を表示せず、他の歯車と噛み合う部分の周辺のみを表示している。 FIG. 18 is an explanatory view illustrating the internal structure of an electronic timepiece 600 incorporating the piezoelectric motor 100 of the embodiment or the modification. FIG. 18 shows a plan view of the electronic timepiece 600 as viewed from the side opposite to the time display side (back cover side). An electronic timepiece 600 illustrated in FIG. 18 includes a disk-shaped rotating disk 602, a gear train 604 for transmitting the rotation of the rotating disk 602 to a pointer (not shown) for displaying time, and a rotating circle. A piezoelectric motor 100 as a driving unit for driving the plate 602, a power supply unit 606, a crystal chip 608, and an IC 610 are provided. The power supply unit 606, the crystal chip 608, and the IC 610 are mounted on a circuit board (not shown). The gear train 604 is composed of a plurality of gears including a ratchet (not shown),
The teeth of adjacent gears are meshed so that rotation is transmitted sequentially. In FIG. 18, in order to avoid complication of the illustration, a line connecting the gear teeth is shown by a thin one-dot chain line, and a line connecting the gear teeth is shown by a thick solid line. Accordingly, a double circle formed by a thick solid line and a thin one-dot chain line represents a gear. In addition, for the thin dash-dot line indicating the tooth tip, the entire circumference is not displayed, but only the periphery of the portion that meshes with another gear.

回転円板６０２には、同軸に小さな歯車６０２ｇが設けられており、この歯車６０２ｇ
が歯車列６０４と噛み合わされている。このため回転円板６０２の回転は、所定の比率で
減速されながら歯車列６０４を伝わる。そして、この歯車の回転が時刻を表す指針に伝達
されて時刻を表示する。そして、圧電モーター１００の凸部１２２を回転円板６０２の外
周面に押し付けた状態で設ければ、回転円板６０２を回転させる駆動部として用いること
ができる。 The rotating disk 602 is provided with a small gear 602g coaxially. The gear 602g
Is engaged with the gear train 604. Therefore, the rotation of the rotating disk 602 is transmitted through the gear train 604 while being decelerated at a predetermined ratio. Then, the rotation of the gear is transmitted to a hand indicating the time to display the time. And if the convex part 122 of the piezoelectric motor 100 is provided in the state pressed against the outer peripheral surface of the rotary disk 602, it can be used as a drive part which rotates the rotary disk 602.

図１９は、実施例あるいは変形例の圧電モーター１００を組み込んだ投影装置７００を
例示した説明図である。図示されるように投影装置７００は、光学レンズを含んだ投影部
７０２を備えており、内蔵する光源（図示は省略）からの光を投影することによって画像
を表示する。そして、投影部７０２に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整機
構７０４（調整部）を、駆動部として圧電モーター１００を用いて駆動するようにしても
良い。圧電モーター１００は位置決めの分解能が高いので、微妙な焦点合わせを行うこと
ができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー７０６で投影部７０２の
光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカ
バー７０６を開閉するための駆動部として、圧電モーター１００を用いることもできる。 FIG. 19 is an explanatory view illustrating a projection apparatus 700 incorporating the piezoelectric motor 100 of the example or the modification. As illustrated, the projection apparatus 700 includes a projection unit 702 including an optical lens, and displays an image by projecting light from a built-in light source (not shown). Then, the adjustment mechanism 704 (adjustment unit) for focusing the optical lens included in the projection unit 702 may be driven using the piezoelectric motor 100 as a drive unit. Since the piezoelectric motor 100 has a high positioning resolution, fine focusing can be performed. Further, while the light from the light source is not projected, it is possible to prevent the optical lens from being damaged by covering the optical lens of the projection unit 702 with the lens cover 706. The piezoelectric motor 100 can be used as a drive unit for opening and closing the lens cover 706.

以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが
、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々の態様で実施することが可能である。 As described above, the piezoelectric motor of the present invention and various devices equipped with the piezoelectric motor have been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, modified examples, and application examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It is possible to implement in the mode.

例えば、圧電モーター１００の前方板バネ１４０と後方板バネ１５０とは、撓んだ状態
で振動体１１０をＸ方向（伸縮方向）に付勢可能であれば、平行であってもよいし、平行
でなくてもよく、また、必ずしも同じ長さである必要はない。但し、前方板バネ１４０と
後方板バネ１５０とを平行、且つ、同じ長さにしておけば、前方板バネ１４０および後方
板バネ１５０が撓んだ状態から復元する際に、対象物に対する振動体１１０の姿勢が維持
されるので、対象物と凸部１２２との接触状態（接触角度など）の変化を抑制することが
できる。 For example, the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 of the piezoelectric motor 100 may be parallel or parallel as long as the vibrating body 110 can be biased in the X direction (stretching direction) in a bent state. It does not have to be the same length. However, if the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 are parallel and have the same length, the vibration body for the object is restored when the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 are restored from the bent state. Since the posture of 110 is maintained, it is possible to suppress a change in a contact state (contact angle or the like) between the object and the convex portion 122.

また、前述した実施例では、対象物に向けて振動体１１０を付勢する付勢部材として、
板バネ（１４０，１５０）を用いていた。しかし、振動体１１０の伸縮方向に撓むことが
可能であり、元の形に戻ろうとする復元力で撓み方向とは逆方向に付勢するものであれば
、板バネに限定されるわけではなく、コイルバネや、棒状または板状のゴム部材などであ
ってもよい。加えて、振動体１１０を付勢する付勢部材は、前述した実施例の前方板バネ
１４０および後方板バネ１５０のように２つに限定されるわけではなく、振動体１１０の
伸縮方向に位置が異なる３つ以上の付勢部材を設けておいてもよい。 In the above-described embodiment, as a biasing member that biases the vibrating body 110 toward the target,
Leaf springs (140, 150) were used. However, it is not limited to the leaf spring as long as it can bend in the expansion / contraction direction of the vibrating body 110 and is urged in a direction opposite to the bending direction by a restoring force to return to the original shape. Alternatively, it may be a coil spring, a rod-like or plate-like rubber member, or the like. In addition, the urging members for urging the vibrating body 110 are not limited to two like the front leaf spring 140 and the rear leaf spring 150 of the above-described embodiment, but are positioned in the expansion / contraction direction of the vibrating body 110. Three or more urging members different from each other may be provided.

１…電子部品、 ２…印刷媒体、 １００…圧電モーター、
１１０…振動体、 １１４…腹部、 １１６…節部、
１２０…シム板、 １２２…凸部、 １２４…前方支持部、
１２５…後方支持部、 １２６，１２７…接合ビス、
１２８…補強部、 １２９…曲げ部、
１３０…表圧電素子、 １３１…裏圧電素子、 １３２…表電極、
１３３…裏電極、 １４０…前方板バネ、 １４２…固定部、
１４４…固定ビス、 １４６…台座部、 １５０…後方板バネ、
１５２…固定部、 １５４…固定ビス、 １５６…台座部、
１６０…補強板、 １６２，１６３…接合ビス、
１８０…一体成形部、 ２００…ロボットハンド、 ２０１…工具、
２０２…基台、 ２０３…指部、 ２０４…手首、
２１０…アーム、 ２１２…リンク部、 ２２０…関節部、
２５０…ロボット、 ２６０…ロボット、 ２６２…頭部、
２６３…カメラ、 ２６４…本体部、 ２６６…制御部、
２６８…キャスター、 ３００…電子部品検査装置、 ３１０…基台、
３１２ｄ…下流側ステージ、 ３１２ｕ…上流側ステージ、
３１４…撮像装置、 ３１６…検査台、 ３１８…制御装置、
３３０…支持台、 ３３４…腕部、 ３３８…撮像カメラ
３５０…把持装置、 ３５２…把持部、 ３５４…回転軸、
３５６…微調整プレート、 ４００…送液ポンプ、 ４０２…ケース、
４０４…ローター、 ４０６…チューブ、 ４０８…ボール、
５００…印刷装置、 ５０１…排紙トレイ、 ５０２…排出口、
５０３…供給トレイ、 ５０５…操作ボタン、 ５１０…ガイドレール、
５２０…印刷ヘッド、 ５２２…印字部、 ５２４…走査部、
６００…電子時計、 ６０２…回転円板、 ６０２ｇ…歯車、
６０４…歯車列、 ６０６…電池、 ６０８…水晶チップ、
６１０…ＩＣ、 ７００…投影装置、 ７０２…投影部、
７０４…調整機構、 ７０６…レンズカバー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic component, 2 ... Print medium, 100 ... Piezoelectric motor,
110 ... vibrator, 114 ... abdomen, 116 ... node,
120 ... Shim plate, 122 ... Convex part, 124 ... Front support part,
125 ... Back support part, 126, 127 ... Joining screw,
128 ... reinforcement part, 129 ... bending part,
130: Front piezoelectric element 131: Back piezoelectric element 132: Front electrode,
133 ... Back electrode, 140 ... Front leaf spring, 142 ... Fixing part,
144: Fixing screw, 146: Pedestal part, 150 ... Back leaf spring,
152 ... fixing part, 154 ... fixing screw, 156 ... pedestal part,
160 ... reinforcing plates, 162,163 ... joining screws,
180 ... integrally molded part, 200 ... robot hand, 201 ... tool,
202 ... base, 203 ... finger, 204 ... wrist,
210 ... arm, 212 ... link part, 220 ... joint part,
250 ... Robot, 260 ... Robot, 262 ... Head,
263 ... Camera, 264 ... Main body part, 266 ... Control part,
268 ... Caster, 300 ... Electronic component inspection device, 310 ... Base,
312d: downstream stage, 312u: upstream stage,
314 ... Imaging device, 316 ... Inspection table, 318 ... Control device,
330 ... Supporting base 334 ... Arm part 338 ... Imaging camera 350 ... Gripping device 352 ... Gripping part 354 ... Rotating shaft
356 ... fine adjustment plate, 400 ... liquid feed pump, 402 ... case,
404 ... rotor, 406 ... tube, 408 ... ball,
500 ... Printer, 501 ... Discharge tray, 502 ... Discharge port,
503 ... Supply tray, 505 ... Operation buttons, 510 ... Guide rail,
520 ... Print head, 522 ... Printing section, 524 ... Scanning section,
600 ... an electronic timepiece, 602 ... a rotating disk, 602g ... a gear,
604 ... gear train, 606 ... battery, 608 ... crystal chip,
610 ... IC, 700 ... Projector, 702 ... Projector,
704 ... Adjustment mechanism, 706 ... Lens cover

Claims (13)

圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、対象物に当接する当接部
と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記対象物に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする圧電モーター。 A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates / contracts, and abuts against an object;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the object;
With
The piezoelectric motor, wherein the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which bending vibration occurs with respect to the vibrating body. 請求項１に記載の圧電モーターであって、
前記振動体は、圧電材料を含んで形成された圧電素子と、前記圧電素子が貼付されるプ
レートとを有し、
前記複数の付勢部材と前記プレートとは、一枚の板材を折り曲げて形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。 The piezoelectric motor according to claim 1,
The vibrator includes a piezoelectric element formed including a piezoelectric material, and a plate to which the piezoelectric element is attached,
The plurality of urging members and the plate are formed by bending a single plate material. 請求項２に記載の圧電モーターであって、
前記複数の付勢部材には、第１板バネおよび第２板バネが含まれており、
前記振動体の前記屈曲方向の両側に設けられ、前記プレートと前記第１板バネとを接続
する第１支持部と、
前記振動体の前記屈曲方向の両側に設けられ、前記プレートと前記第２板バネとを接続
する第２支持部と、
を備え、
前記第１支持部および前記第２支持部は、前記振動体の前記伸縮方向の端部に比べて前
記屈曲振動の振幅が小さい複数の節部のうち何れかの両側から前記プレートに接続し、
前記第１板バネおよび前記第２板バネと前記第１支持部および前記第２支持部と前記プ
レートとは、一枚の板材で形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。 The piezoelectric motor according to claim 2,
The plurality of biasing members include a first leaf spring and a second leaf spring,
A first support portion provided on both sides of the vibrating body in the bending direction and connecting the plate and the first leaf spring;
A second support portion provided on both sides of the vibrating body in the bending direction, and connecting the plate and the second leaf spring;
With
The first support portion and the second support portion are connected to the plate from either side of a plurality of node portions having a small amplitude of the bending vibration compared to the end portion of the vibrating body in the expansion / contraction direction,
The piezoelectric motor, wherein the first plate spring, the second plate spring, the first support portion, the second support portion, and the plate are formed of a single plate material. 請求項３に記載の圧電モーターであって、
前記第１支持部と前記第２支持部とに接続される補強部を備え、
前記第１板バネおよび前記第２板バネと前記第１支持部および前記第２支持部と前記プ
レートと前記補強部とは、一枚の板材で形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。 The piezoelectric motor according to claim 3,
A reinforcing portion connected to the first support portion and the second support portion;
The piezoelectric motor according to claim 1, wherein the first plate spring, the second plate spring, the first support portion, the second support portion, the plate, and the reinforcing portion are formed of a single plate material. 指部で対象物を把持可能なロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対する前記指部の移動、あるいは前記指部の関節の回動に連動する可動部と
、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とするロボットハンド。 A robot hand that can hold an object with a finger,
A base body erected so that the finger portion is movable;
A movable part interlocked with the movement of the finger part relative to the base or the rotation of the joint of the finger part;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
The robot hand, wherein the plurality of biasing members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which the vibrating body vibrates. 回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部の回動に連動する可動部と、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とするロボット。 An arm provided with a rotatable joint, and
A hand portion provided on the arm portion;
A main body provided with the arm,
A robot equipped with
A movable part interlocking with the rotation of the joint part;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
The robot, wherein the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body. 電子部品を把持する把持部を備える電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を把持した前記把持部の移動に連動する可動部と、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。 An electronic component transport apparatus including a gripping unit that grips an electronic component,
A movable part that interlocks with the movement of the gripping part that grips the electronic component;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
The electronic component conveying apparatus, wherein the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body. 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記電子部品を把持した前記把持部の移動に連動する可動部と、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記可動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記可動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする電子部品検査装置。 A gripper for gripping electronic components;
An inspection unit for inspecting the electronic component;
An electronic component inspection apparatus comprising:
A movable part that interlocks with the movement of the gripping part that grips the electronic component;
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the movable portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the movable portion;
With
The electronic component inspection apparatus, wherein the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body. 液体が流動可能なチューブと、
前記チューブに当接して前記チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を移動させる移動部と、
を備える送液ポンプであって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記移動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記移動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする送液ポンプ。 A tube through which liquid can flow;
A closing portion that contacts the tube and closes the tube;
A moving part for moving the blocking part;
A liquid feed pump comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the moving portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the moving portion;
With
The liquid feeding pump, wherein the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body. 媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる移動部と、
を備える印刷装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記移動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記移動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする印刷装置。 A print head for printing an image on a medium;
A moving unit for moving the print head;
A printing apparatus comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the moving portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the moving portion;
With
The printing apparatus, wherein the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body. 同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
を備える電子時計であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記回転円板に当接する
当接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記回転円板に前記当接部
を当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする電子時計。 A coaxial rotating gear, and a rotatable rotating disk;
A gear train including a plurality of gears;
A pointer connected to the gear train and indicating the time;
An electronic timepiece comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abutting on the rotating disk;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the rotating disk;
With
The electronic timepiece characterized in that the plurality of urging members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction in which the vibration body is bent and vibrated. 光を発生させる光源と、
光学レンズを含み、前記光を投影する投影部と、
前記光学レンズを移動させる移動部と、
を備える投影装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記移動部に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記移動部に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする投影装置。 A light source that generates light;
A projection unit including an optical lens and projecting the light;
A moving unit for moving the optical lens;
A projection device comprising:
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end portion of the vibrating body in an expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the moving portion;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the moving portion;
With
The projection device, wherein the plurality of biasing members are provided from a direction intersecting both the expansion / contraction direction and the bending direction of bending vibration with respect to the vibrating body. 対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮振動および屈曲振動する振動体と
、
前記振動体の前記伸縮振動する伸縮方向の端部に設けられて、前記対象物に当接する当
接部と、
前記伸縮方向に撓み、前記振動体を前記伸縮方向に付勢して前記対象物に前記当接部を
当接させる複数の付勢部材と、
を備え、
前記振動体に対して前記伸縮方向および前記屈曲振動する屈曲方向の何れにも交差する
方向から前記複数の付勢部材が設けられている
ことを特徴とする搬送装置。 A transport device for transporting an object,
A vibrator that includes a piezoelectric material and that undergoes stretching vibration and bending vibration when a voltage is applied;
An abutting portion that is provided at an end of the vibrating body in the expansion / contraction direction that vibrates and contracts, and abuts on the object;
A plurality of urging members that bend in the expansion / contraction direction, urge the vibrating body in the expansion / contraction direction, and abut the contact portion on the object;
With
The conveying device, wherein the plurality of urging members are provided from a direction that intersects both the expansion / contraction direction and the bending direction in which the vibrating body vibrates.

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