JP5963476B2 - バイト切削装置 - Google Patents
バイト切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5963476B2 JP5963476B2 JP2012048702A JP2012048702A JP5963476B2 JP 5963476 B2 JP5963476 B2 JP 5963476B2 JP 2012048702 A JP2012048702 A JP 2012048702A JP 2012048702 A JP2012048702 A JP 2012048702A JP 5963476 B2 JP5963476 B2 JP 5963476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- workpiece
- cutting tool
- holding
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
即ち、本実施例では、図1に示すように、被加工物であるウェーハ11を切削する切削バイト52を含む切削加工ユニット(バイト切削手段)16を備えたバイト切削装置2であって、ウェーハ11を保持する保持面60aを有したチャックテーブル(保持テーブル)50と、保持面50aに直交する回転軸を有したスピンドル24とスピンドル24に装着される切削バイト52を含むバイトホイール30とを有し、チャックテーブル50で保持されたウェーハ11を切削する切削加工ユニット16と、ウェーハ11の切削中にウェーハ11とバイトホイール30とに切削水を供給する切削水噴射ノズル(切削水供給手段)90と、を有する構成としている。
50a 保持面
62 測定装置
63 接触針
63a バー状本体
63b 蛇腹部
63c 先端部
63d ケーシング
64 測定装置
65 カバー部材
65a 貫通孔
90 切削水噴射ノズル
Claims (1)
- 被加工物を切削する切削バイトを含むバイト切削手段を備えたバイト切削装置であって、
該被加工物を保持する保持面を有した保持テーブルと、
該保持面に直交する回転軸を有したスピンドルと該スピンドルに装着される切削バイトを含むバイトホイールとを有し、該保持テーブルで保持された該被加工物を切削するバイト切削手段と、
該被加工物の切削中に該被加工物と該バイトホイールとに切削水を供給する切削水供給手段と、
該保持テーブルの該保持面や該保持テーブルで保持された該被加工物の上面に接触する接触針を有し、該保持テーブルで保持された該被加工物の厚みを測定する被加工物厚み測定手段と、を備え、
該接触針は、
バー状本体と、
該バー状本体に伸縮可能な蛇腹部を介して接続された該保持面、又は、該被加工物の上面に接触する先端部と、を含み、
該被加工物厚み測定手段は、
該接触針が挿入される貫通孔を有し、少なくとも該蛇腹部を囲繞する透明体からなるカバー部材を有する、ことを特徴とするバイト切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012048702A JP5963476B2 (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | バイト切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012048702A JP5963476B2 (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | バイト切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013187210A JP2013187210A (ja) | 2013-09-19 |
JP5963476B2 true JP5963476B2 (ja) | 2016-08-03 |
Family
ID=49388435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012048702A Active JP5963476B2 (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | バイト切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5963476B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111376052A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 云南全控机电有限公司 | 一种径向垂直旋转的加工设备 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0413608Y2 (ja) * | 1985-06-24 | 1992-03-30 | ||
JP2567682B2 (ja) * | 1988-10-14 | 1996-12-25 | 株式会社メトロール | 検出器 |
JPH0742081Y2 (ja) * | 1989-12-11 | 1995-09-27 | 河口湖精密株式会社 | 測定器の密封構造 |
JP2001232555A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 平坦化方法 |
JP4769048B2 (ja) * | 2005-08-23 | 2011-09-07 | 株式会社ディスコ | 基板の加工方法 |
JP4810168B2 (ja) * | 2005-09-12 | 2011-11-09 | 株式会社ミツトヨ | デジタル表示式測定器 |
JP4875532B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2012-02-15 | 株式会社ディスコ | 切削加工装置 |
-
2012
- 2012-03-06 JP JP2012048702A patent/JP5963476B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013187210A (ja) | 2013-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107685251B (zh) | 机床 | |
JP4875532B2 (ja) | 切削加工装置 | |
JP6098332B2 (ja) | ワーク支持装置及び工作機械 | |
US20040083868A1 (en) | Cutting device | |
CN103311114A (zh) | 切削装置 | |
JP6126353B2 (ja) | 工具長測定方法および工作機械 | |
JP2013184276A (ja) | バイト切削方法 | |
JP4216565B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5963476B2 (ja) | バイト切削装置 | |
JP4494838B2 (ja) | 加工システムおよび加工方法 | |
JP6625007B2 (ja) | 測定治具 | |
JP5415917B2 (ja) | 切削装置 | |
JPH1199450A (ja) | 工作機械の工具長測定方法及び装置 | |
JP5409836B2 (ja) | ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工機を用いたワーク測定方法 | |
JP5711015B2 (ja) | 定寸装置 | |
JP5916486B2 (ja) | ワークの位置測定方法および位置測定装置 | |
JP2018079526A (ja) | 工作機械及び加工方法 | |
JP2015152400A (ja) | 測長装置 | |
JP5389563B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5662734B2 (ja) | 研削装置 | |
JP4777736B2 (ja) | 切断工具 | |
JPWO2018229892A1 (ja) | 電子部品装着機 | |
JP2007081317A (ja) | 切削装置 | |
JP5753885B2 (ja) | 印鑑製造装置 | |
JP2007098477A (ja) | 加工装置および加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5963476 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |