JP5972658B2 - スケール装置 - Google Patents
スケール装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5972658B2 JP5972658B2 JP2012109201A JP2012109201A JP5972658B2 JP 5972658 B2 JP5972658 B2 JP 5972658B2 JP 2012109201 A JP2012109201 A JP 2012109201A JP 2012109201 A JP2012109201 A JP 2012109201A JP 5972658 B2 JP5972658 B2 JP 5972658B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- detection
- slide block
- guide rail
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
Claims (7)
- 目盛が記録され、ガイドレール又は該ガイドレールが敷設されるベース部の該ガイドレール近傍に設けられるスケール部と、
上記スケール部に沿って上記ガイドレール上を移動すると共に、離間して対向した上記スケール部の目盛を読み取り、上記スケール部に対する相対的変位量を検出する検出素子を有する検出走行部と、
機械装置と結合され上記ガイドレールに嵌合されて上記ガイドレールに沿って移動するスライドブロックと、
上記スライドブロック又は該スライドブロックが結合される上記機械装置と、上記検出走行部とを連結するジョイント部とを備え、
上記ジョイント部は、少なくとも上記機械装置又は上記スライドブロックが変位する方向に可撓性を有すると共に、
上記検出走行部は、上記機械装置と非接触であることを特徴とするスケール装置。 - 更に、上記機械装置又は上記スライドブロックのうち、上記検出走行部と連結される構造体と、上記検出走行部との間の距離を測定するセンサを備えることを特徴とする請求項1記載のスケール装置。
- 上記センサによって測定された距離を上記検出素子で読み取った上記スケール部の目盛の値と加減算することにより、上記機械装置又は上記スライドブロックのうち、上記検出走行部と連結される構造体の位置を算出する制御部とを備えることを特徴とする請求項2記載のスケール装置。
- 上記検出走行部は、上記ガイドレールの表面に接するスクレーパが設けられていることを特徴とする請求項1−3の何れか記載のスケール装置。
- 上記ジョイント部は、上記機械装置又は上記スライドブロックのうち、上記検出走行部と連結される構造体が移動する方向に可撓性を有することを特徴とする請求項1−4の何れか記載のスケール装置。
- 上記検出走行部は、上記ガイドレール上で、複数の上記スライドブロックの間に配置されることを特徴とする請求項1−4の何れか記載のスケール装置。
- 上記検出走行部は、上記ガイドレール上で、一対の上記スライドブロックの外側に配置されることを特徴とする請求項1−4の何れか記載のスケール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012109201A JP5972658B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | スケール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012109201A JP5972658B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | スケール装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013234978A JP2013234978A (ja) | 2013-11-21 |
JP5972658B2 true JP5972658B2 (ja) | 2016-08-17 |
Family
ID=49761204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012109201A Active JP5972658B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | スケール装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5972658B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3624485A1 (de) * | 1986-07-19 | 1988-01-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
AT394446B (de) * | 1990-10-11 | 1992-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales laengenmesssystem |
JP3019585B2 (ja) * | 1991-04-10 | 2000-03-13 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | スケール装置 |
JPH07243869A (ja) * | 1994-03-09 | 1995-09-19 | Olympus Optical Co Ltd | エンコーダ |
JP4154082B2 (ja) * | 1999-06-18 | 2008-09-24 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 測尺装置 |
JP2003156364A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Murata Mach Ltd | スライド位置検出装置を備えた直動装置 |
-
2012
- 2012-05-11 JP JP2012109201A patent/JP5972658B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013234978A (ja) | 2013-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4852267A (en) | Coordinate measuring machine having a guide section for a column of a measuring member support body | |
US6769195B2 (en) | Linear encoder and linear guide assembly with the linear encoder | |
JP5797942B2 (ja) | エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム | |
JP4500102B2 (ja) | スライド装置 | |
JP2009139311A (ja) | 平坦度測定装置 | |
JP2008541024A (ja) | 長さ測定システムを備えたリニアガイドユニット | |
JP5972658B2 (ja) | スケール装置 | |
JP4071975B2 (ja) | 直動案内ユニット | |
JP4071974B2 (ja) | 直動案内ユニット | |
JP2017507035A (ja) | 工具スライド | |
CN108361278B (zh) | 具有使用寿命监测的线性运动装置 | |
JP5172265B2 (ja) | 駆動装置、これを用いた加工機械および測定機械 | |
TWI260646B (en) | X-Y axis stage device | |
ITMI20080396A1 (it) | Spazzola | |
JP2017533104A (ja) | 工作機械で使用する位置測定装置 | |
JP5247934B2 (ja) | 触針式測定装置 | |
CN102279100A (zh) | 一种滚动直线导轨副刚度试验机 | |
US10663273B2 (en) | Profile measuring machine and movement mechanism | |
JP5053039B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP2004317485A (ja) | X−yステージ装置 | |
JP4282389B2 (ja) | Xyテーブル | |
JP5237178B2 (ja) | 移動機構の防塵装置および測定機 | |
JP2012146944A (ja) | 部品実装装置 | |
JP2004286710A (ja) | リニアスケールの取付方法及び装置 | |
EP1341021A2 (en) | Compensation mechanism for component and assembly deviation in a component precision positioning stage |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160302 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160705 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5972658 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |