JP5936738B1 - Measuring system and measuring method - Google Patents
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Abstract
【課題】ファイバブラッググレーティングセンサが出力する波長変化のデータに基づいて圧力と温度とのデータを算出して取得することを可能にする。【解決手段】光源からの入射光を入力すると外部圧力・外部温度に応じた所定波長の反射光を出力するFBG部を有し、当該反射光に基づく反射光信号を出力するFBGセンサと、前記FBGセンサから反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成する波長分析手段と、前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出する温度値データ算出手段と、前記波形データに基づいて外部に生じた圧力変化にかかる圧力値データを算出する圧力値データ算出手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図1It is possible to calculate and acquire pressure and temperature data based on wavelength change data output from a fiber Bragg grating sensor. An FBG sensor having an FBG unit that outputs reflected light having a predetermined wavelength according to an external pressure and an external temperature when incident light from a light source is input, and that outputs a reflected light signal based on the reflected light; Collecting reflected light signals from the FBG sensor, creating a plurality of wavelength value data corresponding to the collected reflected light signals, and changing the wavelength of the reflected light over time, which is composed of the plurality of wavelength value data Waveform analysis means for generating waveform data indicating, temperature value data calculation means for calculating temperature value data relating to a temperature change generated externally based on the wavelength value data, and externally generated based on the waveform data Pressure value data calculating means for calculating pressure value data relating to the pressure change. [Selection] Figure 1
Description
本発明は、物理現象に対応するデータに基づいて前記物理現象の温度値と圧力値とを計測する計測システム及び計測方法に関する。 The present invention relates to a measurement system and a measurement method for measuring a temperature value and a pressure value of a physical phenomenon based on data corresponding to the physical phenomenon.
物理現象を検出するセンサとしてファイバブラッググレーティング(Fiber Bragg grating:FBG)センサが開発されており、このFBGセンサは研究分野および産業分野において広範囲に応用されている(例えば、特開2010−286836号など)。 A fiber Bragg grating (FBG) sensor has been developed as a sensor for detecting a physical phenomenon, and this FBG sensor has been widely applied in research and industrial fields (for example, JP 2010-286836 A). ).
前記ファイバブラッググレーティングセンサにはグリッドが存在しており、前記ファイバブラッググレーティングセンサに入射した入射光の一部が前記グリッドで反射するとともに残りの前記入射光が前記グリッドを透過する構造になっている。前記入射光の反射に伴うファイバブラッググレーティングセンサの伸縮に起因して反射波長がシフトし、そのシフト量に基づいて歪量のデータを取得するようになっている。 The fiber Bragg grating sensor has a grid, and a part of incident light incident on the fiber Bragg grating sensor is reflected by the grid, and the remaining incident light is transmitted through the grid. . The reflection wavelength shifts due to the expansion and contraction of the fiber Bragg grating sensor accompanying the reflection of the incident light, and distortion amount data is acquired based on the shift amount.
本発明者らは、前記ファイバブラッググレーティングセンサにおける入射光の反射に伴う波長変化は、外部圧力・外部温度の変化に基づいて引き起こされるものであるとの知見を得た。 The present inventors have obtained the knowledge that the wavelength change accompanying the reflection of incident light in the fiber Bragg grating sensor is caused based on the change in external pressure and temperature.
前記ファイバブラッググレーティングセンサにより取得するデータに含まれている外部圧力・外部温度の変化の情報を分離して個別のデータとして取り出すことが可能になれば、前記ファイバブラッググレーティングセンサの応用範囲を更に拡大することができるものである。 If it becomes possible to separate external pressure / external temperature change information contained in the data acquired by the fiber Bragg grating sensor and extract it as individual data, the application range of the fiber Bragg grating sensor will be further expanded. Is something that can be done.
本発明の目的は、外部圧力と外部温度とのデータを分離して個別のデータとして取得することを可能にした計測システム及び計測方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a measurement system and a measurement method that make it possible to obtain data as separate data by separating data of an external pressure and an external temperature.
前記目的を達成するため、本発明に係る計測システムは、光源からの入射光を入力すると外部圧力・外部温度に応じた所定波長の反射光を出力するFBG部を有し、当該反射光に基づく反射光信号を出力するFBGセンサと、前記外部圧力・外部温度に変化を引き起こす超音波照射素子と、前記FBGセンサから反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成する波長分析手段と、前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出する温度値データ算出手段と、前記波形データをスペクトル解析し、前記超音波照射素子が発振する周波数成分のスペクトル強度から圧力値データを算出する圧力値データ算出手段と、を有することを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, a measurement system according to the present invention has an FBG unit that outputs reflected light of a predetermined wavelength according to external pressure and temperature when incident light from a light source is input, and is based on the reflected light. An FBG sensor that outputs a reflected light signal, an ultrasonic irradiation element that causes a change in the external pressure / external temperature, a reflected light signal collected from the FBG sensor, and a plurality of wavelengths corresponding to the collected reflected light signals Wavelength analysis means for creating value data and creating waveform data that is composed of the plurality of wavelength value data and indicates a change with time of the wavelength of the reflected light, and has occurred outside based on the wavelength value data a temperature value data calculating means for calculating the temperature value data according to a temperature change, the waveform data and spectrum analysis, the spectral strength of the frequency component which oscillates ultrasonic irradiation device , The pressure value data calculating means for calculating a pressure value data from those characterized by having a.
前記温度値データ算出手段は、複数の前記波長値データから算出した代表波長値データと、当該代表波長値データと外部変化が生じていない状態での波長値データの初期値との差分に基づき前記温度値データを算出することを特徴とするものである。 The temperature value data calculation means is based on the difference between the representative wavelength value data calculated from the plurality of wavelength value data and the initial value of the representative wavelength value data and the wavelength value data in a state where no external change has occurred. The temperature value data is calculated.
前記温度値データ算出手段は、前記波形データをフーリエ変換することにより抽出した直流成分から前記温度変化にかかる温度値データを算出することを特徴とするものである。 The temperature value data calculating means calculates temperature value data related to the temperature change from a DC component extracted by Fourier transforming the waveform data.
本発明に係る計測方法は、光源からの入射光を入力すると超音波照射素子によって引き起こされた外部圧力・外部温度の変化に応じた所定波長の反射光をFBG部から出力し、当該反射光に基づく反射光信号を出力するステップと、前記ステップでの反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成するステップと、前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出するステップと、前記波形データをスペクトル解析し、前記超音波照射素子が発振する周波数成分のスペクトル強度から圧力値データを算出するステップと、を実行することを特徴とするものである。
In the measurement method according to the present invention, when incident light from a light source is input, reflected light of a predetermined wavelength corresponding to a change in external pressure / external temperature caused by the ultrasonic irradiation element is output from the FBG unit, and the reflected light is A reflected light signal is output based on the collected reflected light signal in the step, and a plurality of wavelength value data corresponding to the collected reflected light signals are created and configured from the plurality of wavelength value data. Generating waveform data indicating changes over time in the wavelength of the reflected light, calculating temperature value data relating to temperature changes generated outside based on the wavelength value data, and spectrum the waveform data . those analyzed, the ultrasonic irradiation device and executes the steps of: calculating a pressure value data from the spectral intensity of the frequency components of oscillation That.
前記温度値データを作成する際に、複数の前記波長値データから算出した代表波長値データと、当該代表波長値データと外部変化が生じていない状態での波長値データの初期値との差分に基づき前記温度値データを算出することを特徴とするものである。 In creating the temperature value data, the difference between the representative wavelength value data calculated from the plurality of wavelength value data and the initial value of the representative wavelength value data and the wavelength value data in a state where no external change has occurred. Based on this, the temperature value data is calculated.
前記温度値データを算出する際に、前記波形データをフーリエ変換することにより抽出した直流成分から前記温度変化にかかる温度値データを算出することを特徴とするものである。 When calculating the temperature value data, the temperature value data relating to the temperature change is calculated from a direct current component extracted by Fourier transform of the waveform data.
以上説明したように本発明によれば、FBGセンサが出力する反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成し、前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出し、前記波形データに基づいて外部に生じた圧力変化にかかる圧力値データを算出するため、外部圧力と外部温度とのデータを分離して個別のデータとして取得することができるものである。 As described above, according to the present invention, the reflected light signals output from the FBG sensor are collected, and a plurality of wavelength value data corresponding to the collected plurality of reflected light signals are created, and the plurality of wavelength value data are used. Waveform data indicating a change with time in the wavelength of the reflected light is generated, temperature value data relating to a temperature change generated outside is calculated based on the wavelength value data, and external data is calculated based on the waveform data. In order to calculate the pressure value data relating to the pressure change generated in the above, the data of the external pressure and the external temperature can be separated and acquired as individual data.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施形態に係る計測システム1の全体を示す図であり、図1に示す本発明の実施形態に係る計測システム1は、ファイバブラッググレーティングセンサ20(以下、FBGセンサ20)と、波長分析手段30と、制御手段40とから構成されている。次に、図1に示す計測システムを構築する各構成の具体的内容について詳述する。
FIG. 1 is a diagram illustrating an
図1に示す前記FBGセンサ20は図2に示すように、端部にFBG部21aを有する光ファイバ21と、入射光L1を光ファイバ21に照射する光源22と、光ファイバ21からの反射光L2を受光する検出器23と、光ファイバ21と光源22と検出器23とを光学的に結合する分波器24から構成されている。図2では、前記入射光L1及び前記反射光L2を矢印にて明記している。
図2に示す前記光ファイバ21のFBG部21aには、公知のファイバブラッググレーティング構造が形成されており、前記光ファイバ21のFBG部21aは光源22からの入射光L1を入力すると外部圧力・外部温度に応じた所定波長の反射光L2を出力する。
図2に示す光源22は、例えば1500nm近傍の波長λ1を有するレーザ光を発振する半導体レーザLD(レーザダイオード)で構成されている。
図2に示す検出器23は、CCDやCMOS、フォトダイオード(PD)のように受光した反射光L2に基づき電気信号(本発明の反射光信号に相当する)を生成して外部に出力する装置として構成される。
図2に示す分波器24は、例えば光サーキュレータであり、前記光源22からの入射光L1を光ファイバ21に入射させ、前記FBG部21aで反射された反射光L2を検出器23へ導くように構成される。
As shown in FIG. 2, the
A known fiber Bragg grating structure is formed in the
The
The
A
上述したFBGセンサ20においては、光源22からの入射光L1を入力(入射)させると、FBG部21aが外部圧力・外部温度に応じた所定波長の反射光L2を出力し、FBGセンサ20は、前記FBG部21aが出力する前記反射光L2に基づく反射光信号を出力する。前記FBG部21aは、前記入射光L1の一部を反射させて反射光L2を出力(出射)するものであり、その反射光L2はFBG波長λB(図4(b))を有している。
ここで、前記反射光L2が有するFBG波長λBは、外力圧力・外部温度によって変化するという知見を得ている。具体的に、本発明の実施形態に係る計測システム1において用いたFBGセンサ20では、外部圧力によって1mのFBGセンサ20が0.8μm伸びた(伸縮した)場合(外力的な歪が生じる)、FBG波長λBが1pm伸び(伸縮し)、外部温度(歪)が0.1℃上昇するとFBG波長λBが1pm伸びる(伸縮する:波長が長くなる)ことが分かっている。
In the
Here, it has been found that the FBG wavelength λB of the reflected light L2 varies depending on the external force pressure and the external temperature. Specifically, in the
図1に示す波長分析手段30は、例えばFFTアナライザによって構成される。図1に示す波長分析手段30は、図2に示す検出器23が出力する電気信号(反射光信号)を所定のレート(サンプリングレート)に基づいて収集(サンプリング)し、さらに、収集した電気信号のそれぞれの反射光の波長(nm)を算出して前記収集した複数の反射光信号に対応した複数の波長値データを作成する機能を有する。
さらに、図1に示す波長分析手段30は、前記機能に加えて、前記作成した波長値データを時間軸に沿ってプロットすることによって反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成する機能を有する。
さらに、波長分析手段30は、フーリエ変換(FFT処理・解析)を実行して、時間領域で表示されている前記波形データをスペクトル解析し、周波数成分ごとのスペクトルの大きさ(強度:FFT強度)を検出することが可能となっている。
なお、上述した波形データやフーリエ変換(FFT処理)の結果は、図1に示す波長分析手段30に設けたディスプレイに表示させることも可能であるし、後述するように、図1に示す制御手段40に設けたディスプレイに表示させることができる。
The wavelength analyzing means 30 shown in FIG. 1 is configured by, for example, an FFT analyzer. The wavelength analysis means 30 shown in FIG. 1 collects (samples) the electrical signal (reflected light signal) output from the
Further, in addition to the above function, the wavelength analyzing means 30 shown in FIG. 1 creates waveform data indicating changes in the wavelength of reflected light over time by plotting the created wavelength value data along the time axis. It has a function.
Further, the wavelength analysis means 30 performs Fourier transform (FFT processing / analysis), performs spectrum analysis on the waveform data displayed in the time domain, and performs a spectrum size (intensity: FFT intensity) for each frequency component. Can be detected.
The waveform data and the result of the Fourier transform (FFT processing) described above can be displayed on a display provided in the
図1に示す制御手段40は図3に示すように、パーソナルコンピュータ(PC)で構成することができ、指令部41と解析部42とを有する。
今回使用した測定装置は光源22、分波器24、検出器23、および制御手段40を含みアンリツ社製(Anritsu社)の超高速FBGセンサモニタを用いている。
図3に示す指令部41は、図2に示すFBGセンサ2の光源22に指令を与えたり、図1に示す波長分析手段30からのデ一タを受信したりするなどして、図1に示す計測システム1の動作全般を制御するものであり、ソフトウェアとして実装されるものである。
図3に示す解析部42は、図3に示す指令部41と同様にソフトウェアとして実装されるものであり、図3に示す解析部42は図1に示す波長分析手段30が作成した前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出する温度値データ算出手段43と、前記図1に示す波長分析手段30が作成した前記波形データに基づいて外部に生じた圧力変化にかかる圧力値データを算出する圧力値データ算出手段44とを含んでいる。
As shown in FIG. 3, the control means 40 shown in FIG. 1 can be configured by a personal computer (PC), and includes a
The measuring apparatus used this time includes a
The
The analysis unit 42 shown in FIG. 3 is implemented as software in the same manner as the
図4(a)は、本発明の実施形態に係る計測システム1を、超音波洗浄装置50において、超音波照射素子51によって溶液E(洗浄液)に照射される超音波の圧力(音圧)や溶液Eの温度を計測するために適用した実施例を示すものである。超音波洗浄装置50は、溶液Eを収容するタンク52を備え、前記タンク52の底面に超音波照射素子51が固設されている。
図4(a)に示す超音波洗浄装置50は、前記超音波照射素子51から超音波を照射することによって、溶液E内に圧力(すなわち超音波による音圧)を生成するとともに溶液Eの温度を上昇させて、タンク52内の溶液Eに浸漬された不図示のワークR(例えば、シリコンウェハ等)を超音波洗浄するものである。溶液Eの温度を制御するにあたっては、ヒータを追加して行っても良い。
FIG. 4A shows an ultrasonic pressure (sound pressure) applied to the solution E (cleaning liquid) by the
The
前記超音波洗浄装置50において、上述した前記FBGセンサ20は図4(a)に示すように、タンク52内に配置された固定体6によって光ファイバ21の両端21b、21cが保持されて、溶液E中でFBG部21aが所定の位置に位置するように設置される。図4においては、FBGセンサ20の光ファイバ21を除いた部分は不図示であるが、実際には、光ファイバ21が延設されてタンク52の外部に設置された分波器24に接続されている。
In the
本発明の実施形態に係る計測システム1は、上記超音波洗浄装置50において超音波照射素子51によって溶液Eに生成される圧力(音圧)および溶液Eの液温が所望のものとなっているかを計測するために用いるものである。
不図示の制御装置によって超音波照射素子51を駆動すると、溶液Eに圧力変化と温度変化が生じることになり、これに伴って、計測システム1では、波長分析手段30によって波長値データと波形データが生成されることになる。
In the
When the
図5は、横軸を時間tとし、縦軸を反射光の波長λR(つまりはFBG波長λB)として生成した波形データをデフォルメして記載したものである。図6は、波形データの一部を所定時間(txからtyまでの間)で区切って抽出(拡大)したものと理解されたい。
図6に示したように、波形データは上下に振動する(交流的な)波形データとして把握されるものであるところ、本発明の実施形態は、このような波長の経時的な変化を示す波形データが、圧力値と相関するデータと温度値と相関するデータを含むことを利用したものである。より詳しくは、反射光L2に対応する波長値データが温度値と相関しており、上下に振動する(交流的な)信号波形すなわち波長分析手段30が処理(作成)した反射光L2の波長の経時的な変化を示す波形データ(波形信号の振幅S)が圧力値データと相関しているのである。
以下に、温度値データ算出手段43が波長分析手段30から出力される波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出(作成)する方法と、圧力値データ算出手段44が波長分析手段30から出力される波形データに基づいて外部に生じた圧力変化にかかる圧力値データを算出(作成)する方法とを詳述する。
尚、温度値データと、圧力値データの変化について判断する方法は、温度は波長値データが直流成分であり、圧力変化は、たとえば超音波振動が交流成分であるので、測定した波長値データ・波形データの値により圧力変化なのか、温度変化なのかを波長分析手段30で判断することができる。
FIG. 5 shows the waveform data generated with the horizontal axis as time t and the vertical axis as the wavelength λR of reflected light (that is, FBG wavelength λB). It should be understood that FIG. 6 is extracted (enlarged) by dividing a part of waveform data by a predetermined time (between tx and ty).
As shown in FIG. 6, the waveform data is grasped as waveform data that vibrates up and down (alternating current). However, the embodiment of the present invention is a waveform that shows such a change in wavelength over time. The fact that the data includes data correlating with the pressure value and data correlating with the temperature value is utilized. More specifically, the wavelength value data corresponding to the reflected light L2 correlates with the temperature value, and the signal waveform oscillating up and down (AC-like), that is, the wavelength of the reflected light L2 processed (created) by the wavelength analysis means 30 The waveform data indicating the change over time (the amplitude S of the waveform signal) correlates with the pressure value data.
Hereinafter, a method in which the temperature value
Note that the temperature value data and the change in pressure value data are determined based on the measured wavelength value data and the temperature change because the wavelength value data is a direct current component and the ultrasonic vibration is an alternating current component, for example. Depending on the value of the waveform data, the wavelength analysis means 30 can determine whether the pressure change or temperature change.
先ず、温度値データ算出手段43が温度値データを算出する方法1乃至3を説明する。
<方法1:1つの波長値データを初期値から算出する方法>
波長分析手段30が時刻txからtyまでの間にサンプリングした波長値データのうちの1つを抽出する。例えば、n番目にサンプリングした波長値データλnを抽出する。さらに、超音波を印加していない初期状態(かつ、ヒータを設けている場合には、ヒータをOFFにする)でサンプリングしておいた波長値データλ0(以下、初期値)との差分D1(単位:nm、図5参照)を算出する。ここに、前記抽出した波長値データλnが代表波長値データである。
前記差分D1(nm)をFBG波長λBの波長変化分とみなし、上述したように、予め求めておいた相関関係に基づき温度値に換算することにより、上昇温度(相対的な液温(初期状態からX℃上昇した))を算出するものである。
なお、当然ではあるが、初期値λ0をサンプリングした際の液温を他の温度センサ等で計測しておくことにより、上述した差分D1から上昇した後の液温(初期状態がP℃であるところ、上昇後の温度がP+X℃であること)を算出できるようにしても良い。
<方法2:複数の波長値データから算出した代表波長値データと初期値から算出する方法>
実際の波長値データのサンプリング数は多数に及ぶものである。図6に、生データを示す約3200個に及ぶ波長値データを、サンプリング順にプロットした波形データを示す。図6において、横軸はサンプリング数であり、縦軸は反射光波長(つまりはFBG波長λBである)を示している。
方法2は、サンプリングした多数(例えば、数万個)の波長値データを統計学的に操作して、その代表波長値データを算出し、当該代表波長値データと外部変化が生じていない状態での波長値データの初期値との差分に基づき前記温度値データを算出するものである。図6に示す例では、代表値λm、差分D2である。
統計学的な操作としては、一般的な、算術平均値を用いても良いし、最頻値、中央値、調和平均値、幾何平均値等の公知の代表値を用いることができる。これにより、算出する温度値のデータの精度が高められることは容易に理解できるであろう。
なお、初期値λ0は、初期状態においてサンプリングした多数の波長値データから算出し、それらの代表値を初期値としてもよい。
上述した方法1及び2に係る前記温度値データ算出手段43は、複数の前記波長値データから算出した代表波長値データと、当該代表波長値データと外部変化が生じていない状態での波長値データの初期値との差分に基づき前記温度値データを算出する構成として構築している。
<方法3:波形データをフーリエ変換(FFT処理)して抽出した直流成分値と初期値から算出する方法>
上述したように波形データは、図5に示したように上下に振動する(交流的な)信号波形である。そこで、方法3では、所要の時間領域(図6の例ではtxからtyの間)において、波形データをフーリエ変換(FFT処理)することで算出される直流成分値λnを、当該時間領域における波長値データと見なすものである。図6に示した例では、便宜上、直流成分値λnを方法2の代表値λmと同値としている。ここに、前記抽出した直流成分値λnが代表波長値データである。
その後の操作は方法1と同様である(初期値との差分に基づき温度変化を求める)。
上述した方法3に係る前記温度値データ算出手段は、前記波形データをフーリエ変換(FFT処理)することにより抽出した直流成分から前記温度変化にかかる温度値を算出する構成として構築している。
本測定装置が利用するFBG装置の温度上昇による伸び(伸縮)は段落0024で説明されており、これに基づき温度変化を算出する計算式は以下の通りである。
温度変化の算出式の一例としては
温度変化ΔT=係数k×波長変化ΔλB
ΔT=0.1×ΔλB
このΔλBに差分Dを代入すると温度変化を得ることができる。
First,
<Method 1: Method of calculating one wavelength value data from initial value>
One of the wavelength value data sampled between the time tx and ty by the wavelength analyzing means 30 is extracted. For example, the nth sampled wavelength value data λn is extracted. Further, a difference D1 (from the wavelength value data λ0 (hereinafter referred to as an initial value) sampled in an initial state in which no ultrasonic wave is applied (and the heater is turned off when a heater is provided) ( (Unit: nm, see FIG. 5). Here, the extracted wavelength value data λn is representative wavelength value data.
Assuming that the difference D1 (nm) is a change in wavelength of the FBG wavelength λB and converting it into a temperature value based on the correlation obtained in advance, as described above, the temperature rise (relative liquid temperature (initial state) From which the temperature rose by X ° C))).
Of course, by measuring the liquid temperature at the time of sampling the initial value λ0 with another temperature sensor or the like, the liquid temperature after rising from the above-mentioned difference D1 (the initial state is P ° C). However, the temperature after the increase may be P + X ° C.).
<Method 2: Method of calculating from representative wavelength value data calculated from a plurality of wavelength value data and initial value>
The actual sampling number of wavelength value data is many. FIG. 6 shows waveform data obtained by plotting about 3200 pieces of wavelength value data representing raw data in the order of sampling. In FIG. 6, the horizontal axis represents the sampling number, and the vertical axis represents the reflected light wavelength (that is, the FBG wavelength λB).
As a statistical operation, a general arithmetic average value may be used, and known representative values such as a mode value, a median value, a harmonic average value, and a geometric average value may be used. It can be easily understood that this improves the accuracy of the calculated temperature value data.
The initial value λ0 may be calculated from a large number of wavelength value data sampled in the initial state, and the representative value thereof may be used as the initial value.
The temperature value data calculation means 43 according to the above-described
<Method 3: Method of calculating from DC component value and initial value extracted by Fourier transform (FFT process) of waveform data>
As described above, the waveform data is a signal waveform that vibrates up and down (alternative) as shown in FIG. Therefore, in the
Subsequent operations are the same as in Method 1 (temperature change is obtained based on the difference from the initial value).
The temperature value data calculating means according to the
The elongation (expansion / contraction) due to the temperature rise of the FBG device used by this measuring apparatus is described in paragraph 0024, and the calculation formula for calculating the temperature change based on this is as follows.
As an example of the calculation formula of temperature change, temperature change ΔT = coefficient k × wavelength change ΔλB
ΔT = 0.1 × ΔλB
A temperature change can be obtained by substituting the difference D into ΔλB.
次に、圧力値データ算出手段44が波長分析手段30から出力される、複数の波長値データから構成されて反射光L2の波長の経時的変化を示す波形データに基づいて外部に生じた圧力変化にかかる圧力値データを作成(算出)する方法を詳述する。
超音波洗浄装置50では、超音波照射素子51への印加電圧によって溶液Eに付与される圧力(音圧)を調整して、ワークRに対する超音波圧力(音圧)を調整できるようになっている。
本発明の実施形態に係る計測システム1は、超音波洗浄装置50において、超音波照射素子51へ印加する電圧の変動に応じた圧力変動が生じているかを確認するものである。
Next, the pressure value data calculation means 44 outputs from the wavelength analysis means 30, and the pressure change generated outside based on the waveform data that is composed of a plurality of wavelength value data and indicates the change with time of the wavelength of the reflected light L2. A method of creating (calculating) the pressure value data according to will be described in detail.
In the
The
図6に示した波形データの例では、上下に振動する(交流的な)信号波形の振幅Sが圧力値データと相関するものであるが、実際の波形データは複数の波形の組み合わせで構成されているため、実際には一義的に振幅Sを特定することは困難である。
そこで、波長分析手段30が時刻txからtyまでの間にサンプリングした波長値データから図7に示すように波形データをフーリエ変換(FFT処理)してスペクトル解析し、超音波照射素子51が照射している(照射するように指令されている)設定周波数(fa(kHz))のスペクトル強度(FFT強度)Ia(dB)を求め、このスペクトル強度(FFT強度)Iaを対数換算して実効値を算出することにより、振幅Sを求めるものである。
計算式の一例としては、
図7において、横軸は周波数(kHz)、縦軸はスペクトル強度(FFT強度)(dB)を示している。
こうして導出した振幅S(nm)をFBG波長λBの波長変化分とみなし、上述したように、予め求めておいた相関関係に基づいて振幅S(圧力値)を換算するのである。
本測定装置が利用するFBG装置は、非特許文献1の書籍より1Paに対して−3×10−12程度であるので、1550nm帯においては、約−5pm/Mpaの圧力感度に相当する。
これに基づき、圧力変化を算出する計算式は以下の通りである。
圧力変化の算出式の一例としては
圧力変化=係数×波長変化
P=−2.15×1017×ΔλB
このΔλBに振幅Sを代入すると、圧力変化を得ることができる。
In the example of the waveform data shown in FIG. 6, the amplitude S of the signal waveform that vibrates up and down (alternating current) correlates with the pressure value data, but the actual waveform data is composed of a combination of a plurality of waveforms. Therefore, in practice, it is difficult to uniquely specify the amplitude S.
Therefore, the wavelength analysis means 30 performs Fourier transform (FFT processing) on the waveform data from the wavelength value data sampled between time tx and ty and performs spectrum analysis as shown in FIG. The spectral intensity (FFT intensity) Ia (dB) of the set frequency (fa (kHz)) that is (commanded to irradiate) is obtained, and the effective value is obtained by logarithmically converting the spectral intensity (FFT intensity) Ia. By calculating, the amplitude S is obtained.
As an example of the calculation formula,
In FIG. 7, the horizontal axis represents frequency (kHz), and the vertical axis represents spectral intensity (FFT intensity) (dB).
The amplitude S (nm) derived in this way is regarded as the wavelength change of the FBG wavelength λB, and the amplitude S (pressure value) is converted based on the correlation obtained in advance as described above.
Since the FBG apparatus used by this measuring apparatus is about −3 × 10 −12 to 1 Pa from the book of
Based on this, the calculation formula for calculating the pressure change is as follows.
An example of the pressure change calculation formula is: Pressure change = Coefficient x Wavelength change
P = -2.15 × 10 17 × ΔλB
A change in pressure can be obtained by substituting the amplitude S into ΔλB.
次に、上述した本発明の実施形態に係る計測システムの有効性を図8〜図13に基づいて検証する。
図8〜図12は、実測に基づく生データであり、横軸を時間tとし、縦軸を反射光の波長λRとしている。さらに、図8〜図12では、圧力値データ算出手段44が波長分析手段30から出力される波長分析手段30から出力される反射光L2の波長の経時的な変化を示す波形データを示している。前記波形データの振幅Sは、前記図7に基づいて説明したように、波長分析手段30から出力される波形データをフーリエ変換(FFT処理)してスペクトル解析し、その解析結果から特定の周期(周波数)の強度Ia(スペクトル強度)を求め、その強度を周期性の振幅Sとして圧力データに変換している。
Next, the effectiveness of the measurement system according to the above-described embodiment of the present invention will be verified based on FIGS.
8 to 12 show raw data based on actual measurement, where the horizontal axis is time t and the vertical axis is the wavelength λR of reflected light. Further, in FIGS. 8 to 12, waveform data showing the change over time of the wavelength of the reflected light L <b> 2 output from the
図8は、超音波の周波数を低周波側の26kHzに設定し、その周波数の下での印加電力を5W,10W,25W,50Wに変化させた場合における波形データと振幅Sとを図示している。図9は、超音波の周波数を中間周波側の130kHzに設定し、その周波数の下での印加電力を10W,25W,50Wに変化させた場合における波形データと振幅Sとを図示している。図10は、超音波の周波数を中間周波側の200kHzに設定し、その周波数の下での印加電力を10W,25W,50W,100Wに変化させた場合における波形データと振幅Sとを図示している。図11は、超音波の周波数を高周波側の430kHzに設定し、その周波数の下での印加電力を10W,25W,50W,100Wに変化させた場合における波形データと振幅Sとを図示している。 FIG. 8 illustrates waveform data and amplitude S when the ultrasonic frequency is set to 26 kHz on the low frequency side and the applied power under the frequency is changed to 5 W, 10 W, 25 W, and 50 W. Yes. FIG. 9 illustrates the waveform data and the amplitude S when the ultrasonic frequency is set to 130 kHz on the intermediate frequency side and the applied power under the frequency is changed to 10 W, 25 W, and 50 W. FIG. 10 illustrates waveform data and amplitude S when the ultrasonic frequency is set to 200 kHz on the intermediate frequency side and the applied power under the frequency is changed to 10 W, 25 W, 50 W, and 100 W. Yes. FIG. 11 illustrates the waveform data and the amplitude S when the ultrasonic frequency is set to 430 kHz on the high frequency side and the applied power under the frequency is changed to 10 W, 25 W, 50 W, and 100 W. .
図12は、超音波の周波数をそれぞれ26kHz,130kHz,200kHz,430kHzに設定した場合における、電力と変化量RMS及びスペクトル強度(FFT強度)との関係をそれぞれ示している。図12において、横軸を電力(W)とし、左側の縦軸を変化量RMS(pm)とし、右側の縦軸をスペクトル強度(FFT強度)(dB)としている。
このグラフは、圧力に対応する波長変化量の大きさを変化量RMSとスペクトル強度(FFT強度)で算出し、その算出した波長変化量の大きさに違いがあるかを確認したものである。
図12に示す変化量RMS(pm)は、波長の平均値から測定した各波長の値を減算し、二乗平均を行い、平方根にて処理した値である。従って、前記変化量RMS(pm)は波長変化量の大きさとなり、この変化量を圧力に換算することができるものである。
図12では、電力の変化に伴う特定の周期(周波数)の強度(スペクトル強度(FFT強度),四角印で示している)と前記変化量RMS(菱形印で示している)との関係を図示している。
図12から明らかなように、電力値の変化に相応してスペクトル強度(FFT強度)及び変化量RMSが相対的に変化しており、洗浄領域音場を全体的に調べることができる変化量RMSの手法もフーリエ変換(FFT処理)による手法でも、波長変化量の大きさを算出することができる検証を得た。
FIG. 12 shows the relationship between the power, the change amount RMS, and the spectral intensity (FFT intensity) when the ultrasonic frequency is set to 26 kHz, 130 kHz, 200 kHz, and 430 kHz, respectively. In FIG. 12, the horizontal axis represents power (W), the left vertical axis represents the amount of change RMS (pm), and the right vertical axis represents the spectral intensity (FFT intensity) (dB).
In this graph, the magnitude of the wavelength change corresponding to the pressure is calculated by the change RMS and the spectral intensity (FFT intensity), and it is confirmed whether there is a difference in the calculated wavelength change.
The amount of change RMS (pm) shown in FIG. 12 is a value obtained by subtracting the value of each wavelength measured from the average value of the wavelengths, performing a root mean square, and processing with a square root. Therefore, the change amount RMS (pm) is the magnitude of the wavelength change amount, and this change amount can be converted into a pressure.
FIG. 12 is a diagram illustrating the relationship between the intensity (spectral intensity (FFT intensity), indicated by square marks) of a specific period (frequency) accompanying the change in power and the change amount RMS (shown by rhombus marks). Show.
As apparent from FIG. 12, the spectrum intensity (FFT intensity) and the change amount RMS change relatively in accordance with the change in the power value, and the change amount RMS that allows the entire cleaning region sound field to be examined. It was verified that the magnitude of the wavelength change amount can be calculated by both the above method and the method using Fourier transform (FFT processing).
図8〜図11に示す結果からして、本発明の実施形態に係る計測システムは、計測対象の超音波の周波数が低周波側26kHzから高周波側430kHzに渡って振幅Sの変化にリニア性を有していることが検証できた。さらに図12に示す結果からして、変化量RMSの変位とFFT強度の変位と間には近似的なリニア性の関係があることが検証でき、それらの波長変化量を圧力に換算して圧力値を算出することが検証できた。 From the results shown in FIGS. 8 to 11, the measurement system according to the embodiment of the present invention has linearity in the change of the amplitude S over the frequency range of the ultrasonic wave to be measured from the low frequency side 26 kHz to the high frequency side 430 kHz. It was verified that it had. Further, from the results shown in FIG. 12, it can be verified that there is an approximate linear relationship between the displacement of the change amount RMS and the displacement of the FFT intensity, and these wavelength change amounts are converted into pressure. It was verified that the value was calculated.
次に、図13(a)(b)に基づいて本発明の実施形態に係る計測システムを超音波洗浄装置に適用してタンクに充填した溶液の深さ方向での計測を検証した。
図13(a)は、図4(a)で説明した超音波洗浄装置50において、超音波照射素子51によって溶液E(洗浄液)に照射される超音波の圧力(音圧)や溶液Eの温度を計測する場合を図示している。
図13(b)は、超音波の周波数を78kHzとし、電力を50Wとした場合における変化量RMS(pm)とスペクトル強度(FFT強度)(dB)との深さ方向での変化を示している。図13(b)において、縦軸を深さ方向の距離(mm)とし、下側の横軸を変化量RMS(pm)とし、上側の横軸をスペクトル強度(FFT強度)(dB)としている。
図13(b)の結果より、超音波照射素子51の周波数の半波長毎に計測データに変化が生じていると判断でき、超音波が液深方向のワークRに正しく照射されていることが判断できる。
液深方向の、スペクトル強度(FFT強度)を測定することで超音波発振器、超音波照射素子が正常に発振しているかを判断することができる。
Next, the measurement in the depth direction of the solution filled in the tank was verified by applying the measurement system according to the embodiment of the present invention to the ultrasonic cleaning apparatus based on FIGS.
FIG. 13A shows the ultrasonic pressure (sound pressure) applied to the solution E (cleaning liquid) by the
FIG. 13B shows the change in the depth direction between the change amount RMS (pm) and the spectral intensity (FFT intensity) (dB) when the frequency of the ultrasonic wave is 78 kHz and the power is 50 W. . In FIG. 13B, the vertical axis is the distance (mm) in the depth direction, the lower horizontal axis is the change amount RMS (pm), and the upper horizontal axis is the spectral intensity (FFT intensity) (dB). .
From the result of FIG. 13B, it can be determined that the measurement data has changed for each half wavelength of the frequency of the
By measuring the spectral intensity (FFT intensity) in the liquid depth direction, it can be determined whether the ultrasonic oscillator and the ultrasonic irradiation element are oscillating normally.
以上の検証結果から、本発明の実施形態に係る計測システムは、計測対象の超音波の周波数の低周波側から高周波側に渡って振幅Sの変化にリニア性を有して圧力及び温度上昇を計測することができるものである。さらに、溶液の深さ方向での計測には一定の制限があるものの圧力及び温度上昇を計測することができるものである。 From the above verification results, the measurement system according to the embodiment of the present invention has a linearity in the change of the amplitude S from the low frequency side to the high frequency side of the frequency of the ultrasonic wave to be measured, and increases the pressure and temperature. It can be measured. Furthermore, although the measurement in the depth direction of the solution has a certain limitation, the pressure and temperature rise can be measured.
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。 The present invention can be embodied in many forms without departing from its essential characteristics. Therefore, it is needless to say that the above-described embodiment is exclusively for description and does not limit the present invention.
1 計測システム
20 ファイバブラッググレーティングセンサ
30 波長分析手段
40 制御手段
42 解析部
43 温度値データ算出手段
44 圧力値データ算出手段
1
Claims (6)
前記外部圧力・外部温度に変化を引き起こす超音波照射素子と、
前記FBGセンサから反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成する波長分析手段と、
前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出する温度値データ算出手段と、
前記波形データをスペクトル解析し、前記超音波照射素子が発振する周波数成分のスペクトル強度から圧力値データを算出する圧力値データ算出手段と、
を有することを特徴とする計測システム。 An FBG sensor that outputs reflected light of a predetermined wavelength according to external pressure and temperature when an incident light from a light source is input, and that outputs a reflected light signal based on the reflected light;
An ultrasonic irradiation element that causes a change in the external pressure and temperature;
The reflected light signal is collected from the FBG sensor, a plurality of wavelength value data corresponding to the collected reflected light signals are created, and the wavelength of the reflected light with time is composed of the plurality of wavelength value data. Wavelength analysis means for creating waveform data indicating changes;
Temperature value data calculating means for calculating temperature value data relating to a temperature change generated outside based on the wavelength value data;
Spectrum analysis of the waveform data , pressure value data calculation means for calculating pressure value data from the spectrum intensity of the frequency component oscillated by the ultrasonic irradiation element ;
A measurement system characterized by comprising:
前記ステップでの反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成するステップと、
前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出するステップと、
前記波形データをスペクトル解析し、前記超音波照射素子が発振する周波数成分のスペクトル強度から圧力値データを算出するステップと、
を実行することを特徴とする計測方法。 When incident light from a light source is input, a step of outputting reflected light of a predetermined wavelength corresponding to a change in external pressure / external temperature caused by the ultrasonic irradiation element from the FBG unit and outputting a reflected light signal based on the reflected light When,
Collecting the reflected light signals in the step, creating a plurality of wavelength value data corresponding to the collected reflected light signals, and comprising the plurality of wavelength value data, the wavelength of the reflected light over time Creating waveform data indicating changes;
Calculating temperature value data related to a temperature change generated outside based on the wavelength value data;
Spectrally analyzing the waveform data , calculating pressure value data from a spectral intensity of a frequency component oscillated by the ultrasonic irradiation element ;
The measurement method characterized by performing.
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004309219A (en) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Anritsu Corp | Sensor measuring system |
JP2013127479A (en) * | 2013-02-20 | 2013-06-27 | Fujikura Ltd | Optical fiber sensor including optical marking part for specification of optical fiber position, measurement method of optical fiber sensor, and optical fiber sensor device |
JP2013130467A (en) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Anritsu Corp | Fbg sensor system |
-
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-
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- 2016-02-02 WO PCT/JP2016/053083 patent/WO2016163139A1/en active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004309219A (en) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Anritsu Corp | Sensor measuring system |
JP2013130467A (en) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Anritsu Corp | Fbg sensor system |
JP2013127479A (en) * | 2013-02-20 | 2013-06-27 | Fujikura Ltd | Optical fiber sensor including optical marking part for specification of optical fiber position, measurement method of optical fiber sensor, and optical fiber sensor device |
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