JP5976501B2 - 流体加熱装置、その運転制御方法、流体加熱装置を備えた基板処理システム、および記憶媒体 - Google Patents
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Description
・ヒータ33Aを所定の目標稼働時間(例えば10時間)だけ稼働(ヒータ33B、33C,33Dは休止)(フェーズ1)
・ヒータ33Bを所定の目標稼働時間だけ稼働(ヒータ33A、33C,33Dは休止)(フェーズ2)
・ヒータ33Cを所定の目標稼働時間だけ稼働(ヒータ33A、33B,33Dは休止)(フェーズ3)
・ヒータ33Dを所定の目標稼働時間だけ稼働(ヒータ33A、33B,33Cは休止)(フェーズ4)。
・ヒータ33A、ヒータ33Bを所定の目標稼働時間(例えば10時間)だけ稼働(ヒータ33C、33Dは休止)(フェーズ1)
・ヒータ33B、ヒータ33Cを所定の目標稼働時間だけ稼働(ヒータ33A、33Dは休止)(フェーズ2)
・ヒータ33C、ヒータ33Dを所定の目標稼働時間だけ稼働(ヒータ33A、33Bは休止)(フェーズ3)
・ヒータ33D、ヒータ33Aを所定の目標稼働時間だけ稼働(ヒータ33B、33Cは休止)(フェーズ4)。
2 温度センサ
10 循環路(第1循環路)
13 基板処理ユニット
30 流体加熱装置(流体加熱ユニット)
31 容器
33 ヒータ要素(ヒータ)
35 コントローラ
Claims (12)
- 流体の加熱を行う流体加熱装置であって、
前記流体が流れる内部空間を持つ容器と、
前記容器に設けられ、前記容器の内部区間を流れる前記流体を加熱する複数のヒータ要素と、
複数のフェーズにより構成されたサイクルが繰り返されるように、前記各ヒータの稼働状態及び休止状態を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラは、1つのサイクルを構成する複数のフェーズの各々において前記複数のヒータ要素のうちの少なくとも1つが稼働状態でありかつ少なくとも他の1つが休止状態であり、かつ、稼働状態にあるヒータ要素がフェーズの移行とともに順次変更され、かつ、稼働状態に移行した各ヒータ要素が予め設定された目標稼働時間の経過の後に休止状態に移行し、かつ、1つのサイクルを構成する複数のフェーズの各々において、同じ数のヒータ要素が稼働状態にあるとともに同じ数のヒータ要素が休止状態にあり、かつ、互いに異なるフェーズにおいて稼働するヒータ要素の少なくとも1つが互いに異なり、かつ、各ヒータ要素が1つのサイクルを構成する複数のフェーズのうちの少なくとも1つのフェーズで休止状態となるように、前記各ヒータの稼働状態及び休止状態を制御し、
前記コントローラは、さらに、
前記各ヒータ要素の実際稼働時間の和である積算稼働時間をカウントする稼働時間カウント部と、
前記稼働時間カウント部によりカウントされた各ヒータ要素の積算稼働時間に基づいて、所定のタイミングで、前記複数のヒータ要素間の積算稼働時間の差が小さくなるように、前記各ヒータ要素のその後の目標稼働時間を補正する目標稼働時間補正部と、を有している流体加熱装置。 - 前記目標稼働時間補正部は、1つのサイクルが終了する毎に、前記複数のヒータ要素間の積算稼働時間の差が小さくなるように前記各ヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を補正する、請求項1記載の流体加熱装置。
- 前記目標稼働時間補正部は、前記1つのサイクルが終了したときにおける積算稼働時間が最も長いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を補正せずにそのまま維持し、前記積算稼働時間が最も長いヒータ要素よりも積算稼働時間が短いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を、前記積算稼働時間が最も長いヒータ要素に対する積算稼働時間の差分に応じて延長する、請求項2記載の流体加熱装置。
- 前記目標稼働時間補正部は、前記1つのサイクルが終了したときにおける積算稼働時間が最も短いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を補正せずにそのまま維持し、前記積算稼働時間が最も短いヒータ要素よりも積算稼働時間が長いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を、前記積算稼働時間が最も短いヒータ要素に対する積算稼働時間の差分に応じて短縮する、請求項2記載の流体加熱装置。
- 前記流体を貯留するタンクと、
前記容器および前記タンクを含む、前記流体が流れる循環路と、
前記循環路内を循環する流体の温度を検出する温度センサと、
を更に備え、
前記コントローラは、前記目標稼働時間が経過したこと、並びに、前記温度センサにより検出された温度が所定時間続けて所定範囲内にあること、という条件を満たしたときに、1つのフェーズから次のフェーズへの切替えを許可するとともに、前記条件を満たさない場合には、前記条件が満たされるまで前記予定されていた切替えを延期する切替制御部をさらに有している、請求項2〜4のいずれか一項に記載の流体加熱装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の流体加熱装置と、
前記流体加熱装置により加熱された処理液を用いて基板を処理する少なくとも1つの基板処理ユニットと、
を備えた基板処理システム。 - 流体が流れる内部空間を持つ容器と、前記容器に設けられ、前記容器の内部区間を流れる前記流体を加熱する複数のヒータ要素と、を備えた流体加熱装置の運転制御方法において、
複数のフェーズにより構成されたサイクルを繰り返すように前記複数のヒータ要素を稼働させることであって、1つのサイクルを構成する複数のフェーズの各々において前記複数のヒータ要素のうちの少なくとも1つを稼働状態として少なくとも他の1つを休止状態としつつ、稼働状態にあるヒータ要素がフェーズの移行とともに順次変更され、かつ、稼働状態に移行した各ヒータ要素が予め設定された目標稼働時間の経過の後に休止状態に移行し、かつ、1つのサイクルを構成する複数のフェーズの各々において、同じ数のヒータ要素が稼働状態にあるとともに同じ数のヒータ要素が休止状態にあり、かつ、互いに異なるフェーズにおいて稼働するヒータ要素の少なくとも1つが互いに異なり、かつ、各ヒータ要素が1つのサイクルを構成する複数のフェーズのうちの少なくとも1つのフェーズで休止状態となるように、前記複数のヒータ要素を稼働させることと、
前記各ヒータ要素の実際稼働時間の和である積算稼働時間をカウントすることと、
カウントした積算稼働時間に基づいて、前記複数のヒータ要素間の積算稼働時間の差が小さくなるように、所定のタイミングで、前記各ヒータ要素のその後の目標稼働時間を補正することと、
を備えた運転制御方法。 - 前記目標稼働時間を補正することは、1つのサイクルが終了する毎に、前記複数のヒータ要素間の積算稼働時間の差が小さくなるように前記各ヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を補正することを含む、
請求項7記載の運転制御方法。 - 前記目標稼働時間を補正することは、前記1つのサイクルが終了したときにおける積算稼働時間が最も長いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を補正せずにそのまま維持し、前記積算稼働時間が最も長いヒータ要素よりも積算稼働時間が短いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を、前記積算稼働時間が最も長いヒータ要素に対する積算稼働時間の差分に応じて延長することを含む、請求項8記載の運転制御方法。
- 前記目標稼働時間を補正することは、前記1つのサイクルが終了したときにおける積算稼働時間が最も短いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を補正せずにそのまま維持し、前記積算稼働時間が最も短いヒータ要素よりも積算稼働時間が長いヒータ要素の次のサイクルにおける目標稼働時間を、前記積算稼働時間が最も短いヒータ要素に対する積算稼働時間の差分に応じて短縮することを含む、請求項8記載の運転制御方法。
- 前記流体加熱装置は、前記流体を貯留するタンクと、前記容器および前記タンクを含む、前記流体が流れる循環路と、前記循環路内を循環する流体の温度を検出する温度センサと、を更に備えており、
前記目標稼働時間が経過したこと、並びに、前記温度センサにより検出された温度が所定時間続けて所定範囲内にあること、という条件を満たしたときに、1つのフェーズから次のフェーズへの切替えが許可され、前記条件を満たさない場合には、前記条件が満たされるまで前記予定されていた切替えが延期される、請求項8〜10のいずれか一項に記載の運転制御方法。 - 流体加熱装置を制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、当該記憶媒体に記憶されたプログラムをコンピュータからなる前記流体加熱装置のコントローラで実行することにより、前記コントローラが前記流体加熱装置を制御して請求項7〜11のいずれか一項に記載された運転制御方法を実行する、記憶媒体。
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