JP5983855B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、搬送システムに関する。

従来の搬送システムとして、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載の搬送システムでは、搬送車の種類に応じて、複数のエリアのうち、搬送車が走行可能なエリアを走行エリアとして設定し、設定された走行エリア以外のエリアには搬送車が進入しないように制御している。

特開２０１０−６７０２８号公報

上記従来のシステムのように、複数種類の搬送台車が同一の軌道を複数のエリアにわたって走行する場合には、進入を許容していないエリアに誤って搬送台車が進入してしまうおそれがある。搬送台車が進入の許可されていないエリアに進入した場合、その搬送台車の進入を想定して設計されていないエリアでは、搬送台車と装置とが干渉するおそれがある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、搬送台車の誤進入を防止できる搬送システムを提供することを目的とする。

本発明の一側面に係る搬送システムは、複数のエリアにわたって敷設された軌道と、軌道に沿って走行する第１の搬送台車と、軌道に沿って走行すると共に、第１の搬送台車と幅及び高さの少なくとも一方が異なる第２の搬送台車と、第１の搬送台車及び第２の搬送台車のうちの一方の搬送台車に設けられ、他方の搬送台車と走行方向において重ならない位置に配置されると共に、前方の障害物を検出するセンサと、複数のエリアのうち他方の搬送台車のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、他方の搬送台車の特定のエリアへの進入を許容する位置で且つ一方の搬送台車に設けられたセンサにより検出される位置に配置された被検出部材と、を備えることを特徴とする。

この搬送システムでは、第１の搬送台車と、第１搬送台車と幅及び高さの少なくとも一方の異なる第２の搬送台車とを備えている。第１の搬送台車及び第２の搬送台車のうちの一方の搬送台車には、前方の障害物を検出するセンサが設けられており、このセンサは、複数のエリアのうち他方の搬送台車のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、他方の搬送台車の特定のエリアへの進入を許容する位置に配置された被検出部材を検出する。これにより、搬送システムでは、特定のエリアへの進入が許容されてない一方の搬送台車は、センサにより被検出部材を検出することで、進入が許容されていないエリアを認識できる。したがって、搬送システムでは、搬送台車の誤進入を防止できる。

一実施形態においては、軌道は、天井又は天井近傍に敷設された天井軌道であり、第１及び第２の搬送台車は、天井軌道から吊り下げられて走行する懸垂式の台車であり、一方の搬送台車は、他方の搬送台車よりも高さ寸法が大きくされており、センサは、一方の搬送台車において、他方の搬送台車の下端部から所定高さだけ下の範囲内に配置されていてもよい。これにより、搬送システムでは、一方の搬送台車において他の搬送台車とは重ならない位置にセンサが配置されるため、被検出部材を他の搬送台車と接触しない位置に配置できる。また、懸垂式の台車（天井搬送車）を備える搬送システムでは、特定のエリアにおいて床に設定された装置と一方の搬送台車との接触を防止できる。

一実施形態においては、一方の搬送台車に設けられ、被検出部材と接触する位置に配置されると共に、被検出部材との接触を検出する接触センサを備えていてもよい。これにより、搬送システムでは、万が一センサにより被検出部材を検出できなかった場合であっても、接触センサによる被検出部材の検出により、一方の搬送台車の誤進入を防止できる。したがって、搬送システムでは、的確にフェールセーフを図ることができる。

一実施形態においては、被検出部材は、特定のエリアへの進入領域に進入していない位置では一方の搬送台車に設けられたセンサにより検出されない位置に配置されていることが好ましい。これにより、搬送システムでは、特定のエリアの近傍を走行する一方の搬送台車のセンサが被検出部材を検出することを防止できる。したがって、搬送システムでは、誤動作を防止できる。

本発明によれば、搬送台車の誤進入を防止できる。

図１は、一実施形態に係る搬送システムを模式的に示す図である。 図２は、ＦＯＵＰ搬送車及びレチクル搬送車を前方から見た図である。 図３は、ＦＯＵＰ搬送車の構成を示す図である。 図４は、レールの一部を拡大して示す図である。 図５は、被検出部材を示す正面図である。 図６は、被検出部材とＦＯＵＰ搬送車及びレチクル搬送車との関係を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、一実施形態に係る搬送システムを示す図である。図２は、ＦＯＵＰ搬送車及びレチクル搬送車を前方から見た図である。図１に示すように、搬送システム１は、レール（軌道、天井軌道）Ｒと、レールＲを走行するＦＯＵＰ搬送車（第１の搬送台車）１０と、レールＲを走行するレチクル搬送車（第２の搬送台車）２０と、を備えている。搬送システム１では、複数種類の懸垂式の搬送台車（ＦＯＵＰ搬送車１０、レチクル搬送車２０）が同一のレールＲを走行する。

レールＲは、天井又は天井近傍に敷設されている。本実施形態では、レールＲは、主レールＲ１と、主レールＲ１から分岐又は合流する分岐・合流レールＲ２〜Ｒ６と、を有している。主レールＲ１は、インターベイを構成し、分岐・合流レールＲ２〜Ｒ６は、イントラベイを構成している。分岐・合流レールＲ２〜Ｒ６は、複数（ここでは５つ）のエリアＡ１〜Ａ５にそれぞれ敷設されている。すなわち、レールＲは、複数のエリアＡ１〜Ａ５にわったて敷設されている。各エリアＡ１〜Ａ５には、図示しない各種装置やストッカが配置されている。搬送システム１では、各エリアＡ１〜Ａ５のいずれかにおいて、ＦＯＵＰ搬送車１０又はレチクル搬送車２０の進入が規制されている。

図２に示すように、レチクル搬送車２０は、レチクルを収容したレチクルスミフポッド（ReticleSMIF Pod）を搬送するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport：天井搬送車）である。レチクル搬送車２０は、レールＲを走行する走行部２２と、ホイスト、ベルト及びグリッパ等を備える本体部２４と、を有している。レチクル搬送車２０は、レチクルスミフポッドを搬送すると共に、レチクル搬送車２０の進入が許可されたエリアに進入して、各種の処理装置及びストッカに備えられた入庫ポートとの間においてレチクルスミフポッドを移載可能に構成されている。

ＦＯＵＰ搬送車１０は、ウエハを収容したＦＯＵＰ（Front-OpeningUnified Pod）を搬送するＯＨＴである。ＦＯＵＰ搬送車１０は、レールＲを走行する走行部１２と、ホイスト、ベルト及びグリッパ等を備える本体部１４と、を有している。ＦＯＵＰ搬送車１０は、ＦＯＵＰを搬送すると共に、ＦＯＵＰ搬送車１０の進入が許可されたエリアに進入して、各種のウエハ処理装置及びストッカに備えられた入庫ポートとの間においてＦＯＵＰを移載可能に構成されている。

図２に示すように、ＦＯＵＰ搬送車１０は、レチクル搬送車２０よりも大きい。具体的には、ＦＯＵＰ搬送車１０は、レチクル搬送車２０よりも本体部１４の高さ寸法が大きい。ＦＯＵＰ搬送車１０とレチクル搬送車２０の高さ寸法の差Ｄは、例えば１００ｍｍ程度である。すなわち、ＦＯＵＰ搬送車１０は、レールＲを走行する走行方向において、レチクル搬送車２０と重ならない領域を有している。

図３は、ＦＯＵＰ搬送車の構成を示す図である。図３に示すように、ＦＯＵＰ搬送車１０は、光学センサ１５と、接触センサ１６と、コントローラ１７と、を備えている。光学センサ１５は、ＦＯＵＰ搬送車１０前方の障害物を検出する。光学センサ１５は、本体部１４の下端部に配置されている。具体的には、光学センサ１５は、レチクル搬送車２０と重ならない領域、つまりレチクル搬送車２０との高さ寸法の差Ｄの範囲内（レチクル搬送車２０の本体部２４の下端部から所定高さだけ下の範囲内）に配置されている。光学センサ１５の検出領域は、例えば距離５ｍにおいて高さ幅が１００ｍｍ程度とされている。光学センサ１５は、障害物を検出すると、コントローラ１７に検出情報を出力する。

接触センサ１６は、障害物との接触を検出する。接触センサ１６は、本体部１４の下端部に配置されている。具体的には、光学センサ１５は、レチクル搬送車２０と重ならない領域、つまりレチクル搬送車２０との高さ寸法の差Ｄの範囲内に配置されている。本実施形態では、接触センサ１６は、光学センサ１５よりも上部に配置されている。接触センサ１６は、本体部１４の幅方向に沿って延在しており、バンパーとしても機能する。接触センサ１６は、障害物に接触したことを検出すると、コントローラ１７に検出情報を出力する。

コントローラ１７は、ＦＯＵＰ搬送車１０の動作を制御する制御装置である。コントローラ１７は、ＦＯＵＰ搬送車１０の各部（走行部１２やホイスト等）を制御する。コントローラ１７は、走行制御部１８を備えている。走行制御部１８は、図示しない搬送指示部からの指令に基づいて、ＦＯＵＰ搬送車１０が指定アドレスまでの走行するように制御する。走行制御部１８は、光学センサ１５又は接触センサ１６から出力された検出情報を受け取ると、走行部１２に制動制御を実施させる。すなわち、ＦＯＵＰ搬送車１０は、光学センサ１５により障害物が検出される、又は、接触センサ１６により障害物との接触が検出されると、走行を停止する。

上述のように、搬送システム１では、各エリアＡ１〜Ａ５のいずれかにおいて、ＦＯＵＰ搬送車１０又はレチクル搬送車２０の進入が規制されている。例えば、エリアＡ１では、ＦＯＵＰ搬送車１０の進入が許容されていない（ＦＯＵＰ搬送車１０の進入が規制されている）。そこで、搬送システム１では、図４に示すように、主レールＲ１からエリアＡ１に分岐する分岐・合流レールＲ２の進入領域に、被検出部材３０を設けている。

図５は、被検出部材を示す正面図である。図５に示すように、被検出部材３０は、例えば板部材である。被検出部材３０は、その両端部が支持部材３２ａ，３２ｂにより分岐・合流レールＲ２に支持されている。具体的には、被検出部材３０は、分岐・合流レールＲ２から所定の高さ下方に位置し、分岐・合流レールＲ２の延在方向に交差する方向に延在している。被検出部材３０は、ＦＯＵＰ搬送車１０の光学センサ１５及び接触センサ１６に検出される障害物である。被検出部材３０は、ＦＯＵＰ搬送車１０の光学センサ１５及び接触センサ１６の検出範囲で、且つ、レチクル搬送車２０と接触しない位置に配置されている。

図６に示すように、被検出部材３０は、レチクル搬送車２０の通過を許可する一方、ＦＯＵＰ搬送車１０に接触してＦＯＵＰ搬送車１０の通過を許可しない。すなわち、搬送システム１では、レチクル搬送車２０は、被検出部材３０によりエリアＡ１へ進入が許容され、ＦＯＵＰ搬送車１０は、被検出部材３０によりエリアＡ１への進入が規制される。

被検出部材３０は、主レールＲ１から進入したＦＯＵＰ搬送車１０が分岐・合流レールＲ２の進入領域で停止した際に、ＦＯＵＰ搬送車１０が主レールＲ１を走行する後続のＦＯＵＰ搬送車１０又はレチクル搬送車２０の妨げとならない位置に配置されている。具体的には、被検出部材３０は、例えば光学センサ１５の検出距離が５ｍである場合には、被検出部材３０の５ｍ手前でＦＯＵＰ搬送車１０が停止したときに、ＦＯＵＰ搬送車１０が主レールＲ１を走行するＦＯＵＰ搬送車１０及びレチクル搬送車２０と重ならない位置で停止するように配置されている。また、被検出部材３０は、主レールＲ１を走行するＦＯＵＰ搬送車１０の光学センサ１５の検出領域に入らない位置に配置されている。

被検出部材３０を検出して停止したＦＯＵＰ搬送車１０は、例えば手動により、主レールＲ１に戻される。また、搬送システム１では、ＦＯＵＰ搬送車１０が停止している分岐・合流レールにレチクル搬送車２０が進入する指令が出ている場合には、ＦＯＵＰ搬送車１０が停止している情報を受けて、ＦＯＵＰ搬送車１０が主レールＲ１に戻されるまで主レールＲ１を走行するようにレチクル搬送車２０を制御する。

以上説明したように、本実施形態の搬送システム１では、ＦＯＵＰ搬送車１０には、レチクル搬送車２０と走行方向で重ならない本体部１４の下端部に、前方の障害物を検出する光学センサ１５が設けられている。光学センサ１５は、複数のエリアＡ１〜Ａ５のうちレチクル搬送車２０のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、レチクル搬送車２０の特定のエリアへの進入を許容する位置に配置された被検出部材３０を検出する。これにより、搬送システム１では、特定のエリアへの進入が許容されてないＦＯＵＰ搬送車１０は、光学センサ１５により被検出部材３０を検出することで、進入が許容されていないエリアを認識できる。したがって、搬送システム１では、搬送台車の誤進入を防止できる。

これにより、搬送システム１では、特定のエリアにおいて床に設置された装置とＦＯＵＰ搬送車１０との接触が防止される。例えば、レチクル搬送車２０の進入が許容されている特定のエリアにおいては、ＦＯＵＰ搬送車１０の進入を想定して設定されていないため、装置の高さも例えばレチクル搬送車２０の走行高さに基づいて設定されている。そのため、特定のエリアでは、ＦＯＵＰ搬送車１０が進入すると、装置と接触するおそれがある。したがって、天井搬送車による搬送を行う本実施形態の構成では、搬送システム１の構成が特に有効である。

本実施形態では、搬送システム１は、ＦＯＵＰ搬送車１０に光学センサ１５を設けると共に、この光学センサ１５により検出される被検出部材３０を設けることにより、搬送台車の誤進入を防止できる。したがって、搬送システム１では、簡易な構成で、搬送台車の誤進入の防止を実現できる。また、搬送システム１は、既存のシステムにも適用可能である。

また、本実施形態では、ＦＯＵＰ搬送車１０は、被検出部材３０と接触する位置に取り付けられた接触センサ１６を備えている。これにより、搬送システム１では、万が一、光学センサ１５により被検出部材３０を検出できなかった場合であっても、接触センサ１６による被検出部材３０の検出により、ＦＯＵＰ搬送車１０の誤進入を防止できる。したがって、搬送システム１では、的確にフェールセーフを図ることができる。

本実施形態では、被検出部材３０は、主レールＲ１から進入したＦＯＵＰ搬送車１０が停止した際に、ＦＯＵＰ搬送車１０が主レールＲ１を走行する後続のＦＯＵＰ搬送車１０又はレチクル搬送車２０の妨げとならない位置に配置されている。これにより、搬送システム１では、特定のエリアへの進入領域（分岐・合流レールＲ２〜Ｒ６）でＦＯＵＰ搬送車１０が停止した場合であっても、後続のＦＯＵＰ搬送車１０又はレチクル搬送車２０の走行を継続させることができる。

また、本実施形態では、被検出部材３０は、主レールＲ１を走行するＦＯＵＰ搬送車１０の光学センサ１５の検出領域に入らない位置に配置されている。これにより、搬送システム１では、主レールＲ１を走行するＦＯＵＰ搬送車１０の光学センサ１５が被検出部材３０を誤検出して停止する誤動作を防止できる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、天井搬送車であるＦＯＵＰ搬送車１０及びレチクル搬送車２０を一例に説明したが、搬送台車は、床を走行する台車であってもよい。

上記実施形態では、ＦＯＵＰ搬送車１０の高さ寸法がレチクル搬送車２０の高さ寸法よりも大きい形態を一例とし、ＦＯＵＰ搬送車１０の本体部１４の下端部にセンサを設ける構成を一例に説明したが、一方の搬送台車に対して他方の搬送台車の幅が大きい場合には、センサを幅方向の一端部に取り付けてもよい。

１…搬送システム、１０…ＦＯＵＰ搬送車（第１の搬送台車、一方の搬送台車）、１５…光学センサ、１６…接触センサ、２０…レチクル搬送車（第２の搬送台車、他方の搬送台車）、３０…被検出部材、Ａ１〜Ａ５…エリア、Ｒ…レール。

Claims (3)

1. 複数のエリアにわたって敷設された軌道と、
   前記軌道に沿って走行する第１の搬送台車と、
   前記軌道に沿って走行すると共に、前記第１の搬送台車と幅及び高さの少なくとも一方が異なる第２の搬送台車と、
   前記第１の搬送台車及び前記第２の搬送台車のうちの一方の搬送台車に設けられ、他方の搬送台車と走行方向において重ならない位置に配置されると共に、前方の障害物を検出する光学センサと、
   前記複数のエリアのうち前記他方の搬送台車のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、前記他方の搬送台車の前記特定のエリアへの進入を許容する位置で且つ前記一方の搬送台車に設けられた前記光学センサにより検出される位置に配置された被検出部材と、
   前記一方の搬送台車に設けられ、前記被検出部材と接触する位置に配置されると共に、前記被検出部材との接触を検出する接触センサと、を備えることを特徴とする搬送システム。
2. 前記軌道は、天井又は天井近傍に敷設された天井軌道であり、
   前記第１及び前記第２の搬送台車は、前記天井軌道から吊り下げられて走行する懸垂式の台車であり、
   前記一方の搬送台車は、前記他方の搬送台車よりも高さ寸法が大きくされており、
   前記光学センサは、前記一方の搬送台車において、前記他方の搬送台車の下端部から所定高さだけ下の範囲内に配置されていることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
3. 前記被検出部材は、前記特定のエリアへの進入領域に進入していない位置では前記一方の搬送台車に設けられた前記光学センサにより検出されない位置に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の搬送システム。
   

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