JP5960433B2 - Image processing apparatus and image processing method - Google Patents

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

本発明は、撮像した画像に基づく製品の良否判定を実行した判定結果を用い、製品の実際の良否に合わせて画像処理ツールの設定情報を変更する画像処理装置及び画像処理方法に関する。   The present invention relates to an image processing apparatus and an image processing method for changing setting information of an image processing tool according to an actual quality of a product using a determination result obtained by performing quality determination of a product based on a captured image.

検査対象物の画像を撮像して製品の良否判定を実行する場合、同一製品の製造ラインを増設するときには、既存の製造ラインで使用していた製品の良否判定に用いる設定情報は、増設した製造ラインで用いる撮像装置でも流用することができる。具体的には、設定する設定情報を製造ライン上で共有し、新たな撮像装置を取り付けた場合には、記憶してある設定情報をダウンロード等することにより、共通の設定情報を用いて撮像することができる。   When taking an image of an inspection object and performing product pass / fail judgment, when setting up a production line for the same product, the setting information used for pass / fail judgment of the product used on the existing production line is The image pickup apparatus used in the line can also be used. Specifically, when setting information to be set is shared on the production line and a new imaging device is attached, the stored setting information is downloaded, and images are captured using the common setting information. be able to.

例えば特許文献１では、検査フローや検査パラメータを選択することにより、所望の外観検査プログラムを作成し、製品の良否判定を実行する外観検査プログラム作成装置が開示されている。特許文献１では、撮像部で撮像した画像に対して検査用の複数種類の画像処理アルゴリズムを記憶しておき、検査フローや検査パラメータを選択することで、検査対象物に応じた外観検査プログラムを作成することができる。   For example, Patent Document 1 discloses an appearance inspection program creation device that creates a desired appearance inspection program by selecting an inspection flow and inspection parameters, and executes product quality determination. In Patent Literature 1, a plurality of types of image processing algorithms for inspection are stored for an image captured by an imaging unit, and an appearance inspection program corresponding to an inspection object is selected by selecting an inspection flow and inspection parameters. Can be created.

特開２００２−００８０１３号公報JP 2002-008013 A

特許文献１では、同一の検査対象物に対しては同一の検査フローや検査パラメータを選択するので、同一の外観検査プログラムを生成する。しかし、実際の外観検査時には、照明の状態、撮像装置の取り付け位置、姿勢のズレ、レンズの絞り、ピント調整の相違等に起因して、同一の外観検査プログラムで検査した場合であっても必ずしも同一の判定結果を得ることができるとは限らない。したがって、同一の検査パラメータを選択したにもかかわらず、良品を不良品と、あるいは不良品を良品と、誤判定してしまうおそれがあるという問題点があった。   In Patent Document 1, since the same inspection flow and inspection parameters are selected for the same inspection object, the same appearance inspection program is generated. However, during the actual appearance inspection, even if the inspection is performed with the same appearance inspection program due to the illumination state, the mounting position of the imaging device, the displacement of the posture, the lens aperture, the difference in focus adjustment, etc. It is not always possible to obtain the same determination result. Therefore, there is a problem that, despite the selection of the same inspection parameter, there is a possibility that a non-defective product may be erroneously determined as a defective product or a defective product may be erroneously determined as a good product.

新規に撮像装置を製造ラインに追加する場合、照明の状態、撮像装置の取り付け位置、姿勢のズレ、レンズの絞り、ピント調整等を追加時に行うことにより、誤判定を未然に防止することはできる。しかし、これらの調整には経験と習熟とが必要となり、作業者の作業負担が大きくなるという問題点もあった。   When newly adding an imaging device to a production line, it is possible to prevent erroneous determination by performing illumination status, mounting position of the imaging device, displacement of the orientation, lens aperture, focus adjustment, etc. at the time of addition. . However, these adjustments require experience and proficiency, and there is a problem that the work burden on the worker increases.

本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、作業者が設定情報に習熟していない場合であっても、良否判定の設定情報を適切に調整することができ、良品／不良品の誤判定を未然に回避することができる画像処理装置及び画像処理方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and even when the operator is not familiar with the setting information, the setting information for pass / fail judgment can be appropriately adjusted, and the non-defective / defective product is obtained. An object of the present invention is to provide an image processing apparatus and an image processing method capable of avoiding erroneous determination in advance.

上記目的を達成するために第１発明に係る画像処理装置は、検査対象物を撮像する撮像部と接続され、該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置において、各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付ける画像処理ツール選択受付部と、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部と、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶する判定結果記憶部と、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示する表示部と、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールの指定を受け付ける画像処理ツール指定受付部と、指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付ける判定結果変更部と、前記判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像と基準画像とを比較して、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置のずれを抽出する位置抽出部と、抽出された位置のずれがなくなるように、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置を補正する位置補正部と、位置を補正した後の前記検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従しているか否かの確認結果を受け付ける確認結果受付部と、前記検査領域が追従しているとの確認結果を受け付けた場合、変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付ける設定情報更新部と、前記パラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定する再判定部とを備えることを特徴とする。 The image processing apparatus according to the first invention to achieve the above object, is connected to the imaging unit that captures an image of a test object, and executes the image processing on the image of the object to be examined is captured by the imaging unit, An image processing apparatus for determining pass / fail of an inspection object based on a result of image processing has a plurality of image processing tools for executing various image processing, and the plurality of image processing tools based on desired inspection contents a parameter setting receiving unit that receives an image processing tool selection accepting section for accepting selection of a plurality of image processing tools, for each of the image processing tool accepts the selection, the setting of parameters from among said plurality of accepting the selection image processing tools and the image of the using and accepting the setting for each of the image processing tool accepts the selection parameter, a plurality of the test object Against it, a determination result as to whether it is good for each of the image processing tool accepts the selection, the determination result storage unit that stores in association with the image of the inspection object, wherein the plurality of image processing receives a selection and tools, by using the accepted settings for each of the image processing tool accepts the selection parameters, the image of a plurality of said test object, are good for each of the image processing tool accepts the selection A display unit that displays a determination result regarding whether or not each image processing tool has received a selection, and image processing that receives designation of the image processing tool from among the plurality of image processing tools that have received selection and Tools specification receiving unit, and displays the determination result stored in association with accepting the specified image processing tools, with undergoing elective An image processing tool that displays an image of the inspection object associated with the determination result and receives a designation when the selection of the determination result of the displayed image of the inspection object is received as a change target a determination result changing unit receives a change of the determination result as to whether a non-defective based on, by comparing the image and the reference image of the inspection object which has received the change of the determination result, the change of the determination results and position extraction unit for extracting the deviation of the position of the image of the object to be examined is accepted, as deviation of the extracted position is eliminated, to correct the position of the image of the object to be examined of accepting the change result of judgment Confirmation that accepts a confirmation result of whether or not the inspection area of the image processing tool that has received the designation follows the position correction unit and the image of the inspection object after the position is corrected A result receiving unit, when the inspection area accepts the confirmation result that follows, set in response to the determination result of accepting the changes, accept updates the corresponding parameter is accepted designation the image processing tool Re-determination to re-determine the quality of a plurality of images of the inspection object at once using the image processing tool that has received selection, including the information update unit and the image processing tool that has received the parameter update And a section.

また、第２発明に係る画像処理装置は、第１発明において、前記確認結果受付部で、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従していないとの確認結果を受け付けた場合、検査領域の再設定を受け付ける検査領域再設定部を備えることを特徴とする。   The image processing apparatus according to a second aspect of the present invention is the image processing apparatus according to the first aspect, wherein when the confirmation result receiving unit receives a confirmation result that the inspection region of the image processing tool that has received the designation does not follow, the inspection region An inspection area resetting unit that accepts resetting is provided.

また、第３発明に係る画像処理装置は、第１又は第２発明において、前記画像処理ツール指定受付部は、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることを特徴とする。   In the image processing apparatus according to the third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the image processing tool designation accepting unit preferentially accepts designation of an image processing tool having a lot of results determined to be defective. It is characterized by that.

また、第４発明に係る画像処理装置は、第１乃至第３発明のいずれか１つにおいて、前記判定結果変更部は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示するようにしてあり、検査対象物を識別する情報を異なる領域へ移動する操作を受け付けるようにしてあることを特徴とする。   In the image processing apparatus according to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the determination result changing unit is determined to be information that identifies the inspection object determined to be non-defective and a defective product. The information for identifying the inspection object is displayed in a separate area, and the operation for moving the information for identifying the inspection object to a different area is accepted.

また、第５発明に係る画像処理装置は、第１乃至第４発明のいずれか１つにおいて、判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示するようにしてあり、前記判定結果変更部は、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更するようにしてあることを特徴とする。   An image processing apparatus according to a fifth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the first to fourth aspects, wherein the determination result is classified and displayed as a non-defective product and a defective product, and the determination result changing unit Is characterized in that the determination result displayed in a list is changed from a non-defective product to a non-defective product and from a defective product to a non-defective product.

また、第６発明に係る画像処理装置は、第５発明において、リスト表示された判定結果の選択を受け付け、選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するようにしてあることを特徴とする。   An image processing apparatus according to a sixth invention is characterized in that, in the fifth invention, a selection of the determination result displayed in a list is received, and an image corresponding to the determination result in which the selection is received is displayed. .

次に、上記目的を達成するために第７発明に係る画像処理方法は、検査対象物を撮像する撮像部と接続され、該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置で実行することが可能な画像処理方法において、前記画像処理装置は、各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付けるステップと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるステップと、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶するステップと、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示するステップと、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールの指定を受け付けるステップと、指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付けるステップと、前記判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像と基準画像とを比較して、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置のずれを抽出するステップと、抽出された位置のずれがなくなるように、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置を補正するステップと、位置を補正した後の前記検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従しているか否かの確認結果を受け付けるステップと、前記検査領域が追従しているとの確認結果を受け付けた場合、変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付けるステップと、前記パラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定するステップとを含むことを特徴とする。 Next, in order to achieve the above object image processing method according to the seventh invention, is connected to the imaging unit that captures an image of a test object, an image processing on the image of the object to be examined is captured by the image pickup unit In an image processing method that can be executed by an image processing apparatus that executes and determines pass / fail of an inspection object based on a result of image processing, the image processing apparatus includes a plurality of image processes that execute various image processes A step of receiving a selection of a plurality of image processing tools from the plurality of image processing tools based on desired inspection content, and setting of parameters for each of the image processing tools that have received the selection use a step of receiving a plurality of image processing tools selection of which is accepted, and a parameter which has received the setting for each of the image processing tool accepts the selection Te, a step of storing the image of a plurality of said inspection object, a determination result as to whether it is good for each of the image processing tool accepts the selection, in correspondence with the image of the inspection object, select said plurality of image processing tools accepted, using the accepted settings for each of the image processing tool accepts the selection parameters, the image of a plurality of said inspection object, receives the selection the A step of displaying a determination result on whether or not each image processing tool is a good product for each of the image processing tools that have received a selection, and the image processing from among the plurality of image processing tools that have received a selection. a step of accepting a specification of tools, and displays the determination result stored in association with accepting the specified image processing tools, The image of the inspection object associated with the determination result that has been accepted is displayed, and if the selection is accepted with the determination result of the displayed image of the inspection object being changed, the designation is accepted a step of accepting a change of the determination result as to whether a non-defective based on image processing tool, by comparing the image and the reference image of the inspection object which has received the change of the determination result, the change of the determination results extracting the deviation of the position of the image of the object to be examined is accepted, as the deviation of the extracted position is eliminated, and correcting the position of the image of the object to be examined of accepting the change result of judgment Based on the image of the inspection object after the position is corrected, a scan is received for confirming whether or not the inspection area of the image processing tool that has received the designation follows. And step, if the inspection area accepts the confirmation result that follows, the steps of receiving in accordance with the determination result of accepting the changes to update the corresponding parameter is accepted designation the image processing tool, Including re-determining pass / fail of a plurality of images of the inspection object at once using the image processing tool that has received selection, including the image processing tool that has received update of the parameter. And

また、第８発明に係る画像処理方法は、第７発明において、前記画像処理装置は、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従していないとの確認結果を受け付けた場合、検査領域の再設定を受け付けることを特徴とする。 The image processing method according to an eighth aspect of the present invention is the image processing method according to the seventh aspect, wherein when the image processing apparatus receives a confirmation result that the inspection area of the image processing tool that has received the designation does not follow, It is characterized by accepting resetting.

また、第９発明に係る画像処理方法は、第７又は第８発明において、前記画像処理装置は、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることを特徴とする。 An image processing method according to a ninth invention is characterized in that, in the seventh or eighth invention, the image processing apparatus receives a designation with priority given to an image processing tool having many results determined to be defective. And

また、第１０発明に係る画像処理方法は、第７乃至第９発明のいずれか１つにおいて、前記画像処理装置は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示するようにしてあり、検査対象物を識別する情報を異なる領域へ移動する操作を受け付けるようにしてあることを特徴とする。 An image processing method according to a tenth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the seventh to ninth aspects, wherein the image processing apparatus is determined to be defective and information for identifying an inspection object determined to be non-defective. Information for identifying the inspection object is displayed in a separate area, and an operation for moving the information for identifying the inspection object to a different area is received.

また、第１１発明に係る画像処理方法は、第７乃至第１０発明のいずれか１つにおいて、前記画像処理装置は、判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示するようにしてあり、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更するようにしてあることを特徴とする。 An image processing method according to an eleventh aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the seventh to tenth aspects, wherein the image processing apparatus classifies the determination result into a non-defective product and a defective product and displays the list. the determination result of the list displayed to the defective product from non-defective, characterized in that the defective product to good, are to be changed, respectively.

また、第１２発明に係る画像処理方法は、第１１発明において、前記画像処理装置は、リスト表示された判定結果の選択を受け付け、選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するようにしてあることを特徴とする。 The image processing method according to a twelfth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to the eleventh aspect, wherein the image processing apparatus accepts a selection of determination results displayed in a list and displays an image corresponding to the determination result accepted. It is characterized by being.

第１発明及び第７発明では、各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、所望の検査内容に基づいて、複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付け、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付ける。選択を受け付けた複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶しておく。選択を受け付けた複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに表示する。選択を受け付けた複数の画像処理ツールの中から、画像処理ツールの指定を受け付け、指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた判定結果に対応付けられた検査対象物の画像を表示し、表示されている検査対象物の画像の判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する判定結果の変更を受け付ける。判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像と基準画像とを比較して、判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像の位置のずれを抽出し、抽出された位置のずれがなくなるように、判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像の位置を補正する。位置を補正した後の検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従しているか否かの確認結果を受け付ける。検査領域が追従しているとの確認結果を受け付けた場合、変更を受け付けた判定結果に応じて、指定を受け付けた画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付け、パラメータの更新を受け付けた画像処理ツールを含む、選択を受け付けた画像処理ツールを用いて、複数の検査対象物の画像を一括して良否を再判定する。これにより、判定結果が誤っている原因が検査対象物の画像の位置ずれである場合であっても、判定結果の変更を受け付けると同時に正しく設定情報が更新され、更新された設定情報に基づいて一括して再判定することができるので、設定情報の詳細を知らなくても良品を良品と、不良品を不良品と、正しく判定するための設定情報を高い精度で定めることができ、経年変化、環境の変化等も考慮した設定情報に基づいて良品検査を行うことが可能となる。 The first and seventh inventions have a plurality of image processing tools for executing various image processing, and accept selection of a plurality of image processing tools from a plurality of image processing tools based on desired inspection contents. The parameter setting is received for each image processing tool that has received the selection. Using a plurality of image processing tools selection of which is accepted, and accepts the settings for each of the image processing tool accepts the selection parameters, the image of the plurality of inspection object, an image processing tool accepts the selection The determination result regarding whether each is a non-defective product is stored in association with the image of the inspection object. Using a plurality of image processing tools selection of which is accepted, and accepts the settings for each of the image processing tool accepts the selection parameters, the image of the plurality of inspection object, an image processing tool accepts the selection the determination result for the good and whether the each, to display for each image processing tool accepts the selection. Among the plurality of image processing tools that have received selections, the specification of the image processing tool is received, and the determination result stored in association with the image processing tool that has received the specification is displayed, and the determination result that has received the selection Whether or not it is a non-defective product based on the image processing tool that has received the designation when the image of the associated inspection object is displayed and selection is accepted with the determination result of the displayed image of the inspection object being changed Changes in the determination result regarding are accepted. Compare the image of the inspection object that received the change of the determination result with the reference image, extract the position shift of the image of the inspection object that received the change of the determination result, and eliminate the shift of the extracted position In addition, the position of the image of the inspection object that received the change in the determination result is corrected. Based on the image of the inspection object after correcting the position, a confirmation result as to whether or not the inspection region of the image processing tool that has received the designation follows is received. When a confirmation result indicating that the inspection area is following is received, an update of the parameter corresponding to the image processing tool that has received the designation is accepted according to the determination result of accepting the change, and the image processing that accepts the update of the parameter Using an image processing tool that has received a selection including a tool, the images of a plurality of inspection objects are collectively judged again. Thereby, even when the cause of the determination result being incorrect is the positional deviation of the image of the inspection object, the setting information is correctly updated at the same time as the change of the determination result is accepted, and the updated setting information is based on the updated setting information. Since it is possible to re-determine in a batch, setting information for correctly determining whether a non-defective product is a non-defective product and a defective product is defective can be determined with high accuracy without knowing the details of the setting information. In addition, it is possible to perform a non-defective product inspection based on setting information in consideration of environmental changes and the like.

第２発明及び第８発明では、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従していないとの確認結果を受け付けた場合、検査領域の再設定を受け付ける。これにより、基準画像の特徴部分を確実に含む新たな検査領域を追加することができ、検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域をより確実に追従させることができるので、位置ずれによる誤判定を防止することが可能となる。   In the second invention and the eighth invention, when the confirmation result that the inspection area of the image processing tool that has received the designation does not follow is received, resetting of the inspection area is accepted. This makes it possible to add a new inspection area that reliably includes the characteristic portion of the reference image, and to more reliably follow the inspection area of the image processing tool that has received the designation based on the image of the inspection object. Therefore, it is possible to prevent erroneous determination due to misalignment.

第３発明及び第９発明では、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることにより、良品であるにもかかわらず不良品であると誤って判定された設定情報から順に適切な設定情報に調整することができ、結果として早期に適切な設定情報に更新することが可能となる。   In the third invention and the ninth invention, the image processing tool having a lot of results determined to be defective is preferentially accepted, so that it is erroneously determined to be defective despite being non-defective. The setting information can be adjusted in order from the setting information to the appropriate setting information, and as a result, it can be updated to the appropriate setting information at an early stage.

第４発明及び第１０発明では、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示し、検査対象物を識別する情報を異なる領域へ移動する操作を受け付けることにより、検査時に設定されている設定情報では誤って判定されている検査対象物のみを、正しい判定結果を示す領域へと移動させることで、更新する必要のある設定情報のみを更新することが可能となる。   In the fourth and tenth inventions, the information for identifying the inspection object determined to be non-defective and the information for identifying the inspection object determined to be defective are displayed in separate areas to identify the inspection object. By accepting an operation to move the information to be moved to a different area, only the inspection object that is erroneously determined in the setting information set at the time of inspection is updated by moving it to the area showing the correct determination result. Only necessary setting information can be updated.

第５発明及び第１１発明では、判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示し、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更することにより、作業者がより視覚的に理解しやすいインタフェースを介して設定情報を調整することが可能となる。   In the fifth invention and the eleventh invention, the determination results are classified into non-defective products and defective products and displayed as a list, and the determination results displayed in the list are changed from non-defective products to defective products, from defective products to non-defective products, respectively. Setting information can be adjusted through an interface that is easier for the operator to visually understand.

第６発明及び第１２発明では、リスト表示された判定結果の選択を受け付け、選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するので、良品であると判定された検査対象物が本当に良品であるか、あるいは不良品であると判定された検査対象物が本当に不良品であるか、を目視確認することが可能となる。   In the sixth invention and the twelfth invention, since the selection of the determination result displayed in the list is received and the image corresponding to the determination result received is displayed, the inspection object determined to be non-defective is really non-defective. In addition, it is possible to visually confirm whether the inspection object determined to be a defective product is really a defective product.

本発明では、判定結果が誤っている場合に、判定結果の変更を受け付けると同時に設定情報が更新され、更新された設定情報に基づいて一括して良否が再判定されるので、設定情報の詳細を知らなくても、自らの判定結果に基づいて良品を良品と、不良品を不良品と、正しく判定するための設定情報を高い精度で定めることができ、経年変化、環境の変化等も考慮した設定情報に基づいて製品検査を行うことが可能となる。   In the present invention, when the determination result is incorrect, the setting information is updated at the same time as the change of the determination result is accepted, and the pass / fail is collectively determined based on the updated setting information. Even without knowing, it is possible to determine the setting information for correctly determining whether a non-defective product is a non-defective product or a defective product based on its own judgment results with high accuracy, taking into account aging, environmental changes, etc. Product inspection can be performed based on the set information.

本発明の実施の形態に係る画像処理装置を含む製品検査システムの構成を示す模式図である。1 is a schematic diagram showing a configuration of a product inspection system including an image processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置を含む製品検査システムの、撮像環境を設定するパラメータを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the parameter which sets an imaging environment of the product inspection system containing the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジ位置計測ツールの例示図である。It is an illustration figure of the edge position measurement tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジ角度計測ツールの例示図である。It is an illustration figure of the edge angle measurement tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジ幅計測ツールの例示図である。It is an illustration figure of the edge width measurement tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジピッチ計測ツールの例示図である。It is an illustration figure of the edge pitch measurement tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のペアエッジ計測ツールの例示図である。It is an illustration figure of the pair edge measurement tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の二値化画像を表示した画面の例示図である。It is an illustration figure of the screen which displayed the binarized image of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のパターンサーチ計測ツールの例示図である。It is an illustration figure of the pattern search measurement tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の傷計測ツールで傷の存在を判定するためのセグメントの移動状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the movement state of the segment for determining presence of a flaw with the flaw measuring tool of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の画像処理ツール選択画面の例示図である。It is an illustration figure of the image processing tool selection screen of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の機能ブロック図である。1 is a functional block diagram of an image processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の記憶装置に記憶されている画像の例示図である。It is an illustration figure of the image memorize | stored in the memory | storage device of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域の設定の例示図である。It is an illustration figure of the setting of the test | inspection area | region of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のＣＰＵの処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence of CPU of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のツール指定受付画面の例示図である。It is an illustration figure of the tool designation | designated reception screen of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の判定結果変更画面の例示図である。It is an illustration figure of the determination result change screen of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の判定結果変更画面の例示図である。It is an illustration figure of the determination result change screen of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域が検査対象物の画像に追随していない画像の指定画面の例示図である。It is an illustration figure of the designation | designated screen of the image where the test | inspection area | region of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention does not follow the image of a test target object. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域の再設定指示受付画面の例示図である。It is an illustration figure of the reset instruction | indication reception screen of the test | inspection area | region of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域の再設定画面の例示図である。It is an illustration figure of the reset area | region reset screen of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域のエリアサーチ実行後の状態を示す画面の例示図である。It is an illustration figure of the screen which shows the state after area search execution of the test | inspection area | region of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域のエリアサーチ実行後の状態を示す画面の例示図である。It is an illustration figure of the screen which shows the state after area search execution of the test | inspection area | region of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の判定結果の変更を通知する画面の例示図である。It is an illustration figure of the screen which notifies the change of the determination result of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の設定情報を更新する画面の例示図である。It is an illustration figure of the screen which updates the setting information of the image processing apparatus which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、本実施の形態の説明で参照する図面を通じて、同一又は同様の構成又は機能を有する要素については、同一又は同様の符号を付して、詳細な説明を省略する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that elements having the same or similar configuration or function are denoted by the same or similar reference numerals throughout the drawings referred to in the description of this embodiment, and detailed description thereof is omitted.

図１は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置を含む検査システムの構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態に係る検査システムは、撮像装置（撮像部）１と、撮像装置１とデータ通信することが可能に接続ケーブル３で接続されている画像処理装置２とで構成されている。画像処理装置２は表示装置（図示せず）と接続されており、画像処理制御部２０１と照明制御部２０２とを内蔵している。   FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an inspection system including an image processing apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, an inspection system according to the present embodiment includes an imaging device (imaging unit) 1 and an image processing device 2 connected by a connection cable 3 so as to be able to perform data communication with the imaging device 1. It consists of The image processing device 2 is connected to a display device (not shown) and includes an image processing control unit 201 and an illumination control unit 202.

また、照明制御部２０２は、照明装置４とデータ通信することが可能に接続ケーブル３で接続されている。コンベア５上を移動してくる検査対象物６に対して、照明装置４で光を照射し、撮像装置１で撮像する。撮像した検査対象物６の画像に基づいて、検査対象物６が良品であるか不良品であるかを判定する。   Moreover, the illumination control part 202 is connected with the connection cable 3 so that data communication with the illuminating device 4 is possible. The inspection object 6 moving on the conveyor 5 is irradiated with light by the illumination device 4 and imaged by the imaging device 1. Based on the captured image of the inspection object 6, it is determined whether the inspection object 6 is a good product or a defective product.

撮像装置１は、内部に画像処理を実行するＦＰＧＡ、ＤＳＰ等を備えており、検査対象物６を撮像する撮像素子を有するカメラモジュールを備えている。撮像素子としてはＣＭＯＳ基板を備えており、例えば撮像したカラー画像は、ＣＭＯＳ基板にてダイナミックレンジを広げる変換特性に基づいてＨＤＲ画像へ変換される。   The imaging apparatus 1 includes an FPGA, a DSP, and the like that execute image processing therein, and includes a camera module that includes an imaging element that images the inspection object 6. The imaging device includes a CMOS substrate. For example, a captured color image is converted into an HDR image based on conversion characteristics that expand the dynamic range on the CMOS substrate.

図２は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の構成を示すブロック図である。本発明の実施の形態に係る画像処理装置２は、少なくともＣＰＵ（中央演算装置）２１、メモリ２２、記憶装置２３、Ｉ／Ｏインタフェース２４、ビデオインタフェース２５、可搬型ディスクドライブ２６、通信インタフェース２７及び上述したハードウェアを接続する内部バス２８で構成されている。   FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. The image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention includes at least a CPU (Central Processing Unit) 21, a memory 22, a storage device 23, an I / O interface 24, a video interface 25, a portable disk drive 26, a communication interface 27, and The internal bus 28 connects the hardware described above.

ＣＰＵ２１は、内部バス２８を介して画像処理装置２の上述したようなハードウェア各部と接続されており、上述したハードウェア各部の動作を制御するとともに、記憶装置２３に記憶されたコンピュータプログラム１００に従って、種々のソフトウェア的機能を実行する。メモリ２２は、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ等の揮発性メモリで構成され、コンピュータプログラム１００の実行時にロードモジュールが展開され、コンピュータプログラム１００の実行時に発生する一時的なデータ等を記憶する。   The CPU 21 is connected to the above-described hardware units of the image processing apparatus 2 via the internal bus 28, controls the operation of the above-described hardware units, and follows the computer program 100 stored in the storage device 23. Perform various software functions. The memory 22 is composed of a volatile memory such as SRAM or SDRAM, and a load module is expanded when the computer program 100 is executed, and stores temporary data generated when the computer program 100 is executed.

記憶装置２３は、内蔵される固定型記憶装置（ハードディスク）、ＲＯＭ等で構成されている。記憶装置２３に記憶されたコンピュータプログラム１００は、プログラム及びデータ等の情報を記録したＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体９０から、可搬型ディスクドライブ２６によりダウンロードされ、実行時には記憶装置２３からメモリ２２へ展開して実行される。もちろん、通信インタフェース２７を介して接続されている外部コンピュータからダウンロードされたコンピュータプログラムであっても良い。   The storage device 23 includes a built-in fixed storage device (hard disk), a ROM, and the like. The computer program 100 stored in the storage device 23 is downloaded by a portable disk drive 26 from a portable recording medium 90 such as a DVD or CD-ROM in which information such as programs and data is recorded, and from the storage device 23 at the time of execution. The program is expanded into the memory 22 and executed. Of course, a computer program downloaded from an external computer connected via the communication interface 27 may be used.

通信インタフェース２７は内部バス２８に接続されており、インターネット、ＬＡＮ、ＷＡＮ等の外部のネットワークに接続されることにより、撮像装置１、照明装置４、外部コンピュータ等とデータ送受信を行うことが可能となっている。   The communication interface 27 is connected to an internal bus 28, and by connecting to an external network such as the Internet, a LAN, or a WAN, data can be transmitted / received to / from the imaging device 1, the lighting device 4, an external computer, and the like. It has become.

Ｉ／Ｏインタフェース２４は、キーボード５０１、マウス５０２等の入力装置と接続され、データの入力を受け付ける。ビデオインタフェース２５は、ＣＲＴディスプレイ、液晶ディスプレイ等の表示装置５０３と接続され、所定の画像を表示する。   The I / O interface 24 is connected to input devices such as a keyboard 501 and a mouse 502, and receives data input. The video interface 25 is connected to a display device 503 such as a CRT display or a liquid crystal display, and displays a predetermined image.

図３は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２を含む製品検査システムの、撮像環境を設定するパラメータを示す模式図である。図３に示すように、本実施の形態に係る製品検査システムは、撮像装置１の位置座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）と、ＸＹ平面上での首振り傾斜角度θとを調整対象のパラメータとして調整することができる。また撮像装置１はピント及び明るさを調整することができる。具体的にはフォーカスリングによりピントを調整し、絞りリングにより明るさを調整する。   FIG. 3 is a schematic diagram showing parameters for setting the imaging environment of the product inspection system including the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the product inspection system according to the present embodiment uses the position coordinates (X, Y, Z) of the imaging device 1 and the swing angle θ on the XY plane as parameters to be adjusted. Can be adjusted. The imaging device 1 can adjust the focus and brightness. Specifically, the focus is adjusted with the focus ring, and the brightness is adjusted with the aperture ring.

同様に、製品検査システムは、検査対象物６の位置座標（Ｘ、Ｙ）と、ＸＹ平面上での首振り傾斜角度θとを調整対象のパラメータとして調整することができる。なお、検査対象物６は台座上に載置されているので、Ｚ軸方向への移動機構はない。   Similarly, the product inspection system can adjust the position coordinates (X, Y) of the inspection object 6 and the swing inclination angle θ on the XY plane as parameters to be adjusted. Since the inspection object 6 is placed on the pedestal, there is no moving mechanism in the Z-axis direction.

また、照明装置４は、照明装置４の位置座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）及び照射角度αを調整することができ、照明コントローラ４１を介して照度を調整することもできる。これらを調整することにより、記憶装置２３に記憶されている基準画像と同様の画像を撮像することができる。   In addition, the illumination device 4 can adjust the position coordinates (X, Y, Z) and the irradiation angle α of the illumination device 4, and can also adjust the illuminance via the illumination controller 41. By adjusting these, an image similar to the reference image stored in the storage device 23 can be taken.

上述した構成の画像処理装置２は、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像に対する各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを備えている。ユーザは、ユーザが所望する画像処理を必要とする検査内容に基づいて、検査対象物６に対して一又は複数の画像処理ツールを事前に選択する。選択された複数の画像処理ツールを用いて、良否判定を実行する。   The image processing apparatus 2 having the above-described configuration includes a plurality of image processing tools that execute various types of image processing on the image of the inspection target 6 imaged by the imaging apparatus 1. The user selects in advance one or a plurality of image processing tools for the inspection object 6 based on the inspection content that requires the image processing desired by the user. The pass / fail determination is executed using the selected plurality of image processing tools.

まず、画像処理装置２が有している複数の画像処理ツールのうち、代表的な画像処理ツールについて説明する。ユーザは、これらの画像処理ツールから検査に使用する一又は複数の画像処理ツールを選択しておき、選択された画像処理ツールごとに設けられているパラメータを調整する。なお、以下の画像処理ツールは、典型的な機能及びその実現方法の代表例を示すものに過ぎず、あらゆる画像処理に対応する画像処理ツールが本願発明の対象となることは言うまでもない。   First, a representative image processing tool among a plurality of image processing tools included in the image processing apparatus 2 will be described. The user selects one or a plurality of image processing tools to be used for the inspection from these image processing tools, and adjusts the parameters provided for each selected image processing tool. It should be noted that the following image processing tools are merely representative examples of typical functions and their implementation methods, and it goes without saying that image processing tools corresponding to all types of image processing are objects of the present invention.

まず、エッジ位置計測ツールは、例えば、ユーザが、検査対象物６が表示される画面上において、エッジ位置を検出したい検査領域に対してウインドウを設定することにより、設定された検査領域内で、任意の方向にスキャンして複数のエッジを検出する。検出した複数のエッジから、一のエッジの指定を受け付け、指定を受け付けたエッジの位置を計測する。   First, the edge position measurement tool, for example, by setting a window for the inspection area where the user wants to detect the edge position on the screen on which the inspection object 6 is displayed, in the set inspection area, A plurality of edges are detected by scanning in an arbitrary direction. The specification of one edge is received from the detected plurality of edges, and the position of the edge that has received the specification is measured.

例えば検査領域の形状に応じてラベル分けをする。具体的には検査領域が矩形領域である場合にはラベル‘１’、円弧領域である場合にはラベル‘０’というように、形状ごとにラベル分けをする。ラベルごとに設定するべき設定情報が相違する。設定された検査領域の形状、つまり矩形領域や円弧領域が、エッジ位置計測ツールにおける検査領域の形状の選択という観点でのパラメータの一つである。   For example, labels are divided according to the shape of the inspection area. Specifically, the label is divided for each shape, such as a label “1” when the inspection area is a rectangular area and a label “0” when the inspection area is an arc area. The setting information to be set for each label is different. The set shape of the inspection area, that is, the rectangular area or the arc area is one of the parameters from the viewpoint of selecting the shape of the inspection area in the edge position measurement tool.

図４は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジ位置計測ツールの例示図である。図４（ａ）は、検査領域が矩形領域である場合を、図４（ｂ）は、検査領域が円弧領域である場合を、それぞれ示している。   FIG. 4 is an exemplary view of an edge position measurement tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 4A shows a case where the inspection area is a rectangular area, and FIG. 4B shows a case where the inspection area is an arc area.

図４（ａ）に示すように、検査領域５０が矩形領域である場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印５１の方向）、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置と指定することにより、図４（ａ）では３つのエッジ５２を検出することができる。そして、検出したエッジ５２の中点座標を該エッジの位置座標として計測する。例えば真ん中のエッジ５２については、中点５３の位置座標（Ｘ、Ｙ）＝（５６０、４６０）であると計測することができる。   As shown in FIG. 4A, when the inspection area 50 is a rectangular area, the edge detection direction is the positive direction of the X axis (the direction of the arrow 51), and the edge detection position is a position where the edge detection position is switched from light to dark. By designating, three edges 52 can be detected in FIG. Then, the midpoint coordinates of the detected edge 52 are measured as the position coordinates of the edge. For example, the middle edge 52 can be measured as the position coordinate (X, Y) = (560, 460) of the middle point 53.

また、図４（ｂ）に示すように、検査領域５４が円弧領域である場合、エッジの検出方向を時計回り（矢印５５の回転方向）、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置と指定することにより、図４（ｂ）では１つのエッジ５６を検出することができる。そして、検出したエッジ５６の回転位置を原点を通る所定の方向からの回転角度５７として計測する。例えばエッジ５６については、原点を通る所定の方向からの回転角度５７が２４０度であると計測することができる。ここでの、エッジの検出位置が明から暗に切り換わる位置の指定もエッジ位置計測ツールにおけるパラメータの一つであり、逆に暗から明に切り換わる位置をパラメータとして指定しても良い。また、必要に応じて、エッジの検出位置が暗から明に切り換わる位置及び明から暗に切り換わる位置の両方をパラメータとして指定しても良い。   As shown in FIG. 4B, when the inspection area 54 is an arc area, the edge detection direction is the clockwise direction (the rotation direction of the arrow 55), and the edge detection position is a position where the edge detection position is switched from light to dark. By designating, one edge 56 can be detected in FIG. Then, the detected rotation position of the edge 56 is measured as a rotation angle 57 from a predetermined direction passing through the origin. For example, for the edge 56, it can be measured that the rotation angle 57 from a predetermined direction passing through the origin is 240 degrees. The designation of the position where the edge detection position switches from light to dark is also one of the parameters in the edge position measurement tool, and conversely, the position where the edge detection position switches from dark to light may be designated as a parameter. If necessary, both the position where the edge detection position switches from dark to light and the position where the edge detection position switches from light to dark may be specified as parameters.

なお、エッジは、画素値の絶対値ではなく差分に基づいて検出する。そして、検出されたエッジの最大強度のＮ％以下はノイズとして検出しない旨を示すパラメータの一つであるエッジ感度Ｎを調整することで、エッジとして検出するか否かを調整することができる。以下、エッジを検出する複数の画像処理ツールにおいて、同様である。   Note that the edge is detected based on the difference, not the absolute value of the pixel value. Whether or not the edge is detected as an edge can be adjusted by adjusting the edge sensitivity N, which is one of the parameters indicating that noise is not detected as N% or less of the maximum intensity of the detected edge. The same applies to a plurality of image processing tools that detect edges.

次に、エッジ角度計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内に２つのセグメントを設定し、それぞれのセグメントで検出したエッジからの検査対象物６の傾斜角度を計測する。本実施の形態では、傾斜角度は便宜上、時計回りを正とする。   Next, the edge angle measurement tool sets two segments in the inspection region that has received the setting, and measures the inclination angle of the inspection object 6 from the edge detected in each segment. In the present embodiment, the inclination angle is positive in the clockwise direction for convenience.

図５は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジ角度計測ツールの例示図である。図５に示すように、傾斜した状態で撮像された検査対象物６に対して、矩形領域である検査領域６０を設定する。検査領域６０内で２つの異なるセグメント６１、６２を設定して、それぞれのセグメントにおいてエッジ６３、６４を検出する。   FIG. 5 is an exemplary view of an edge angle measurement tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, an inspection area 60 that is a rectangular area is set for the inspection object 6 imaged in an inclined state. Two different segments 61 and 62 are set in the inspection area 60, and edges 63 and 64 are detected in the respective segments.

エッジの検出方向をＸ軸の正方向と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置とを、それぞれパラメータとして指定することにより、セグメント６１、６２ごとにエッジ６３、６４を検出することができる。そして、検出した２つのエッジ６３の代表点とエッジ６４の代表点（図５ではセグメント６１、６２の上辺での切片）とを結ぶ線分の傾斜角度６５をエッジ角度として計測する。例えば図５では、傾斜角度の起点をＸ軸方向として、傾斜角度６５が７５度であると計測することができる。   The edges 63 and 64 can be detected for each of the segments 61 and 62 by designating the edge detection direction as the X-axis positive direction and the edge detection position as a parameter from the light to dark position. it can. Then, an inclination angle 65 of a line segment connecting the detected representative point of the two edges 63 and the representative point of the edge 64 (intercept at the upper side of the segments 61 and 62 in FIG. 5) is measured as an edge angle. For example, in FIG. 5, it is possible to measure that the inclination angle 65 is 75 degrees with the starting point of the inclination angle as the X-axis direction.

次に、エッジ幅計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、任意の方向にスキャンして複数のエッジを検出し、検出した複数のエッジ間の幅を計測する。   Next, the edge width measurement tool detects a plurality of edges by scanning in an arbitrary direction within the inspection region in which the setting has been received, and measures the width between the detected plurality of edges.

図６は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジ幅計測ツールの例示図である。図６（ａ）は、検査領域が矩形領域である場合を、図６（ｂ）は、検査領域が円弧領域である場合を、それぞれ示している。   FIG. 6 is an exemplary view of an edge width measurement tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 6A shows a case where the inspection area is a rectangular area, and FIG. 6B shows a case where the inspection area is an arc area.

図６（ａ）に示すように、検査領域７０が矩形領域である場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印７１の方向）と、エッジの検出位置が明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置とを、それぞれパラメータとして指定することにより、図６（ａ）では複数のエッジを検出することができる。そして、検出した複数のエッジから幅を計測する２つのエッジ７２、７３の指定を受け付けることで、指定を受け付けた２つエッジ７２、７３間の距離をエッジ幅７４として計測する。例えばエッジ幅７４が‘１００’であると計測することができる。   As shown in FIG. 6A, when the inspection area 70 is a rectangular area, the edge detection direction is the positive direction of the X axis (the direction of the arrow 71), and the edge detection position is switched from light to dark. In addition, a plurality of edges can be detected in FIG. 6A by specifying, as parameters, the position at which the light switches from dark to light. Then, by accepting designation of two edges 72 and 73 whose widths are to be measured from a plurality of detected edges, the distance between the two edges 72 and 73 that have been designated is measured as an edge width 74. For example, it can be measured that the edge width 74 is '100'.

また、図６（ｂ）に示すように、検査領域７５が円弧領域である場合、エッジの検出方向を時計回り（矢印７６の回転方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と指定することにより、図６（ｂ）でも複数のエッジを検出することができる。そして、検出した複数のエッジから幅を計測する２つのエッジ７７、７８の指定を受け付けることで、指定を受け付けた２つエッジ７７、７８間の角度を中心角とするエッジ幅７９として計測する。例えばエッジ幅７９が‘６９度’であると計測することができる。   Further, as shown in FIG. 6B, when the inspection area 75 is an arc area, the edge detection direction is turned clockwise (the rotation direction of the arrow 76), and the edge detection position is switched from light to dark. Also, by designating a position where the light switches from dark to light, a plurality of edges can be detected in FIG. Then, by accepting designation of the two edges 77 and 78 for measuring the width from the plurality of detected edges, the edge width 79 is measured with the angle between the two edges 77 and 78 having accepted the designation as a central angle. For example, it can be measured that the edge width 79 is '69 degrees'.

次に、エッジピッチ計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、任意の方向にスキャンして複数のエッジを検出する。検出した複数のエッジ間の距離（角度）の最大値／最小値や平均値を計測する。   Next, the edge pitch measurement tool detects a plurality of edges by scanning in an arbitrary direction within the inspection region in which the setting is received. The maximum value / minimum value and average value of the distances (angles) between the detected edges are measured.

図７は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジピッチ計測ツールの例示図である。図７（ａ）は、検査領域が矩形領域である場合を、図７（ｂ）は、検査領域が円弧領域である場合を、それぞれ示している。   FIG. 7 is an exemplary view of an edge pitch measurement tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 7A shows a case where the inspection area is a rectangular area, and FIG. 7B shows a case where the inspection area is an arc area.

図７（ａ）に示すように、検査領域８０が矩形領域である場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印８１の方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する旨とを指定することにより、図７（ａ）では複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジ間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ８２、８３間のすべての組み合わせについてエッジ幅８４を計測する。例えばエッジ幅８４が‘２００’、‘１８０’、‘１９０’である場合、最大値が‘２００’、最小値が‘１８０’、平均値が‘１９０’と計測することができる。   As shown in FIG. 7A, when the inspection area 80 is a rectangular area, the edge detection direction is the positive direction of the X axis (the direction of the arrow 81), and the edge detection position is switched from light to dark. In FIG. 7A, a plurality of pairs of edges are detected by designating that the position of switching from dark to light and that the width of the inspection object 6 sandwiched between the detected pair of edges is to be measured. Can do. Then, the distance between the detected pair of edges is obtained. That is, the edge width 84 is measured for all combinations between the adjacent edges 82 and 83. For example, when the edge width 84 is “200”, “180”, “190”, the maximum value can be measured as “200”, the minimum value as “180”, and the average value as “190”.

また、図７（ｂ）に示すように、検査領域８５が円弧領域である場合、エッジの検出方向を反時計回り（矢印８６の回転方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する旨とを指定することにより、図７（ｂ）でも検査領域８５内において複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ８７、８８間のすべての組み合わせについて中点を求め、隣接する中点間の角度を中心角とするエッジ幅８９として計測する。例えばエッジ幅８９が‘４６度’、‘４５度’、‘４７度’、‘４６度’である場合、最大値が‘４７度’、最小値が‘４５度’、平均値が‘４６度’と計測することができる。   Further, as shown in FIG. 7B, when the inspection area 85 is an arc area, the edge detection position is switched from light to dark when the edge detection direction is counterclockwise (the rotation direction of the arrow 86). By designating that the position and the position from dark to bright and the distance between the midpoints of the inspection object 6 sandwiched between the detected pair of edges are measured, FIG. A plurality of pairs of edges can be detected. Then, the distance between the midpoints of the inspection object 6 sandwiched between the detected plurality of pairs of edges is obtained. That is, the midpoint is obtained for all combinations between the adjacent edges 87 and 88, and measured as an edge width 89 having the angle between the adjacent midpoints as a central angle. For example, when the edge width 89 is “46 degrees”, “45 degrees”, “47 degrees”, “46 degrees”, the maximum value is “47 degrees”, the minimum value is “45 degrees”, and the average value is “46 degrees”. 'Can be measured.

次に、ペアエッジ計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、任意の方向に２回スキャンした一対のエッジを検出する。検出した一対のエッジ間の距離の最大値／最小値や平均値を計測する。   Next, the pair edge measurement tool detects a pair of edges scanned twice in an arbitrary direction within the inspection region in which the setting has been received. The maximum / minimum value and average value of the distance between the detected pair of edges are measured.

図８は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のペアエッジ計測ツールの例示図である。図８（ａ）は、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する場合を、図８（ｂ）は、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する場合を、それぞれ示している。   FIG. 8 is an exemplary view of a pair edge measurement tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 8A shows the case where the width of the inspection object 6 sandwiched between the detected pair of edges is measured, and FIG. 8B shows the interval between the midpoints of the inspection object 6 sandwiched between the detected pair of edges. The case of measuring the distance is shown respectively.

図８（ａ）に示すように、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印９１の方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する旨とを指定することにより、図８（ａ）では検査領域９５内において複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジ間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ９２、９３間のすべての組み合わせについてエッジ幅９４を計測する。例えばエッジ幅９４が‘２００’、‘１８０’、‘１９０’である場合、最大値が‘２００’、最小値が‘１８０’、平均値が‘１９０’と計測することができる。   As shown in FIG. 8A, when measuring the width of the inspection object 6 sandwiched between a pair of detected edges, the edge detection direction is the positive direction of the X axis (the direction of the arrow 91) and the edge detection. By designating that the position switches from light to dark, the position from dark to light, and that the width of the inspection object 6 sandwiched between the detected pair of edges is measured, in FIG. A plurality of pairs of edges can be detected in the inspection region 95. Then, the distance between the detected pair of edges is obtained. That is, the edge width 94 is measured for all combinations between the adjacent edges 92 and 93. For example, when the edge width 94 is “200”, “180”, “190”, the maximum value can be measured as “200”, the minimum value as “180”, and the average value as “190”.

また、図８（ｂ）に示すように、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印９６の方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する旨とを指定することにより、図８（ｂ）でも検査領域９５内において複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ９７、９８間のすべての組み合わせについて中点を求め、隣接する中点間の距離をエッジ幅９９として計測する。例えばエッジ幅９９が‘１００’、‘１１０’、‘１２０’である場合、最大値が‘１２０’、最小値が‘１００’、平均値が‘１１０’と計測することができる。   Further, as shown in FIG. 8B, when measuring the distance between the midpoints of the inspection object 6 sandwiched between a pair of detected edges, the edge detection direction is the positive direction of the X axis (the direction of the arrow 96). ), The position where the edge detection position switches from light to dark, the position where the detection position switches from dark to light, and the measurement of the distance between the midpoints of the inspection object 6 sandwiched between the detected pair of edges. By doing so, a plurality of pairs of edges can be detected in the inspection region 95 also in FIG. Then, the distance between the midpoints of the inspection object 6 sandwiched between the detected plurality of pairs of edges is obtained. That is, the midpoint is obtained for all combinations between the adjacent edges 97 and 98, and the distance between the adjacent midpoints is measured as the edge width 99. For example, when the edge width 99 is '100', '110', or '120', the maximum value can be measured as '120', the minimum value as '100', and the average value as '110'.

次に、エリア計測ツールは、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像を二値化処理して、白色領域又は黒色領域の面積を計測する。例えば、計測する対象として白色領域又は黒色領域の指定をパラメータとして受け付けることにより、白色領域又は黒色領域の面積を計測する。   Next, the area measurement tool binarizes the image of the inspection target 6 imaged by the imaging device 1 and measures the area of the white region or the black region. For example, the area of the white region or the black region is measured by accepting the specification of a white region or a black region as a parameter to be measured.

また、ブロブ計測ツールは、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像を二値化処理して、同一の輝度値（２５５又は０）の画素の集合（ブロブ）に対してパラメータとしての数、面積、重心位置等を計測する。図９は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の二値化画像を表示した画面の例示図である。   In addition, the blob measurement tool binarizes the image of the inspection object 6 imaged by the imaging device 1, and the number as a parameter for a set (blob) of pixels having the same luminance value (255 or 0). Measure area, center of gravity, etc. FIG. 9 is an exemplary view of a screen displaying a binarized image of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention.

図９に示すように、画像表示領域１０１には、撮像した検査対象物６の画像を二値化処理した二値化画像を表示する。そして、二値化処理に用いる閾値をパラメータとして閾値調整領域１０２に入力することで調整する。もちろん、ヒストグラム１０３を用いて調整しても良い。   As shown in FIG. 9, a binarized image obtained by binarizing the captured image of the inspection object 6 is displayed in the image display area 101. And it adjusts by inputting into the threshold value adjustment area | region 102 as a parameter the threshold value used for a binarization process. Of course, the histogram 103 may be used for adjustment.

ヒストグラム１０３は、二値化画像の画素値分布が示されており、通常は、画素値が‘２５５’に近い部分がフィルタリングされないよう、面積フィルタの下限値を、マウス５０２等でドラッグ操作する等により調整する。図９の例では、パラメータの一つである面積フィルタの下限値が‘１２８’であり、これより低い画素値を有する画素はノイズであるとして無視される。ヒストグラム１０３上で調整された閾値は、閾値調整領域１０２と連動しており、下限値が変動することは言うまでもない。   The histogram 103 shows the pixel value distribution of the binarized image. Usually, the lower limit value of the area filter is dragged with the mouse 502 or the like so that the portion where the pixel value is close to “255” is not filtered. Adjust by. In the example of FIG. 9, the lower limit value of the area filter, which is one of the parameters, is '128', and a pixel having a lower pixel value is ignored as noise. It goes without saying that the threshold value adjusted on the histogram 103 is linked to the threshold value adjustment region 102 and the lower limit value fluctuates.

なお、エリア計測ツール及びブロブ計測ツールでは、パラメータの一つである二値化処理の閾値を調整することにより、検出したい特徴部分のみを検出することができる。また、面積フィルタの下限値を調整することにより、一定の面積以下の集まりをブロブとして検出することがないよう調整することもできる。   In the area measurement tool and the blob measurement tool, it is possible to detect only the feature portion to be detected by adjusting the threshold value of the binarization process which is one of the parameters. Further, by adjusting the lower limit value of the area filter, it is also possible to adjust so that a group having a certain area or less is not detected as a blob.

次に、パターンサーチ計測ツールは、比較対象とする画像パターンを事前に記憶装置に記憶しておき、撮像した検査対象物６の画像の中から記憶してある画像パターンに類似している部分を検出することで、画像パターンの位置、傾斜角度、相関値を計測する。図１０は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のパターンサーチ計測ツールの例示図である。図１０（ａ）は、画像パターンを記憶する場合の画面の例示図を、図１０（ｂ）は、記憶してある画像パターンに類似している画像パターンを検出する場合の画面の例示図を、それぞれ示している。   Next, the pattern search measurement tool stores an image pattern to be compared in advance in a storage device, and selects a portion similar to the stored image pattern from the captured image of the inspection object 6. By detecting, the position, inclination angle, and correlation value of the image pattern are measured. FIG. 10 is an exemplary diagram of a pattern search measurement tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 10A shows an example of a screen when an image pattern is stored, and FIG. 10B shows an example of a screen when an image pattern similar to the stored image pattern is detected. , Respectively.

図１０（ａ）に示すように、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像を画面中央に表示した状態で、ウインドウを画面上に設定することにより、サーチ領域１１１の設定を受け付ける。サーチ領域１１１内に存在する画像パターンを検出し、記憶する画像パターンを囲む領域としてパターン領域１１２の設定を受け付ける。もちろん、パターン領域１１２内に、画像パターンの代表点１１３の設定を受け付けても良い。パターン領域１１２内の画像パターン１１４を記憶装置２３へ記憶する。   As shown in FIG. 10A, the setting of the search area 111 is accepted by setting a window on the screen in a state where the image of the inspection object 6 imaged by the imaging device 1 is displayed at the center of the screen. An image pattern existing in the search area 111 is detected, and the setting of the pattern area 112 is accepted as an area surrounding the stored image pattern. Of course, the setting of the representative point 113 of the image pattern in the pattern area 112 may be accepted. The image pattern 114 in the pattern area 112 is stored in the storage device 23.

パターンサーチ計測ツールによるパターンサーチ時には、図１０（ｂ）に示すように、記憶してある画像パターン１１４に類似している画像パターンをサーチ領域１１５内でサーチする。図１０の例では、画像パターンの代表点１１８の位置座標と傾斜角度１１７とでパターン領域１１９を特定して、パターン領域１１９内の画像パターンと記憶してある画像パターン１１４との相関値がパラメータの一つである所定の閾値より大きい場合に類似している画像パターンを検出したと判断している。   At the time of pattern search by the pattern search measurement tool, as shown in FIG. 10B, an image pattern similar to the stored image pattern 114 is searched in the search area 115. In the example of FIG. 10, the pattern area 119 is specified by the position coordinates of the representative point 118 of the image pattern and the inclination angle 117, and the correlation value between the image pattern in the pattern area 119 and the stored image pattern 114 is a parameter. It is determined that a similar image pattern is detected when the threshold is larger than a predetermined threshold.

もちろん、パターンサーチの方法はこれに限定されるものではなく、例えば記憶してある画像パターン及び撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像それぞれについてエッジを検出し、エッジ強度が類似している位置の近傍において画像パターンの位置、傾斜角度、相関値を計測しても良い。   Of course, the pattern search method is not limited to this. For example, the edge is detected for each of the stored image pattern and the image of the inspection object 6 imaged by the imaging apparatus 1 and the edge strength is similar. The position, inclination angle, and correlation value of the image pattern may be measured in the vicinity of the position.

なお、パターンサーチ計測ツールでは、閾値として相関値の下限値を上げることにより、より類似度の高い画像パターンのみを検出するよう調整することができる。また、パラメータであるサーチ感度、サーチ精度等も調整することができる。   Note that the pattern search measurement tool can be adjusted to detect only image patterns with higher similarity by increasing the lower limit value of the correlation value as the threshold value. In addition, search sensitivity and search accuracy, which are parameters, can be adjusted.

次に、傷計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、小領域（セグメント）を移動させて画素値の平均濃度値を算出し、閾値以上の濃度差となった位置を傷が存在すると判定する。図１１は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の傷計測ツールで傷の存在を判定するためのセグメントの移動状態を示す模式図である。以下、図１１（ａ）〜（ｄ）まで、ハッチング部分がセグメントを示している。   Next, the flaw measurement tool calculates the average density value of the pixel values by moving a small area (segment) within the inspection area that has received the setting, and if there is a flaw at a position where the density difference is equal to or greater than the threshold value judge. FIG. 11 is a schematic diagram showing a segment moving state for determining the presence of a flaw with the flaw measuring tool of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. Hereinafter, in FIGS. 11A to 11D, the hatched portions indicate segments.

まず図１１（ａ）に示すように、セグメント１２１が検査領域１２０の左端に位置する場合（以下、「現在のセグメント」とする）、セグメント１２１内の平均濃度値を‘９５’とする。そして、順次矢印１２２の方向に所定の間隔でセグメント１２１が移動する。   First, as shown in FIG. 11A, when the segment 121 is located at the left end of the inspection region 120 (hereinafter referred to as “current segment”), the average density value in the segment 121 is set to “95”. Then, the segments 121 sequentially move in the direction of the arrow 122 at a predetermined interval.

図１１（ｂ）は、現在のセグメントから‘１’移動した場合（「現在のセグメント＋１」とする）を示しており、この場合のセグメント１２１内の平均濃度値を‘８０’とする。以下、図１１（ｃ）は、現在のセグメントから‘２’移動した場合（「現在のセグメント＋２」とする）を示しており、この場合のセグメント１２１内の平均濃度値を‘１００’とし、図１１（ｄ）は、現在のセグメントから‘３’移動した場合（「現在のセグメント＋３」とする）を示しており、この場合のセグメント１２１内の平均濃度値を‘１２０’とする。   FIG. 11B shows a case where “1” is moved from the current segment (“current segment + 1”), and the average density value in the segment 121 in this case is “80”. In the following, FIG. 11C shows a case where “2” is moved from the current segment (referred to as “current segment + 2”). In this case, the average density value in the segment 121 is set to “100”. FIG. 11D shows a case where “3” is moved from the current segment (“current segment + 3”), and the average density value in the segment 121 in this case is “120”.

図１１の例では、４つのセグメント１２１内における平均濃度値を計測している。そして、最大濃度値と最小濃度値との差を「傷レベル」として計測する。図１１の例では、「傷レベル」は、最大濃度値１２０（現在のセグメント＋３）−最小濃度値８０（現在のセグメント＋１）＝４０となる。   In the example of FIG. 11, the average density value in the four segments 121 is measured. Then, the difference between the maximum density value and the minimum density value is measured as the “scratch level”. In the example of FIG. 11, the “scratch level” is the maximum density value 120 (current segment + 3) −minimum density value 80 (current segment + 1) = 40.

また、計測した「傷レベル」がパラメータの一つである所定の閾値を超えた場合、「現在のセグメント」に傷が存在すると判定される。「傷量」は、傷が存在すると判定されたセグメントの数として計測される。   Further, when the measured “scratch level” exceeds a predetermined threshold which is one of the parameters, it is determined that the “current segment” has a scratch. The “scratch amount” is measured as the number of segments determined to have a scratch.

なお、傷が存在すると判定される所定の閾値である「傷レベル」、傷の想定サイズに合わせるべきセグメントの大きさ等を調整することにより、傷が存在するか否かの判定結果を変更することができる。   The determination result of whether or not there is a scratch is changed by adjusting the “scratch level” that is a predetermined threshold value for determining that a scratch exists, the size of a segment to be matched to the assumed size of the scratch, and the like. be able to.

上述した各種の画像処理ツールの他、検査領域内の文字情報を切り出して辞書データ等と照合することで文字列を認識するＯＣＲ認識ツール、ならびに画像上に設定したウインドウ(領域)をシフトさせながら、各ウインドウの位置においてエッジの検出を繰り返す機能を有するトレンドエッジツール、設定したウインドウ内の濃淡の平均、偏差等を計測する機能を有する濃淡ツール、設定したウインドウ内の濃度の平均、偏差等を計測する機能を有する濃度ツール等も備えており、必要に応じて選択を受け付ける。各画像処理ツールで処理された判定結果、すなわち良品／不良品の判定結果は、検査対象物６を識別する情報、画像処理ツールを識別する情報に対応付けて、画像処理装置２の記憶装置２３に記憶される。   In addition to the various image processing tools described above, the OCR recognition tool that recognizes character strings by cutting out character information in the inspection area and collating it with dictionary data, etc., while shifting the window (area) set on the image Trend edge tool that has the function of repeating edge detection at each window position, grayscale tool that has the function to measure the average and deviation of shades in the set window, average and deviation of the density in the set window A density tool or the like having a function to measure is also provided, and selection is accepted as necessary. The determination result processed by each image processing tool, that is, the non-defective / defective product determination result is associated with information for identifying the inspection object 6 and information for identifying the image processing tool, and the storage device 23 of the image processing apparatus 2. Is remembered.

図１２は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の画像処理ツール選択画面の例示図である。換言すれば、上述した数多くの画像処理ツールの中からエリア計測ツール、パターンサーチ計測ツール、ブロブ計測ツールの３つがユーザによって選択され、選択された各画像処理ツールに対するパラメータを設定することにより、ユーザ所望の画像検査フローが設定された例を示している。この場合、画像処理装置２は、ユーザの選択した画像処理ツールを具体的に示すために、ユーザインタフェースである画像処理ツール選択画面の選択領域１２６には、事前に選択された画像処理ツール、図１２の例では、エリア計測ツール、パターンサーチ計測ツール、ブロブ計測ツールの３つが選択されて表示されている。この３つの画像処理ツールの中から、例えばエリア選択ツールの選択を受け付けた場合、画像表示領域１２５に検査対象物６の画像及び設定された検査領域が表示されている。   FIG. 12 is an exemplary view of an image processing tool selection screen of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. In other words, the area measurement tool, the pattern search measurement tool, and the blob measurement tool are selected by the user from among the many image processing tools described above, and the user sets the parameters for each selected image processing tool. An example in which a desired image inspection flow is set is shown. In this case, in order to show the image processing tool selected by the user specifically, the image processing apparatus 2 displays the image processing tool selected in advance in the selection area 126 of the image processing tool selection screen as the user interface. In the example of 12, the area measurement tool, the pattern search measurement tool, and the blob measurement tool are selected and displayed. For example, when selection of an area selection tool is received from the three image processing tools, the image of the inspection object 6 and the set inspection area are displayed in the image display area 125.

また、結果表示領域１２７には、各画像処理ツールを実行した結果が表示される。図１２の例では、エリア計測ツールにより設定された検査領域中の画像を二値化処理し、白色領域又は黒色領域の面積を画素数の総和として表示している。   In the result display area 127, the result of executing each image processing tool is displayed. In the example of FIG. 12, the image in the inspection region set by the area measurement tool is binarized, and the area of the white region or black region is displayed as the total number of pixels.

本発明の実施の形態に係る画像処理装置２は、上述した各種の画像処理ツールとは別個に、位置補正機能を設けてある。ユーザは、位置補正処理を実行するか否かを事前に設定しておき、設定に応じて位置補正処理を実行してから各画像処理ツールを実行させる、又は位置補正処理を実行することなく各画像処理ツールを実行させる。本実施の形態では、位置補正処理を実行するよう設定している。   The image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention is provided with a position correction function separately from the above-described various image processing tools. The user sets in advance whether or not to execute the position correction process, and executes each image processing tool after executing the position correction process according to the setting, or without executing the position correction process. Run the image processing tool. In the present embodiment, the position correction processing is set to be executed.

なお、各画像処理ツールにおいて位置補正処理を実行する画像処理ツールも存在する。例えばパターンサーチ計測ツールでは、検査領域内の相関値の算出において、検査領域内の画像の位置補正処理を実行していることが多い。本実施の形態では、位置補正処理は、画像全体に対して実行することを前提としているが、各画像処理ツールで位置補正処理を実行しても良いし、位置補正処理の範囲が画像全体であっても検査領域内であっても良い。   There are also image processing tools that perform position correction processing in each image processing tool. For example, in the pattern search measurement tool, in the calculation of the correlation value in the inspection area, the position correction processing of the image in the inspection area is often executed. In this embodiment, it is assumed that the position correction process is performed on the entire image. However, the position correction process may be performed by each image processing tool, and the range of the position correction process is performed on the entire image. Or within the inspection area.

図１３は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の機能ブロック図である。判定結果記憶部４０１は、例えば、図１２に示すユーザにより設定された画像検査フローに基づいて、事前に選択された複数の画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を検査対象物６の画像と対応付けて記憶装置２３に記憶する。換言すれば、判定結果記憶部４０１は、画像処理装置２の複数の画像処理ツールの中から選択された一又は複数の画像処理ツールにより設定された画像検査処理フローを用いて、撮像装置１にて撮像した複数の検査対象物６の画像に対する良否判定を行った判定結果とその判定に対応する検査対象物６の画像を記憶装置２３に記憶する。   FIG. 13 is a functional block diagram of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. The determination result storage unit 401 displays, for example, a determination result regarding whether or not each of the plurality of image processing tools selected in advance is a non-defective product based on the image inspection flow set by the user illustrated in FIG. The image is stored in the storage device 23 in association with the six images. In other words, the determination result storage unit 401 uses the image inspection processing flow set by one or a plurality of image processing tools selected from the plurality of image processing tools of the image processing apparatus 2 to store the image capturing apparatus 1. The storage device 23 stores the determination result obtained by performing the pass / fail determination on the images of the plurality of inspection objects 6 captured in this manner and the image of the inspection object 6 corresponding to the determination.

また、事前に選択された複数の画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物６の画像と対応付けてメモリ２２に記憶させても良い。   In addition, the determination result regarding whether or not each of the plurality of image processing tools selected in advance may be stored in the memory 22 in association with the image of the inspection object 6.

なお、画像処理ツール指定受付部４０２は、事前に選択された複数の画像処理ツールの中から一の画像処理ツールの指定を受け付ける。画像処理ツール指定受付部４０２の具体例については、図１７に基づいて、詳細に後述する。   The image processing tool designation accepting unit 402 accepts designation of one image processing tool from among a plurality of image processing tools selected in advance. A specific example of the image processing tool designation receiving unit 402 will be described later in detail based on FIG.

判定結果変更部４０３は、指定を受け付けた画像処理ツールによる判定結果の変更を受け付ける。すなわち良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ画像処理ツールごとに判定結果の変更を受け付ける。換言すれば、判定結果記憶部４０１により記憶されている判定結果の中から、不良品（ＮＧ品）であると判定された履歴のある画像処理ツールを選択し、選択された画像処理ツールにて不良品（ＮＧ品）であると判定された検査対象物６の画像を全て読み出し、画面上に表示し、表示されている不良品（ＮＧ品）画像の中からユーザがＯＫ品である、すなわち良品であると判定する画像を選択することにより、判定結果の変更が行われる。   The determination result changing unit 403 receives a change in the determination result by the image processing tool that has received the designation. That is, a change in the determination result is accepted for each image processing tool, from a determination result that is a non-defective product to a determination result that is a defective product, or a determination result that is a defective product is determined to be a non-defective product. In other words, an image processing tool having a history determined to be defective (NG product) is selected from the determination results stored in the determination result storage unit 401, and the selected image processing tool is used. All images of the inspection object 6 determined to be defective (NG product) are read out and displayed on the screen, and the user is an OK product from the displayed defective product (NG product) images. By selecting an image that is determined to be a non-defective product, the determination result is changed.

位置抽出部４０４は、検査対象物の画像と基準となる基準画像とを比較して、撮像されている検査対象物の位置のずれを抽出する。位置補正部４０５は、抽出した位置のずれがなくなるよう検査対象物の画像の位置を補正する。このように、検査対象物の画像の位置を補正しておくことにより、検査対象物の位置ずれが原因で検査領域が正しく画像に追従していない場合であっても、位置ずれを補正することで確実に追従させることができ、設定情報の更新作業を円滑に進めることが可能となる。   The position extraction unit 404 compares the image of the inspection object with a reference image serving as a reference, and extracts a shift in the position of the imaged inspection object. The position correction unit 405 corrects the position of the image of the inspection object so that the extracted position is not displaced. In this way, by correcting the position of the image of the inspection object, it is possible to correct the position deviation even when the inspection region does not correctly follow the image due to the position deviation of the inspection object. Therefore, the setting information can be updated smoothly.

確認結果受付部４０６は、位置を補正した後の検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従しているか否かの確認結果を受け付ける。検査領域再設定部４０７は、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従していないとの確認結果を受け付けた場合、検査領域の再設定を受け付ける。   The confirmation result accepting unit 406 accepts a confirmation result as to whether or not the inspection area of the image processing tool that has received the designation follows the image of the inspection object after the position is corrected. The inspection area resetting unit 407 receives the resetting of the inspection area when receiving the confirmation result that the inspection area of the image processing tool that has received the designation does not follow.

設定情報更新部４０８は、検査領域が追従していると確認結果を受け付けた場合、変更を受け付けた判定結果に応じて、画像処理ツールの設定情報の更新を受け付ける。例えば、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ変更した場合、設定情報として記憶してある、ある物理量の閾値を、不良品であるという判定結果となる値へと更新する。   When the setting information update unit 408 receives a confirmation result that the inspection area follows, the setting information update unit 408 receives an update of the setting information of the image processing tool according to the determination result of accepting the change. For example, when the determination result of a non-defective product is changed to a determination result of a defective product, the threshold value of a certain physical quantity stored as setting information is updated to a value that is a determination result of a defective product.

再判定部４０９は、更新を受け付けた設定情報を用いて、検査対象物を一括して良否を再判定する。これにより、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ変更を受け付けた検査対象物６だけでなく、判定結果が正しいと判断された検査対象物６についても、更新を受け付けた設定情報で良否を再判定することができ、正しい判定結果が維持されているか否かを確認することができる。   The re-determination unit 409 re-determines whether the inspection objects are good or bad using the setting information that has received the update. Thereby, the determination result that is a non-defective product is changed not only to the determination result that is a non-defective product, or the determination result that is a non-defective product to the determination result that is non-defective. For the inspection object 6 for which the result is determined to be correct, it is possible to re-determine whether or not the inspection object 6 is correct by using the setting information that has been updated, and it is possible to confirm whether or not the correct determination result is maintained.

以下、本実施の形態に係る画像処理装置２の動作について説明する。なお、以下の処理が実行される前に、画像処理装置２は、過去に良否判定を実行した検査対象物の画像及び判定結果を、画像処理装置２の記憶装置２３に記憶しておく。図１４は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の記憶装置２３で記憶されている画像の例示図である。図１４（ａ）〜（ｆ）に示すように同じ検査対象物６であっても、撮像時に載置された位置の相違、撮像装置１の取り付け位置の相違等の撮像条件の違いから、様々な画像が記憶されている。   Hereinafter, the operation of the image processing apparatus 2 according to the present embodiment will be described. Note that, before the following processing is executed, the image processing apparatus 2 stores the image of the inspection object for which the pass / fail determination has been performed in the past and the determination result in the storage device 23 of the image processing apparatus 2. FIG. 14 is a view showing an example of images stored in the storage device 23 of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 14A to 14F, even for the same inspection object 6, there are various due to differences in imaging conditions such as a difference in the position placed at the time of imaging and a difference in the mounting position of the imaging device 1. Is stored.

そして、検査対象物６に対して、画像処理ツールごとに検査領域を設定しておく。図１５は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の画像処理ツールの中から、ユーザが選択し、所望の画像検査フローに組み込んだ画像処理ツールを用いて、検査対象物６のモデルに対して設定された検査領域の設定画面の例示図である。図１５に示すように、放熱板の汚れを検出するため、傷計測ツールの検査領域１４１を放熱板の輪郭線に沿って設定している。   Then, an inspection area is set for each inspection tool 6 for each image processing tool. FIG. 15 shows a model of the inspection object 6 using an image processing tool selected by the user from the image processing tools of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention and incorporated in a desired image inspection flow. It is an illustration figure of the setting screen of the inspection area | region set with respect to. As shown in FIG. 15, in order to detect dirt on the heat sink, an inspection area 141 of the flaw measuring tool is set along the contour line of the heat sink.

また、文字化けの有無を検査するために二値化処理した白色領域の面積を計測するエリア計測ツールの検査領域１４２は、本体部の輪郭線に沿って設定されている。また、端子が曲がっているか否かを検出するために、エッジピッチ計測ツールの検査領域１４３を端子の先端部近傍に設定してある。本実施の形態では、傷計測ツール、エリア計測ツール、エッジピッチ計測ツールの３つの検査領域を設定しているが、これらに限定されるものではなく、検査対象物６によって検査領域は変動する。各ツールに対応するパラメータの設定については上述しているため詳細な説明は省略するが、設定された各ツールに対応して、各々設定条件としてのパラメータが設定される。   In addition, the inspection area 142 of the area measurement tool for measuring the area of the white area binarized to inspect for garbled characters is set along the contour line of the main body. Further, in order to detect whether or not the terminal is bent, the inspection area 143 of the edge pitch measurement tool is set near the tip of the terminal. In the present embodiment, three inspection areas, a flaw measurement tool, an area measurement tool, and an edge pitch measurement tool are set. However, the present invention is not limited to these, and the inspection area varies depending on the inspection object 6. Since the parameter setting corresponding to each tool has been described above, detailed description thereof is omitted, but parameters as setting conditions are set corresponding to the respective tools set.

図１６は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のＣＰＵ２１の処理手順を示すフローチャートである。図１６において、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、起動すると同時に記憶装置２３に記憶されているすべての検査対象物の画像に対して一括検査を実行し（ステップＳ１６０１）、画像処理ツールごとに不良品であると判定された回数（以下、ＮＧ回数）に対応付けたツール指定受付画面を表示する（ステップＳ１６０２）。ＣＰＵ２１は、表示されている複数の画像処理ツールの中から一の画像処理ツールの指定を受け付ける（ステップＳ１６０３）。   FIG. 16 is a flowchart showing a processing procedure of the CPU 21 of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. In FIG. 16, the CPU 21 of the image processing apparatus 2 performs a collective inspection on the images of all the inspection objects stored in the storage device 23 at the same time as being activated (step S1601), and defective products for each image processing tool. A tool designation reception screen associated with the number of times determined to be (hereinafter referred to as NG number) is displayed (step S1602). The CPU 21 accepts designation of one image processing tool from among the plurality of displayed image processing tools (step S1603).

図１７は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のツール指定受付画面の例示図である。ここでは、図１６にて設定した画像処理ツールとそれに対応するパラメータに基づいて、ユーザの所望する画像検査フローを用いて、複数の検査対象物６の画像の各々に対して画像処理ツールによる画像処理を実行し、設定されている画像処理ツールごとの判定結果がＮＧである回数（以下、ＮＧ回数）が表示されている。   FIG. 17 is a view showing an example of a tool designation reception screen of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. Here, based on the image processing tool set in FIG. 16 and the corresponding parameters, the image by the image processing tool is used for each of the images of the plurality of inspection objects 6 using the image inspection flow desired by the user. The number of times that the process is executed and the determination result for each set image processing tool is NG (hereinafter, NG number) is displayed.

図１７では、画像処理ツールが、ＮＧ回数に対応付けられてツール表示領域１６１に表示されている。図１７の例では、「傷」計測ツール、「エッジピッチ」計測ツール、「エリア」計測ツールの３つの画像処理ツール（括弧内の文字で表示）が、指定受付可能な画像処理ツールとして表示されている。ＣＰＵ２１は、ツール表示領域１６１内に表示されている画像処理ツールの中から、いずれか一の画像処理ツールの指定を受け付ける。   In FIG. 17, the image processing tool is displayed in the tool display area 161 in association with the number of NG times. In the example of FIG. 17, three image processing tools (displayed by characters in parentheses) of a “scratch” measurement tool, an “edge pitch” measurement tool, and an “area” measurement tool are displayed as image processing tools that can be designated and accepted. ing. The CPU 21 accepts designation of any one of the image processing tools displayed in the tool display area 161.

なお、図１７のツール表示領域１６１に表示されているツールは、画像処理装置２の画像処理ツールの中からユーザが所望の画像検査フローを構成するために選択した画像ツールのみであることは言うまでもない。また、ツール表示領域１６１の表示形式としては、全ての画像処理ツールを表示し、ユーザにより所望の画像検査フローを構成するために選択されているツールのみを強調表示しても良い。これにより、どのツールが画像検査フローに組み込まれているかを目視で容易に確認することができる。   Needless to say, the tools displayed in the tool display area 161 of FIG. 17 are only the image tools selected by the user from the image processing tools of the image processing apparatus 2 to configure a desired image inspection flow. Yes. Further, as a display format of the tool display area 161, all image processing tools may be displayed, and only the tools selected by the user to configure a desired image inspection flow may be highlighted. This makes it easy to visually check which tool is incorporated in the image inspection flow.

また、ツール表示領域１６１に表示するべき画像処理ツールの種類は、画像検査フローを構成するために選択され、用いられている画像処理ツールの中で、複数の検査対象物６の画像に対する検査の判定結果としてＮＧ判定を出力している画像処理ツールを少なくとも認識できるように表示すれば良い。   In addition, the type of image processing tool to be displayed in the tool display area 161 is selected to configure the image inspection flow, and among the image processing tools used, inspection of a plurality of inspection objects 6 is performed. What is necessary is just to display so that the image processing tool which has output NG determination as a determination result can be recognized at least.

なお、ツール指定受付画面では、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツール、すなわちＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して指定を受け付けるように上位に表示することが好ましい。良品であるにもかかわらず不良品であると誤って判定された設定情報から順に適切な設定情報に調整することができ、結果として早期に適切な設定情報に更新することができるからである。つまり、ＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して指定を受け付けることにより、ユーザが良品又は不良品であると判定した結果に追従して、内部的に適切なパラメータが設定される点が本願発明の特徴である。   Note that it is preferable that the tool designation receiving screen is displayed at a higher level so that the designation is accepted preferentially from image processing tools having many results determined to be defective, that is, image processing tools having a large number of NG times. This is because it is possible to adjust the setting information from the setting information erroneously determined to be defective in spite of the non-defective product to the appropriate setting information in order, and as a result, it can be updated to the appropriate setting information at an early stage. That is, according to the present invention, an appropriate parameter is set internally following the result that the user determines to be a non-defective product or a defective product by accepting designation preferentially from an image processing tool having a large number of NG times. It is the feature.

ＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して表示又は誘導する理由は、ＮＧ回数の多い画像処理ツールは、検査対象物６が不良品（ＮＧ品）であるのではなく、ツールのパラメータ等の設定条件が不適切な結果として不良品であるとＮＧ判定されているケースが多いからである。したがって、選択された画像処理ツールが複数の場合、ＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して表示又は誘導することが効率の良いツールの再設定処理となる。   The reason for displaying or guiding the image processing tool with priority over the image processing tool having a large number of NGs is that the inspection object 6 is not a defective product (NG product) in the image processing tool having a large number of NGs, and the parameters of the tool are set. This is because there are many cases where NG determination is made that the product is defective as a result of inappropriate conditions. Therefore, when there are a plurality of selected image processing tools, it is an efficient tool resetting process to display or guide the image processing tools with a high number of NG times.

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、指定を受け付けた画像処理ツールによる判定結果の変更を受け付ける（ステップＳ１６０４）。すなわち、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ画像処理ツールごとに判定結果の変更を受け付ける。   Returning to FIG. 16, the CPU 21 of the image processing apparatus 2 receives a change in the determination result by the image processing tool that has received the designation (step S <b> 1604). That is, a change in the determination result is accepted for each image processing tool from a determination result that is a non-defective product to a determination result that is a defective product, or a determination result that is a defective product is determined to be a non-defective product.

図１８は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の判定結果変更画面の例示図である。図１８は、上述した図１７において、ツール表示領域１６１の最上位欄に表示されている「傷」を修正するツールとして選択した場合、次に表示される画面である。このため、図１７に示すように、「傷」計測ツールによってＮＧ品であると判定された六つの画像がＮＧ品表示領域１７１に表示され、画像表示領域１７０には、六つの画像のうちの一つが初期設定として表示される。   FIG. 18 is an exemplary view of a determination result change screen of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 18 is a screen that is displayed next when the “scratch” displayed in the uppermost column of the tool display area 161 in FIG. 17 is selected as a tool to be corrected. For this reason, as shown in FIG. 17, six images determined to be NG products by the “scratch” measuring tool are displayed in the NG product display area 171, and the image display area 170 includes the six images. One is displayed as the default setting.

図１８では、「傷」計測ツールによってＮＧ品であると判定された画像が記憶装置２３から読み出され、画像表示領域１７０に表示される。   In FIG. 18, an image determined as an NG product by the “scratch” measurement tool is read from the storage device 23 and displayed in the image display area 170.

すなわち、図１７にてユーザによって選択された画像処理ツール、ここでは「傷」計測ツールによって不良品であると判定された検査対象物６を識別する識別情報がリスト表示されるＮＧ品表示領域１７１、良品であると判定されるべきであるとしてＮＧ品表示領域１７１からユーザによって移動された検査対象物６を識別する識別情報がリスト表示されるＯＫ品表示領域１７２、それぞれに別個にリスト表示されている識別情報の選択を受け付けることで、対応する検査対象物６の画像が画像表示領域１７０に表示される。   That is, an NG product display area 171 in which identification information for identifying the inspection object 6 determined to be defective by the image processing tool selected by the user in FIG. The OK product display area 172 in which identification information for identifying the inspection object 6 moved by the user from the NG product display area 171 as a non-defective product should be determined is displayed in a list separately. By receiving the selection of the identification information, the image of the corresponding inspection object 6 is displayed in the image display area 170.

そして、マウス５０２等により選択を受け付けた識別情報に対応する検査対象物６の画像が画像表示領域１７０に表示されるので、不良品であると判定されている検査対象物６が実際は良品であると判定をすることができる。不良品であると判定されている検査対象物６が実際は良品であると判定された場合、移動ボタン１７３により、ＮＧ品表示領域１７１に表示されている識別情報をＯＫ品表示領域１７２に移動することができる。   Since an image of the inspection object 6 corresponding to the identification information received by the mouse 502 or the like is displayed in the image display area 170, the inspection object 6 determined to be defective is actually a non-defective product. Can be determined. When it is determined that the inspection object 6 determined to be defective is actually a non-defective product, the identification information displayed in the NG product display area 171 is moved to the OK product display area 172 by the move button 173. be able to.

なお、図１７の例では、一旦ＯＫ品表示領域１７２に移動させた画像を、ユーザの意図の変更により、再度ＮＧ品表示領域１７１に移動させることを可能とするため、移動ボタン１７４を設けている。   In the example of FIG. 17, a move button 174 is provided to enable the image once moved to the OK product display area 172 to be moved again to the NG product display area 171 by changing the user's intention. Yes.

また、上記実施例では、図１７に示すように、ＮＧ判定された画像処理ツールを選択することにより、図１８に示す選択された画像処理ツールによってＮＧ品であると判定した画像を選択表示することができるとともに、これらのＮＧ品の画像を個別に目視で確認することにより、ユーザの意図によって、ＯＫ品表示領域１７２へ移動することを可能としている。   In the above embodiment, as shown in FIG. 17, by selecting an image processing tool determined to be NG, an image determined to be an NG product by the selected image processing tool shown in FIG. 18 is selectively displayed. In addition, it is possible to move to the OK product display area 172 according to the user's intention by visually checking these NG product images individually.

しかし、別機能として、図１８に示す画面に遷移した場合、選択された画像処理ツールにてＯＫ品であると判定された画像をＯＫ品表示領域１７２に同時表示することも可能であり、さらに、ＯＫ品であると判定された画像をユーザの意図により、移動ボタンを用いてＮＧ品表示領域１７１に移動させることも可能である。   However, as another function, when the screen transitions to the screen shown in FIG. 18, it is possible to simultaneously display an image determined to be an OK product by the selected image processing tool in the OK product display area 172. It is also possible to move an image determined to be an OK product to the NG product display area 171 by using the move button according to the user's intention.

図１９は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の判定結果変更画面の例示図である。図１９では、傷計測ツールを、放熱板の汚れを検出するために使用しているが、図１９の画像表示領域１７０に表示されている検査対象物６には、明らかに放熱板６０１に汚れが存在していない。したがって、不良品であると判定されている検査対象物６が実際は良品であると判定して、移動ボタン１７３を選択することによりＯＫ品表示領域１７２に識別情報が移動される。   FIG. 19 is an exemplary view of a determination result change screen of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. In FIG. 19, the flaw measuring tool is used to detect dirt on the heat sink, but the inspection object 6 displayed in the image display area 170 in FIG. 19 clearly has dirt on the heat sink 601. Does not exist. Accordingly, it is determined that the inspection object 6 that has been determined to be defective is actually a non-defective product, and the identification information is moved to the OK product display area 172 by selecting the move button 173.

判定結果の変更を行った場合、設定してある検査領域が検査対象物６の画像に追随しているか否かを確認することが好ましい。画像処理ツールごとに設定している検査領域と、検査対象物６の画像との位置がずれていることが原因で、良否判定に誤りが生じているか否かを確認するためである。   When the determination result is changed, it is preferable to confirm whether or not the set inspection region follows the image of the inspection object 6. This is for checking whether or not there is an error in the pass / fail judgment due to the fact that the position of the inspection area set for each image processing tool and the image of the inspection object 6 are misaligned.

図示はしていないが、次のステップとして、位置補正処理を実行して良否を再判定しても良い。例えば図１５では、「傷」計測ツールの検査領域１４１が画像に対して設定されているが、矩形形状を有する検査領域１４１を画像に重ねて表示している。ここで、矩形形状を有する検査領域１４１が、適正な位置に設定されていない場合、ＮＧ品であるという判定結果と位置補正機能としてのパターンサーチにおける検出条件とを見直すことができる。   Although not shown, as a next step, position correction processing may be executed to re-determine pass / fail. For example, in FIG. 15, the inspection area 141 of the “scratch” measurement tool is set for the image, but the inspection area 141 having a rectangular shape is displayed superimposed on the image. Here, when the inspection area 141 having a rectangular shape is not set at an appropriate position, it is possible to review the determination result that it is an NG product and the detection condition in the pattern search as the position correction function.

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、設定してある検査領域が検査対象物の画像に追随しておらず、位置補正の指示を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１６０５）。図２０は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の検査領域が検査対象物の画像に追随していない画像の指定画面の例示図である。   Returning to FIG. 16, the CPU 21 of the image processing apparatus 2 determines whether the set inspection region does not follow the image of the inspection target and accepts a position correction instruction (step S <b> 1605). FIG. 20 is an exemplary view of an image designation screen in which the inspection area of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention does not follow the image of the inspection object.

図２０では、位置補正対象領域１９１にリスト表示されている検査対象物の識別情報を、位置補正対象となる補正対象領域１９２へ移動した状態を示している。領域間の移動は、矢印ボタン１９３、１９４を用いて行う。「次のステップへ」ボタン１９５を選択することにより、検査領域の再設定指示受付画面へ遷移する。   FIG. 20 shows a state in which the identification information of the inspection target displayed in a list in the position correction target area 191 is moved to the correction target area 192 that is a position correction target. Movement between regions is performed using the arrow buttons 193 and 194. By selecting the “next step” button 195, the screen transits to an inspection area resetting instruction reception screen.

図２１は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の検査領域の再設定指示受付画面の例示図である。図２１では、位置補正対象領域１９１にリスト表示されている検査対象物の識別情報を選択し、表示されている検査対象物の画像を目視確認して、検査領域を設定し直す必要があると判断した場合には、調整ボタン１９３の選択を受け付ける。   FIG. 21 is a view showing an example of an inspection area resetting instruction reception screen of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. In FIG. 21, it is necessary to select the identification information of the inspection target displayed in the list in the position correction target area 191, visually check the image of the displayed inspection target, and reset the inspection area. If it is determined, selection of the adjustment button 193 is accepted.

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１が、位置補正の指示を受け付けたと判断した場合（ステップＳ１６０５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は、検査領域の再設定を受け付ける（ステップＳ１６０６）。図２２は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の検査領域の再設定画面の例示図である。   Returning to FIG. 16, when the CPU 21 of the image processing apparatus 2 determines that an instruction for position correction has been received (step S <b> 1605: YES), the CPU 21 receives resetting of the inspection area (step S <b> 1606). FIG. 22 is a view showing an example of an inspection area resetting screen of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention.

図２２では、検査対象物の画像に対して、例えば特徴部分に絞った新たな検査領域２１１を設定している。新たな検査領域２１１の設定を受け付けた場合、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、上述したエリアサーチ計測ツールを実行する（ステップＳ１６０７）。そして、再度表示されている検査対象物の画像を目視確認して、検査領域を設定し直す必要があると判断した場合には、調整ボタン１９３の選択を受け付ける。すなわちＣＰＵ２１は、処理をステップＳ１６０５へ戻して上述した処理を繰り返す。   In FIG. 22, for example, a new inspection area 211 focused on a characteristic portion is set for the image of the inspection object. When the setting of the new inspection area 211 is received, the CPU 21 of the image processing apparatus 2 executes the above-described area search measurement tool (step S1607). When the image of the inspection object displayed again is visually confirmed and it is determined that the inspection area needs to be reset, selection of the adjustment button 193 is accepted. That is, the CPU 21 returns the processing to step S1605 and repeats the above-described processing.

図２３は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の検査領域のエリアサーチ実行後の状態を示す画面の例示図である。図２３に示すように、新たな検査領域２１１を設定したことで、エリアサーチの精度が高まり、放熱板の輪郭線として設定した検査領域が検査対象物に正しく追随していることが分かる。   FIG. 23 is a view showing an example of a screen showing a state after performing an area search of the inspection area of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 23, it can be seen that setting a new inspection area 211 increases the accuracy of area search, and the inspection area set as the contour line of the heat sink correctly follows the inspection object.

なお、補正対象領域１９２には、まだ検査領域が追随できていない画像が表示されており、補正対象領域１９２に画像がリスト表示されなくなるまで上述した処理を繰り返す。   It should be noted that an image for which the inspection area has not been followed is displayed in the correction target area 192, and the above-described processing is repeated until no image is displayed in the correction target area 192 as a list.

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１が、位置補正の指示を受け付けていないと判断した場合（ステップＳ１６０５：ＮＯ）、ＣＰＵ２１は、設定してある検査領域が検査対象物の画像に追随しているか否かの確認が不要又は完了していると判断して、受け付けた判定結果の変更に応じて、画像処理ツールの設定情報の更新を受け付ける（ステップＳ１６０８）。例えば、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ変更を受け付けた場合、設定情報として記憶してある、ある物理量の閾値を、不良品であるという判定結果となる値へと更新する。   Returning to FIG. 16, when the CPU 21 of the image processing apparatus 2 determines that the position correction instruction has not been received (step S <b> 1605: NO), the CPU 21 follows the image of the inspection object. It is determined that confirmation of whether or not the image processing is performed is unnecessary or completed, and an update of the setting information of the image processing tool is received according to the change in the received determination result (step S1608). For example, when a change is received from a determination result that is a non-defective product to a determination result that is a defective product, the threshold of a physical quantity stored as setting information is updated to a value that is a determination result that the product is defective. To do.

図２４は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の検査領域のエリアサーチ実行後の状態を示す画面の例示図である。図２４に示すように、設定情報表示領域２３１には、表示されている検査対象物の画像に設定されている検出条件が表示されており、随時更新を受け付けることができる。   FIG. 24 is a view showing an example of a screen showing a state after performing an area search of the inspection area of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 24, the setting information display area 231 displays detection conditions set in the displayed image of the inspection object, and can accept updates at any time.

例えば、図２４の画像表示領域１７０に表示されている検査対象物６は、不良品であると判定されている。図２４の画像を良品であると判定させるべく、パラメータとしての設定情報を更新する。例えば傷計測ツールでの計測結果表示領域２３０に、最大検出傷レベルが‘２９’であると表示されているので、設定情報に含まれる閾値である「傷レベル」は‘２９’より大きい値（図２４では‘１００’）に設定することにより、不良品であると判定されることはなくなる。   For example, the inspection object 6 displayed in the image display area 170 in FIG. 24 is determined to be a defective product. In order to determine that the image in FIG. 24 is non-defective, the setting information as a parameter is updated. For example, since the maximum detection flaw level is displayed as “29” in the measurement result display area 230 of the flaw measurement tool, the “scratch level” that is a threshold included in the setting information is a value greater than “29” ( In FIG. 24, by setting to “100”), it is not determined that the product is defective.

また、設定情報を更新することにより、不良品であると判定された検査対象物６を、良品であると判定結果を変更することができる。しかし、それに伴い、逆に良品であると判定されていた検査対象物６が不良品であると判定される場合も生じる。   Further, by updating the setting information, it is possible to change the determination result that the inspection object 6 determined to be defective is non-defective. However, there is a case where the inspection object 6 that has been determined to be a non-defective product is determined to be a defective product.

図２５は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の判定結果の変更を通知する画面の例示図である。図２５に示すように、「傷レベル」を‘１００’に設定することにより、良品であると判定結果を変更するべき検査対象物６はなくなっている。しかし、それまで不良品であると判定されていた検査対象物６が、逆に良品であると判定されるようになっている。図２５の例では良否判定が逆転している検査対象物６の画像が４つも生じたことを示している。   FIG. 25 is a view showing an example of a screen for notifying a change in the determination result of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 25, by setting the “scratch level” to “100”, there is no inspection object 6 whose determination result should be changed to be non-defective. However, the inspection object 6 that has been determined to be defective until then is determined to be non-defective. In the example of FIG. 25, it is shown that four images of the inspection object 6 with the pass / fail judgment reversed are generated.

この場合、画像処理装置２は、設定情報の更新がさらに必要である旨を示す通知画面２４１をポップアップ表示するとともに、不良品であるとの判定結果に変更するべき検査対象物６の画像の識別情報が、良品判定表示領域２４２に表示されている。   In this case, the image processing apparatus 2 pops up a notification screen 241 indicating that further updating of the setting information is necessary, and identifies the image of the inspection object 6 to be changed to a determination result that it is a defective product. Information is displayed in the non-defective product determination display area 242.

図２６は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の設定情報を更新する画面の例示図である。図２６に示すように、「傷レベル」を‘１００’に設定することにより、本来検出するべき汚れまで検出されることがなく、不良品であるにもかかわらず良品であると判定されている。そこで、設定情報表示領域２３１において「傷レベル」を‘３０’まで下げて設定することにより、汚れ２５１も検出することができ、不良品を不良品として正しく判定することができる。   FIG. 26 is a view showing an example of a screen for updating the setting information of the image processing apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 26, by setting the “scratch level” to “100”, it is determined that the dirt that should be detected is not detected, and that it is a non-defective product even though it is a defective product. . Therefore, by setting the “scratch level” to “30” in the setting information display area 231, the dirt 251 can also be detected, and a defective product can be correctly determined as a defective product.

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、更新を受け付けた設定情報を用いて、検査対象物を一括して良否を再判定する（ステップＳ１６０９）。これにより、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ変更を受け付けた検査対象物６だけでなく、判定結果が正しいと判断された検査対象物６についても、更新された設定情報で良否を再判定することができ、正しい判定結果が維持されているか否かを確認することができる。   Returning to FIG. 16, the CPU 21 of the image processing apparatus 2 re-determines whether the inspection objects are good or bad collectively using the setting information that has received the update (step S <b> 1609). Thereby, the determination result that is a non-defective product is changed not only to the determination result that is a non-defective product, or the determination result that is a non-defective product to the determination result that is non-defective. The inspection object 6 determined to have the correct result can be re-determined based on the updated setting information, and it can be confirmed whether or not the correct determination result is maintained.

傷計測ツールにおける判定結果の調整が終了した場合、他の画像処理ツール、すなわち、エリア計測ツール、エッジピッチ計測ツールについても、同様の判定結果の変更及び設定情報の更新を行う。これにより、すべての画像処理ツールに関する設定情報を、実際に作業者が良品／不良品を判定する感覚と同様の判定結果を得ることができる値に調整することができる。   When the adjustment of the determination result in the flaw measurement tool is completed, the same determination result change and setting information update are performed for the other image processing tools, that is, the area measurement tool and the edge pitch measurement tool. Thereby, the setting information regarding all the image processing tools can be adjusted to a value that can obtain a determination result similar to the sense that an operator actually determines a non-defective product / defective product.

より具体的には、エリア計測ツールでは、ＮＧ品であると判定された画像を、ＯＫ品であるとの判定結果に変更し、今後ＯＫ品であると判定するように調整可能なパラメータとしての設定条件は、例えば二値化処理後の検出対象の色を白とするか黒とするかを選択する「検出色」、検出色にて検出されたエリアの「面積」に対する閾値としての上限値及び下限値等であり、これらのパラメータを調整することになる。また、エッジピッチ計測ツールでは、ＮＧ品であると判定された画像を、ＯＫ品であるとの判定結果に変更し、今後ＯＫ品であると判定するように調整可能なパラメータとしての設定条件は、例えば「エッジの感度」、「エッジフィルタ幅」、「エッジ強度の上限値ならびに下限値」等である。   More specifically, in the area measurement tool, the image determined to be an NG product is changed to a determination result that the product is an OK product, and is used as an adjustable parameter so as to be determined to be an OK product in the future. The setting condition is, for example, “detection color” for selecting whether the detection target color after binarization processing is white or black, and an upper limit value as a threshold for the “area” of the area detected by the detection color The lower limit value and the like, and these parameters are adjusted. In addition, the edge pitch measurement tool changes an image determined to be an NG product to a determination result that it is an OK product, and setting conditions as parameters that can be adjusted to be determined to be an OK product in the future are as follows. For example, “edge sensitivity”, “edge filter width”, “upper limit value and lower limit value of edge strength”, and the like.

以上のように本実施の形態によれば、判定結果が誤っている場合に、判定結果の変更を受け付けると同時に設定情報が更新され、更新された設定情報に基づいて一括して良否が再判定されるので、設定情報の詳細を知らなくても良品を良品と、不良品を不良品と、正しく判定するための設定情報を高い精度で定めることができ、経年変化、環境の変化等も考慮した設定情報に基づいて良品検査を行うことが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, when the determination result is incorrect, the setting information is updated at the same time as the change of the determination result is accepted, and the pass / fail is re-determined based on the updated setting information. Therefore, without knowing the details of the setting information, it is possible to accurately determine the setting information for correctly determining whether a non-defective product is a non-defective product and a defective product is a defective product, taking into account aging and environmental changes. The non-defective product inspection can be performed based on the set information.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変更、改良等が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and improvements can be made within the scope of the present invention.

１ 撮像装置（撮像部）
２ 画像処理装置
４ 照明装置
６ 検査対象物
４０１ 判定結果記憶部
４０２ 画像処理ツール指定受付部
４０３ 判定結果変更部
４０４ 位置抽出部
４０５ 位置補正部
４０６ 確認結果受付部
４０７ 検査領域再設定部
４０８ 設定情報更新部
４０９ 再判定部 1 Imaging device (imaging unit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 Image processing apparatus 4 Illuminating device 6 Inspection object 401 Determination result memory | storage part 402 Image processing tool designation | designated reception part 403 Determination result change part 404 Position extraction part 405 Position correction part 406 Confirmation result reception part 407 Inspection area reset part 408 Setting information Update unit 409 Redetermination unit

Claims (12)

検査対象物を撮像する撮像部と接続され、
該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置において、
各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、
所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付ける画像処理ツール選択受付部と、
選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部と、
選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶する判定結果記憶部と、
選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示する表示部と、
選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールの指定を受け付ける画像処理ツール指定受付部と、
指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付ける判定結果変更部と、
前記判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像と基準画像とを比較して、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置のずれを抽出する位置抽出部と、
抽出された位置のずれがなくなるように、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置を補正する位置補正部と、
位置を補正した後の前記検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従しているか否かの確認結果を受け付ける確認結果受付部と、
前記検査領域が追従しているとの確認結果を受け付けた場合、変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付ける設定情報更新部と、
前記パラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定する再判定部と
を備えることを特徴とする画像処理装置。 Connected to an imaging unit for imaging the inspection object;
In an image processing apparatus that performs image processing on an image of the inspection object imaged by the imaging unit and determines pass / fail of the inspection object based on a result of the image processing;
It has multiple image processing tools that execute various image processing,
An image processing tool selection receiving unit that receives a selection of a plurality of image processing tools from the plurality of image processing tools based on desired inspection content;
For each image processing tool that has received a selection, a parameter setting reception unit that receives parameter settings;
Using said plurality of image processing tools selection of which is accepted, and a parameter which has received the setting for each of the image processing tool accepts the selection, the image of a plurality of said inspection object, receives the selection A determination result storage unit that stores a determination result regarding whether or not each image processing tool is a non-defective product in association with an image of the inspection object;
Using said plurality of image processing tools selection of which is accepted, and a parameter which has received the setting for each of the image processing tool accepts the selection, the image of a plurality of said inspection object, receives the selection a determination result as to whether a non-defective by the image processing tools, and a display unit for displaying for each of the image processing tool accepts the selection,
Among the plurality of image processing tools that have received a selection, an image processing tool designation receiving unit that receives designation of the image processing tool;
The determination result stored in association with the image processing tool that has received the designation is displayed, and the image of the inspection object that is associated with the determination result that has been selected is displayed and displayed. A determination result changing unit that accepts a change in the determination result related to whether or not the image is a non-defective product based on the image processing tool that has received the designation when the selection of the determination result of the image of the inspection object is received as a change target ;
And the determination result of comparing the image with the reference image of the inspection object which has received the change, the position extraction unit for extracting the deviation of the position of the image of the object to be examined of accepting the change determination result,
As displacement of the extracted position is eliminated, and a position correcting unit for correcting the position of the image of the object to be examined of accepting the changes the determination result,
Based on the image of the inspection object after correcting the position, a confirmation result receiving unit that receives a confirmation result as to whether or not the inspection region of the image processing tool that has received the designation follows,
If the inspection region has accepted the confirmation result that follows, in accordance with the determination result of accepting the changes, and setting information update unit for accepting updating of the corresponding parameter is accepted designation the image processing tool,
A re-determination unit that re-determines the quality of the plurality of inspection objects at once using the image processing tool that has received selection, including the image processing tool that has received the update of the parameter. An image processing apparatus. 前記確認結果受付部で、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従していないとの確認結果を受け付けた場合、検査領域の再設定を受け付ける検査領域再設定部を備えることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。   When the confirmation result receiving unit receives a confirmation result that the inspection area of the image processing tool that has received the designation does not follow, an inspection region resetting unit that accepts resetting of the inspection region is provided. The image processing apparatus according to claim 1. 前記画像処理ツール指定受付部は、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理装置。   The image processing apparatus according to claim 1, wherein the image processing tool designation receiving unit preferentially accepts designation of an image processing tool that has a lot of results determined to be defective. 前記判定結果変更部は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示するようにしてあり、
検査対象物を識別する情報を異なる領域へ移動する操作を受け付けるようにしてあることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の画像処理装置。 The determination result changing unit is configured to display information for identifying the inspection object determined to be non-defective and information for identifying the inspection object determined to be defective in separate areas,
The image processing apparatus according to claim 1, wherein an operation for moving information for identifying an inspection target to a different area is received. 判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示するようにしてあり、
前記判定結果変更部は、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更するようにしてあることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の画像処理装置。 Judgment results are classified into non-defective products and defective products and displayed as a list.
5. The determination result changing unit is configured to change the determination result displayed in a list from a non-defective product to a non-defective product and from a defective product to a non-defective product, respectively. 6. Image processing apparatus. リスト表示された判定結果の選択を受け付け、
選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するようにしてあることを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。 Accept selection of judgment results displayed in list,
The image processing apparatus according to claim 5, wherein an image corresponding to the determination result of accepting the selection is displayed. 検査対象物を撮像する撮像部と接続され、
該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置で実行することが可能な画像処理方法において、
前記画像処理装置は、
各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、
所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付けるステップと、
選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるステップと、
選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶するステップと、
選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示するステップと、
選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールの指定を受け付けるステップと、
指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付けるステップと、
前記判定結果の変更を受け付けた検査対象物の画像と基準画像とを比較して、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置のずれを抽出するステップと、
抽出された位置のずれがなくなるように、前記判定結果の変更を受け付けた前記検査対象物の画像の位置を補正するステップと、
位置を補正した後の前記検査対象物の画像に基づいて、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従しているか否かの確認結果を受け付けるステップと、
前記検査領域が追従しているとの確認結果を受け付けた場合、変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付けるステップと、
前記パラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定するステップと
を含むことを特徴とする画像処理方法。 Connected to an imaging unit for imaging the inspection object;
In an image processing method that can be executed by an image processing apparatus that performs image processing on an image of the inspection object imaged by the imaging unit and determines the quality of the inspection object based on a result of the image processing ,
The image processing apparatus includes:
It has multiple image processing tools that execute various image processing,
Receiving a selection of a plurality of image processing tools from the plurality of image processing tools based on the desired inspection content;
For each of the image processing tool accepts the selection, the step of accepting the setting of the parameters,
Using said plurality of image processing tools selection of which is accepted, and a parameter which has received the setting for each of the image processing tool accepts the selection, the image of a plurality of said inspection object, receives the selection Storing a determination result on whether or not each image processing tool is a non-defective product in association with an image of the inspection object;
Using said plurality of image processing tools selection of which is accepted, and a parameter which has received the setting for each of the image processing tool accepts the selection, the image of a plurality of said inspection object, receives the selection a determination result as to whether a non-defective by the image processing tools, and displaying for each of the image processing tool accepts the selection,
Receiving the designation of the image processing tool from the plurality of image processing tools that have received selection;
The determination result stored in association with the image processing tool that has received the designation is displayed, and the image of the inspection object that is associated with the determination result that has been selected is displayed and displayed. A step of accepting a change in the determination result relating to whether or not it is a non-defective product based on an image processing tool that has received a designation when the selection of the determination result of the image of the inspection object is accepted as a change target ;
Extracting the determination result of comparing the image with the reference image of the inspection object accepting the changes, displacement of the position of the image of the object to be examined of accepting the changes the determination result,
As displacement of the extracted position is eliminated, and correcting the position of the image of the object to be examined of accepting the changes the determination result,
Based on the image of the inspection object after correcting the position, receiving a confirmation result as to whether or not the inspection area of the image processing tool that has received the designation follows,
If the inspection region has accepted the confirmation result that follows, in accordance with the determination result of accepting the changes, and the step of accepting the update of the corresponding parameters is accepted designation the image processing tool,
And re-determining pass / fail of a plurality of images of the inspection object at once using the image processing tool that has received a selection, including the image processing tool that has received the update of the parameter. An image processing method. 前記画像処理装置は、指定を受け付けた画像処理ツールの検査領域が追従していないとの確認結果を受け付けた場合、検査領域の再設定を受け付けることを特徴とする請求項７に記載の画像処理方法。 The image processing apparatus according to claim 7, wherein the image processing apparatus accepts resetting of the inspection area when receiving a confirmation result that the inspection area of the image processing tool that has received the designation does not follow. Method. 前記画像処理装置は、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることを特徴とする請求項７又は８に記載の画像処理方法。 The image processing method according to claim 7 , wherein the image processing apparatus receives designation by giving priority to an image processing tool having a large number of results determined to be defective. 前記画像処理装置は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示するようにしてあり、
検査対象物を識別する情報を異なる領域へ移動する操作を受け付けるようにしてあることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載の画像処理方法。 The image processing apparatus is configured to display information for identifying an inspection object determined as a non-defective product and information for identifying an inspection object determined as a defective product in separate areas,
The image processing method according to claim 7, wherein an operation for moving information for identifying an inspection object to a different area is received. 前記画像処理装置は、判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示するようにしてあり、
リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更するようにしてあることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の画像処理方法。 The image processing device is configured to classify the determination result into a non-defective product and a defective product and display the list ,
The image processing method according to any one of claims 7 to 10, characterized in that the determination result of the list displayed to the defective product from good, to good from the bad products are to be changed, respectively. 前記画像処理装置は、リスト表示された判定結果の選択を受け付け、
選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するようにしてあることを特徴とする請求項１１に記載の画像処理方法。 The image processing apparatus accepts selection of a determination result displayed in a list,
12. The image processing method according to claim 11, wherein an image corresponding to the determination result of accepting the selection is displayed.
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