JP5966430B2 - Vibration actuator, lens barrel, camera, and electromechanical conversion member manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び電気機械変換部材の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and an electromechanical conversion member manufacturing method.
従来、振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波(後は進行波と略する)を発生させ、この進行波によって駆動面に生じた楕円運動を利用し、楕円運動の波頭に加圧接触した相対運動部材を駆動するものである(特許文献1参照)。 Conventionally, a vibration actuator generates a progressive vibration wave (hereinafter abbreviated as a traveling wave) on the driving surface of an elastic body by using expansion and contraction of a piezoelectric body, and uses an elliptical motion generated on the driving surface by the traveling wave. Then, the relative motion member in pressure contact with the wave front of the elliptic motion is driven (see Patent Document 1).
また、圧電体に適切な電極を配置することにより、容易に進行波を発生することが可能な振動アクチュエータがある(特許文献2参照)。 Further, there is a vibration actuator that can easily generate a traveling wave by disposing an appropriate electrode on a piezoelectric body (see Patent Document 2).
従来の振動アクチュエータにおいては、圧電体は、接着剤等を用いて弾性体と接合されている。しかし、接着剤により形成される接着剤層の厚さのばらつきによって、圧電体が発生させる進行波の伝達効率が変動する場合がある。特に、接着剤層が厚い場合には、進行波の伝達効率が低下する。 In the conventional vibration actuator, the piezoelectric body is joined to the elastic body using an adhesive or the like. However, the transmission efficiency of the traveling wave generated by the piezoelectric body may vary depending on variations in the thickness of the adhesive layer formed by the adhesive. In particular, when the adhesive layer is thick, the traveling wave transmission efficiency decreases.
本発明の課題は、進行波の伝達効率を向上させることができる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び電気機械変換部材の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and an electromechanical conversion member manufacturing method capable of improving traveling wave transmission efficiency.
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。 The present invention is, that solve the problems by following such a solution.
本発明の振動アクチュエータは、振動波を生じる電気機械変換素子を有する電気機械変換部材と、前記電気機械変換素子の一面側に配置されて前記電気機械変換部材に接触し、前記振動波によって駆動されるとともに、前記電気機械変換部材に対して進行方向に相対移動する相対移動部材と、備え、前記電気機械変換素子は、前記一面が前記進行方向に沿って山部と谷部とが交互に形成され、前記山部を形成する2つの側面間の幅は、前記相対移動部材側に向かうに従って狭くなる構成とした。
また、本発明のレンズ鏡筒は、上記振動アクチュエータを備える構成とした。
さらに、本発明のカメラは、上記振動アクチュエータを備える構成とした。
Vibration actuator of the present invention, an electromechanical conversion member having an electromechanical conversion element causing vibration Doha, wherein disposed on one side of the electro-mechanical conversion element in contact with the electromechanical conversion element, driven by said vibration wave while it is the relative movement member which relatively move in the traveling direction with respect to the electro-mechanical conversion member, wherein the electro-mechanical conversion element, wherein the ridges in one side along the traveling direction valleys alternately form made, the width between the two side surfaces forming the ridge portions was a narrower configuration toward the free relative movement member.
The lens barrel of the present invention is configured to include the vibration actuator.
Furthermore, the camera of the present invention is configured to include the vibration actuator.
本発明によれば、進行波の伝達効率を向上させることができる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び電気機械変換部材の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the vibration actuator, lens barrel, camera, and electromechanical conversion member which can improve the transmission efficiency of a traveling wave can be provided.
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態を挙げて、さらに詳しく説明する。なお、以下の実施形態は、振動アクチュエータとして超音波の振動域を利用する超音波モータを例に挙げて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings and the like. In the following embodiments, an ultrasonic motor using an ultrasonic vibration region as a vibration actuator will be described as an example.
(実施形態)
図1は、本実施形態の超音波モータ10を用いたカメラ1を示す図である。
本実施形態のカメラ1は、撮像素子6を有するカメラボディ2と、レンズ鏡筒3とを備える。レンズ鏡筒3は、カメラボディ2に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ1では、レンズ鏡筒3が交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
(Embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a
The
レンズ鏡筒3は、レンズ4、カム筒5、超音波モータ10等を備える。本実施形態では、超音波モータ10は、カメラ1のフォーカス動作時にレンズ4を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ10から得られた駆動力は、カム筒5に伝えられる。レンズ4は、カム筒5とカム係合しており、超音波モータ10の駆動力によってカム筒5が回転すると、レンズ4は、カム筒5とのカム係合によって光軸方向へ移動し、焦点調節が行われる。
The
図2は、本実施形態の超音波モータ10の断面図である。本実施形態の超音波モータ10は、電気機械変換部材11、移動体14、緩衝部材15、出力伝達部材16、緩衝部材17、加圧部18、固定部材19、カム環20等を備えている。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the
電気機械変換部材11は、主に圧電体13により構成されている。電気機械変換部材11は、圧電体13と、圧電体13の加圧部18側の表面に形成される分割電極パターン112(図4(A)及び(B)参照)と、圧電体13の移動体14側の表面に形成されるグランド電極パターン111(図4(A)及び(B)参照)と、グランド電極パターン111を被覆する潤滑塗装層113(図4(A)及び(B)参照)と、を備える。
本実施形態においては、分割電極パターン112及びグランド電極パターン111の厚さが0.5〜20μm程度、潤滑塗装層113の厚さが5〜100μm程度であるため、圧電体13の形状は、電気機械変換部材11の外観形状と略同じである。そのため、本実施形態においては、圧電体13の形状を説明する場合に、電気機械変換部材11の外観形状を援用して説明する場合がある。
The
In the present embodiment, the thickness of the divided
圧電体13は、略円環形状の部材である。圧電体13の加圧部18側の面には、緩衝部材17が設けられている。圧電体13の移動体14側の面には、複数の山部135及び複数の谷部133を有する櫛歯部132が形成されている。この櫛歯部132の山部135の突出面135bは、圧電体13の励振により、進行波が発生し、移動体14を駆動する駆動面となる。
本実施形態の電気機械変換部材11の詳細については後述する。
The
Details of the
移動体14は、略円環形状の部材である。移動体14は、圧電体13の櫛歯部132の突出面135b側に配置されている。移動体14は、後述する加圧部18の加圧力によって電気機械変換部材11の駆動面に加圧接触され、電気機械変換部材11の進行波によって摩擦駆動される。移動体14は、電気機械変換部材11に対して相対移動する。
The moving
緩衝部材15は、ゴム等を用いて形成された略円環形状の部材である。この緩衝部材15は、移動体14の振動を出力伝達部材16側へ伝えないようにする部材であり、移動体14と出力伝達部材16との間に設けられている。
The
出力伝達部材16は、一方で移動体14を支持しており、他方にカム環20が接続されている。出力伝達部材16は、移動体14と一体となって回転して移動体14の回転運動をカム環20に伝達する。出力伝達部材16は、固定部材19に設けられたベアリング21により、加圧方向と径方向とを規制し、これにより、移動体14の加圧方向と径方向とが規制される。
The
カム環20は、略円環形状の部材であり、出力伝達部材16の回転とともに回転される。
カム環20の内周面には、カム筒5が対向して配置され、内周面側に向けて突出する突出ピン20aが設けられている。
カム筒5には、周方向に対して斜めにキー溝5aが切られている。突出ピン20aは、キー溝5aに嵌合していて、カム環20が回転駆動することにより、カム筒5は光軸直進方向に駆動され、所望の位置に停止できるようになっている。
The
On the inner peripheral surface of the
The cam cylinder 5 has a
加圧部18は、電気機械変換部材11と移動体14とを加圧接触させる加圧力を発生する部分であり、加圧板18a、皿バネ18bを備えている。加圧板18aは、皿バネ18bが発生する加圧力を受ける、略円環形状の板である。
緩衝部材17は、不織布やフェルト等を用いて形成された略円環形状の部材である。この緩衝部材17は、電気機械変換部材11の振動を加圧部18側へ伝えないようにする部材であり、電気機械変換部材11と加圧板18aとの間に設けられている。
固定部材19は、本実施形態の超音波モータ10をレンズ鏡筒3に固定する部材である。
The pressurizing
The
The fixing
ここで、電気機械変換部材11について詳しく説明する。
図3は、本実施形態の電気機械変換部材11を示す斜視図である。図4は、本実施形態の電気機械変換部材11を示す図であり、(A)は図3のA−A線断面図、(B)は図3のB−B線断面図である。図5は、本実施形態の電気機械変換部材11を加圧部側から見た図である。
Here, the
FIG. 3 is a perspective view showing the
図3に示すように、電気機械変換部材11は、略円環形状の部材である。
図4(A)及び(B)に示すように、電気機械変換部材11は、圧電体13と、分割電極パターン112と、グランド電極パターン111と、潤滑塗装層113と、を備えている。圧電体13は、前述したように、電気機械変換部材11の外形形状と略同じ形状に形成されている。
As shown in FIG. 3, the
As shown in FIGS. 4A and 4B, the
圧電体13は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有し、本実施形態では、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いて形成されている。分割電極パターン112は、不図示のフレキシブルプリント基板と電気的に接続しており、このフレキシブルプリント基板から供給される駆動信号によって、圧電体13が励振される。
The
圧電体13は、図3に示すように、基部131と櫛歯部132とを一体で形成したものである。本実施形態における電気機械変換部材11は、従来のような圧電体13に接合される櫛歯形状の弾性体を有していない。本実施形態における電気機械変換部材11は、圧電体13を主体として構成され、圧電体13は、櫛歯形状の櫛歯部132の部分を含めて、電気機械変換素子の材料粉体が焼結されることで全体が一体的に形成されている。
As shown in FIG. 3, the
基部131は、所定厚さを有する略円環状に形成されている。
櫛歯部132は、基部131の一方の面において、山部135と谷部133とが交互に並ぶ櫛歯形状に形成されている。山部135は、基部131の略円環形状の軸線を中心として放射状に形成され、かつ、基部131の周方向に沿って複数並んで形成されている。すなわち、複数の山部135は、移動体14の進行方向(回転方向)に沿って圧電体13の全周に亘って並んでいる。
The
The comb-
山部135は、基部131の円周に沿った形状が略台形に形成された突起である。山部135の先端側の面は、突出面135bである。突出面135bは、圧電体13の励振により、進行波が発生し、移動体14を駆動する駆動面となる。山部135同士の間には、谷部133が形成されている。超音波モータ10は、圧電体13の励振により突出面135bに進行波を発生させ、この進行波によって移動体14を駆動する。
The
圧電体13の周方向における山部135の幅は、突出面135b側が基部131側よりも短く形成されている。すなわち、圧電体13の山部135の側面135aは、谷部133側から山部135の頂部側に向かうにしたがって互いに近づくように傾斜するテーパ状に形成されている。
As for the width of the
山部135の突出面135b、山部135の側面135a、135a及び谷部133の谷底面133aには、圧電体13の周方向に沿って全周に亘って、図4(A)及び(B)に示すように、厚さ0.5μm〜20μm程度のグランド電極パターン111が形成されている。
The protruding
グランド電極パターン111は、厚さ5μm〜100μm程度の潤滑塗装層113で被覆されている。潤滑塗装層113は、グランド電極パターン111の移動体14側に形成されている。潤滑塗装層113は、超音波モータの耐久性を向上させるため、厚さが5μm以上必要である。潤滑塗装層113は、例えば、熱可塑性樹脂や、熱硬化性樹脂により構成される潤滑塗装膜である。
The
潤滑塗装層113は、厚さ10μm以上の潤滑塗装をした後、平面ラップを施すことにより厚さ5μmに削られた潤滑塗装膜である。潤滑塗装層113は、厚過ぎると熱硬化させるときに熱が均等に伝わらない。熱が均等に伝わらないと、潤滑塗装層113には、部分的に強度差が発生し、耐摩耗性が劣化する。さらに、潤滑塗装層113の内部で損失が発生する。従って、潤滑塗装層113の上限の厚さは100μmであることが好ましい。
The
圧電体13において、グランド電極パターン111は、圧電体13の分割電極パターン112の共通のGNDとなっている。そして、圧電体13のA相及びB相に互いに位相が90度異なる交流電圧が印加されると、圧電体13は、全周で連続的に撓む。その結果、櫛歯部132において撓みが拡大される。そして、山部135の突出面135bに進行波が発生する。この進行波は、櫛歯部132に圧接された移動体14に伝達されて、移動体14の回転運動に変換される。
In the
圧電体13の分割電極パターン112は、圧電体13の周方向に沿って、9波長(9λ)になるように分割されて配置されている。分割電極パターンは、A相と、B相と、A相とB相とを互いに4分の1波長分ずらすための圧電体の(λ/4)部Cと、残りの圧電体の(3λ/4)部Dとからなる。A相及びB相は、半波長ごとに分極方向を変えた分割部分A1,B2,A1,B2に分かれている。
The divided
次に、本実施形態の電気機械変換部材11の製造方法を説明する。
図6は、本実施形態の電気機械変換部材11の製造方法を示す工程図である。
図6に示すように、電気機械変換部材11の製造工程は、粉体調合工程S1と、成形工程S2と、焼結工程S3と、第1ラップ工程S4と、電極形成工程S5と、分極工程S6と、摺動部材形成工程S7と、第2ラップ工程S8とを備える。
Next, the manufacturing method of the
FIG. 6 is a process diagram showing a method for manufacturing the
As shown in FIG. 6, the manufacturing process of the
まず、粉体調合工程S1において、圧電体13の原料となる電気機械変換素子の材料粉体を用意する。実際には、原料を仮焼結後、所定の大きさに粉砕し、所定の成分比になるように原料を調合し、均質になるように混ぜ合わせる。
そして、成形工程S2において、櫛歯形状を有する円環状の圧電体13の成形型に、粉体調合工程S1において調合された粉体を投入し、圧力を加えて、圧電体13の形状を形成する。
次に、焼結工程S3において、成形型から圧電体13を取り出して、圧電体13の形状が形成された成形体を焼結処理する。これにより、一面が櫛歯形状の圧電体13が形成される。
First, in the powder preparation step S1, a material powder of an electromechanical conversion element that is a raw material of the
In the forming step S2, the powder prepared in the powder preparation step S1 is put into a forming die for the annular
Next, in the sintering step S3, the
次いで、第1ラップ工程S4において、少なくとも山部135の突出面135bにラップ処理をして、突出面135b側の面を平坦にして所定の平面度になるように加工する。また、分割電極パターン112を形成する側の面も、平坦にして所定の平面度になるように加工する。そして、圧電体13の全体の厚さ(高さ)を均一にする。さらに、谷部133には、形状の精度を向上させるための機械加工を行う。このように、第1ラップ工程S4においては、形状の精度を向上させるための機械加工を行う。
Next, in the first lapping step S4, at least the projecting
続いて、電極形成工程S5において、山部135の突出面135b、山部135の側面135a及び谷部133の谷底面133aの面形状に合わせてグランド電極パターン111を形成する。また、圧電体13における山部135の突出面135b、山部135の側面135a及び谷部133の谷底面133aとは反対側の面に、分割電極パターン112を形成する。
Subsequently, in the electrode formation step S5, the
そして、分極工程S6において、分極される前の分割電極パターン112を各電極セグメントに必要な分極方向にするために、分極される前の分割電極パターン112に高電圧を印加して分極する。
In the polarization step S6, a high voltage is applied to the divided
次に、摺動部材形成工程S7において、圧電体13におけるグランド電極パターン111が形成された面を被覆するように、潤滑塗装層113を形成する。潤滑塗装層113は、潤滑塗装を塗布して焼き固めるか、或いは、熱可塑性樹脂を貼り合わせる(接着する)かにより形成する。
Next, in the sliding member forming step S7, the lubricating
次いで、第2ラップ工程S8において、潤滑塗装層113の表面を、平坦にして所定の平面度になるように加工する。これにより、焼結によって生じる平面度の低下を低減して、その平面度を向上させることができる。
なお、上記電極形成工程S5において、平面度が低下することがある。しかし、そのままの状態でラップ処理をすると、グランド電極パターン111を損傷させて、グランド電極パターン111の性能を確保できない場合がある。そのため、潤滑塗装層113を形成した後に、潤滑塗装層113のラップ処理を行うことが必要である。潤滑塗装層113の厚さは、超音波モータ10の耐久性を確保するため、5μm以上、好ましくは、5μm〜100μm程度である。
Next, in the second lapping step S8, the surface of the lubricating
In the electrode forming step S5, the flatness may be lowered. However, if the lapping process is performed as it is, the
本実施形態によると、以下の効果を有する。
(1)櫛歯形状を含めた圧電体13の全体は、電気機械変換素子で一体的に形成されている。そのため、電気機械変換部材11は、従来のように接着剤等を用いて弾性体と接合されている場合に比べて、進行波の伝達効率を向上させることができる。
(2)電気機械変換部材11の圧電体13の山部135の側面135aは、テーパ状に形成されている。そのため、圧電体13は、山部135の側面135aが互いに平行に形成されている場合よりも、山部135の先端側が細いので、山部135の先端側を振動させることができる。したがって、圧電体13は、移動体14への進行波の伝達効率を向上させることができる。
(3)電気機械変換部材11は、櫛歯形状を有する圧電体13を、焼結により一体的に形成することができる。そのため、圧電体13の櫛歯部132の形成が容易であり、量産性に優れて、コストを低減することができる。
The present embodiment has the following effects.
(1) The entire
(2) The
(3) The
(変形形態)
(1)前述の実施形態における電気機械変換部材11においては、圧電体13の山部135の側面135aは、テーパ状に形成される例を示した。
しかし、電気機械変換部材11は、図7のように形成してもよい。図7は、変形形態の電気機械変換部材11を示す斜視図である。図7に示すように、例えば、圧電体13における山部135の側面135aと山部135の突出面135bとの角及び谷部133の底部138は、曲面状に形成されていてもよい。
具体的には、例えば、図7に示すように、圧電体13の山部135の側面135aは、先端側が突出面135bに徐々に近づく滑らかな曲面状に形成されている。また、谷部133の底部138は、隣り合う山部135の側面135a、135aを滑らかにつなぐ基部131側に突出するような曲面状に形成されている。
このように形成された圧電体13は、山部135の側面135aと山部135の突出面135bとの角及び谷部133の底部138が曲面状に形成されているため、圧電体13の全体でたわみを発生させることができる。したがって、圧電体13は、移動体14への進行波の伝達効率を一層高めることができる。
(Deformation)
(1) In the
However, the
Specifically, for example, as shown in FIG. 7, the
In the
(2)また、前述の実施形態においては、潤滑塗装層113は、熱硬化性樹脂を塗装することにより形成した例であったが、熱硬化性樹脂を接着によって貼り合わせても良い。この場合、潤滑塗装層113の熱硬化性樹脂の厚さは50μm以上が好ましい。なお、この場合、潤滑塗装層113が必要な部分は、櫛歯部132の山部135の突出面135bのみであり、山部135の側面135a及び谷部133の谷底面133aには必要ない。
(2) Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the
1:カメラ、3:レンズ鏡筒、10:超音波モータ、11:電気機械変換部材、13:圧電体、14:移動体、111:グランド電極パターン、112:分割電極パターン、113:潤滑塗装層、133:谷部、135:山部、135a:側面、135b:突出面、138:底部 1: camera, 3: lens barrel, 10: ultrasonic motor, 11: electromechanical conversion member, 13: piezoelectric body, 14: moving body, 111: ground electrode pattern, 112: divided electrode pattern, 113: lubricating coating layer 133: Valley, 135: Mountain, 135a: Side, 135b: Projection surface, 138: Bottom
Claims (11)
前記電気機械変換素子の一面側に配置されて前記電気機械変換部材に接触し、前記振動波によって駆動されるとともに、前記電気機械変換部材に対して進行方向に相対移動する相対移動部材と、備え、
前記電気機械変換素子は、前記一面が前記進行方向に沿って山部と谷部とが交互に形成され、
前記山部を形成する2つの側面間の幅は、前記相対移動部材側に向かうに従って狭くなる振動アクチュエータ。 An electromechanical conversion member having an electromechanical transducer produces a vibration Doha,
A relative movement member that is disposed on one surface side of the electromechanical conversion element, contacts the electromechanical conversion member, is driven by the vibration wave, and relatively moves in a traveling direction with respect to the electromechanical conversion member; ,
Said electromechanical transducer, said and mountain portion one side along the traveling direction valleys made form alternately,
A vibration actuator in which a width between two side surfaces forming the mountain portion becomes narrower toward the relative movement member side .
前記山部の側面は、テーパ状に形成されている振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1,
The vibration actuator is formed such that a side surface of the mountain portion is tapered.
前記電気機械変換素子の一面側に配置されて前記電気機械変換部材に接触し、前記振動波によって駆動されるとともに、前記電気機械変換部材に対して進行方向に相対移動する相対移動部材と、備え、
前記電気機械変換素子は、前記一面が前記進行方向に沿って山部と谷部とが交互に形成され、前記山部の側面と前記山部の突出面との角及び前記谷部の底部は、曲面状に形成されている振動アクチュエータ。 An electromechanical conversion member having an electromechanical transducer produces a vibration Doha,
A relative movement member that is disposed on one surface side of the electromechanical conversion element, contacts the electromechanical conversion member, is driven by the vibration wave, and relatively moves in a traveling direction with respect to the electromechanical conversion member; ,
In the electromechanical transducer, the one surface is alternately formed with ridges and valleys along the traveling direction, and the corners of the side surfaces of the ridges and the protruding surfaces of the ridges and the bottoms of the valleys are A vibration actuator formed into a curved surface .
前記電気機械変換素子の一面側に配置されて前記電気機械変換部材に接触し、前記振動波によって駆動されるとともに、前記電気機械変換部材に対して進行方向に相対移動する相対移動部材と、備え、
前記電気機械変換素子は、前記一面が前記進行方向に沿って山部と谷部とが交互に形成され、前記電気機械変換素子の前記相対移動部材側に形成される電極部と、前記電極部の前記相対移動部材側に形成される摺動部材と、振動アクチュエータ。 An electromechanical conversion member having an electromechanical transducer produces a vibration Doha,
A relative movement member that is disposed on one surface side of the electromechanical conversion element, contacts the electromechanical conversion member, is driven by the vibration wave, and relatively moves in a traveling direction with respect to the electromechanical conversion member; ,
In the electromechanical transducer, the one surface is alternately formed with ridges and valleys along the traveling direction, and the electrode portion is formed on the relative movement member side of the electromechanical transducer, and the electrode portion A sliding member formed on the relative movement member side and a vibration actuator.
前記摺動部材は、熱可塑性樹脂である振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 4,
The sliding member, the thermoplastic resin der Ru vibration actuator.
前記摺動部材は、熱硬化性樹脂により構成される潤滑塗装膜である振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 4,
The sliding member, the lubricating coating film Der Ru vibration actuator composed of a thermosetting resin.
前記潤滑塗装膜は、厚さが5〜100マイクロメータである振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 6,
The lubricant coating film, vibration actuator thick Ru Ah 5 to 100 micrometers.
前記電気機械変換素子は、円環形状であり、
前記電気機械変換素子における交互に形成された前記山部と前記谷部とは、該電気機械変換素子の全周に亘って形成され、
前記電極部は、前記電気機械変換素子における交互に形成された前記山部と前記谷部との全周に亘って形成されている振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 4 to 7,
The electromechanical conversion element has an annular shape,
The crests and troughs formed alternately in the electromechanical transducer are formed over the entire circumference of the electromechanical transducer,
The electrode unit, the electromechanical transducer the crests and the troughs entire circumference vibration actuator that is formed over the a formed alternately in element.
前記電極部は、GND電極である振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 4 to 8,
The electrode unit, GND electrode der Ru vibration actuator.
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