JP5955763B2

JP5955763B2 - Valve structure

Info

Publication number: JP5955763B2
Application number: JP2012281123A
Authority: JP
Inventors: 清隆古田
Original assignee: Eagle Industry Co Ltd
Current assignee: Eagle Industry Co Ltd
Priority date: 2012-12-25
Filing date: 2012-12-25
Publication date: 2016-07-20
Anticipated expiration: 2032-12-25
Also published as: JP2014126063A

Description

本発明は、弁構造に関するものである。 The present invention relates to a valve structure.

従来、流量や流量に伴う流体圧力の制御を行うために、ソレノイドバルブが広く利用されている。また、ソレノイドバルブにおいては、コイルへの通電量と流量を比例させるリニアソレノイドを用いたものが知られている。図７〜図９を参照して、リニアソレノイドを用いた従来例に係るソレノイドバルブについて説明する。図７は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が閉じた状態を示す模式的断面図である。図８は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が開いた状態を示す模式的断面図である。図９は従来例に係るソレノイドバルブにおけるコイルへの通電量と流量との関係を示すグラフである。 Conventionally, solenoid valves have been widely used to control the flow rate and the fluid pressure associated with the flow rate. As the solenoid valve, a solenoid valve using a linear solenoid that makes the amount of current flowing to the coil proportional to the flow rate is known. A solenoid valve according to a conventional example using a linear solenoid will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the valve in the vicinity of the valve portion is closed in the solenoid valve according to the conventional example. FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the valve in the vicinity of the valve portion is opened in the solenoid valve according to the conventional example. FIG. 9 is a graph showing the relationship between the energization amount to the coil and the flow rate in the solenoid valve according to the conventional example.

この従来例に係るソレノイドバルブにおいては、コイルへの通電量に応じて往復移動するロッド１００の先端面１１０の中央から更に先端方向に突出する弁体部１２０がロッド１００に一体的に設けられている。そして、この弁体部１２０の外周にゴム製のＯリング３００が装着されている。また、弁座２００には、弁孔２１０が設けられている。 In the solenoid valve according to this conventional example, a valve body 120 that protrudes further in the distal direction from the center of the distal end surface 110 of the rod 100 that reciprocates according to the energization amount to the coil is provided integrally with the rod 100. Yes. A rubber O-ring 300 is attached to the outer periphery of the valve body 120. The valve seat 200 is provided with a valve hole 210.

以上の構成により、コイルに対して通電されていない状態では、ロッド１００の弁体部１２０が弁座２００の弁孔２１０内に入り込み、Ｏリング３００が、ロッド１００の先端面１１０と弁座２００の座面２２０との間に挟まれた状態となっている。これにより、弁孔２１０は弁体部１２０とＯリング３００によって塞がれた状態となる（図７参照）。そして、コイルに対して通電されると、ロッド１００の先端面１１０が座面２２０から離れる方向にロッド１００が移動していく。これにより、弁孔２１０から弁体部１２０が抜け、かつＯリング３００が座面２２０から離れるため、弁孔２１０が開いた状態となる（図８参照）。 With the above configuration, when the coil is not energized, the valve body 120 of the rod 100 enters the valve hole 210 of the valve seat 200, and the O-ring 300 is connected to the distal end surface 110 of the rod 100 and the valve seat 200. It is the state pinched | interposed between the seating surfaces 220 of this. As a result, the valve hole 210 is closed by the valve body 120 and the O-ring 300 (see FIG. 7). When the coil is energized, the rod 100 moves in a direction in which the tip surface 110 of the rod 100 is separated from the seating surface 220. As a result, the valve body portion 120 is removed from the valve hole 210 and the O-ring 300 is separated from the seating surface 220, so that the valve hole 210 is opened (see FIG. 8).

ここで、ゴム製のＯリング３００は、粘着性を有している。また、上記従来例においては、Ｏリング３００は、ロッド１００の先端面１１０と弁座２００の座面２２０との間に挟まれた状態となっている。そのため、弁が閉じた状態から、ロッド１００が移動し始めた直後においては、Ｏリング３００は、座面２２０との粘着により、軸線方向に少し伸びた後に、座面２２０から離れて元の形状に戻るように変形する。なお、図８中、点線で示すＯリング３００ａは、座面２２０との粘着により、軸線方向に伸びた様子を示している。そのため、図９中のグラフのＸ部に示すように、通電開始直後において、流体の流量が一瞬高くなるといった現象が生じてしまう。なお、図９中、Ｌ１は非通電の状態から電流値が増加していく際の様子を示し、Ｌ２は電流値が高い状態から電流値が低減していき非通電になるまでの様子を示している。このグラフから分かるように、同じ電流値でもＬ１とＬ２では流量が異なっている。この流量の差はヒステリシスと呼ばれており、このヒステリシスが大きいほど、ある通電量に対する流量の誤差が大きくなってしまうことが分かる。このヒステリシスが生じる原因の一つとして、上述したＯリング３００の粘着の問題があると考えられている。 Here, the rubber O-ring 300 has adhesiveness. In the conventional example, the O-ring 300 is sandwiched between the tip surface 110 of the rod 100 and the seat surface 220 of the valve seat 200. Therefore, immediately after the rod 100 starts to move from the state in which the valve is closed, the O-ring 300 extends slightly in the axial direction due to adhesion with the seating surface 220 and then moves away from the seating surface 220 to the original shape. To return to. In FIG. 8, an O-ring 300 a indicated by a dotted line shows a state in which the O-ring 300 a extends in the axial direction due to adhesion with the seating surface 220. Therefore, as shown in the X part of the graph in FIG. 9, a phenomenon occurs in which the fluid flow rate increases momentarily immediately after the start of energization. In FIG. 9, L1 shows a state when the current value increases from a non-energized state, and L2 shows a state until the current value decreases from a high current value until it becomes non-energized. ing. As can be seen from this graph, the flow rate is different between L1 and L2 even at the same current value. This difference in flow rate is called hysteresis, and it can be seen that the greater this hysteresis, the greater the error in flow rate for a given energization amount. As one of the causes of this hysteresis, it is considered that there is a problem of sticking of the O-ring 300 described above.

このように、Ｏリング３００が座面２００に対して粘着してしまうことで変形時のふるまいが安定しない（一定でない）ことが、通電開始直後（弁が開き始めた直後）において流量制御を不安定にし、また、ヒステリシスを大きくしてしまい、流量制御の精度を低下させる原因となっている。なお、上記の説明においては、ソレノイドバルブにおける弁構造についての問題を説明したが、駆動源がソレノイド以外のもの（空圧アクチュエータ、
油圧アクチュエータ、圧電アクチュエータなど）における弁構造であっても、同様の問題が起こり得る。 As described above, since the O-ring 300 sticks to the seating surface 200, the behavior at the time of deformation is not stable (not constant). It stabilizes and increases the hysteresis, which causes the flow rate control accuracy to deteriorate. In the above description, the problem about the valve structure in the solenoid valve has been described. However, the drive source is other than the solenoid (pneumatic actuator,
Similar problems can occur even with valve structures in hydraulic actuators, piezoelectric actuators, etc.).

特開２００６−２２６３５２号公報JP 2006-226352 A 実公平３−２９６４５号公報Japanese Utility Model Publication 3-29645

本発明の目的は、流量制御の精度の向上を図った弁構造を提供することにある。 The objective of this invention is providing the valve structure which aimed at the improvement of the precision of flow control.

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。 The present invention employs the following means in order to solve the above problems.

すなわち、本発明の弁構造は、
往復動用のアクチュエータによって往復移動するように構成された往復動部材の先端に設けられる弁体と、
該弁体の弁部が座面に着座することで弁孔が閉じられ、該弁部が座面から離れることで弁孔が開かれる弁座と、
を備える弁構造において、
前記弁体は、第１弁部と、前記第１弁部よりも前記弁座から離れた位置から前記弁座に向かって傘状に拡がるゴム製の第２弁部と、を有し、
前記弁座は、前記第１弁部が着座する第１座面と、前記第２弁部に対向して前記第１座面を囲むように設けられるとともに、溝が前記第１座面から所定の距離を空けて形成された環状の第２座面と、を有し、
前記往復動部材が前記座面側に移動している状態では、前記第１弁部が前記第１座面に着座するともに、前記第２弁部が撓んだ状態で前記第２弁部における前記第２座面との対向面側が前記第２座面に着座し、径方向において、前記第１座面と前記溝が設けられている領域との間の環状領域がシール領域となり、
前記往復動部材の前記座面から離れる方向への移動に伴って前記第１弁部が前記第１座面から離れるとともに、第２弁部が前記第２座面から離れるように構成されていることを特徴とする。 That is, the valve structure of the present invention is
A valve body provided at the tip of a reciprocating member configured to reciprocate by a reciprocating actuator;
A valve seat that is closed when the valve portion of the valve body is seated on the seat surface, and is opened when the valve portion is separated from the seat surface; and
In a valve structure comprising:
The valve body includes a first valve portion, and a rubber second valve portion that expands in an umbrella shape toward the valve seat from a position farther from the valve seat than the first valve portion,
The valve seat is provided so as to surround the first seat surface facing the second valve portion and a first seat surface on which the first valve portion is seated, and a groove is predetermined from the first seat surface. An annular second seating surface formed at a distance of
In the state in which the reciprocating member is moved to the seat surface side, the first valve portion is seated on the first seat surface, and the second valve portion is bent in the second valve portion. The opposite surface side of the second seating surface is seated on the second seating surface, and in the radial direction, an annular region between the first seating surface and the region where the groove is provided is a seal region,
As the reciprocating member moves in a direction away from the seat surface, the first valve portion is separated from the first seat surface, and the second valve portion is separated from the second seat surface. It is characterized by that.

本発明によれば、弁が閉じた状態から、弁体の第１弁部及び第２弁部が弁座の第１座面及び第２座面からそれぞれ離れる方向に往復動部材が移動していくとき、撓んだ状態で第２座面に着座していた第２弁部が元の形状に戻るように変形しつつ、第２座面から離れていく。ここで、本発明における第２弁部は、第１弁部よりも弁座から離れた位置から弁座に向かって傘状に拡がる構成が採用されている。従って、従来例のＯリングの場合のように両側から圧縮された状態から座面から離れるのに比べて、本発明における弁体の第２弁部の方が座面から離れ易い。また、本発明においては、第２座面には、第１座面から所定の距離を空けて溝が形成されている。従って、第２弁部が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、第２弁部が第２座面から離れる前の段階から溝を通って流体が流れていく。以上のことから、弁が開き始めた直後から流体制御を安定的に行うことが可能となる。また、弁部が座面から離れ易いことからヒステリシスによる流量制御の誤差も少なくすることができる。 According to the present invention, when the valve is closed, the reciprocating member moves in a direction in which the first valve portion and the second valve portion of the valve body are separated from the first seat surface and the second seat surface of the valve seat, respectively. When going, the second valve portion seated on the second seat surface in a bent state is deformed so as to return to the original shape, and away from the second seat surface. Here, the 2nd valve part in this invention employ | adopted the structure which spreads in an umbrella shape toward the valve seat from the position away from the valve seat rather than the 1st valve part. Accordingly, the second valve portion of the valve body according to the present invention is more easily separated from the seat surface than when it is separated from the seat surface from the state compressed from both sides as in the case of the conventional O-ring. In the present invention, a groove is formed in the second seat surface at a predetermined distance from the first seat surface. Accordingly, in the process of returning from the bent state of the second valve portion to the original shape, the fluid flows through the groove from the stage before the second valve portion leaves the second seat surface. From the above, it is possible to stably perform fluid control immediately after the valve starts to open. Further, since the valve portion is easily separated from the seat surface, an error in flow rate control due to hysteresis can be reduced.

また、前記第１座面は、前記弁孔の内周面であり、
前記第１弁部は、前記第１座面に対向する着座面を有するとともに該着座面よりも先端側が先端に向かうほど先細となるテーパ面になっているとよい。 The first seating surface is an inner peripheral surface of the valve hole,
The first valve portion may have a seating surface that faces the first seating surface and a tapered surface that tapers from the seating surface toward the tip.

これにより、弁体が往復移動する際の弁座に対する中心軸線の位置ずれを抑制できる。従って、弁体の第２弁部が第２座面に着座する位置の精度を高めることができる。また、第１弁部の着座面より先端側がテーパ面になっていることにより、第１弁部が第１座面から離れてからの開弁度合の変化がなだらかとなり、流量の変化がなだらかとなる。 Thereby, the position shift of the central axis with respect to the valve seat when the valve body reciprocates can be suppressed. Therefore, the accuracy of the position where the second valve portion of the valve body is seated on the second seat surface can be increased. In addition, since the tip side of the seating surface of the first valve portion is a tapered surface, the change in the degree of valve opening after the first valve portion is separated from the first seating surface becomes gentle, and the change in flow rate becomes gentle. Become.

以上説明したように、本発明によれば、流量制御の精度の向上を図ることができる。 As described above, according to the present invention, the accuracy of flow rate control can be improved.

図１は本発明の実施例に係るソレノイドバルブの模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a solenoid valve according to an embodiment of the present invention. 図２は図１においてバルブ付近を拡大して示す図である。FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the valve in FIG. 図３は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が閉じた状態を示す図である。FIG. 3 is a view showing a state where the valve in the vicinity of the valve portion is closed in the solenoid valve according to the embodiment of the present invention. 図４は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における第２弁部及び第２座面が開弁した状態を示す図である。FIG. 4 is a view showing a state in which the second valve portion and the second seat surface in the vicinity of the valve portion are opened in the solenoid valve according to the embodiment of the present invention. 図５は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が完全に開いた状態を示す図である。FIG. 5 is a view showing a state where the valve in the vicinity of the valve portion is completely opened in the solenoid valve according to the embodiment of the present invention. 図６は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおける第２座面の溝の断面形状を示す模式的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the cross-sectional shape of the groove of the second seat surface in the solenoid valve according to the embodiment of the present invention. 図７は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が閉じた状態を示す模式的断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the valve in the vicinity of the valve portion is closed in the solenoid valve according to the conventional example. 図８は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が開いた状態を示す模式的断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the valve in the vicinity of the valve portion is opened in the solenoid valve according to the conventional example. 図９は従来例に係るソレノイドバルブにおけるコイルへの通電量と流量との関係を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the relationship between the energization amount to the coil and the flow rate in the solenoid valve according to the conventional example.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。なお、以下の説明においては、弁構造が適用される装置の一例として、ソレノイドバルブの場合を例にして説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. . In the following description, a solenoid valve will be described as an example of an apparatus to which the valve structure is applied.

（実施例）
図１〜図６を参照して、本発明の実施例に係るソレノイドバルブについて説明する。 (Example)
A solenoid valve according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

＜ソレノイドバルブの全体構成＞
図１を参照して、本発明の実施例に係るソレノイドバルブの全体構成を説明する。ソレノイドバルブＳＶは、往復動用のアクチュエータであるソレノイド部Ｓと、弁構造としてのバルブ部Ｖと、これらソレノイド部Ｓとバルブ部Ｖを構成する各種部材を収容するハウジング部Ｈとから構成される。 <Overall configuration of solenoid valve>
With reference to FIG. 1, the whole structure of the solenoid valve based on the Example of this invention is demonstrated. The solenoid valve SV is composed of a solenoid part S that is an actuator for reciprocating movement, a valve part V as a valve structure, and a housing part H that accommodates the solenoid part S and various members constituting the valve part V.

ソレノイド部Ｓは、ボビン１１と、ボビン１１に巻かれ、通電により磁界を発生するコイル１２と、コイル１２によって発生した磁界により磁気回路が形成されることでセンターポスト１４に磁気的に吸引される往復動部材としてのプランジャ１３とを備えている。また、ソレノイド部Ｓは、上記の磁気回路を形成するべく、いずれも磁性部材からなる一対のプレート１５ａ，１５ｂ及びケース１５ｃも備えている。また、ソレノイド部Ｓは、プランジャ１３をセンターポスト１４から離れる方向に付勢するスプリング１６ａと、このスプリング１６ａを受けるスプリング受け１６ｂと、スプリング受け１６ｂの位置調整
を行うアジャストスクリュ１６ｃとを備えている。また、ソレノイド部Ｓは、コイル１２に電気的に接続された端子１７も備えている。更に、ソレノイド部Ｓは、プランジャ１３の往復移動において弁を閉じる際のプランジャ１３のストロークの終端位置を画定するためのストッパー５０を備えている。 The solenoid part S is magnetically attracted to the center post 14 by forming a magnetic circuit by the bobbin 11, the coil 12 wound around the bobbin 11 and generating a magnetic field by energization, and the magnetic field generated by the coil 12. And a plunger 13 as a reciprocating member. The solenoid part S also includes a pair of plates 15a and 15b and a case 15c, both of which are made of a magnetic member, so as to form the above magnetic circuit. The solenoid part S includes a spring 16a that urges the plunger 13 away from the center post 14, a spring receiver 16b that receives the spring 16a, and an adjustment screw 16c that adjusts the position of the spring receiver 16b. . The solenoid unit S also includes a terminal 17 that is electrically connected to the coil 12. Furthermore, the solenoid part S is provided with a stopper 50 for defining the end position of the stroke of the plunger 13 when the valve is closed in the reciprocating movement of the plunger 13.

ハウジング部Ｈは、ソレノイド部Ｓとバルブ部Ｖを構成する各種部材を収容するハウジング本体２１と、ハウジング本体２１に固定されるカバー２２と、ハウジング本体２１を補強する補強部材２３とから構成される。ハウジング本体２１には、元圧側から流体を流入させるための入力ポート部２１ａと、出力側（制御圧側）に流体を排出させるための出力ポート部２１ｂが設けられている。また、ハウジング本体２１には、外部電源からの電気供給を得るために電気的な接続を行うためのコネクタ部２１ｃも設けられている。 The housing portion H includes a housing main body 21 that houses various members constituting the solenoid portion S and the valve portion V, a cover 22 that is fixed to the housing main body 21, and a reinforcing member 23 that reinforces the housing main body 21. . The housing body 21 is provided with an input port portion 21a for allowing fluid to flow from the source pressure side and an output port portion 21b for discharging fluid to the output side (control pressure side). The housing body 21 is also provided with a connector portion 21c for making an electrical connection in order to obtain an electric supply from an external power source.

バルブ部Ｖは、プランジャ１３の先端に設けられる弁体３０と、弁体３０が着座したり離れたりすることで弁の開閉がなされる弁座４０とを備えている。また、バルブ部Ｖは、弁座４０の外周面とハウジング本体２１の内周面との間の隙間を封止するシールリング６０と、弁座４０を支持する支持部材７０とを備えている。 The valve portion V includes a valve body 30 provided at the tip of the plunger 13 and a valve seat 40 that opens and closes when the valve body 30 is seated or separated. Further, the valve portion V includes a seal ring 60 that seals a gap between the outer peripheral surface of the valve seat 40 and the inner peripheral surface of the housing body 21, and a support member 70 that supports the valve seat 40.

なお、上述したスプリング１６ａによる付勢力と、コイル１２への通電量による磁力とのバランスによって、所望の流量（又は流量に伴う流体圧力）の制御がなされるように、アジャストスクリュ１６ｃにより、スプリング受け１６ｂの位置の調整がなされる。 The adjustment screw 16c controls the spring receiving so that a desired flow rate (or fluid pressure associated with the flow rate) is controlled by the balance between the biasing force by the spring 16a and the magnetic force by the amount of current applied to the coil 12. The position of 16b is adjusted.

＜バルブ部（弁構造）＞
＜＜バルブ部の構成＞＞
特に、図２〜図５を参照して、バルブ部Ｖの構成について、より詳細に説明する。バルブ部Ｖは、上記の通り、弁体３０と、弁座４０とを備えている。 <Valve part (valve structure)>
<< Valve configuration >>
In particular, the configuration of the valve portion V will be described in more detail with reference to FIGS. As described above, the valve portion V includes the valve body 30 and the valve seat 40.

弁体３０は、軸部３０ａと、第１弁部３１と、第２弁部３２とを備えている。弁体３０は、おねじ部を有する軸部３０ａがプランジャ１３の先端に取り付けられた支持部材１３ａの凹部のめねじ部に螺合されることによって、プランジャ１３の先端に固定される。これにより、プランジャ１３が往復移動することにより、プランジャ１３と共に弁体３０も往復移動する。第１弁部３１は、軸に平行な周面である着座面３１ａと、着座面３１ａよりも先端側において先端に向かうほど先細となるように径が変化するテーパ面３１ｂと、を有している。第２弁部３２は、軸部３０ａの外周に固定される円筒部３２ａを有し、該円筒部３２ａから、すなわち、第１弁部３１よりも弁座４０から離れた位置から弁座４０に向かって傘状に拡がるように構成されている。第２弁部３２において弁座４０に対向する面が着座面３２ｂとなる。第２弁部３２は、ゴム製の部材であり、軸部３０ａに対して一体成形によって設けてもよいし、成形後に組み付けてもよい。弁体３０は、軸部３０ａ、第１弁部３１、第２弁部３２の各中心軸線が互いに一致するように構成されている。 The valve body 30 includes a shaft portion 30a, a first valve portion 31, and a second valve portion 32. The valve body 30 is fixed to the distal end of the plunger 13 by screwing a shaft portion 30 a having a male thread portion into a female thread portion of a concave portion of a support member 13 a attached to the distal end of the plunger 13. Thereby, when the plunger 13 reciprocates, the valve body 30 also reciprocates together with the plunger 13. The first valve portion 31 includes a seating surface 31a that is a circumferential surface parallel to the axis, and a tapered surface 31b whose diameter changes so as to taper toward the tip on the tip side from the seating surface 31a. Yes. The second valve portion 32 has a cylindrical portion 32a fixed to the outer periphery of the shaft portion 30a. From the cylindrical portion 32a, that is, from the position farther from the valve seat 40 than the first valve portion 31, the valve seat 40 is moved to the valve seat 40. It is configured to expand in an umbrella shape. A surface of the second valve portion 32 that faces the valve seat 40 is a seating surface 32b. The second valve portion 32 is a rubber member, and may be provided by integral molding with respect to the shaft portion 30a, or may be assembled after molding. The valve body 30 is configured such that the central axes of the shaft portion 30a, the first valve portion 31, and the second valve portion 32 coincide with each other.

弁座４０は環状の部材であり、その中央に貫通孔である弁孔４０ａが設けられている。この弁孔４０ａの中心軸線は、プランジャ１３や弁体３０の中心軸線と一致するように設けられている。弁座４０は、弁孔４０ａの内周面が、第１弁部３１の着座面３１ａが着座する第１座面４１となり、弁孔４０ａの周囲の環状の端面において弁体３０に対向する領域が、第２弁部３２の着座面３２ｂが着座する第２座面４２となる。第２座面４２には、弁孔４０ａ（第１座面４１）から所定の距離を空けかつ周方向に互いに間隔を空けて複数の溝４３が設けられている。溝４３は、弁孔４０ａを中心に放射状に延びるように設けられている。溝４３と弁孔４０ａとの間の距離は、第１弁部３１と第２弁部３２の開弁のタイミング等の仕様に応じて適宜設定される。 The valve seat 40 is an annular member, and a valve hole 40a that is a through hole is provided at the center thereof. The central axis of the valve hole 40 a is provided so as to coincide with the central axis of the plunger 13 and the valve body 30. In the valve seat 40, the inner peripheral surface of the valve hole 40a is a first seat surface 41 on which the seating surface 31a of the first valve portion 31 is seated, and the region facing the valve body 30 on the annular end surface around the valve hole 40a. However, the seating surface 32b of the second valve portion 32 becomes the second seating surface 42 on which the seating is performed. The second seat surface 42 is provided with a plurality of grooves 43 at a predetermined distance from the valve hole 40a (first seat surface 41) and spaced from each other in the circumferential direction. The groove 43 is provided so as to extend radially around the valve hole 40a. The distance between the groove 43 and the valve hole 40a is appropriately set according to specifications such as the opening timing of the first valve portion 31 and the second valve portion 32.

ストッパー５０は環状の部材であり、ソレノイド部Ｓのケース１５ｃの内周面のバルブ
部Ｖ側に取り付けられており、プランジャ１３のバルブ部Ｖ側の先端面１３ｂに当接することでプランジャ１３の移動を規制する規制面５０ａを有する。この規制面５０ａの位置によってプランジャ１３の閉弁時のストロークの終端位置が規定される。 The stopper 50 is an annular member, is attached to the valve portion V side of the inner peripheral surface of the case 15c of the solenoid portion S, and moves the plunger 13 by contacting the tip surface 13b of the plunger 13 on the valve portion V side. A regulating surface 50a for regulating The position of the restriction surface 50a defines the end position of the stroke when the plunger 13 is closed.

＜＜バルブ部のメカニズム＞＞
特に、図３〜図５を参照して、バルブ部Ｖのメカニズムについて説明する。図３（ａ）は、弁が閉じた状態におけるバルブ付近を拡大して示す模式的断面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡＡ断面図である。図４（ａ）は、弁体３０が移動して第２弁部３２と第２座面４２が開弁した状態におけるバルブ付近を拡大して示す模式的断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＢＢ断面図である。図５（ａ）は、弁体３０がさらに移動して弁が完全に開いた状態におけるバルブ付近を拡大して示す模式的断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＣＣ断面図である。 << Valve mechanism >>
In particular, the mechanism of the valve portion V will be described with reference to FIGS. FIG. 3A is an enlarged schematic cross-sectional view showing the vicinity of the valve in a state where the valve is closed, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along AA in FIG. FIG. 4A is a schematic cross-sectional view showing, in an enlarged manner, the vicinity of the valve in a state where the valve body 30 has moved and the second valve portion 32 and the second seating surface 42 have been opened, and FIG. These are BB sectional drawings of Drawing 4 (a). FIG. 5A is a schematic cross-sectional view showing an enlarged vicinity of the valve in a state where the valve body 30 is further moved and the valve is completely opened. FIG. 5B is a schematic cross-sectional view of FIG. It is CC sectional drawing.

図３（ａ）に示すように、ソレノイド部Ｓのコイル１２に対して通電されていない状態では、磁力は発生しておらず、スプリング１６ａによる付勢力によって、プランジャ１３は、センターポスト１４から離れる方向に移動し、ストッパー５０によって規制される位置で停止している。これにより、図３（ａ）に示すように、弁体３０における第１弁部３１及び第２弁部３２は弁座４０の第１座面４１及び第２座面４２にそれぞれ着座している。このとき、傘状の第２弁部３２は、撓んだ状態で、第２弁部３２における第２座面４２との対向面側が第２座面４２に対して着座する。これにより、弁が閉じた状態となる。 As shown in FIG. 3A, no magnetic force is generated when the coil 12 of the solenoid unit S is not energized, and the plunger 13 is separated from the center post 14 by the urging force of the spring 16a. It moves in the direction and stops at a position regulated by the stopper 50. Thereby, as shown in FIG. 3A, the first valve portion 31 and the second valve portion 32 of the valve body 30 are seated on the first seat surface 41 and the second seat surface 42 of the valve seat 40, respectively. . At this time, the umbrella-shaped second valve portion 32 is bent and the surface of the second valve portion 32 facing the second seat surface 42 is seated on the second seat surface 42. As a result, the valve is closed.

図３（ｂ）は弁が閉じた状態における第２座面４２と第２弁部３２との位置関係を示している。第２弁部３２が第２座面４２に着座した状態においては、第２弁部３２における第２座面４２との対向面側の面は、第２座面４２に設けられた複数の溝４３に対向する領域よりも内側の部分が第２座面４２に密着するように構成されている。これにより、第２弁部３２が第２座面４２に着座した状態においては、径方向において、第１座面４１が設けられている領域と複数の溝４３が設けられている領域との間の環状領域（図３（ｂ）中、シールラインＲの周辺領域）がシール領域となる。これにより、入力ポート部２１ａから出力ポート部２１ｂへと至る流路は、このシール領域によって遮断される。 FIG. 3B shows the positional relationship between the second seat surface 42 and the second valve portion 32 in a state where the valve is closed. In a state where the second valve portion 32 is seated on the second seat surface 42, the surface of the second valve portion 32 facing the second seat surface 42 has a plurality of grooves provided on the second seat surface 42. A portion inside the region facing 43 is in close contact with the second seat surface 42. Thereby, in the state where the second valve portion 32 is seated on the second seat surface 42, in the radial direction, between the region where the first seat surface 41 is provided and the region where the plurality of grooves 43 are provided. The annular region (the peripheral region of the seal line R in FIG. 3B) becomes the seal region. Thereby, the flow path from the input port portion 21a to the output port portion 21b is blocked by the seal region.

図４（ａ）に示すように、ソレノイド部Ｓのコイル１２に対する通電量を増加させるに従い、磁気吸引力が高まるため、スプリング１６ａによる付勢力に抗して、プランジャ１３はセンターポスト１４に向かって移動する。これに伴って、プランジャ１３の先端に設けられた弁体３０もセンターポスト１４に向かって移動するため、弁体３０における第２弁部３２は、中心側（弁孔４０ａに近い側）の領域から徐々に弁座４０の第２座面４２から離れ始める。そして、図４（ｂ）に示すように、第２座面４２の溝４３よりも内側に位置していたシールラインＲ（図３（ｂ））が徐々に拡径（外側に移動）し、溝４３と重なる位置までくると、溝４３を介して第２弁部３２と第２座面４２との間に隙間ができる。このとき、第１弁部３１の着座面３１ａは、第１座面４１から完全に離れていない。 As shown in FIG. 4A, the magnetic attractive force increases as the energization amount of the solenoid portion S to the coil 12 is increased. Therefore, the plunger 13 moves toward the center post 14 against the urging force of the spring 16a. Moving. Along with this, the valve body 30 provided at the tip of the plunger 13 also moves toward the center post 14, so that the second valve portion 32 of the valve body 30 is an area on the center side (side closer to the valve hole 40a). Gradually begins to move away from the second seating surface 42 of the valve seat 40. And as shown in FIG.4 (b), the seal line R (FIG.3 (b)) located inside the groove | channel 43 of the 2nd seat surface 42 is gradually expanded in diameter (it moves outside), When reaching a position overlapping the groove 43, a gap is formed between the second valve portion 32 and the second seat surface 42 via the groove 43. At this time, the seating surface 31 a of the first valve portion 31 is not completely separated from the first seating surface 41.

図５（ａ）に示すように、コイル１２に対する通電量をさらに増加させると、プランジャ１３がさらにセンターポスト１４に向かって移動し、弁体３０が弁座４０からさらに離れる。これに伴って、第２弁部３２が第２座面４２から離れ、シールラインＲが消滅するとともに（図５（ｂ））、第１弁部３１の着座面３１ａも第１座面４１から離れる。これにより、弁孔４０ａから弁体３０の外周面側に抜けていく流路が形成される（図５（ａ）中矢印Ａ参照）。従って、入力ポート部２１ａから流入された流体は、出力ポート部２１ｂから排出される。ここで、コイル１２への通電量に応じて、プランジャ１３の先端に設けられた弁体３０の位置が定まり、第１弁部３１と第１座面４１との隙間、第２弁部３２と第２座面４２との隙間の大きさがそれぞれ定まる。従って、コイル１２への通電量を制御することによって、出力ポート部２１ｂから排出される流体の流量や流体圧力を制御す
ることが可能となる。 As shown in FIG. 5A, when the energization amount for the coil 12 is further increased, the plunger 13 further moves toward the center post 14, and the valve body 30 further moves away from the valve seat 40. Accordingly, the second valve portion 32 is separated from the second seat surface 42, the seal line R disappears (FIG. 5 (b)), and the seating surface 31a of the first valve portion 31 is also separated from the first seat surface 41. Leave. Thereby, the flow path which goes out from the valve hole 40a to the outer peripheral surface side of the valve body 30 is formed (refer arrow A in FIG. 5A). Therefore, the fluid flowing in from the input port portion 21a is discharged from the output port portion 21b. Here, the position of the valve body 30 provided at the tip of the plunger 13 is determined according to the amount of current supplied to the coil 12, the gap between the first valve portion 31 and the first seat surface 41, the second valve portion 32, The size of the gap with the second seating surface 42 is determined. Therefore, by controlling the energization amount to the coil 12, the flow rate and fluid pressure of the fluid discharged from the output port portion 21b can be controlled.

＜本実施例に係るソレノイドバルブの優れた点＞
本実施例に係るソレノイドバルブＳＶによれば、コイル１２に対して通電されていない状態から通電が開始され、通電量が増加するに従い、弁体３０の第１弁部３１及び第２弁部３２が弁座４０の第１座面４１及び第２座面４２から離れる方向にプランジャ１３が移動していく。このとき、撓んだ状態で第２座面４２に着座していた第２弁部３２が元の形状に戻るように変形しつつ、第２座面４２から離れていく。 <Excellent point of solenoid valve according to this embodiment>
According to the solenoid valve SV according to the present embodiment, energization is started from a state in which the coil 12 is not energized, and the first valve portion 31 and the second valve portion 32 of the valve body 30 increase as the energization amount increases. The plunger 13 moves in a direction away from the first seat surface 41 and the second seat surface 42 of the valve seat 40. At this time, the second valve portion 32 seated on the second seating surface 42 in a bent state moves away from the second seating surface 42 while deforming so as to return to the original shape.

ここで、本実施例に係る第２弁部３２は、第１弁部３１よりも弁座４０から離れた位置から弁座４０の第２座面４２に向かって傘状に拡がる構成が採用されている。従って、従来例のＯリングの場合のように両側から圧縮された状態から座面から離れるのに比べて、本実施例に係る弁体３０の第２弁部３２の方が第２座面４２から離れ易い。また、本実施例においては、弁座４０の第２座面４２に第１座面から所定の距離を空けかつ周方向に互いに間隔を空けて複数の溝４３が形成されている。従って、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、第２弁部３２が第２座面４２から離れる前の段階から複数の溝４３を通って流体が流れていく。そして、第２弁部３２と第２座面４２との間が流通可能となってから、第１弁部３１が第１座面４１から離れる状態となる。以上のことから、通電開始直後（弁が開き始めた直後）から流体制御を安定的に行うことが可能となる。また、第２弁部３２が第２座面４２から離れ易いことからヒステリシスによる流量制御の誤差も少なくすることができる。また、従来例のＯリングの場合には、プランジャが往復移動する毎に粘着状態が異なってしまい、流量特性にバラツキが生じるのに対して、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶの場合には、そのような問題が解消され、流量特性を安定させることができる。 Here, the second valve portion 32 according to the present embodiment employs a configuration that expands in an umbrella shape toward the second seat surface 42 of the valve seat 40 from a position farther from the valve seat 40 than the first valve portion 31. ing. Accordingly, the second valve portion 32 of the valve body 30 according to the present embodiment is more likely to be located on the second seat surface 42 than when the seat member is separated from the seat surface from a state compressed from both sides as in the case of the conventional O-ring. Easy to leave. In the present embodiment, a plurality of grooves 43 are formed in the second seat surface 42 of the valve seat 40 at a predetermined distance from the first seat surface and spaced apart from each other in the circumferential direction. Therefore, the fluid flows through the plurality of grooves 43 from the stage before the second valve portion 32 leaves the second seat surface 42 in the process of returning from the bent state of the second valve portion 32 to the original shape. . Then, after the flow between the second valve portion 32 and the second seat surface 42 becomes possible, the first valve portion 31 is separated from the first seat surface 41. From the above, fluid control can be stably performed immediately after the start of energization (immediately after the valve starts to open). Further, since the second valve portion 32 is easily separated from the second seat surface 42, an error in flow rate control due to hysteresis can be reduced. In the case of the O-ring of the conventional example, the adhesion state changes every time the plunger reciprocates, and the flow characteristics vary. In the case of the solenoid valve SV according to the present embodiment, Such a problem is solved and the flow rate characteristic can be stabilized.

また、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶにおいては、プランジャ１３の移動に伴って弁体３０の第１弁部３１が弁座４０の弁孔４０ａに挿通され、軸に平行な周面である着座面３１ａが弁孔４０ａの内周面である第１座面４１に着座するように構成されている。これにより、弁体３０が往復移動する際の弁座４０に対する中心軸線の位置ずれを抑制できる。従って、弁体３０の第２弁部３２が第２座面４２に着座する位置の精度を高めることができる。また、第１弁部３１の着座面３１ａの先端側は先細となるテーパ面３１ｂとなっている。したがって、弁体３０の往復移動において第１弁部３１と弁孔４０ａとの間の流路面積は徐々に変化するため、第１弁部３１の弁孔４０ａへの挿通動作は滑らかに行われる。 In the solenoid valve SV according to the present embodiment, the first valve portion 31 of the valve body 30 is inserted into the valve hole 40a of the valve seat 40 as the plunger 13 moves, and the seat is a peripheral surface parallel to the axis. The surface 31a is configured to be seated on the first seat surface 41 which is the inner peripheral surface of the valve hole 40a. Thereby, the position shift of the central axis with respect to the valve seat 40 when the valve body 30 reciprocates can be suppressed. Therefore, the accuracy of the position where the second valve portion 32 of the valve body 30 is seated on the second seat surface 42 can be increased. Moreover, the front end side of the seating surface 31a of the 1st valve part 31 is the taper surface 31b which becomes tapered. Accordingly, since the flow passage area between the first valve portion 31 and the valve hole 40a gradually changes during the reciprocating movement of the valve body 30, the insertion operation of the first valve portion 31 into the valve hole 40a is performed smoothly. .

なお、第１弁部３１は、弁孔４０ａを完全に塞ぐ、すなわち、着座面３１ａが第１座面４１に完全に密着する構成でなくてよい。つまり、弁が塞がれた状態は、実質的には、第２弁部３２が第２座面４２に密着することにより形成されればよい。第１弁部３１は、閉弁動作時には、テーパ面３１ｂによって徐々に流量を絞り、着座面３１ａが第１座面４１に対向した状態において流量を最小限とする。第２弁部３２は、第１弁部３１と第１座面４１との間を流通する流量が最小限となってから、シールラインＲが溝４３よりも内側に移動する、すなわち、第２座面４２と完全に密着する状態となる。こうすることで、閉弁時における第２弁部３２の挙動を安定させることができる。また、第１弁部３１は、開弁動作時には、シールラインＲが溝４３よりも内側に位置している間は、着座面３１ａが第１座面４１と対向することで流量を最小限で維持し、第２弁部３２と第２座面４２との間が溝４３によって流通可能になってから、テーパ面３１ｂによって流量を徐々に増やしていく。すなわち、第１弁部３１が第１座面４１から離れてからの開弁度合の変化がなだらかとなり、流量の変化がなだらかとなる。こうすることで、開弁時に第２弁部３２に過度に入力ポート部２１からの流体圧力が加わることが抑制され、開弁動作を安定させることができる。 The first valve portion 31 may not be configured to completely close the valve hole 40a, that is, the seating surface 31a is in close contact with the first seating surface 41. That is, the state in which the valve is closed may be substantially formed by the second valve portion 32 being in close contact with the second seat surface 42. The first valve portion 31 gradually throttles the flow rate by the tapered surface 31b during the valve closing operation, and minimizes the flow rate in a state where the seating surface 31a faces the first seating surface 41. In the second valve portion 32, the seal line R moves inward from the groove 43 after the flow rate flowing between the first valve portion 31 and the first seat surface 41 is minimized. It will be in the state which contacts the seating surface 42 completely. By doing so, the behavior of the second valve portion 32 when the valve is closed can be stabilized. Further, during the valve opening operation, the first valve portion 31 minimizes the flow rate while the seating surface 31a faces the first seating surface 41 while the seal line R is positioned inside the groove 43. The flow rate is gradually increased by the tapered surface 31b after the groove 43 is able to flow between the second valve portion 32 and the second seat surface 42. That is, the change in the valve opening degree after the first valve portion 31 is separated from the first seat surface 41 becomes gentle, and the change in the flow rate becomes gentle. By doing so, it is possible to suppress the fluid pressure from the input port portion 21 from being excessively applied to the second valve portion 32 when the valve is opened, and to stabilize the valve opening operation.

また、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶにおいては、上記の通り、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、第２弁部３２が第２座面４２から離れる前の段階から複数の溝４３を通って流体が流れていく。つまり、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、溝４３の内側（弁孔４０ａに近い側）の部分から、流体が流れる流路の面積が徐々に広くなっていく。本実施例では、溝４３の形状を、図３〜図５に示すように、中心軸線方向に見た場合に、弁孔４０ａに向かって先細となるＶ字形状としている。また、溝３４の深さは、弁孔４０ａに近づくにつれて浅くなるように構成している。これにより、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、流体が流れる流路の面積が急に広くなってしまわないようにしている。なお、この溝４３の角度や長さなどの大きさや、数の設定によって、コイル１２への通電量に対する流量の変化をリニアにすることができ、かつ最大流量を調整することができる。また、溝４３の構成は種々の構成を採用することができる。溝４３の断面形状としては、例えば、図６に示すように、深さ方向に対して溝幅が変化しない略矩形形状（図６（ａ））、溝幅が深さ方向に対して徐々に狭くなる略三角形形状（図６（ｂ））や略半円形状（図６（ｃ））等が挙げられる。また、溝４３の開口形状としては、図３〜図５に示すような略三角形状に限られず、例えば、軸方向に溝幅が変化しない略矩形、溝幅の変化がなだらかな台形形状等が挙げられる。また、溝４３の数や配置も、図３〜図５に示すように、１２個を等配する構成に限られるものではない Further, in the solenoid valve SV according to the present embodiment, as described above, before the second valve portion 32 moves away from the second seat surface 42 in the process of returning from the bent state of the second valve portion 32 to the original shape. From this stage, the fluid flows through the plurality of grooves 43. That is, in the process of returning from the bent state of the second valve portion 32 to the original shape, the area of the flow path through which the fluid flows gradually increases from the inner side of the groove 43 (side closer to the valve hole 40a). Go. In this embodiment, as shown in FIGS. 3 to 5, the shape of the groove 43 is a V-shape that tapers toward the valve hole 40 a when viewed in the central axis direction. Further, the depth of the groove 34 is configured to become shallower as it approaches the valve hole 40a. As a result, the area of the flow path through which the fluid flows is prevented from suddenly expanding in the process of returning from the bent state of the second valve portion 32 to the original shape. Note that the change in the flow rate relative to the amount of current supplied to the coil 12 can be made linear and the maximum flow rate can be adjusted by setting the size and number of the groove 43 such as the angle and length. Various configurations can be adopted for the groove 43. As the cross-sectional shape of the groove 43, for example, as shown in FIG. 6, a substantially rectangular shape (FIG. 6A) in which the groove width does not change in the depth direction, the groove width gradually increases in the depth direction. Examples include a substantially triangular shape (FIG. 6B) that becomes narrower, a substantially semicircular shape (FIG. 6C), and the like. Further, the opening shape of the groove 43 is not limited to a substantially triangular shape as shown in FIGS. 3 to 5, for example, a substantially rectangular shape in which the groove width does not change in the axial direction, a trapezoidal shape with a gentle change in groove width, or the like. Can be mentioned. Further, the number and arrangement of the grooves 43 are not limited to the configuration in which twelve are equally arranged as shown in FIGS.

また、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶにおいては、弁体３０における第２弁部３２の肉厚や形状、及び溝４３の形状や大きさや個数の設定によって、ある電流値に対する流量が、元圧の大きさによってあまり変化しないようにすることができる。なお、元圧とは、入力ポート部２１ａから流入される流体の圧力である。これにより、元圧が変化してしまうような場合であっても、制御圧（出力ポート部２１ｂから排出される流体の圧力）を安定させることができる。 Further, in the solenoid valve SV according to the present embodiment, the flow rate with respect to a certain current value depends on the setting of the thickness and shape of the second valve portion 32 in the valve body 30 and the shape, size and number of the grooves 43. It can be made not to change so much depending on the size of. The original pressure is the pressure of fluid flowing from the input port portion 21a. Thereby, even if it is a case where a source pressure changes, control pressure (pressure of the fluid discharged | emitted from the output port part 21b) can be stabilized.

なお、上記実施例においては、弁体３０がプランジャ１３の先端に支持部材１３ａを介して設けられた場合の構成を示したが、本発明は弁体がプランジャの先端に直接設けられる場合にも適用可能である。また、上記実施例においては、弁構造がソレノイドバルブに適用される場合を例にして説明した。しかしながら、本発明の弁構造は、ソレノイドバルブ以外の弁構造にも適用可能である。すなわち、往復動部材を往復移動させるための往復動用のアクチュエータとしては、ソレノイドには限られず、空圧アクチュエータ，油圧アクチュエータ及び圧電アクチュエータなども適用可能である。本発明は、これらの各種往復動用のアクチュエータによって往復移動するように構成された往復動部材に弁体が設けられた弁構造に対しても適用可能である。 In the above-described embodiment, the configuration in which the valve body 30 is provided at the tip of the plunger 13 via the support member 13a is shown. However, the present invention also applies to the case where the valve body is provided directly at the tip of the plunger. Applicable. Moreover, in the said Example, the case where the valve structure was applied to a solenoid valve was demonstrated as an example. However, the valve structure of the present invention can also be applied to valve structures other than solenoid valves. In other words, the reciprocating actuator for reciprocating the reciprocating member is not limited to a solenoid, and a pneumatic actuator, a hydraulic actuator, a piezoelectric actuator, and the like are also applicable. The present invention is also applicable to a valve structure in which a valve body is provided on a reciprocating member configured to reciprocate by these various reciprocating actuators.

１１ボビン
１２コイル
１３プランジャ
１３ａ支持部材
１４センターポスト
１５ａ，１５ｂプレート
１５ｃケース
１６ａスプリング
１６ｃアジャストスクリュ
１７端子
２１ハウジング本体
２１ａ入力ポート部
２１ｂ出力ポート部
２１ｃコネクタ部
２２カバー
２３補強部材
３０弁体
３０ａ軸部
３１第１弁部
３１ａ着座面
３１ｂテーパ面
３２第２弁部
３２ａ円筒部
３２ｂ着座面
４０弁座
４０ａ弁孔
４１第１座面
４２第２座面
４３溝
５０ストッパー
６０シールリング
７０支持部材
ＳＶソレノイドバルブ
Ｈハウジング部
Ｓソレノイド部
Ｖバルブ部 11 Bobbin 12 Coil 13 Plunger 13a Support member 14 Center post 15a, 15b Plate 15c Case 16a Spring 16c Adjust screw 17 Terminal 21 Housing body 21a Input port part 21b Output port part 21c Connector part 22 Cover 23 Reinforcing member 30 Valve body 30a Shaft part 31 1st valve part 31a Seating surface 31b Tapered surface 32 2nd valve part 32a Cylindrical part 32b Seating surface 40 Valve seat 40a Valve hole 41 1st seat surface 42 2nd seat surface 43 Groove 50 Stopper 60 Seal ring 70 Support member SV Solenoid Valve H Housing part S Solenoid part V Valve part

Claims

往復動用のアクチュエータによって往復移動するように構成された往復動部材の先端に設けられる弁体と、
該弁体の弁部が座面に着座することで弁孔が閉じられ、該弁部が座面から離れることで弁孔が開かれる弁座と、
を備える弁構造において、
前記弁体は、第１弁部と、前記第１弁部よりも前記弁座から離れた位置から前記弁座に向かって傘状に拡がるゴム製の第２弁部と、を有し、
前記弁座は、前記第１弁部が着座する第１座面と、前記第２弁部に対向して前記第１座面を囲むように設けられるとともに、溝が前記第１座面から所定の距離を空けて形成された環状の第２座面と、を有し、
前記往復動部材が前記座面側に移動している状態では、前記第１弁部が前記第１座面に着座するともに、前記第２弁部が撓んだ状態で前記第２弁部における前記第２座面との対向面側が前記第２座面に着座し、径方向において、前記第１座面と前記溝が設けられている領域との間の環状領域がシール領域となり、
前記往復動部材の前記座面から離れる方向への移動に伴って前記第１弁部が前記第１座面から離れるとともに、第２弁部が前記第２座面から離れるように構成されていることを特徴とする弁構造。 A valve body provided at the tip of a reciprocating member configured to reciprocate by a reciprocating actuator;
A valve seat that is closed when the valve portion of the valve body is seated on the seat surface, and is opened when the valve portion is separated from the seat surface; and
In a valve structure comprising:
The valve body includes a first valve portion, and a rubber second valve portion that expands in an umbrella shape toward the valve seat from a position farther from the valve seat than the first valve portion,
The valve seat is provided so as to surround the first seat surface facing the second valve portion and a first seat surface on which the first valve portion is seated, and a groove is predetermined from the first seat surface. An annular second seating surface formed at a distance of
In the state in which the reciprocating member is moved to the seat surface side, the first valve portion is seated on the first seat surface, and the second valve portion is bent in the second valve portion. The opposite surface side of the second seating surface is seated on the second seating surface, and in the radial direction, an annular region between the first seating surface and the region where the groove is provided is a seal region,
As the reciprocating member moves in a direction away from the seat surface, the first valve portion is separated from the first seat surface, and the second valve portion is separated from the second seat surface. A valve structure characterized by that.