JP5945674B2 - ペロブスカイト型材料に基づく、整合可能なインピーダンスを有するフィルターを備えた、構成要素のインピーダンス整合用装置 - Google Patents
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Description
Wai Chan; De Foucauld, E.; Vincent, P.; Hameau, F.; Morche, D.; Delaveaud, C.; Dal Molin, R.; Pons, P.; Pierquin, R.; Kerherve, E.; Circuits and Systems, 2009, IEEE ISCAS 2009,に記述されている。
micro−electronic applications"; Ultrasonics Symposium, 1999から始まっている。PZT(ジルコン酸鉛チタン石)は、それが無線周波数の用途において示す圧電特性のため、興味深い。
・圧電材料の層:300nmのBST
・電極:100nmのプラチナ
・0〜32Vの間の電圧を加える手段
・所有面積:12μm×12μm(8.5Vにおいて50Ω)
・直列周波数Fs=3.404GHz
・直列品質係数Qs=157
・並列周波数Fp=3.565GHz
・並列品質係数Qp=242
・結合係数Kt 2=10.65%
である。
インピーダンス整合フィルターは、二重格子構造及びBSTペロブスカイト型の材料に基づく共振器を含む。
2 共振器
3 共振器
4 共振器
5 共振器
6 共振器
7 共振器
8 共振器
10 基板
11 支持膜
12 電歪材料
13 電極
14 電極
Claims (12)
- 入力において第一の出力インピーダンス(Z1)を有する第一の構成要素(PA)を備え、出力において第二の入力インピーダンス(Z2)を有する第二の構成要素(ANT)を備え、前記第一の出力または前記第二の入力のインピーダンスにおける変動の原因となるよう構成された可変音響フィルターを前記第一と第二の構成要素間に備える装置であって、
前記可変音響フィルターが、
前記第一の出力に直接に結合され前記第一の構成要素と前記第二の構成要素の間に設置され、前記第一の出力及び前記第二の入力のインピーダンスの間の不適合を検知するよう構成されたセンサーと、
前記第一の構成要素と第二の構成要素の間に位置し、梯子構造または格子構造でつながれる一組の共振器を含み、前記第一の出力と前記第一の入力のインピーダンスの間で感知された不適合に基づいて前記第一の出力と第二の入力のインピーダンスに整合可能なインピーダンスを有するフィルター(Fadp)であり、前記共振器の少なくとも1つが、ペロブスカイト型の材料と、その誘電率とインピーダンスを変えるように、前記共振器に電圧を加える手段とを備えるフィルター(Fadp)を含むことを特徴とし、
電圧を加える前記手段が、前記インピーダンス整合フィルターの 周波数帯域が実質的に安定した、電圧範囲に調整され、前記少なくともひとつの共振器のインピーダンスの可変性が前記フィルターインピーダンスの整合をもたらす装置。 - 各共振器がペロブスカイト型の材料を含むことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記フィルターがバルク波共振器を備えることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記フィルターが少なくとも1つの支持膜及び、ペロブスカイト型の材料の層を含む積層を含んだ、FBARバルク波共振器を備えることを特徴とする、請求項3に記載の装置。
- 前記フィルターが、少なくとも1つの音響反射器及びペロブスカイト型の材料の層を含むSMR型のバルク波共振器を備えることを特徴とする、請求項3に記載の装置。
- 前記ペロブスカイト型の材料が、チタン酸バリウム・ストロンチウム(BST)に基づくことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記可変音響フィルターが更に別のインピーダンス要素を含むことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記第二の構成要素がアンテナであることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記第一の構成要素が増幅器であることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 可変インピーダンスを有する前記第一又は前記第二の構成要素がトランジスターであることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 無線送信機又は受信機の中に含まれ、そこで前記第一の構成要素が増幅器(PA)、前記第二の構成要素がアンテナ(ANT)であることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記電圧を加える前記手段が、前記インピーダンス整合フィルターの前記周波数帯域が実質的に安定した、電圧範囲に調整されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
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