JP5988718B2

JP5988718B2 - A flexible sheet for transducers and a method for producing a flexible sheet for transducers.

Info

Publication number: JP5988718B2
Application number: JP2012132389A
Authority: JP
Inventors: 秀之加藤; 大高　秀夫; 秀夫大高; 野中　敬三; 敬三野中
Original assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Current assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Priority date: 2012-06-11
Filing date: 2012-06-11
Publication date: 2016-09-07
Anticipated expiration: 2032-06-11
Also published as: JP2013257994A

Description

本発明は、トランスデューサ用可撓性シート及びトランスデューサ用可撓性シートの製造方法に関する。 The present invention relates to a flexible sheet for transducers and a method for manufacturing a flexible sheet for transducers.

トランスデューサには、機械エネルギーと電気エネルギーとの変換を行うアクチュエータ、ジェネレータ等がある。小型で軽量なトランスデューサを構成するためには、誘電エラストマー層と導電エラストマー層とを備えるトランスデューサ用可撓性シートが用いられている。 Transducers include actuators and generators that convert between mechanical energy and electrical energy. In order to construct a small and lightweight transducer, a flexible sheet for transducers including a dielectric elastomer layer and a conductive elastomer layer is used.

このトランスデューサ用可撓性シートにあっては、誘電エラストマー層は、電気抵抗が高く、絶縁破壊電圧が高いことが望まれ、さらに容易に変形するよう軟質であることが望まれる。また、導電エラストマー層は、ヒステリシスロスが少なく十分な導電性を有するとともに誘電エラストマー層の変形に追従可能な程度に軟質であることが望まれる（特開２０１０−１５３３６４号公報参照）。 In this flexible sheet for transducers, the dielectric elastomer layer is desired to have a high electric resistance and a high dielectric breakdown voltage, and further to be flexible so that it can be easily deformed. Further, it is desirable that the conductive elastomer layer has sufficient hysteresis with little hysteresis loss and is soft enough to follow the deformation of the dielectric elastomer layer (see JP 2010-153364 A).

この誘電エラストマー層及び導電エラストマー層を軟質とするために、誘電エラストマー層が有する弾性基材及び導電エラストマー層が有する弾性基材に軟化剤を含有させることが考えられる。しかし、誘電エラストマー層の弾性基材に軟化剤を多量に含有させると、誘電エラストマー層の弾性基材中の軟化剤が導電エラストマー層に移行し、その結果、導電エラストマー層が膨潤して皺が生じたり、導電エラストマー層の電気抵抗が上昇してしまう等の不都合が生じる。逆に、導電エラストマー層の弾性基材に軟化剤を多量に含有させると、導電エラストマー層の弾性基材中の軟化剤が誘電エラストマー層に移行してしまい、導電エラストマー層の弾性率が高くなり、誘電エラストマー層の変形を阻害してしまい、トランスデューサの機能低下を招くおそれがある。 In order to make the dielectric elastomer layer and the conductive elastomer layer soft, it is conceivable that a softening agent is contained in the elastic base material included in the dielectric elastomer layer and the elastic base material included in the conductive elastomer layer. However, if the elastic base material of the dielectric elastomer layer contains a large amount of softening agent, the softening agent in the elastic base material of the dielectric elastomer layer moves to the conductive elastomer layer, and as a result, the conductive elastomer layer swells and wrinkles. This causes inconveniences such as occurrence and an increase in electrical resistance of the conductive elastomer layer. On the contrary, if a large amount of softening agent is contained in the elastic base material of the conductive elastomer layer, the softening agent in the elastic base material of the conductive elastomer layer moves to the dielectric elastomer layer, and the elastic modulus of the conductive elastomer layer increases. The deformation of the dielectric elastomer layer is hindered, and the function of the transducer may be lowered.

また、上記のようなトランスデューサ用可撓性シートは、予め形成された誘電エラストマー層に、溶剤に溶解された導電エラストマー層形成材料を塗工することによって製造されている。しかし、このような製造方法では、導電エラストマー層形成材料の溶剤によって誘電エラストマー層が膨潤してしまい、製品に皺が発生したり、誘電エラストマー層の軟化剤などの添加物が溶媒に溶け出し、誘電エラストマー層の機能低下を招くおそれがある。 Moreover, the flexible sheet for transducers as described above is manufactured by applying a conductive elastomer layer forming material dissolved in a solvent to a previously formed dielectric elastomer layer. However, in such a manufacturing method, the dielectric elastomer layer is swollen by the solvent of the conductive elastomer layer forming material, wrinkles are generated in the product, or additives such as a softening agent for the dielectric elastomer layer are dissolved in the solvent, There is a possibility that the function of the dielectric elastomer layer is lowered.

特開２０１０−１５３３６４号公報JP 2010-153364 A

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、柔軟性及び安定性に優れるトランスデューサ用可撓性シート、並びにトランスデューサ用可撓性シートの製造方法の提供を目的とする。 This invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at provision of the manufacturing method of the flexible sheet | seat for transducers which is excellent in a softness | flexibility and stability, and the flexible sheet | seat for transducers.

上記課題を解決するためになされた発明は、
弾性基材及び導電性フィラーを有する導電エラストマー層と、上記導電エラストマー層の一方の面に積層され弾性基材を有する誘電エラストマー層とを備え、
上記導電エラストマー層の弾性基材及び上記誘電エラストマー層の弾性基材が軟化剤を含有し、
上記導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ａ）と上記誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ｂ）との差が１０質量％以下であるトランスデューサ用可撓性シートである。 The invention made to solve the above problems is
A conductive elastomer layer having an elastic base material and a conductive filler, and a dielectric elastomer layer having an elastic base material laminated on one surface of the conductive elastomer layer,
The elastic substrate of the conductive elastomer layer and the elastic substrate of the dielectric elastomer layer contain a softener,
A flexible sheet for transducers in which the difference between the softener content (a) in the elastic base material of the conductive elastomer layer and the softener content (b) in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is 10% by mass or less. is there.

当該トランスデューサ用可撓性シートは、上記構成を有することで、柔軟性及び安定性に優れる。当該トランスデューサ用可撓性シートが上記構成を有することで上記効果を奏する理由としては、上記導電エラストマー層の弾性基材及び誘電エラストマー層の弾性基材が軟化剤を含有することで柔軟性が向上すること、上記導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ａ）と上記誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ｂ）との差が１０質量％以下であることで、軟化剤が導電エラストマー層と誘電エラストマー層との間を移行してそれぞれの物性が変化することを抑制でき、安定性に優れること等が考えられる。 The flexible sheet for transducers is excellent in flexibility and stability by having the above configuration. The reason why the flexible sheet for transducer has the above-described configuration is that the elastic base material of the conductive elastomer layer and the elastic base material of the dielectric elastomer layer contain a softening agent to improve flexibility. The difference between the softener content (a) in the elastic base material of the conductive elastomer layer and the softener content (b) in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is 10% by mass or less. It is conceivable that the agent can be suppressed from moving between the conductive elastomer layer and the dielectric elastomer layer and the physical properties thereof are changed, and the stability is excellent.

当該トランスデューサ用可撓性シートは、
上記導電エラストマー層の他方の面に積層される他の誘電エラストマー層をさらに備え、
上記他の誘電エラストマー層は、軟化剤を含有する弾性基材を有し、
上記他の誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ｂ’）と上記軟化剤含有割合（ａ）との差が１０質量％以下であることが好ましい。 The transducer flexible sheet is:
And further comprising another dielectric elastomer layer laminated on the other surface of the conductive elastomer layer,
The other dielectric elastomer layer has an elastic base material containing a softening agent,
The difference between the softener content (b ′) and the softener content (a) in the elastic base material of the other dielectric elastomer layer is preferably 10% by mass or less.

当該トランスデューサ用可撓性シートが上記構成を有することで、複数の当該トランスデューサ用可撓性シートを、交差して重ねあわせ、交互に蛇腹状に折り畳むことでトランスデューサ素子を得ることができる。具体的には、例えば一対の当該トランスデューサ用可撓性シートを、略直角に交差して重ねあわせ、交互に蛇腹状に折り畳むことでトランスデューサ素子を得ることができる。また、導電エラストマー層の他方の面に積層される他の誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ｂ’）と上記軟化剤含有割合（ａ）との差が１０質量％以下であることで、軟化剤が導電エラストマー層と他の誘電エラストマー層との間を移行しにくい。 When the flexible sheet for transducers has the above-described configuration, a plurality of the flexible sheets for transducers are crossed and overlapped, and a transducer element can be obtained by alternately folding the flexible sheets. Specifically, for example, a transducer element can be obtained by overlapping a pair of flexible sheets for transducers at substantially right angles so as to overlap each other and alternately folding the flexible sheets. The difference between the softener content ratio (b ′) and the softener content ratio (a) in the elastic base material of the other dielectric elastomer layer laminated on the other surface of the conductive elastomer layer is 10% by mass or less. Thus, it is difficult for the softener to move between the conductive elastomer layer and the other dielectric elastomer layer.

当該トランスデューサ用可撓性シートは、
上記誘電エラストマー層の一方の面に積層される他の導電エラストマー層をさらに備え、
上記他の導電エラストマー層は、軟化剤を含有する弾性基材及び導電性フィラーを有し、
上記他の導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ａ’）と上記軟化剤含有割合（ｂ）との差が１０質量％以下であることが好ましい。 The transducer flexible sheet is:
Further comprising another conductive elastomer layer laminated on one surface of the dielectric elastomer layer,
The other conductive elastomer layer has an elastic base material containing a softening agent and a conductive filler,
The difference between the softener content (a ′) and the softener content (b) in the elastic base material of the other conductive elastomer layer is preferably 10% by mass or less.

当該トランスデューサ用可撓性シートが上記構成を有することで、誘電エラストマー層の両面にそれぞれ導電エラストマー層が積層された構造となるので、この両面の導電エラストマー層を電極として用いることで、トランスデューサ素子として好適に用いることができる。また、誘電エラストマー層の一方の面に積層される他の導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ａ’）と上記軟化剤含有割合（ｂ）との差が１０質量％以下であることで、軟化剤が他の導電エラストマー層と誘電エラストマー層との間を移行しにくい。 Since the flexible sheet for a transducer has the above-described configuration, a conductive elastomer layer is laminated on both sides of the dielectric elastomer layer. By using the conductive elastomer layer on both sides as an electrode, a transducer element is obtained. It can be used suitably. The difference between the softener content (a ′) and the softener content (b) in the elastic base material of the other conductive elastomer layer laminated on one surface of the dielectric elastomer layer is 10% by mass or less. Thus, it is difficult for the softener to move between the other conductive elastomer layer and the dielectric elastomer layer.

上記軟化剤含有割合（ａ）は、３０質量％以上８０質量％以下であり、上記軟化剤含有割合（ｂ）は、３０質量％以上８０質量％以下であることが好ましい。上記構成とすることで、当該トランスデューサ用可撓性シートの柔軟性をより向上させることができる。導電エラストマー層の弾性基材及び／又は誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合が８０質量％を超えると、エラストマー層を成型することが難しくなり、また、エラストマー層の絶縁性が低下してトランスデューサとしての機能が低下するおそれがある。一方、導電エラストマー層の弾性基材及び／又は誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤の含有割合が３０質量％未満であると、エラストマー層の弾性率が高くなり、変形量が小さくなるので、トランスデューサとしての機能が低下するおそれがある。 The softener content (a) is preferably 30% by mass to 80% by mass, and the softener content (b) is preferably 30% by mass to 80% by mass. By setting it as the said structure, the softness | flexibility of the said flexible sheet | seat for transducers can be improved more. If the content of the softening agent in the elastic base material of the conductive elastomer layer and / or the elastic base material of the dielectric elastomer layer exceeds 80% by mass, it becomes difficult to mold the elastomer layer, and the insulation property of the elastomer layer decreases. Therefore, the function as a transducer may be deteriorated. On the other hand, when the content ratio of the softening agent in the elastic base material of the conductive elastomer layer and / or the elastic base material of the dielectric elastomer layer is less than 30% by mass, the elastic modulus of the elastomer layer increases and the deformation amount decreases. The function as a transducer may be reduced.

上記誘電エラストマー層は誘電性フィラーを含有することが好ましい。これにより、上記誘電エラストマー層の誘電率をより高めることができる。 The dielectric elastomer layer preferably contains a dielectric filler. Thereby, the dielectric constant of the dielectric elastomer layer can be further increased.

上記導電性フィラーはカーボンナノチューブであることが好ましい。導電エラストマー層がカーボンナノチューブを含有することで、上記導電エラストマー層の電気抵抗をより低下させ、導電性を向上させることができ、また、変形を繰り返しても導電性の低下を抑制することができる。 The conductive filler is preferably a carbon nanotube. When the conductive elastomer layer contains carbon nanotubes, the electrical resistance of the conductive elastomer layer can be further reduced, the conductivity can be improved, and a decrease in conductivity can be suppressed even if deformation is repeated. .

本発明のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法は、
一の離型フィルムに、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下の弾性基材を有する誘電エラストマー層を積層することで、第１シート体を形成する工程、
他の離型フィルムに、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下かつ上記誘電エラストマー層の軟化剤含有割合との差が１０質量％以下の弾性基材及び導電性フィラーを有する導電エラストマー層を積層することで、第２シート体を形成する工程、及び
上記第１シート体と上記第２シート体とを、誘電エラストマー層と導電エラストマー層との対向状態で積層することで多層構造体を形成する工程
を有する。 The method for producing a flexible sheet for a transducer according to the present invention includes:
A step of forming a first sheet body by laminating a dielectric elastomer layer having an elastic base material having a softener content ratio of 30% by mass or more and 80% by mass or less on one release film;
A conductive elastomer having an elastic substrate and a conductive filler having a softener content of 30% by mass to 80% by mass and a difference from the softener content of the dielectric elastomer layer of 10% by mass or less in another release film A step of forming a second sheet body by laminating the layers, and a multilayer structure by laminating the first sheet body and the second sheet body in a state where the dielectric elastomer layer and the conductive elastomer layer face each other. Forming a step.

当該トランスデューサ用可撓性シートの製造方法によれば、従来の誘電エラストマー層に溶媒に溶解された導電エラストマー層形成材料を塗工する方法に比べて、誘電エラストマー層の弾性基材中の軟化剤が溶媒に溶け出すことがなく、容易且つ確実に当該トランスデューサ用可撓性シートを製造することができる。また、このように製造された当該トランスデューサ用可撓性シートは、導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下であるため、軟化剤が導電エラストマー層と誘電エラストマー層との間を移行しにくい。 According to the method for producing a flexible sheet for a transducer, the softening agent in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is compared with the conventional method in which the conductive elastomer layer forming material dissolved in the solvent is applied to the dielectric elastomer layer. Therefore, the flexible sheet for transducers can be easily and reliably manufactured without dissolving in the solvent. Further, in the flexible sheet for transducers thus manufactured, the difference between the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer and the softener content ratio in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is 10% by mass or less. Therefore, it is difficult for the softener to move between the conductive elastomer layer and the dielectric elastomer layer.

当該トランスデューサ用可撓性シートの製造方法は、
上記第１シート体を形成する工程において、複数枚の第１シート体を形成し、
上記多層構造体から第２シート体の離型フィルムを剥離する工程、及び
上記多層構造体から第２シート体の離型フィルムが剥離された積層体に、他の第１シート体を、誘電エラストマー層と導電エラストマー層との対向状態で積層する工程
をさらに有することが好ましい。 The manufacturing method of the flexible sheet for transducers is as follows:
In the step of forming the first sheet body, a plurality of first sheet bodies are formed,
A step of peeling the release film of the second sheet body from the multilayer structure, and a laminate obtained by peeling the release film of the second sheet body from the multilayer structure; It is preferable to further include a step of laminating the layer and the conductive elastomer layer in an opposed state.

これにより、導電エラストマー層の両面に誘電エラストマー層が積層されたトランスデューサ用可撓性シートを製造することができる。このようにして製造された複数のトランスデューサ用可撓性シートを、交差して重ねあわせ、交互に蛇腹状に折り畳むことでトランスデューサ素子を得ることができる。 Thereby, the flexible sheet | seat for transducers by which the dielectric elastomer layer was laminated | stacked on both surfaces of the conductive elastomer layer can be manufactured. A plurality of flexible sheets for transducers manufactured in this way are overlapped and overlapped, and alternately folded into a bellows shape to obtain a transducer element.

当該トランスデューサ用可撓性シートの製造方法は、
上記第２シート体を形成する工程において、複数枚の第２シート体を形成し、
上記多層構造体から第１シート体の離型フィルムを剥離する工程、及び
上記多層構造体から第１シート体の離型フィルムが剥離された積層体に、他の第２シート体を、導電エラストマー層と誘電エラストマー層との対向状態で積層する工程
をさらに有することが好ましい。 The manufacturing method of the flexible sheet for transducers is as follows:
In the step of forming the second sheet body, a plurality of second sheet bodies are formed,
The step of peeling the release film of the first sheet body from the multilayer structure, and the other second sheet body, the conductive elastomer, on the laminate from which the release film of the first sheet body was peeled from the multilayer structure It is preferable to further include a step of laminating the layer and the dielectric elastomer layer in an opposed state.

これにより、誘電エラストマー層の両面に導電エラストマー層が積層されたトランスデューサ用可撓性シートを製造することができる。このようにして製造されたトランスデューサ用可撓性シートは誘電エラストマー層の両面の導電エラストマー層を電極として用いることで、トランスデューサ素子として好適に用いることができる。 Thereby, the flexible sheet | seat for transducers by which the conductive elastomer layer was laminated | stacked on both surfaces of the dielectric elastomer layer can be manufactured. The thus produced flexible sheet for transducers can be suitably used as a transducer element by using the conductive elastomer layers on both sides of the dielectric elastomer layer as electrodes.

当該トランスデューサ用可撓性シートの製造方法は、上記多層構造体を形成する工程の前に、上記第２シート体を所定形状に裁断する工程をさらに有することが好ましい。これにより、導電エラストマー層を所望の大きさとした後に、この導電エラストマー層と誘電エラストマー層とを積層することができる。 It is preferable that the manufacturing method of the flexible sheet for transducers further includes a step of cutting the second sheet body into a predetermined shape before the step of forming the multilayer structure. Thereby, after making a conductive elastomer layer into a desired magnitude | size, this conductive elastomer layer and a dielectric elastomer layer can be laminated | stacked.

また、上記裁断する工程において、第１シート体よりも第２シート体が小さくなるよう裁断し、上記多層構造体を形成する工程において、上記第２シート体の導電エラストマー層が上記第１シート体の誘電エラストマー層からはみ出さないように積層されることが好ましい。このように上記第２シート体の導電エラストマー層が上記第１シート体の誘電エラストマー層からはみ出さないように積層されることで、導電エラストマー層が短絡を起きるのを抑制することができる。 In the cutting step, the second sheet body is cut to be smaller than the first sheet body, and in the step of forming the multilayer structure, the conductive elastomer layer of the second sheet body is the first sheet body. It is preferable to laminate so as not to protrude from the dielectric elastomer layer. Thus, it can suppress that a conductive elastomer layer raise | generates a short circuit by laminating | stacking so that the conductive elastomer layer of the said 2nd sheet body may not protrude from the dielectric elastomer layer of the said 1st sheet body.

ここで、「一方」とは、トランスデューサ用可撓性シート全体に対する所定方向をいい、「他方」とは、それと反対方向をいう。 Here, “one” refers to a predetermined direction relative to the entire transducer flexible sheet, and “the other” refers to the opposite direction.

以上説明したように、本発明のトランスデューサ用可撓性シートは、軟化剤が導電エラストマー層と誘電エラストマー層の間を移行することを抑制することでそれぞれの物性が変化したり形態が変化したりすることを抑制でき、柔軟性及び安定性に優れる。 As described above, according to the flexible sheet for transducers of the present invention, the physical properties change or the shape changes by suppressing the softening agent from moving between the conductive elastomer layer and the dielectric elastomer layer. Can be suppressed, and is excellent in flexibility and stability.

図１は、本発明の第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シートの説明図であり、（Ａ）は概略的断面図、（Ｂ）は概略的正面図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a flexible sheet for transducers according to a first embodiment of the present invention, in which (A) is a schematic cross-sectional view, and (B) is a schematic front view. 図２は、第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シートを用いたトランデューサ素子の概略的正面図である。FIG. 2 is a schematic front view of a transducer element using the flexible sheet for transducers of the first embodiment. 図３は、第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シートを用いたトランデューサ素子の概略的平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view of a transducer element using the flexible sheet for transducers of the first embodiment. 図４は、本発明の第二実施形態のトランスデューサ用可撓性シートの説明図であり、（Ａ）は概略的平面図、（Ｂ）は概略的正面図である。FIG. 4 is an explanatory view of a flexible sheet for transducers according to a second embodiment of the present invention, in which (A) is a schematic plan view and (B) is a schematic front view. 図５は、本発明の第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シートを製造する方法の工程図（概略的断面図）であり、（Ａ）は工程（１）の状態、（Ｂ）は工程（２）の状態、（Ｃ）は工程（３）の状態を示す。FIG. 5 is a process diagram (schematic cross-sectional view) of a method for producing a flexible sheet for transducers according to the first embodiment of the present invention, in which (A) is a state of step (1) and (B) is a step. The state of (2), (C) shows the state of step (3). 図６は、本発明の第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シートを製造する方法の工程図（概略的断面図）であり、（Ａ）は工程（４）の状態、（Ｂ）は工程（５）の状態を示す。FIGS. 6A and 6B are process diagrams (schematic cross-sectional views) of a method for manufacturing a flexible sheet for transducers according to the first embodiment of the present invention, in which FIG. The state of (5) is shown. 図７は、実施例のオイル（軟化剤）移行反り試験におけるオイル（軟化剤）移行前後の試験片の状態を示す。図７（Ａ）はオイル（軟化剤）移行前の試験片の状態を示す。図７（Ｂ）及び（Ｃ）はオイル（軟化剤）移行後の試験片の状態の例を示す。FIG. 7 shows the state of the test piece before and after oil (softener) transfer in the oil (softener) transfer warpage test of the example. FIG. 7 (A) shows the state of the test piece before the oil (softener) transfer. FIGS. 7B and 7C show examples of the state of the test piece after shifting to the oil (softener).

以下、本発明の実施形態について、図面を参酌しつつ説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

［第一実施形態］
＜トランスデューサ用可撓性シート１＞
当該トランスデューサ用可撓性シート１は、帯状のシート体からなり、導電性フィラー及び弾性基材を有する導電エラストマー層１２と、この導電エラストマー層１２の表面側（一方側）及び裏面側（他方側）に積層される一対の誘電エラストマー層１１とを備えている。表裏一対の誘電エラストマー層１１は同一構成を有している。 [First embodiment]
<Flexible sheet for transducer 1>
The transducer flexible sheet 1 is formed of a strip-shaped sheet body, and includes a conductive elastomer layer 12 having a conductive filler and an elastic base material, and a front surface side (one side) and a back surface side (the other side) of the conductive elastomer layer 12. And a pair of dielectric elastomer layers 11 stacked on each other. The pair of front and back dielectric elastomer layers 11 have the same configuration.

上記導電エラストマー層１２の弾性基材及び誘電エラストマー層１１の弾性基材が軟化剤を含有し、導電エラストマー層１２の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下である。このような構成とすることで、当該トランスデューサ用可撓性シート１は、柔軟性及び安定性に優れる。また、この差は５質量％以下であることがより好ましい。当該トランスデューサ用可撓性シート１が上記構成を有することで上記効果を奏する理由としては、導電エラストマー層１２の弾性基材及び誘電エラストマー層１１の弾性基材が軟化剤を含有することで柔軟性が向上すること、導電エラストマー層１２の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層１１の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下であることで、軟化剤が導電エラストマー層１２と誘電エラストマー層１１の間を移行してそれぞれの物性が変化したり形態が変化したりすることを抑制でき、安定性に優れること等が考えられる。 The elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 contain a softener, and the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the softener content in the elastic base material of the dielectric elastomer layer The difference from the ratio is 10% by mass or less. By setting it as such a structure, the said flexible sheet 1 for transducers is excellent in a softness | flexibility and stability. The difference is more preferably 5% by mass or less. The reason why the flexible sheet for transducer 1 has the above-described configuration has the above-described effect is that the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 contain a softening agent so that flexibility is achieved. The difference between the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the softener content ratio in the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 is 10% by mass or less. It can be considered that the transition between the layer 12 and the dielectric elastomer layer 11 and the change in the physical properties and the change in form of each layer can be suppressed, and the stability is excellent.

当該トランスデューサ用可撓性シート１は、平均厚みが１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以上１８０μｍ以下であることがより好ましい。また、当該トランスデューサ用可撓性シート１の幅（短手方向の長さ）は、用いられるトランスデューサの用途等に応じて適宜設計変更可能であり、例えば１ｃｍとすることが可能である。さらに、当該トランスデューサ用可撓性シート１の長さ（長手方向の長さ）は、用いられるトランスデューサの用途等により適宜設計変更可能であるが、例えば５０ｃｍとすることが可能である。 The flexible sheet for transducer 1 preferably has an average thickness of 10 μm to 300 μm, and more preferably 50 μm to 180 μm. The width (length in the short direction) of the transducer flexible sheet 1 can be appropriately changed in design according to the application of the transducer used, and can be set to 1 cm, for example. Further, the length (length in the longitudinal direction) of the transducer flexible sheet 1 can be appropriately changed depending on the use of the transducer used, etc., but can be set to 50 cm, for example.

（誘電エラストマー層１１）
上記誘電エラストマー層１１は、軟化剤を含有する弾性基材を有し、弾性変形可能な層である。この誘電エラストマー層１１の弾性基材を構成するエラストマーとしては、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、イソプレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、スチレン・ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、シリコンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム等が挙げられる。これらのうち、高い絶縁強度、低い吸湿性を有するゴムが好ましく、さらに軟化剤を多量に（例えば３０質量％以上）含有させることを考慮すると、極性が低いゴム（例えば天然ゴム、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、ポリイソブチレンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレン・ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、シリコンゴム）がより好ましい。なお、極性の大小は、例えばＳＰ値（溶解度パラメータ）により判断することができ、ＳＰ値が８．５以下であると極性が低いと判断してよい。 (Dielectric elastomer layer 11)
The dielectric elastomer layer 11 is an elastically deformable layer having an elastic base material containing a softening agent. The elastomer constituting the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 includes natural rubber, polyisobutylene rubber, isoprene rubber, nitrile rubber (NBR), ethylene propylene rubber (EPDM), styrene-butadiene rubber (SBR), butadiene rubber ( BR), chloroprene rubber (CR), silicon rubber, fluorine rubber, acrylic rubber, urethane rubber and the like. Among these, rubber having high insulation strength and low hygroscopicity is preferable, and considering that a softener is contained in a large amount (for example, 30% by mass or more), rubber having low polarity (for example, natural rubber, ethylene propylene rubber ( EPDM), polyisobutylene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber (BR), styrene-butadiene rubber (SBR), silicon rubber) are more preferable. The magnitude of the polarity can be determined by, for example, the SP value (solubility parameter). If the SP value is 8.5 or less, the polarity may be determined to be low.

上記軟化剤は、誘電エラストマー層１１の弾性率を低下する等の目的で含有される。上記軟化剤としては、いわゆるプロセスオイル、ゴム伸展油等が挙げられるが、精製された絶縁性オイルが好ましく用いられ、パラフィン系オイルやナフテン系オイルがより好ましい。シリコンゴムを誘電エラストマー層１１の弾性基材に用いる場合は、絶縁性オイルとしてシリコンオイルを用いることもできる。 The softening agent is contained for the purpose of reducing the elastic modulus of the dielectric elastomer layer 11. Examples of the softening agent include so-called process oil, rubber extension oil, and the like, but purified insulating oil is preferably used, and paraffinic oil and naphthenic oil are more preferable. When silicon rubber is used for the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11, silicon oil can be used as the insulating oil.

誘電エラストマー層１１の弾性基材を構成するゴムとしては、ゴム伸展油を含む油展タイプの共役ジエン系ゴムと、ゴム成分のみからなる非油展タイプのゴムが存在し、いずれのタイプのものも使用可能である。但し、油展タイプのゴムのゴム伸展油の誘電エラストマー層１１の弾性基材における含有量は、軟化剤の含有量として扱う。 The rubber constituting the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 includes an oil-extended conjugated diene rubber containing a rubber extending oil and a non-oil-extended type rubber composed only of a rubber component. Can also be used. However, the content in the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 of the rubber extended oil of the oil extended type rubber is treated as the content of the softening agent.

誘電エラストマー層１１の弾性基材における軟化剤含有割合としては、３０質量％以上８０質量％以下であることが好ましい。軟化剤含有割合が３０質量％未満では、誘電エラストマー層１１の柔軟性が不十分となるおそれがある。一方、軟化剤含有割合が８０質量％を超えると、誘電エラストマー層１１の絶縁強度が著しく低下するおそれがある。 As a softener content rate in the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11, it is preferable that it is 30 to 80 mass%. If the softener content is less than 30% by mass, the flexibility of the dielectric elastomer layer 11 may be insufficient. On the other hand, if the softener content exceeds 80% by mass, the dielectric strength of the dielectric elastomer layer 11 may be significantly reduced.

誘電エラストマー層１１は、誘電率を高めるため、誘電性フィラーを誘電エラストマー層中に分散して含有することが好ましい。誘電性フィラーとしては、例えばチタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ストロンチウム等の高誘電性無機フィラー、誘電性ポリマー微粒子等の高誘電性ポリマー微粒子等が挙げられる。これらのうち、高誘電性無機フィラーが好ましく、チタン酸バリウムがより好ましい。誘電性ポリマー微粒子としては、特に限定されないが、ポリアクリロニトリル等の高誘電性ポリマー微粒子が好ましい。さらに、誘電エラストマー層１１の弾性基材は、誘電エラストマー層中における誘電性フィラーの分散性を向上させるため、従来公知のカップリング剤や分散安定剤を含有してもよい。 The dielectric elastomer layer 11 preferably contains a dielectric filler dispersed in the dielectric elastomer layer in order to increase the dielectric constant. Examples of the dielectric filler include high dielectric inorganic fillers such as barium titanate, lead zirconate titanate, and strontium titanate, and high dielectric polymer fine particles such as dielectric polymer fine particles. Among these, a high dielectric inorganic filler is preferable, and barium titanate is more preferable. The dielectric polymer fine particles are not particularly limited, but high dielectric polymer fine particles such as polyacrylonitrile are preferable. Further, the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 may contain a conventionally known coupling agent or dispersion stabilizer in order to improve the dispersibility of the dielectric filler in the dielectric elastomer layer.

また、誘電エラストマー層１１の弾性基材は、その他必要に応じて従来公知の架橋剤、加硫促進剤、老化防止剤等のエラストマー又は軟化剤と相溶又は反応する他の添加剤を含有してもよい。 Moreover, the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 contains other additives that are compatible with or react with elastomers or softening agents such as conventionally known crosslinking agents, vulcanization accelerators, and anti-aging agents, as necessary. May be.

一対の誘電エラストマー層１１は、他の誘電エラストマー層１１と略同一厚みで形成されている。なお、略同一厚みとは、一方の誘電エラストマー層１１の平均厚みに対する他方の誘電エラストマー層１１の平均厚みの比が０．９５以上１．０５以下であることを意味する。 The pair of dielectric elastomer layers 11 are formed with substantially the same thickness as the other dielectric elastomer layers 11. The substantially same thickness means that the ratio of the average thickness of the other dielectric elastomer layer 11 to the average thickness of one dielectric elastomer layer 11 is 0.95 or more and 1.05 or less.

この誘電エラストマー層１１の平均厚みは、１０μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、３０μｍ以上８０μｍ以下であることがより好ましい。上記下限値未満であると、誘電エラストマー層１１が薄くなりすぎ、誘電エラストマー層１１が絶縁破壊するおそれが生じる。一方、上記上限値を超えると、導電エラストマー層同士間が離間し過ぎ、静電容量が小さくなるおそれがある。 The average thickness of the dielectric elastomer layer 11 is preferably 10 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 30 μm or more and 80 μm or less. If it is less than the above lower limit value, the dielectric elastomer layer 11 becomes too thin and the dielectric elastomer layer 11 may break down. On the other hand, if the above upper limit is exceeded, the conductive elastomer layers are too far apart, and the electrostatic capacity may be reduced.

また、誘電エラストマー層１１は、他の誘電エラストマー層１１と略同一幅で形成されている。なお、略同一幅とは、一方の誘電エラストマー層１１の幅に対する他方の誘電エラストマー層１１の幅の比が０．９５以上１．０５以下であることを意味する。この誘電エラストマー層１１の幅は、用いられるトランスデューサの用途等に応じて適宜設計変更可能であり、例えば１ｃｍとすることが可能である。 Further, the dielectric elastomer layer 11 is formed with substantially the same width as the other dielectric elastomer layers 11. Note that the substantially same width means that the ratio of the width of the other dielectric elastomer layer 11 to the width of one dielectric elastomer layer 11 is 0.95 or more and 1.05 or less. The width of the dielectric elastomer layer 11 can be appropriately changed according to the use of the transducer used, and can be set to 1 cm, for example.

また、誘電エラストマー層１１は、圧縮弾性率が、０．１ＭＰａ以上１．５ＭＰａ以下であることが好ましく、０．３ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下であることがより好ましい。上記下限値未満であると誘電エラストマー層１１が軟らか過ぎ、圧縮変形ひずみが大きくなり過ぎるおそれがある。一方、上記上限値を超えると、誘電エラストマー層１１が硬すぎ、層厚方向に圧縮し難いおそれがある。上記圧縮弾性率は、ＪＩＳ−Ｋ６２５４の低変形圧縮試験に準拠して、１０％歪を与えた場合の圧縮弾性率である。 The dielectric elastomer layer 11 preferably has a compressive modulus of 0.1 MPa to 1.5 MPa, and more preferably 0.3 MPa to 0.7 MPa. If it is less than the above lower limit value, the dielectric elastomer layer 11 may be too soft, and the compressive deformation strain may be too large. On the other hand, when the above upper limit is exceeded, the dielectric elastomer layer 11 may be too hard to be compressed in the layer thickness direction. The compression modulus is a compression modulus when 10% strain is applied in accordance with a low deformation compression test of JIS-K6254.

また、誘電エラストマー層１１に対する誘電性フィラーの含有割合としては、８０質量％以下が好ましく、７０質量％以下がより好ましい。誘電性フィラーの含有割合が上記上限値を超えると、誘電エラストマー層が硬くなり変形しにくくなるおそれがある。 Moreover, as a content rate of the dielectric filler with respect to the dielectric elastomer layer 11, 80 mass% or less is preferable, and 70 mass% or less is more preferable. If the content ratio of the dielectric filler exceeds the above upper limit value, the dielectric elastomer layer may become hard and difficult to deform.

（導電エラストマー層１２）
導電エラストマー層１２は、上記誘電エラストマー層１１の伸縮に追従可能な伸縮性を有する構成とすることが好ましい。この導電エラストマー層は、導電性フィラー及び弾性基材を有する。ここで、導電エラストマー層の弾性基材を構成するエラストマーとしては、誘電エラストマー層１１と接着可能なものが好適に用いられ、誘電エラストマー層１１の弾性基材を構成するエラストマーと同様なものを用いることが好ましく、誘電エラストマー層の弾性基材を構成するエラストマーと同じエラストマーから構成されることがより好ましい。また、この導電エラストマー層１２の弾性基材を構成するエラストマーとしては、上述の誘電エラストマー層１１の弾性基材を構成するエラストマーと同様、極性が低いことが好ましく、ＳＰ値が８．５以下であることが好ましい。なお、この導電エラストマー層１２の弾性基材を構成するエラストマーのＳＰ値と上述の誘電エラストマー層１１を構成するエラストマーのＳＰ値との差は、１．０以下であることが好ましく、０．５以下であることがより好ましい。 (Conductive elastomer layer 12)
The conductive elastomer layer 12 preferably has a stretchable structure that can follow the stretch of the dielectric elastomer layer 11. This conductive elastomer layer has a conductive filler and an elastic substrate. Here, as the elastomer constituting the elastic base material of the conductive elastomer layer, those that can be bonded to the dielectric elastomer layer 11 are preferably used, and the same elastomer as that constituting the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 is used. It is preferable that the dielectric elastomer layer is composed of the same elastomer as that constituting the elastic base material of the dielectric elastomer layer. Further, the elastomer constituting the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 is preferably low in polarity as in the case of the elastomer constituting the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 described above, and the SP value is 8.5 or less. Preferably there is. The difference between the SP value of the elastomer constituting the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the SP value of the elastomer constituting the dielectric elastomer layer 11 is preferably 1.0 or less. The following is more preferable.

上記導電性フィラーとしては、種々のものが採用可能であり、例えば導電性カーボンブラック、カーボンナノチューブ（単層カーボンナノチューブ又は多層カーボンナノチューブ）、導電性金属フィラー等を採用可能である。これらのうち、少量で電気抵抗を低下することができ導電エラストマー層１２の弾性率を上昇させにくいカーボンナノチューブが好ましい。 As the conductive filler, various types can be adopted. For example, conductive carbon black, carbon nanotubes (single-walled carbon nanotubes or multi-walled carbon nanotubes), conductive metal fillers, and the like can be adopted. Among these, carbon nanotubes that can reduce the electrical resistance with a small amount and hardly increase the elastic modulus of the conductive elastomer layer 12 are preferable.

導電エラストマー層１２に対する導電性フィラーの含有割合としては、０．５質量％以上１０質量％以下が好ましく、１質量％以上５質量％以下がより好ましい。導電性フィラーの含有割合を上記範囲とすることで、効果的に導電エラストマー層１２の電気抵抗を低下することができる。 As a content rate of the electroconductive filler with respect to the electroconductive elastomer layer 12, 0.5 mass% or more and 10 mass% or less are preferable, and 1 mass% or more and 5 mass% or less are more preferable. By making the content rate of a conductive filler into the said range, the electrical resistance of the conductive elastomer layer 12 can be reduced effectively.

導電エラストマー層１２の弾性基材における軟化剤含有割合としては、３０質量％以上８０質量％以下であることが好ましい。導電エラストマー層１２の弾性基材における軟化剤含有割合を上記範囲とすることで、上記誘電エラストマー層１１に追従可能な伸縮性を効果的に発揮することができる。 The softener content in the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 is preferably 30% by mass or more and 80% by mass or less. By setting the content of the softening agent in the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 in the above range, it is possible to effectively exhibit stretchability that can follow the dielectric elastomer layer 11.

導電エラストマー層１２は、誘電エラストマー層１１よりも薄く設けられていることが好ましい。導電エラストマー層１２の平均厚み（１層）としては、１μｍ以上９０μｍ以下であることが好ましく、１μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。ここで、導電エラストマー層１２の平均厚みは、誘電エラストマー層１１の平均厚みの０．０３倍以上０．４倍以下であることが好ましく、０．０５倍以上０．２倍以下であることがより好ましい。 The conductive elastomer layer 12 is preferably provided thinner than the dielectric elastomer layer 11. The average thickness (one layer) of the conductive elastomer layer 12 is preferably 1 μm or more and 90 μm or less, and more preferably 1 μm or more and 50 μm or less. Here, the average thickness of the conductive elastomer layer 12 is preferably 0.03 to 0.4 times the average thickness of the dielectric elastomer layer 11, and preferably 0.05 to 0.2 times. More preferred.

また、導電エラストマー層１２は、圧縮弾性率が１．５ＭＰａ以下であることが好ましく、０．７ＭＰａ以下であることがより好ましい。上記上限値を超えると、導電エラストマー層１２が硬すぎ、誘電エラストマー層１１に追従できなくなるおそれがある。 The conductive elastomer layer 12 preferably has a compressive elastic modulus of 1.5 MPa or less, and more preferably 0.7 MPa or less. If the upper limit is exceeded, the conductive elastomer layer 12 may be too hard to follow the dielectric elastomer layer 11.

また、導電エラストマー層１２は、誘電エラストマー層１１からはみ出さないように積層されている。つまり、導電エラストマー層１２は、誘電エラストマー層１１よりも幅狭に形成されて、誘電エラストマー層１１は、導電エラストマー層１２よりも外側に延出した袖部１３を有している。これにより、導電エラストマー層１２の端面での短絡等を防止している。ここで、この袖部１３の幅は、誘電エラストマー層１１の平均厚みに対して、３倍以上５０倍以下が好ましく、５倍以上１０倍以下がより好ましい。上記下限値未満であると短絡防止効果が十分に得られないおそれがある。一方、上記上限値を超えると、変形特性を抑制するおそれがある。 The conductive elastomer layer 12 is laminated so as not to protrude from the dielectric elastomer layer 11. That is, the conductive elastomer layer 12 is formed narrower than the dielectric elastomer layer 11, and the dielectric elastomer layer 11 has a sleeve portion 13 that extends outward from the conductive elastomer layer 12. Thereby, a short circuit or the like at the end face of the conductive elastomer layer 12 is prevented. Here, the width of the sleeve portion 13 is preferably 3 to 50 times, and more preferably 5 to 10 times the average thickness of the dielectric elastomer layer 11. If it is less than the lower limit, the short-circuit prevention effect may not be sufficiently obtained. On the other hand, when the above upper limit is exceeded, there is a risk of suppressing deformation characteristics.

＜利点＞
上記導電エラストマー層１２の弾性基材及び誘電エラストマー層１１の弾性基材が軟化剤を含有し、導電エラストマー層１２の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下であることで、当該トランスデューサ用可撓性シート１は、柔軟性及び安定性に優れる。 <Advantages>
The elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 contain a softener, and the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 and the softener content in the elastic base material of the dielectric elastomer layer When the difference from the ratio is 10% by mass or less, the flexible sheet for transducer 1 is excellent in flexibility and stability.

＜トランスデューサ素子＞
上記構成からなる当該トランスデューサ用可撓性シートによって、図２及び図３に示すようなトランスデューサ素子１００を得ることができる。 <Transducer element>
The transducer element 100 as shown in FIGS. 2 and 3 can be obtained by the transducer flexible sheet having the above-described configuration.

このトランスデューサ素子１００は、複数の帯状の当該トランスデューサ用可撓性シート１が導電エラストマー層１２同士の間に誘電エラストマー層１１が配設されるよう折り畳まれている。具体的には、一対の当該トランスデューサ用可撓性シート１が、略直角に交差して重ねあわされ、交互に蛇腹状に折り畳まれている。この一対の当該トランスデューサ用可撓性シート１は、同一構成のものを使用している。なお、一対の当該トランスデューサ用可撓性シート１は、１０層以上１００００層以下で重畳されていることが好ましく３０層以上１０００層以下で重畳されていることがより好ましく、５０層以上１００層以下で重畳されていることがさらに好ましい。上記下限値未満であると、圧縮時に当該トランスデューサ用可撓性シート１が平面方向に伸長しにくいおそれがある。上記上限値を超えると、当該トランスデューサ用可撓性シート１の長さが長くなり過ぎ、当該トランスデューサ用可撓性シート１に欠陥を生ずるおそれがある。 In this transducer element 100, a plurality of strip-like flexible sheets for transducer 1 are folded so that a dielectric elastomer layer 11 is disposed between conductive elastomer layers 12. Specifically, the pair of flexible sheets 1 for transducers are overlapped so as to intersect at a substantially right angle, and are alternately folded in a bellows shape. The pair of flexible sheets 1 for transducers have the same configuration. The pair of flexible sheets 1 for transducers is preferably overlapped by 10 layers or more and 10000 layers or less, more preferably 30 layers or more and 1000 layers or less, more preferably 50 layers or more and 100 layers or less. It is more preferable that these are superimposed. If it is less than the lower limit value, the flexible sheet for transducer 1 may not easily extend in the planar direction during compression. When the upper limit is exceeded, the length of the transducer flexible sheet 1 becomes too long, and the transducer flexible sheet 1 may be defective.

［第二実施形態］
＜トランスデューサ用可撓性シート２＞
当該トランスデューサ用可撓性シート２は、図４に示すように誘電エラストマー層２１と、この誘電エラストマー層２１の表面側及び裏面側に積層される導電エラストマー層２２とを備えている。すなわち、一の導電エラストマー層２２と、この一方の面に積層される誘電エラストマー層２１と、この誘電エラストマー層２１の一方の面に積層される他の導電エラストマー層２２とを備えている。なお、表裏の導電エラストマー層２２は同一構成を有している。また、本実施形態のトランスデューサ用可撓性シート２は、円盤状の誘電エラストマー層の表裏面に平面視ドーナツ状の導電エラストマー層が同心状に積層される構成とすることも可能である。 [Second Embodiment]
<Flexible sheet 2 for transducer>
As shown in FIG. 4, the flexible sheet 2 for transducer includes a dielectric elastomer layer 21 and a conductive elastomer layer 22 laminated on the front surface side and the back surface side of the dielectric elastomer layer 21. That is, one conductive elastomer layer 22, a dielectric elastomer layer 21 laminated on this one surface, and another conductive elastomer layer 22 laminated on one surface of this dielectric elastomer layer 21 are provided. The front and back conductive elastomer layers 22 have the same configuration. Moreover, the flexible sheet 2 for transducers of this embodiment can also be made into the structure by which the doughnut-shaped conductive elastomer layer of planar view is laminated | stacked concentrically on the front and back of a disk-shaped dielectric elastomer layer.

上記導電エラストマー層２２及び誘電エラストマー層２１は、第一実施形態と同様に、それぞれ軟化剤を含有する弾性基材を有し、導電エラストマー層２２の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層２１の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下である。このようにすることで、当該トランスデューサ用可撓性シート２は、柔軟性及び安定性に優れる。また、この差は５質量％以下であることがより好ましい。なお、第二実施形態の導電エラストマー層２２及び誘電エラストマー層２１は、第一実施形態の導電エラストマー層１２及び誘電エラストマー層１１と略同様の構成を採用できるため、詳細な説明は省略する。 Similarly to the first embodiment, the conductive elastomer layer 22 and the dielectric elastomer layer 21 each have an elastic base material containing a softening agent, and the softening agent content ratio and the dielectric elastomer layer in the elastic base material of the conductive elastomer layer 22. The difference with the softener content rate in the elastic base material of 21 is 10 mass% or less. By doing in this way, the said flexible sheet 2 for transducers is excellent in a softness | flexibility and stability. The difference is more preferably 5% by mass or less. In addition, since the electrically conductive elastomer layer 22 and the dielectric elastomer layer 21 of 2nd embodiment can employ | adopt substantially the same structure as the electrically conductive elastomer layer 12 and dielectric elastomer layer 11 of 1st embodiment, detailed description is abbreviate | omitted.

当該トランスデューサ用可撓性シート２の平均厚みが２０μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以上２００μｍ以下であることがより好ましい。また、導電エラストマー層２２の平均厚み（１層）は、１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、１μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。誘電エラストマー層２１は、平均厚みが２０μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましい。 The average thickness of the transducer flexible sheet 2 is preferably 20 μm or more and 400 μm or less, and more preferably 50 μm or more and 200 μm or less. The average thickness (one layer) of the conductive elastomer layer 22 is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 1 μm or more and 50 μm or less. The dielectric elastomer layer 21 preferably has an average thickness of 20 μm to 200 μm, and more preferably 50 μm to 100 μm.

また、当該トランスデューサ用可撓性シート２（誘電エラストマー層２１）の大きさ（直径）は、用いられるトランスデューサの用途等に応じて適宜設計変更可能である。袖部１３の幅は、誘電エラストマー層２１の平均厚みに対して、３倍以上が好ましく、５倍以上がより好ましい。上記下限値未満であると短絡防止効果が十分に得られないおそれがある。 Further, the size (diameter) of the transducer flexible sheet 2 (dielectric elastomer layer 21) can be appropriately changed according to the use of the transducer used. The width of the sleeve portion 13 is preferably 3 times or more, and more preferably 5 times or more the average thickness of the dielectric elastomer layer 21. If it is less than the lower limit, the short-circuit prevention effect may not be sufficiently obtained.

＜利点＞
当該トランスデューサ用可撓性シート２は、両面の導電エラストマー層２２を電極として用いることで、トランスデューサ素子として好適に用いることができる。また導電エラストマー層２２の弾性基材及び誘電エラストマー層２１の弾性基材が軟化剤を含有し、導電エラストマー層２２の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層２１の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下であることで、当該トランスデューサ用可撓性シート２は、柔軟性及び安定性に優れる。 <Advantages>
The transducer flexible sheet 2 can be suitably used as a transducer element by using the conductive elastomer layers 22 on both sides as electrodes. The elastic base material of the conductive elastomer layer 22 and the elastic base material of the dielectric elastomer layer 21 contain a softening agent, and the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer 22 and the softening agent in the elastic base material of the dielectric elastomer layer 21. When the difference from the content is 10% by mass or less, the flexible sheet 2 for transducers is excellent in flexibility and stability.

＜トランスデューサ用可撓性シート１の製造方法＞
次に、本発明のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法の一実施形態として、第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シート１を製造する方法を図５を参酌しつつ説明する。 <Method for Producing Transducer Flexible Sheet 1>
Next, as an embodiment of the transducer flexible sheet manufacturing method of the present invention, a method for manufacturing the transducer flexible sheet 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法は、
一の離型フィルム３３に、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下の弾性基材を有する誘電エラストマー層１１を積層することで、第１シート体３１を形成する工程（以下、「工程（１）」とも称する）、
他の離型フィルム４３に、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下かつ上記誘電エラストマー層１１の軟化剤含有割合との差が１０質量％以下の弾性基材及び導電性フィラーを有する導電エラストマー層１２を積層することで、第２シート体４１を形成する工程（以下、「工程（２）」とも称する）、及び
上記第１シート体３１と上記第２シート体４１とを、誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２との対向状態で積層することで多層構造体を形成する工程（以下、「工程（３）」とも称する）
を有する。 The manufacturing method of the flexible sheet for transducers of this embodiment is as follows.
A step of forming the first sheet body 31 by laminating the dielectric elastomer layer 11 having an elastic base material with a softener content ratio of 30% by mass or more and 80% by mass or less on one release film 33 (hereinafter, “ Step (1) "),
The other release film 43 has an elastic base material having a softener content ratio of 30% by mass or more and 80% by mass or less and a difference from the softener content ratio of the dielectric elastomer layer 11 of 10% by mass or less and a conductive filler. The step of forming the second sheet body 41 (hereinafter also referred to as “process (2)”) by laminating the conductive elastomer layer 12, and the first sheet body 31 and the second sheet body 41 are made to be dielectric. A step of forming a multilayer structure by laminating the elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 in an opposing state (hereinafter also referred to as “step (3)”).
Have

当該トランスデューサ用可撓性シートの製造方法は、さらに
上記第１シート体３１を形成する工程において、複数枚の第１シート体３１を形成し、
上記多層構造体から第２シート体４１の離型フィルム４３を剥離する工程（以下、「工程（４）」とも称する）、及び
上記多層構造体から第２シート体４１の離型フィルム４３が剥離された積層体に、他の第１シート体３１を、誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２との対向状態で積層する工程（以下、「工程（５）」とも称する）
を有する。 The transducer flexible sheet manufacturing method further includes forming a plurality of first sheet bodies 31 in the step of forming the first sheet body 31,
A step of peeling the release film 43 of the second sheet body 41 from the multilayer structure (hereinafter also referred to as “step (4)”), and a release film 43 of the second sheet body 41 is peeled from the multilayer structure. A step of laminating another first sheet body 31 on the laminated body in a state where the dielectric elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 face each other (hereinafter, also referred to as “step (5)”).
Have

本発明のトランスデューサ用可撓性シート１の製造方法は、上記工程（３）の前に、
上記第２シート体４１を所定形状に裁断する工程（以下「工程（３ａ）」とも称する）
をさらに有することが好ましい。 The manufacturing method of the flexible sheet for transducers 1 of the present invention is performed before the step (3).
A step of cutting the second sheet body 41 into a predetermined shape (hereinafter also referred to as “step (3a)”).
It is preferable to further have.

以下、各工程を説明する。 Hereinafter, each process will be described.

［工程（１）］
本工程では、一の離型フィルム３３に、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下の弾性基材を有する誘電エラストマー層１１を積層することで、第１シート体３１を形成する。 [Step (1)]
In this step, the first sheet body 31 is formed by laminating the dielectric elastomer layer 11 having an elastic base material having a softener content ratio of 30% by mass or more and 80% by mass or less on one release film 33.

離型フィルム３３としては、特に限定されないが、離型処理が施されたプラスチックフィルム以外にも、フッ素系樹脂フィルム、表面に離型処理が施された紙、不織布、金箔等が挙げられる。離型フィルムとしては、シリコーン処理がなされたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが好ましい。離型フィルムの厚さとしては、特に限定されないが７０μｍ以上１００μｍ以下の厚さのものが好適に用いられる。 Although it does not specifically limit as the mold release film 33, A fluororesin film, the paper by which the mold release process was given to the surface, a nonwoven fabric, a gold foil, etc. are mentioned besides the plastic film by which the mold release process was performed. As the release film, a polyethylene terephthalate (PET) film subjected to silicone treatment is preferable. Although it does not specifically limit as thickness of a release film, The thing of the thickness of 70 micrometers or more and 100 micrometers or less is used suitably.

まず、エラストマー、軟化剤、誘電性フィラー及び必要に応じて加えられる架橋剤、加硫促進剤、老化防止剤等の添加剤を含有する誘電エラストマー組成物を作成する。次に上記誘電エラストマー組成物をトルエン等の溶媒に溶解し、これを塗工液として、上記離型フィルム上にコーティングし、続いて溶媒を乾燥させ加熱架橋することで第１シート体３１を形成することができる。あるいは、本加熱して架橋する代わりに、必要に応じて半架橋又は加熱しないことも可能である。また、誘電エラストマー層１１の形成は、押出し成形法等によって形成することも可能である。誘電エラストマー層１１は、１０μｍ以上３００μｍ以下の平均厚みで形成される。 First, a dielectric elastomer composition containing an elastomer, a softening agent, a dielectric filler, and additives such as a crosslinking agent, a vulcanization accelerator, and an anti-aging agent added as necessary is prepared. Next, the dielectric elastomer composition is dissolved in a solvent such as toluene, and this is coated on the release film as a coating liquid. Subsequently, the solvent is dried and heat-crosslinked to form the first sheet body 31. can do. Alternatively, instead of the main heating and crosslinking, it is possible to semi-crosslink or not heat as necessary. The dielectric elastomer layer 11 can also be formed by an extrusion method or the like. The dielectric elastomer layer 11 is formed with an average thickness of 10 μm to 300 μm.

なお、トランスデューサ用可撓性シート１の製造においては、この工程（１）において、複数枚の第１シート体３１を形成する。 In manufacturing the transducer flexible sheet 1, a plurality of first sheet bodies 31 are formed in this step (1).

［工程（２）］
本工程では、他の離型フィルム４３に、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下かつ上記誘電エラストマー層の軟化剤含有割合との差が１０質量％以下の弾性基材及び導電性フィラーを有する導電エラストマー層１２を積層することで、第２シート体４１を形成する。 [Step (2)]
In this step, the other release film 43 is provided with an elastic base material having a softener content of 30% by mass to 80% by mass and a difference between the softener content of the dielectric elastomer layer and 10% by mass or less. The second sheet body 41 is formed by laminating the conductive elastomer layer 12 having a filler.

まず、導電エラストマー組成物を作成する。導電エラストマー組成物は、エラストマー、軟化剤、導電性フィラー及び必要に応じて高分子分散剤等を含有する。この導電エラストマー組成物をトルエン等の溶媒に溶解し、これを塗工液として、上記他の離型フィルム上にロールコータやグラビアコータを用いてコーティングされる。このコーティングは、全面コーティングされてもよいし、幅方向断面から見てストライプ状又はパターン状にコーティングされてもよい。コーティング後、溶媒を乾燥させ、必要に応じて加熱架橋することにより第２シート体４１を形成する。あるいは、本加熱して架橋する代わりに、必要に応じて半架橋又は加熱しないことも可能である。導電エラストマー層１２は、１μｍ以上９０μｍ以下の平均厚みで形成される。 First, a conductive elastomer composition is prepared. The conductive elastomer composition contains an elastomer, a softening agent, a conductive filler and, if necessary, a polymer dispersant. This conductive elastomer composition is dissolved in a solvent such as toluene, and this is used as a coating solution to coat the other release film using a roll coater or a gravure coater. This coating may be entirely coated, or may be coated in a stripe shape or a pattern shape when viewed from the cross section in the width direction. After coating, the solvent is dried, and the second sheet body 41 is formed by heating and crosslinking as necessary. Alternatively, instead of the main heating and crosslinking, it is possible to semi-crosslink or not heat as necessary. The conductive elastomer layer 12 is formed with an average thickness of 1 μm or more and 90 μm or less.

［工程（３ａ）］
本工程では、上記第２シート体４１を所定形状に裁断する。導電エラストマー層１２が離型フィルムに全面コーティングされている場合には、裁断後の第２シート体４１は第１シート体３１よりも小さくすれば、第２シート体４１の導電エラストマー層１２を上記第１シート体３１の誘電エラストマー層１１からはみ出さないように積層することが可能となる。裁断方法としては特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。 [Step (3a)]
In this step, the second sheet body 41 is cut into a predetermined shape. When the conductive elastomer layer 12 is coated on the entire surface of the release film, if the second sheet body 41 after cutting is made smaller than the first sheet body 31, the conductive elastomer layer 12 of the second sheet body 41 is formed as described above. The first sheet body 31 can be laminated so as not to protrude from the dielectric elastomer layer 11. It does not specifically limit as a cutting method, A conventionally well-known method is employable.

また、必要に応じて第１シート体３１も所定形状に裁断することもできる。 Moreover, the 1st sheet | seat body 31 can also be cut | judged to a predetermined shape as needed.

［工程（３）］
本工程では、第１シート体３１と第２シート体４１とを、誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２との対向状態で積層することで多層構造体を形成する。 [Step (3)]
In this step, the first sheet body 31 and the second sheet body 41 are laminated with the dielectric elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 facing each other to form a multilayer structure.

誘電エラストマー層１１の弾性基材及び導電エラストマー層１２の弾性基材が共に軟化剤をある程度多く含有している場合は、誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２との間には粘着性があるので、各層のエラストマーが完全に架橋されていても、加圧のみで誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２とは密着し一体化される。 When the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 and the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 both contain a large amount of softening agent, the dielectric elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 are sticky. Even if the elastomer of each layer is completely cross-linked, the dielectric elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 are brought into close contact with each other only by pressurization.

誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２と間の密着が不十分な場合には、加熱して加圧することで密着性を高めることもできる。この場合、第１シート体３１を形成する工程（１）の加熱架橋の際、又は第２シート体４１を形成する工程（２）の加熱架橋の際、又は上記両方の工程における加熱架橋の際に加熱温度を低くしたり加熱時間を短縮することで、各エラストマーの架橋度を低くしておき、その後工程（３）において加熱して架橋を進行させれば、より確実に誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２とを密着させることが可能となる。 When the adhesion between the dielectric elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 is insufficient, the adhesion can be improved by heating and pressurizing. In this case, at the time of heat crosslinking in the step (1) for forming the first sheet body 31, or at the time of heat crosslinking in the step (2) for forming the second sheet body 41, or at the time of heat crosslinking in both the above steps. If the degree of cross-linking of each elastomer is lowered by lowering the heating temperature or shortening the heating time, and then the cross-linking proceeds by heating in the step (3), the dielectric elastomer layer 11 and The conductive elastomer layer 12 can be brought into close contact.

［工程（４）及び工程（５）］
工程（４）において、上記多層構造体から第２シート体４１の離型フィルム４３を剥離し、工程（５）において、上記多層構造体から第２シート体４１の離型フィルム４３が剥離された積層体に、他の第１シート体３１を、誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２との対向状態で積層する。 [Step (4) and Step (5)]
In the step (4), the release film 43 of the second sheet body 41 was peeled from the multilayer structure, and in the step (5), the release film 43 of the second sheet body 41 was peeled from the multilayer structure. Another first sheet body 31 is laminated on the laminated body with the dielectric elastomer layer 11 and the conductive elastomer layer 12 facing each other.

上記工程（５）における積層方法についての説明は、上記工程（３）と同様であるので説明を省略する。 Since the description of the laminating method in the step (5) is the same as that in the step (3), the description is omitted.

＜利点＞
当該トランスデューサ用可撓性シート１の製造方法によれば、従来の誘電エラストマー層に溶媒に溶解された導電エラストマー層形成材料を塗工する方法に比べ、誘電エラストマー層の弾性基材中の軟化剤が溶媒に溶け出すことがなく、製造工程における誘電エラストマー層と導電エラストマー層との間での軟化剤の移行やブリードに起因する物性変化が少なく、容易且つ確実に当該トランスデューサ用可撓性シートを製造することができる。 <Advantages>
According to the manufacturing method of the flexible sheet for transducer 1, the softening agent in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is compared with the conventional method of applying the conductive elastomer layer forming material dissolved in the solvent to the dielectric elastomer layer. Does not dissolve in the solvent, and there is little change in physical properties due to migration or bleeding of the softening agent between the dielectric elastomer layer and the conductive elastomer layer in the manufacturing process, and the flexible sheet for transducers can be easily and reliably Can be manufactured.

また、当該トランスデューサ用可撓性シート１の製造方法は、第１シート体３１よりも第２シート体４１が小さくなるよう裁断されることで、導電エラストマー層１２の短絡を効果的に防止することができる。 Moreover, the manufacturing method of the said flexible sheet | seat 1 for transducers can prevent the short circuit of the conductive elastomer layer 12 effectively by cutting so that the 2nd sheet | seat body 41 may become smaller than the 1st sheet | seat body 31. FIG. Can do.

＜他の実施形態＞
なお、本発明は上記実施態様の他、種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。 <Other embodiments>
The present invention can be carried out in various modified and improved forms in addition to the above embodiment.

つまり、上記実施形態においては、トランスデューサ用可撓性シート１及び２として三層構造のものについて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明に係るトランスデューサ用可撓性シートとして、誘電エラストマー層１１と導電エラストマー層１２との二層構造のトランスデューサ用可撓性シートを用いることも可能である。 That is, in the said embodiment, although the thing of the three-layer structure was demonstrated as the flexible sheets 1 and 2 for transducers, this invention is not limited to this. For example, as the flexible sheet for a transducer according to the present invention, a flexible sheet for a transducer having a two-layer structure of a dielectric elastomer layer 11 and a conductive elastomer layer 12 can be used.

また、上記実施形態においては、トランスデューサ用可撓性シート１の一対の誘電エラストマー層１１が同一厚みのものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、一対の誘電エラストマー層１１の厚みが異なるものも本発明に係るトランスデューサ用可撓性シート１の意図する範囲内である。 Moreover, in the said embodiment, although the pair of dielectric elastomer layers 11 of the flexible sheet | seat 1 for transducers demonstrated the same thickness, this invention is not limited to this, A pair of dielectric elastomer layers 11 Those having different thicknesses are also within the intended range of the flexible sheet for transducers 1 according to the present invention.

さらに、当該トランスデューサ用可撓性シートとして四層以上の構造を有するものを採用することも可能である。 Further, it is possible to adopt a flexible sheet for the transducer having a structure of four or more layers.

また、上記実施形態においては、トランスデューサ用可撓性シート１の一対の誘電エラストマー層が同一構成のものについて説明したが、表裏の誘電エラストマー層が異なる構成のトランスデューサ用可撓性シートを用いることも適宜設計変更可能である。 In the above embodiment, the pair of dielectric elastomer layers of the transducer flexible sheet 1 has the same configuration. However, it is also possible to use a transducer flexible sheet having a configuration in which the front and back dielectric elastomer layers are different. The design can be changed as appropriate.

さらに、上記実施形態においては、トランスデューサ用可撓性シート１の誘電エラストマー層１１の弾性基材と導電エラストマー層１２の弾性基材とが同じエラストマーから構成されるものについて説明したが、異なるエラストマーから構成されてもよい。 Furthermore, in the said embodiment, although the elastic base material of the dielectric elastomer layer 11 of the flexible sheet 1 for transducers and the elastic base material of the conductive elastomer layer 12 were comprised from the same elastomer, from different elastomers, it demonstrated. It may be configured.

また、上記実施形態においては、第一実施形態のトランスデューサ用可撓性シート１の製造方法についてのみ説明したが、略同様の方法によって第二実施形態のトランスデューサ用可撓性シート２を製造することができる。つまり、上記工程（１）、工程（２）及び工程（３）を行った後に、得られた多層構造体から第１シート体３１の離型フィルム３３を剥離し、上記多層構造体から第１シート体３１の離型フィルム３３が剥離された積層体に、他の第２シート体４１を、誘電エラストマー層２１と導電エラストマー層２２との対向状態で積層することによって、第二実施形態のトランスデューサ用可撓性シート２を製造することができる。 Moreover, in the said embodiment, although only the manufacturing method of the flexible sheet | seat 1 for transducers of 1st embodiment was demonstrated, the flexible sheet | seat 2 for transducers of 2nd embodiment is manufactured by the substantially the same method. Can do. That is, after performing the step (1), the step (2), and the step (3), the release film 33 of the first sheet body 31 is peeled from the obtained multilayer structure, and the first structure is removed from the multilayer structure. The other second sheet body 41 is laminated on the laminated body from which the release film 33 of the sheet body 31 has been peeled in a state where the dielectric elastomer layer 21 and the conductive elastomer layer 22 face each other, whereby the transducer according to the second embodiment. The flexible sheet 2 can be manufactured.

以下、実施例によって当該発明をさらに具体的に説明するが、当該発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

トランスデューサ用可撓性シート５１として、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように導電エラストマー層５３の一方の面に誘電エラストマー層５２が積層された２層構造のものを用い、表１に示す組成（ゴム種、膜厚、各成分の含有割合）の各トランスデューサ用可撓性シートの試験片を作製した。各試験片の幅は１０ｍｍ、長さは５０ｍｍとした。ＥＰＤＭ（エチレン−プロピレンゴム）としては、市販品を用いた。誘電エラストマー層には誘電性フィラーとしてチタン酸バリウムを添加した。導電エラストマー層には、導電性フィラーとして多層カーボンナノチューブ（ＶＧＣＦ（登録商標）、昭和電工製）を添加した。 As the flexible sheet 51 for a transducer, a sheet having a two-layer structure in which a dielectric elastomer layer 52 is laminated on one surface of a conductive elastomer layer 53 as shown in FIGS. Test pieces of flexible sheets for transducers having the composition shown (rubber type, film thickness, content ratio of each component) were prepared. Each test piece had a width of 10 mm and a length of 50 mm. A commercially available product was used as EPDM (ethylene-propylene rubber). Barium titanate was added as a dielectric filler to the dielectric elastomer layer. Multi-walled carbon nanotubes (VGCF (registered trademark), manufactured by Showa Denko) were added to the conductive elastomer layer as a conductive filler.

作製した各トランスデューサ用可撓性シートの試験片を用い、オイル（軟化剤）移行反り試験を実施した。 An oil (softener) transfer warpage test was performed using the prepared test piece of each flexible sheet for a transducer.

＜オイル（軟化剤）移行反り試験＞
図７（Ａ）に示すように、各試験片の長手方向の一端を剛性フレーム５４で固定して吊り下げ、５０℃で５時間以上放置してオイル移行を進行させた。オイルの移行にともない、図７（Ｂ）又は（Ｃ）に示すように試験片に反りが生じる場合があるので、図７（Ｂ）又は図７（Ｃ）の最短幅Ｗを測定した。最短幅Ｗの初期幅（１０ｍｍ）に対する減少が５％未満であったものを「○」、５％以上１２％未満のものを「△」、１２％以上のものを「×」と評価した。結果を表１に合わせて示す。なお、表中の「向き」の項目において、「誘→導」とは、誘電エラストマー層から導電エラストマー層に軟化剤が移行し、誘電エラストマー層は収縮して導電エラストマー層が膨潤する方向に反ることを示す。逆に、「誘←導」とは、導電エラストマー層から誘電エラストマー層に軟化剤が移行し、導電エラストマー層は収縮して誘電エラストマー層が膨潤する方向に反ることを示す。 <Oil (softener) transition warpage test>
As shown in FIG. 7A, one end in the longitudinal direction of each test piece was fixed with a rigid frame 54 and suspended, and allowed to stand at 50 ° C. for 5 hours or more to allow oil transfer to proceed. As the oil moves, the test piece may be warped as shown in FIG. 7 (B) or (C), so the shortest width W of FIG. 7 (B) or FIG. 7 (C) was measured. The case where the decrease of the shortest width W with respect to the initial width (10 mm) was less than 5% was evaluated as “◯”, the case where it was 5% or more and less than 12% was evaluated as “Δ”, and the case where 12% or more was evaluated as “X”. The results are shown in Table 1. In the “orientation” item in the table, “induction → conduction” means that the softening agent moves from the dielectric elastomer layer to the conductive elastomer layer, and the dielectric elastomer layer contracts and the conductive elastomer layer swells. Indicates that On the other hand, “induction” means that the softening agent moves from the conductive elastomer layer to the dielectric elastomer layer, and the conductive elastomer layer contracts and warps in the direction in which the dielectric elastomer layer swells.

表１の結果から明らかなように、初期幅に対する変化が１２％以下となったのは、導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合との差が、略１０質量％以下のときであることが分かった。従って、本発明のトランスデューサ用可撓性シートは、導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合と誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合との差が１０質量％以下であることで、それぞれの物性が変化したり形態が変化したりすることを抑制でき、安定性に優れることが分かった。 As apparent from the results in Table 1, the change with respect to the initial width was 12% or less because the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer and the softener content ratio in the elastic base material of the dielectric elastomer layer It was found that the difference was approximately 10% by mass or less. Therefore, in the flexible sheet for transducers of the present invention, the difference between the softener content ratio in the elastic base material of the conductive elastomer layer and the softener content ratio in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is 10% by mass or less. It was found that each physical property can be prevented from changing or the form can be changed, and the stability is excellent.

本発明のトランスデューサ用可撓性シートは、軟化剤が導電エラストマー層と誘電エラストマー層の間を移行することを抑制することでそれぞれの物性が変化したり形態が変化したりすることを抑制でき、柔軟性及び安定性に優れる。 The flexible sheet for transducers of the present invention can suppress the change of the physical properties or the form of each by suppressing the softening agent from moving between the conductive elastomer layer and the dielectric elastomer layer, Excellent flexibility and stability.

１トランスデューサ用可撓性シート
１１誘電エラストマー層
１２導電エラストマー層
１３袖部
１００トランスデューサ素子
２トランスデューサ用可撓性シート
２１誘電エラストマー層
２２導電エラストマー層
３１第１シート体
３３離型フィルム
４１第２シート体
４３離型フィルム
５１トランスデューサ用可撓性シート
５２誘電エラストマー層
５３導電エラストマー層
５４剛性フレーム
Ｗ最短幅 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible sheet 11 for transducers Dielectric elastomer layer 12 Conductive elastomer layer 13 Sleeve part 100 Transducer element 2 Flexible sheet 21 for transducers Dielectric elastomer layer 22 Conductive elastomer layer 31 First sheet body 33 Release film 41 Second sheet body 43 Release film 51 Flexible sheet for transducer 52 Dielectric elastomer layer 53 Conductive elastomer layer 54 Rigid frame W Minimum width

Claims

弾性基材及び導電性フィラーを有する導電エラストマー層と、上記導電エラストマー層の一方の面に積層され弾性基材を有する誘電エラストマー層とを備え、
上記導電エラストマー層の弾性基材及び上記誘電エラストマー層の弾性基材が軟化剤を含有し、
上記導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ａ）と上記誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ｂ）との差が１０質量％以下であるトランスデューサ用可撓性シート。 A conductive elastomer layer having an elastic base material and a conductive filler, and a dielectric elastomer layer having an elastic base material laminated on one surface of the conductive elastomer layer,
The elastic substrate of the conductive elastomer layer and the elastic substrate of the dielectric elastomer layer contain a softener,
A flexible sheet for transducers, wherein a difference between a softener content ratio (a) in the elastic base material of the conductive elastomer layer and a softener content ratio (b) in the elastic base material of the dielectric elastomer layer is 10% by mass or less.

上記導電エラストマー層の他方の面に積層される他の誘電エラストマー層をさらに備え、
上記他の誘電エラストマー層が、軟化剤を含有する弾性基材を有し、
上記他の誘電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ｂ’）と上記軟化剤含有割合（ａ）との差が１０質量％以下である請求項１に記載のトランスデューサ用可撓性シート。 And further comprising another dielectric elastomer layer laminated on the other surface of the conductive elastomer layer,
The other dielectric elastomer layer has an elastic base material containing a softening agent,
The flexible sheet for a transducer according to claim 1, wherein the difference between the softener content (b ') and the softener content (a) in the elastic base material of the other dielectric elastomer layer is 10% by mass or less. .

上記誘電エラストマー層の一方の面に積層される他の導電エラストマー層をさらに備え、
上記他の導電エラストマー層が、軟化剤を含有する弾性基材及び導電性フィラーを有し、
上記他の導電エラストマー層の弾性基材における軟化剤含有割合（ａ’）と上記軟化剤含有割合（ｂ）との差が１０質量％以下である請求項１に記載のトランスデューサ用可撓性シート。 Further comprising another conductive elastomer layer laminated on one surface of the dielectric elastomer layer,
The other conductive elastomer layer has an elastic base material containing a softener and a conductive filler,
The flexible sheet for a transducer according to claim 1, wherein the difference between the softener content (a ') and the softener content (b) in the elastic base material of the other conductive elastomer layer is 10% by mass or less. .

上記軟化剤含有割合（ａ）が、３０質量％以上８０質量％以下であり、
上記軟化剤含有割合（ｂ）が、３０質量％以上８０質量％以下である請求項１、請求項２又は請求項３に記載のトランスデューサ用可撓性シート。 The softener content ratio (a) is 30% by mass or more and 80% by mass or less,
The flexible sheet for transducers according to claim 1, wherein the softener content ratio (b) is 30% by mass or more and 80% by mass or less.

上記誘電エラストマー層が誘電性フィラーを含有する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のトランスデューサ用可撓性シート。 The flexible sheet for transducers according to any one of claims 1 to 4, wherein the dielectric elastomer layer contains a dielectric filler.

上記導電性フィラーがカーボンナノチューブである請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のトランスデューサ用可撓性シート。 The flexible sheet for transducers according to any one of claims 1 to 5, wherein the conductive filler is a carbon nanotube.

請求項４から請求項６のいずれか１項に記載のトランスデューサ用可撓性シートを製造する方法であって、
一の離型フィルムに、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下の弾性基材を有する誘電エラストマー層を積層することで、第１シート体を形成する工程、
他の離型フィルムに、軟化剤含有割合が３０質量％以上８０質量％以下かつ上記誘電エラストマー層の軟化剤含有割合との差が１０質量％以下の弾性基材及び導電性フィラーを有する導電エラストマー層を積層することで、第２シート体を形成する工程、及び
上記第１シート体と上記第２シート体とを、誘電エラストマー層と導電エラストマー層との対向状態で積層することで多層構造体を形成する工程
を有するトランスデューサ用可撓性シートの製造方法。 A method for producing a flexible sheet for transducers according to any one of claims 4 to 6,
A step of forming a first sheet body by laminating a dielectric elastomer layer having an elastic base material having a softener content ratio of 30% by mass or more and 80% by mass or less on one release film;
A conductive elastomer having an elastic substrate and a conductive filler having a softener content of 30% by mass to 80% by mass and a difference from the softener content of the dielectric elastomer layer of 10% by mass or less in another release film A step of forming a second sheet body by laminating the layers, and a multilayer structure by laminating the first sheet body and the second sheet body in a state where the dielectric elastomer layer and the conductive elastomer layer face each other. The manufacturing method of the flexible sheet | seat for transducers which has the process of forming.

上記第１シート体を形成する工程において、複数枚の第１シート体を形成し、
上記多層構造体から第２シート体の離型フィルムを剥離する工程、及び
上記多層構造体から第２シート体の離型フィルムが剥離された積層体に、他の第１シート体を、誘電エラストマー層と導電エラストマー層との対向状態で積層する工程
をさらに有する請求項７に記載のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法。 In the step of forming the first sheet body, a plurality of first sheet bodies are formed,
A step of peeling the release film of the second sheet body from the multilayer structure, and a laminate obtained by peeling the release film of the second sheet body from the multilayer structure; The method for producing a flexible sheet for a transducer according to claim 7, further comprising a step of laminating the layer and the conductive elastomer layer in an opposing state.

上記第２シート体を形成する工程において、複数枚の第２シート体を形成し、
上記多層構造体から第１シート体の離型フィルムを剥離する工程、及び
上記多層構造体から第１シート体の離型フィルムが剥離された積層体に、他の第２シート体を、導電エラストマー層と誘電エラストマー層との対向状態で積層する工程
をさらに有する請求項７に記載のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法。 In the step of forming the second sheet body, a plurality of second sheet bodies are formed,
The step of peeling the release film of the first sheet body from the multilayer structure, and the other second sheet body, the conductive elastomer, on the laminate from which the release film of the first sheet body was peeled from the multilayer structure The method for producing a flexible sheet for a transducer according to claim 7, further comprising a step of laminating the layer and the dielectric elastomer layer in an opposed state.

上記多層構造体を形成する工程の前に、
上記第２シート体を所定形状に裁断する工程
をさらに有する請求項７に記載のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法。 Before the step of forming the multilayer structure,
The method for manufacturing a flexible sheet for a transducer according to claim 7, further comprising a step of cutting the second sheet body into a predetermined shape.

上記裁断する工程において、第１シート体よりも第２シート体が小さくなるよう裁断し、上記多層構造体を形成する工程において、上記第２シート体の導電エラストマー層が上記第１シート体の誘電エラストマー層からはみ出さないように積層される請求項１０に記載のトランスデューサ用可撓性シートの製造方法。 In the cutting step, the second sheet body is cut to be smaller than the first sheet body, and in the step of forming the multilayer structure, the conductive elastomer layer of the second sheet body is a dielectric of the first sheet body. The method for producing a flexible sheet for transducers according to claim 10, wherein the flexible sheets are laminated so as not to protrude from the elastomer layer.