JP5925550B2

JP5925550B2 - Heating device

Info

Publication number: JP5925550B2
Application number: JP2012069133A
Authority: JP
Inventors: 敬二上川; 健史長谷
Original assignee: Kyushu Nissho KK
Current assignee: Kyushu Nissho KK
Priority date: 2012-03-26
Filing date: 2012-03-26
Publication date: 2016-05-25
Anticipated expiration: 2032-03-26
Also published as: JP2013200077A

Description

本発明は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部材であるガラス基板や半導体リードフレームあるいはその他の金属板や合成樹脂板などの各種板状部材の熱処理に使用される加熱装置に関する。 The present invention relates to a heating apparatus used for heat treatment of various plate-like members such as glass substrates, semiconductor lead frames, other metal plates, and synthetic resin plates, which are constituent members of liquid crystal display panels and plasma display panels.

液晶表示パネルなどの構成部材であるガラス基板を熱処理する装置としては、従来、加熱気体循環方式のクリーンオーブンが使用されている（例えば、特許文献１参照。）。このクリーンオーブンは、ガラス基板などの被熱処理物を恒温槽内に収容し、この恒温槽内においてファンによって循環する加熱気体を用いて被加熱物の熱処理を行うものである。 As a device for heat-treating a glass substrate which is a constituent member such as a liquid crystal display panel, a heated gas circulation type clean oven has been conventionally used (for example, see Patent Document 1). This clean oven accommodates an object to be heat treated such as a glass substrate in a thermostat and heat-treats the object to be heated using a heated gas circulated by a fan in the thermostat.

しかしながら、加熱気体循環方式のクリーンオーブンの場合、ガラス基板などの被加熱物を多段状に収容する構造を採用しやすいので、スペース効率に優れている反面、加熱温度分布を均一化することが困難であり、加熱気体の攪拌によりクリーン度が悪化する可能性が高い。また、被加熱物が比較的軽量である場合、加熱気体の循環対流によって被加熱物が所定の位置から移動することがある。 However, in the case of a heated gas circulation type clean oven, it is easy to adopt a structure that accommodates a heated object such as a glass substrate in multiple stages, so it is excellent in space efficiency, but it is difficult to make the heating temperature distribution uniform. There is a high possibility that the cleanliness will deteriorate due to the stirring of the heated gas. When the object to be heated is relatively light, the object to be heated may move from a predetermined position by circulating convection of the heated gas.

このような問題を解決するため、内部に発熱体を有する放熱板の両面に遠赤外線放射セラミックスの薄層が被覆され、この放熱板の加熱によって両面から遠赤外線を放射する両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータが、炉本体内に上下方向に一定間隔で多段配置され、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部分をそれぞれ乾燥室とした加熱炉が開発されている（例えば、特許文献２参照。）。 In order to solve such a problem, both sides of a heat sink having a heating element inside are coated with a thin layer of far infrared radiation ceramics, and far-infrared infrared radiation that emits far infrared rays from both sides by heating this heat sink. A large number of shelf heaters composed of panel heaters are arranged in multiple stages in the furnace body at regular intervals in the vertical direction, and a heating furnace has been developed in which each space formed between these shelf heaters is a drying chamber. (For example, refer to Patent Document 2).

特許文献２記載の加熱炉の場合、両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータが配置されているため、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部（乾燥室）を効率的に加熱することができる点では優れている。 In the case of the heating furnace described in Patent Document 2, a large number of shelf heaters composed of double-sided heating type far-infrared panel heaters are arranged, and thus each space portion (drying chamber) formed between these shelf heaters. Is superior in that it can be heated efficiently.

しかしながら、この加熱炉においては、上下方向に配置された多数の棚状ヒータから発される熱は、加熱炉内を上昇して炉内の天壁寄りの領域に集まる傾向があるため、炉内上部領域の温度は、炉内下部領域の温度より高くなっており、このような炉内上部領域と炉内下部領域との間の温度差をなくすことは極めて困難である。 However, in this heating furnace, heat generated from a large number of shelf heaters arranged in the vertical direction tends to rise in the heating furnace and collect in a region near the top wall in the furnace. The temperature in the upper region is higher than the temperature in the lower region in the furnace, and it is extremely difficult to eliminate such a temperature difference between the upper region in the furnace and the lower region in the furnace.

そこで、本出願人は、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れた加熱装置を提案している（例えば、特許文献３参照。）。この加熱装置は、断熱材で囲まれた空間内に距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体と、加熱用壁体に設けられた発熱手段と、加熱用壁体の間に距離を隔てて配置された複数の伝熱壁体と、伝熱用壁体の間に棚状に配置された複数の熱放射部材と、上下方向に隣り合う熱放射部材の間に設けられた被加熱物の収容スペースとを備えている。 Therefore, the present applicant has proposed a heating device that is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness (see, for example, Patent Document 3). This heating device has a distance between a plurality of heating walls disposed opposite to each other in a space surrounded by a heat insulating material, heating means provided on the heating wall, and the heating wall. A plurality of heat transfer walls disposed across the heat transfer wall, a plurality of heat radiation members disposed in a shelf shape between the heat transfer walls, and a heat radiation member provided between the heat radiation members adjacent in the vertical direction. And a storage space for a heated object.

特開２００１−５６１４１号公報JP 2001-56141 A 特開２００１−３１７８７２号公報JP 2001-317872 A 特開２００５−３５２３０６号公報JP-A-2005-352306

特許文献３記載の加熱装置は、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れているが、収容スペース内に収容することのできる被加熱物のサイズが限定されるので、所定サイズから外れた被加熱物は収容スペースに収容困難であるのが実状である。 Although the heating device described in Patent Document 3 is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness, the size of an object to be heated that can be accommodated in the accommodation space is limited. In fact, it is difficult to accommodate the object to be heated in the accommodation space.

即ち、特許文献３記載の加熱装置において加熱処理可能な被加熱物のサイズ（幅、厚さ）は、複数の加熱用壁体の間に距離を隔てて配置された複数の伝熱壁体に形成された水平方向の保持溝の対向間隔及び垂直方向の溝幅よって定まるので、幅方向のサイズが前記対向間隔未満若しくはこれを超える被加熱物、及び、厚さが前記垂直方向の溝幅を超える被加熱物は収容スペース内に収容することができない。 That is, the size (width, thickness) of the object to be heated in the heating device described in Patent Document 3 is set to a plurality of heat transfer wall bodies arranged at a distance between the plurality of heating wall bodies. Since it is determined by the facing interval and the vertical groove width of the formed horizontal holding grooves, the object to be heated whose width direction size is less than or exceeding the facing interval, and the thickness is the vertical groove width. The object to be heated cannot be accommodated in the accommodation space.

従って、加熱処理の対象である被加熱物のサイズ（幅、厚さ）が変更された場合、複数の伝熱壁体の配置間隔を変更して保持溝の対向間隔を調整したり、保持溝の垂直方向の溝幅を変更したりする必要がある。このため、被加熱物のサイズ変更に迅速に対応することが困難である。 Therefore, when the size (width, thickness) of the object to be heated is changed, the arrangement interval of the plurality of heat transfer wall bodies is changed to adjust the opposing interval of the holding grooves, or the holding groove It is necessary to change the vertical groove width. For this reason, it is difficult to respond quickly to the size change of the object to be heated.

そこで、本発明が解決しようとする課題は、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れ、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に容易に対応することのできる加熱装置を提供することにある。 Therefore, the problem to be solved by the present invention is to provide a heating device that is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness, and can easily cope with at least a change in the width direction size of an object to be heated. It is in.

本発明の加熱装置は、距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体と、前記加熱用壁体に設けられた発熱手段と、複数の前記加熱用壁体の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射部材と、複数の前記熱放射部材の間に設けられた被加熱物の収容スペースと、前記収容スペース内に収容される被加熱物を所定姿勢に保持可能であって前記被加熱物の保持範囲を変更可能な保持手段と、を備え、
前記保持手段として、前記被加熱物を載置可能な複数の支持部材と、前記支持部材の間隔を変更可能な拡縮機構と、を設け、
前記支持部材は、
前記収容スペース内の幅方向に離れた左右２つの領域をそれぞれ奥行き方向に水平貫通した状態で配置された左側の支持バー材及び右側の支持バー材であり、
前記拡縮機構は、
前記収容スペースの左側の正面、背面からそれぞれ突出した前記左側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた左正面側の支柱、左背面側の支柱と、
前記収容スペースの右側の正面、背面からそれぞれ突出した前記右側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた右正面側の支柱、右背面側の支柱と、
前記左正面側の支柱及び前記左背面側の支柱と、前記右正面側の支柱及び前記右背面側の支柱と、の間隔を拡縮させる移動機構であることを特徴とする。 The heating apparatus according to the present invention includes a plurality of heating walls arranged opposite to each other at a distance, a heat generating unit provided on the heating wall, and a vertical region in a facing region of the plurality of heating walls. A plurality of heat radiating members arranged in a shelf shape at a distance, a space to be heated to be provided between the plurality of heat radiating members, and a heated object to be accommodated in the accommodation space are predetermined. Holding means that can be held in a posture and change a holding range of the object to be heated ; and
As the holding means, a plurality of support members on which the object to be heated can be placed, and an expansion / contraction mechanism capable of changing the interval between the support members,
The support member is
A left side support bar material and a right side support bar material arranged in a state of horizontally penetrating the left and right two regions separated in the width direction in the accommodation space, respectively,
The expansion / contraction mechanism is
Front left side of the housing space, front part of the left support bar material protruding from the back side, left front side column attached to the back side, left back side column,
The front side of the right side of the accommodation space, the front part of the right support bar member protruding from the back side, the right front side column attached to the back side, the right back side column, and
It is a moving mechanism that expands or contracts the distance between the left front column and the left back column, the right front column and the right back column .

このような構成とすれば、被加熱物の収容スペースは左右に加熱用壁体が配置され、上下に熱放射部材が配置された構造となり、それぞれの収容スペース内は、発熱手段の熱によって昇温した左右の加熱用壁体から放射される熱と、これらの加熱用壁体からの熱伝導により発熱する熱放射部材から上下に放射される熱とによって加熱されるため、それぞれの収容スペース内はむらなく均等に加熱され、温度分布の均一性に優れたものとなる。 With such a configuration, the space for storing the object to be heated has a structure in which heating walls are arranged on the left and right sides and heat radiating members are arranged on the upper and lower sides, and the inside of each accommodation space is raised by the heat of the heating means. Heat is radiated from the heated left and right heating walls and heat radiated up and down from the heat radiating member that generates heat by heat conduction from these heating walls. Is evenly heated and has excellent uniformity of temperature distribution.

発熱手段は加熱用壁体のみに設けられており、各収容スペースは、それぞれの左右に位置する加熱用壁体と、上下に位置する熱放射部材によって区画されているため、各収容スペース内における温度分布の均一性も優れているだけでなく、熱気の上昇に起因する上部空間における熱蓄積現象および過熱現象が発生しない。また、ファンによって加熱気体を攪拌したり、循環させたりすることもないので、クリーン度の安定性も優れており、気体流によって被加熱物が移動することもない。 The heating means is provided only in the heating wall, and each storage space is partitioned by the heating wall positioned on the left and right and the heat radiation member positioned on the top and bottom, Not only is the temperature distribution uniform, it does not cause heat accumulation and overheating in the upper space due to the rise of hot air. Further, since the heated gas is not stirred or circulated by the fan, the stability of the cleanliness is excellent, and the heated object is not moved by the gas flow.

また、保持手段による被加熱物の保持範囲は、被加熱物の幅に応じて変更することができるため、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に容易に対応することができる。 In addition, since the holding range of the object to be heated by the holding unit can be changed according to the width of the object to be heated, it is possible to easily cope with at least a change in the width direction size of the object to be heated.

ここで、前記保持手段として、被加熱物を載置可能な複数の支持部材と、前記支持部材の間隔を変更可能な拡縮機構と、を設けることが望ましい。このような構成とすれば、被加熱物は支持部材により下支え状態で保持することが可能となるので、被加熱物の厚さが変更された場合でも容易に対応することができる。 Here, as the holding means, it is desirable to provide a plurality of support members on which an object to be heated can be placed and an expansion / contraction mechanism capable of changing the interval between the support members. With such a configuration, the object to be heated can be held in a supported state by the support member, so that even when the thickness of the object to be heated is changed, it can be easily handled.

また、本発明の加熱装置において、
前記支持部材は、
前記収容スペース内の幅方向に離れた左右２つの領域をそれぞれ奥行き方向に水平貫通した状態に配置された左側の支持バー材及び右側の支持バーであり、
前記拡縮機構は、
前記収容スペースの左側の正面、背面からそれぞれ突出した前記左側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた左正面側の支柱、左背面側の支柱と、
前記収容スペースの右側の正面、背面からそれぞれ突出した前記右側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた右正面側の支柱、右背面側の支柱と、
前記左正面側の支柱及び前記左背面側の支柱と、前記右正面側の支柱及び前記右背面側の支柱と、の間隔を拡縮させる移動機構である。このような構成とすれば、移動機構によって複数の支柱の間隔を拡縮するだけで、支持バー材の間隔を変更することが可能となるため、比較的簡素な構造でありながら、操作性及び安定性に優れた調整手段を形成することができる。 In the heating device of the present invention,
The support member is
A left side support bar member and a right side support bar disposed in a state of horizontally penetrating through the two left and right regions separated in the width direction in the accommodation space;
The expansion / contraction mechanism is
Front left side of the housing space, front part of the left support bar material protruding from the back side, left front side column attached to the back side, left back side column,
The front side of the right side of the accommodation space, the front part of the right support bar member protruding from the back side, the right front side column attached to the back side, the right back side column, and
Wherein the left front side of the posts and the left rear side of the column, and the right front side of the post and the right rear side of the strut, Ru moving mechanism der for scaling the distance. With such a configuration, it is possible to change the interval between the support bars simply by expanding or reducing the interval between the plurality of support columns by the moving mechanism. It is possible to form an adjusting means having excellent properties.

さらに、複数の加熱用壁体の対向領域外から前記保持手段の保持範囲を変更可能な操作機構を設けることもできる。このような構成とすれば、被加熱物の収容スペースの外側から保持手段の保持領域を変更することが可能となるため、操作性がさらに向上する。 Furthermore, it is possible to provide an operation mechanism capable of changing the holding range of the holding means from the outside of the facing region of the plurality of heating walls. With such a configuration, it becomes possible to change the holding area of the holding means from the outside of the accommodation space for the object to be heated, so that the operability is further improved.

一方、前記収容スペース内の気体を排出可能な排気経路と、前記収容スペース内に気体を導入可能な給気経路と、を設けることもできる。このような構成とすれば、収容スペース内の空気を不活性ガスあるいは特定ガスと置き換えることが可能となるため、不活性ガスにより被加熱物の酸化を防止したり、特定ガスとの反応を利用して被加熱物に表面処理を施したりすることができる。 On the other hand, it is also possible to provide an exhaust path through which the gas in the storage space can be discharged and an air supply path through which the gas can be introduced into the storage space. With such a configuration, it becomes possible to replace the air in the accommodation space with an inert gas or a specific gas, so that the object to be heated is prevented from being oxidized by the inert gas, or a reaction with the specific gas is used. Then, a surface treatment can be applied to the object to be heated.

本発明により、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れ、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に迅速に対応することのできる加熱装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a heating device that is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness, and can at least quickly respond to a change in the width-direction size of an object to be heated.

本発明の実施形態である加熱装置を示す正面図である。It is a front view which shows the heating apparatus which is embodiment of this invention. 図１に示す加熱装置の一部省略正面図である。FIG. 2 is a partially omitted front view of the heating device shown in FIG. 1. 図１に示す加熱装置の右側面図である。It is a right view of the heating apparatus shown in FIG. 図１中のＡ−Ａ線における断面図である。It is sectional drawing in the AA line in FIG. 図２中のＢ−Ｂ線における断面図である。It is sectional drawing in the BB line in FIG. 図１に示す加熱装置の背面図である。It is a rear view of the heating apparatus shown in FIG.

以下、図１〜図６に基づいて、本発明の実施形態である加熱装置１００について説明する。図１〜図６に示すように、加熱装置１００は、距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒと、加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒに設けられた発熱手段である複数の電気ヒータ１１と、複数の加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射部材１２と、上下方向に隣り合う熱放射部材１２の間に設けられた被加熱物１３の収容スペース１４と、収容スペース１４内に収容される被加熱物１３を略水平姿勢に保持可能であって、被加熱物１３の保持範囲を変更可能な保持手段３０と、を備えている。 Hereinafter, based on FIGS. 1-6, the heating apparatus 100 which is embodiment of this invention is demonstrated. As shown in FIGS. 1 to 6, the heating device 100 includes a plurality of heating wall bodies 10 L and 10 R arranged to face each other at a distance, and a plurality of heating units provided on the heating wall bodies 10 L and 10 R. Electric heater 11, a plurality of heat radiating members 12 arranged in a shelf shape at a distance in the vertical direction in the opposing regions of the plurality of heating walls 10 L and 10 R, and a heat radiating member 12 adjacent in the vertical direction The holding space 14 of the object to be heated 13 provided therebetween and the object to be heated 13 accommodated in the accommodation space 14 can be held in a substantially horizontal posture and the holding range of the object to be heated 13 can be changed. Means 30.

加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの上端側及び下端側はそれぞれ天板１９及び底板２０によって連結され、加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの下面にはそれぞれ脚部材２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒが取付けられ、これらの脚部材２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒの下端部は基台２３に固定されている。加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの正面側から背面側まで水平方向に複数の貫通孔２４が開設され、これらの貫通孔２４内にそれぞれ電気ヒータ１１が着脱可能に挿入されている。 The upper and lower ends of the heating walls 10L and 10R are connected by a top plate 19 and a bottom plate 20, respectively, and leg members 21L, 21R, 22L and 22R are attached to the lower surfaces of the heating walls 10L and 10R, respectively. The lower ends of these leg members 21L, 21R, 22L, 22R are fixed to the base 23. A plurality of through holes 24 are opened in the horizontal direction from the front side to the back side of the heating walls 10L and 10R, and the electric heaters 11 are detachably inserted into the through holes 24, respectively.

加熱装置１００においては、加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒはステンレス鋼で形成され、天板１９、底板２０、脚部材２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒ及び基台２３は加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒと同材質のステンレス鋼で形成され、熱放射部材１２は、表面に黒色メッキを施したアルミニウム板で形成されている。ただし、これらの材料に限定しないので、加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒ、天板１９、底板２０、脚部材２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒ及び基台２３などをアルミニウムやアルミニウム合金（あるいは輻射熱の発散を抑制するため光沢のない表面処理を施したアルミニウムやアルミニウム合金）で形成することもできる。また、熱放射部材１２の表面処理についても黒色メッキに限定しないので、輻射熱の発散を抑制することのできる表面処理、例えば、光沢のない表面処理を施したものを採用することもできる。 In the heating device 100, the heating walls 10L and 10R are formed of stainless steel, and the top plate 19, the bottom plate 20, the leg members 21L, 21R, 22L and 22R, and the base 23 are the same as the heating walls 10L and 10R. The heat radiating member 12 is formed of an aluminum plate having a black plated surface. However, since it is not limited to these materials, the heating walls 10L, 10R, the top plate 19, the bottom plate 20, the leg members 21L, 21R, 22L, 22R, the base 23 and the like are made of aluminum or an aluminum alloy (or radiant heat diffusion). It can also be formed of aluminum or an aluminum alloy that has been subjected to a non-glossy surface treatment for suppression. Further, since the surface treatment of the heat radiating member 12 is not limited to black plating, a surface treatment that can suppress the radiant heat divergence, for example, a surface treatment that is not glossy can be employed.

保持手段３０として、被加熱物１３を載置可能な支持部材である複数の支持バー材１７Ｌ，１７Ｒと、支持バー材１７Ｌ，１７Ｒの間隔を変更可能な拡縮機構４０と、が設けられている。拡縮機構４０は、複数の支持バー材１７Ｌ，１７Ｒを略水平姿勢に保持する複数の支柱１５Ｌ，１５Ｒ，１６Ｌ，１６Ｒと、支柱１５Ｌ，１５Ｒの間隔及び支柱１６Ｌ，１６Ｒの間隔を拡縮させる移動機構５０と、を備えている。 As the holding means 30, a plurality of support bar members 17L and 17R, which are support members on which the article to be heated 13 can be placed, and an expansion / contraction mechanism 40 capable of changing the interval between the support bar members 17L and 17R are provided. . The expansion / contraction mechanism 40 is a moving mechanism that expands / contracts the intervals between the support columns 15L, 15R, 16L, 16R, the support columns 15L, 15R, and the support columns 16L, 16R, and the support columns 16L, 16R. 50.

支持バー材１７Ｌ，１７Ｒは帯板形状の部材であり、その長手方向が奥行き方向Ｄと平行をなし、その幅方向が垂直方向をなすような状態で配置されている。即ち、複数の支持バー材１７Ｌはそれぞれ収容スペース１４内を奥行き方向Ｄに水平貫通した状態で支柱１５Ｌ，１６Ｌに取り付けられ、同様に、複数の支持バー材１７Ｒはそれぞれ収容スペース１４内を奥行き方向Ｄに水平貫通した状態で支柱１５Ｌ，１６Ｒに取り付けられている。 The support bar members 17L and 17R are strip-shaped members, and are arranged such that the longitudinal direction thereof is parallel to the depth direction D and the width direction thereof is perpendicular. That is, the plurality of support bar members 17L are attached to the support columns 15L and 16L in a state of horizontally passing through the accommodation space 14 in the depth direction D, and similarly, the plurality of support bar members 17R are respectively disposed in the accommodation space 14 in the depth direction. It is attached to the pillars 15L and 16R in a state of passing through D horizontally.

支柱１５Ｌ，１６Ｌにおける支持バー材１７Ｌの取付部分の直上、及び、支柱１５Ｒ，１６Ｒにおける支持バー材１７Ｒの取付部分の直上にはそれぞれ、奥行き方向Ｄに開通する係止溝１５Ｌｔ，１６Ｌｔ，１５Ｒｔ，１６Ｒｔが設けられている。また、加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの内側面（収容スペース１４に臨む面）には、それぞれ係止溝１５Ｌｔ，１６Ｌｔ，１５Ｒｔ，１６Ｒｔと同じ高さ位置に複数の係止溝１０Ｌｔ，１０Ｒｔが奥行き方向Ｄに形成されている。 Locking grooves 15Lt, 16Lt, 15Rt, which are opened in the depth direction D, are directly above the mounting portions of the support bars 17L in the columns 15L, 16L and directly above the mounting portions of the support bars 17R in the columns 15R, 16R, respectively. 16Rt is provided. A plurality of locking grooves 10Lt and 10Rt are deep on the inner side surfaces (surfaces facing the accommodation space 14) of the heating walls 10L and 10R at the same height as the locking grooves 15Lt, 16Lt, 15Rt and 16Rt, respectively. It is formed in the direction D.

移動機構５０は、支柱１５Ｌ，１６Ｌの上端同士、支柱１５Ｒ，１６Ｒの上端同士をそれぞれ連接する主動スライダ５１Ｌ，５１Ｒと、主動スライダ５１Ｌ，５１Ｒに開設された雌ネジ孔５１Ｌａ，５１Ｒａを水平方向に貫通して螺着した状態で回転自在に配置された雄ネジ軸５２と、雄ネジ軸５２の片端部に取り付けられた操作ハンドル５３と、を備えている。支柱１５Ｌ，１６Ｌの下端同士、支柱１５Ｒ，１６Ｒの下端同士はそれぞれ従動スライダ５４Ｌ，５４Ｒで連接され、従動スライダ５４Ｌ，５４Ｒに開設された貫通孔５４Ｌａ，５４Ｒａを水平方向に貫通した状態で支軸５５が配置されている。支軸５５は雄ネジ軸５２と平行に配置され、支軸５５の両端部はそれぞれ脚部材２１Ｌ，２１Ｒに係止されている。従動スライダ５４Ｌ，５４Ｒは支軸５５の長手方向に沿ってスライド可能である。 The moving mechanism 50 horizontally connects the main sliders 51L and 51R connecting the upper ends of the columns 15L and 16L, the upper ends of the columns 15R and 16R, and the female screw holes 51La and 51Ra provided in the main sliders 51L and 51R in the horizontal direction. A male screw shaft 52 that is rotatably disposed in a state of being threaded through and an operation handle 53 attached to one end of the male screw shaft 52 is provided. The lower ends of the columns 15L and 16L and the lower ends of the columns 15R and 16R are connected to each other by driven sliders 54L and 54R, respectively. 55 is arranged. The support shaft 55 is disposed in parallel with the male screw shaft 52, and both ends of the support shaft 55 are locked to the leg members 21L and 21R, respectively. The driven sliders 54L and 54R are slidable along the longitudinal direction of the support shaft 55.

操作ハンドル５３を、雄ネジ軸５２の軸心５２ｃ中心に正転、逆転させると、主動スライダ５１Ｌ，５１Ｒが軸心５２ｃ方向に沿って互いに離隔、接近し、これと連動して、支柱１５Ｌ，１５Ｒの間隔及び支柱１６Ｌ，１６Ｒの間隔が離隔、接近する。これに伴い、複数の支持バー材１７Ｌ，１７Ｒの間隔が離隔、接近するので、被加熱物１３の保持範囲が収容スペース１４の幅方向Ｗに拡縮する。 When the operation handle 53 is rotated forward and backward about the axis 52c center of the male screw shaft 52, the main sliders 51L and 51R move away from each other along the direction of the axis 52c, and in conjunction with this, the struts 15L, The interval of 15R and the interval of the columns 16L and 16R are separated and approached. Accordingly, the intervals between the plurality of support bar members 17L and 17R are separated and approached, so that the holding range of the object to be heated 13 is expanded and contracted in the width direction W of the accommodation space 14.

また、複数の収容スペース１４の背面側にそれぞれ配置された背壁部材２５に、収容スペース１４内の気体を排出可能な排気経路２６と、収容スペース１４内に気体を導入可能な給気経路２７と、が設けられている。加熱装置１００においては、各背壁部材２５において排気経路２６の下方に給気経路２７が配置されているが、これに限定しないので、上下を逆に配置することもできる。 In addition, an exhaust path 26 that can discharge the gas in the storage space 14 and a supply path 27 that can introduce the gas into the storage space 14 to the back wall members 25 respectively disposed on the back side of the plurality of storage spaces 14. And are provided. In the heating device 100, the air supply path 27 is disposed below the exhaust path 26 in each back wall member 25, but the present invention is not limited to this, and therefore the upper and lower sides can be disposed upside down.

加熱装置１００を使用する場合、被加熱物１３の横幅に合わせて、操作ハンドル５３を回転させ、支柱１５Ｌ，１５Ｒの間隔及び支柱１６Ｌ，１６Ｒの間隔を調整し、被加熱物１３の左右側縁がそれぞれ支持バー１７Ｌ，１７Ｒ上に載置可能であって、左右側縁の一部がそれぞれ係止溝１５Ｌｔ，１６Ｌｔ及び係止溝１５Ｒｔ，１６Ｒｔの内部に収容可能な状態となるように設定する。この後、各収容スペース１４内において、被加熱物１３の左右側縁をそれぞれ支持バー１７Ｌ，１７Ｒ上に載置するとともに、左右側縁の一部をそれぞれ係止溝１５Ｌｔ，１６Ｌｔ及び係止溝１５Ｒｔ，１６Ｒｔの内部に収容すると、被加熱物１３のセッティングが完了するので、電気ヒータ１１に通電を開始すれば、所定のプログラムに従って熱処理を行うことができる。 When the heating device 100 is used, the operation handle 53 is rotated in accordance with the width of the object 13 to be heated, and the intervals between the columns 15L and 15R and the intervals between the columns 16L and 16R are adjusted. Can be placed on the support bars 17L and 17R, respectively, and a part of the left and right side edges can be accommodated in the locking grooves 15Lt and 16Lt and the locking grooves 15Rt and 16Rt, respectively. . Thereafter, in each storage space 14, the left and right edges of the article 13 to be heated are placed on the support bars 17L and 17R, respectively, and part of the left and right edges are respectively engaged with the locking grooves 15Lt and 16Lt and the locking grooves. When accommodated in 15Rt and 16Rt, the setting of the object to be heated 13 is completed, so that when the electric heater 11 is energized, heat treatment can be performed according to a predetermined program.

被加熱物１３の収容スペース１４は左右に加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒが配置され、上下に熱放射部材１２が配置され、それぞれの収容スペース１４内は、電気ヒータ１１の熱によって昇温した左右の加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒから放射される熱と、これらの加熱用壁体からの熱伝導により発熱する熱放射部材１２から上下に放射される熱とによって加熱されるため、それぞれの収容スペース１４内はむらなく均等に加熱され、加熱装置１００全体における温度分布の均一性も良好である。 Heating walls 10L and 10R are disposed on the left and right sides of the accommodation space 14 of the article 13 to be heated, and the heat radiating members 12 are disposed on the upper and lower sides. Are heated by the heat radiated from the heating walls 10L and 10R and the heat radiated from the heat radiating member 12 that generates heat by heat conduction from the heating walls. The inside of 14 is heated evenly, and the uniformity of the temperature distribution in the entire heating device 100 is also good.

電気ヒータ１１は加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒのみに設けられており、各収容スペース１４は、それぞれの左右に位置する加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒと、上下に位置する熱放射部材１２によって区画されているため、各収容スペース１４内における温度分布の均一性も優れており、熱気の上昇に起因する上部空間における熱蓄積現象及び過熱現象が発生しない。また、ファンによって加熱気体を攪拌したり、循環させたりすることもないので、クリーン度の安定性も優れており、気体流によって被加熱物が移動することもない。 The electric heater 11 is provided only in the heating wall bodies 10L and 10R, and each accommodation space 14 is partitioned by the heating wall bodies 10L and 10R positioned on the left and right sides and the heat radiation member 12 positioned on the top and bottom. Therefore, the uniformity of the temperature distribution in each storage space 14 is also excellent, and the heat accumulation phenomenon and the overheating phenomenon in the upper space due to the rise of hot air do not occur. Further, since the heated gas is not stirred or circulated by the fan, the stability of the cleanliness is excellent, and the heated object is not moved by the gas flow.

また、支持バー材１７Ｌ，１７Ｒによる被加熱物１３の幅方向Ｗの保持範囲は、被加熱物１３の横幅に応じて変更することができるため、少なくとも被加熱物１３の幅方向サイズの変更に容易に対応することができる。なお、被加熱物１３の厚さが過大である場合、その左右側縁を係止溝１５Ｌｔ，１６Ｌｔ及び係止溝１５Ｒｔ，１６Ｒｔ内に収容することなく、支持バー１７Ｌ，１７Ｒ上に載置しただけの状態で加熱処理することもできる。 Moreover, since the holding range of the to-be-heated object 13 in the width direction W by the support bar members 17L and 17R can be changed according to the lateral width of the to-be-heated object 13, at least for changing the size in the width direction of the to-be-heated object 13. It can be easily handled. When the thickness of the article to be heated 13 is excessive, the left and right edges are placed on the support bars 17L and 17R without being accommodated in the locking grooves 15Lt and 16Lt and the locking grooves 15Rt and 16Rt. It is also possible to perform the heat treatment only in the state.

また、収容スペース１４内に複数の支持バー材１７Ｌ，１７Ｒを配置し、これらの支持バー材１７Ｌ，１７Ｒをそれぞれ略水平姿勢に支持する複数の支柱１５Ｌ，１５Ｒ，１６Ｌ，１６Ｒと、支柱１５Ｌ，１５Ｒの間隔及び支柱１６Ｌ，１６Ｒの間隔を拡縮させる移動機構５０を設けたことにより、操作ハンドル５３を回転させるだけで、支持バー材１７Ｌ，１７Ｒの間隔を変更することできるため、構造は簡素であり、操作性及び安定性にも優れている。なお、図２に示すように、被加熱物１３より横幅の広い被加熱物１３ａを加熱処理する場合、支柱１５Ｌ，１５Ｒの間隔及び支柱１６Ｌ，１６Ｒの間隔を大きく広げた状態とし、被加熱物１３ａの左右側縁部をそれぞれ加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの係止溝１０Ｌｔ，１０Ｒｔに収容することもできる。 Also, a plurality of support bar members 17L, 17R are arranged in the accommodation space 14, and a plurality of support columns 15L, 15R, 16L, 16R for supporting these support bar members 17L, 17R in a substantially horizontal posture, and support columns 15L, By providing the moving mechanism 50 that expands and contracts the interval of 15R and the interval of the support columns 16L, 16R, the interval between the support bar members 17L, 17R can be changed only by rotating the operation handle 53, so the structure is simple. Yes, and excellent in operability and stability. In addition, as shown in FIG. 2, when heat-treating the to-be-heated object 13a wider than the to-be-heated object 13, the space | interval of support | pillars 15L and 15R and the space | interval of support | pillars 16L and 16R are made into the state greatly extended, The left and right side edges of 13a can be accommodated in the locking grooves 10Lt and 10Rt of the heating walls 10L and 10R, respectively.

さらに、操作ハンドル５３は複数の加熱用壁体１０Ｌ，１０Ｒの対向領域外に配置されているため、被加熱物１３の収容スペース１４の外側から保持バー材１７Ｌ，１７Ｒの保持領域を変更することが可能であり、操作性も良好である。なお、図１に示すように、加熱装置１００は断熱性を有するケーシング１８内に収容した状態で使用することができるが、ケーシング１８なしの状態で使用することもできる。 Further, since the operation handle 53 is disposed outside the opposing region of the plurality of heating walls 10L and 10R, the holding region of the holding bar members 17L and 17R can be changed from the outside of the accommodation space 14 of the article 13 to be heated. The operability is also good. As shown in FIG. 1, the heating device 100 can be used in a state of being accommodated in a casing 18 having heat insulation properties, but can also be used without the casing 18.

一方、加熱装置１００においては、各収容スペース１４内と連通する排気経路２６及び給気経路２７を設けたことにより、収容スペース１４内の空気を不活性ガスあるいは特定ガスと置き換えることも可能であるため、不活性ガス導入により被加熱物１３の酸化を防止したり、導入された特定ガスとの反応を利用して被加熱物１３に表面処理を施したりすることもできる。 On the other hand, in the heating apparatus 100, the air in the accommodation space 14 can be replaced with an inert gas or a specific gas by providing the exhaust passage 26 and the air supply passage 27 communicating with the inside of each accommodation space 14. Therefore, oxidation of the article to be heated 13 can be prevented by introducing an inert gas, or surface treatment can be performed on the article to be heated 13 using a reaction with the introduced specific gas.

なお、前述した加熱装置１００は本発明に係る加熱装置を例示するものであり、本発明は加熱装置１００に限定されない。 In addition, the heating apparatus 100 mentioned above illustrates the heating apparatus which concerns on this invention, and this invention is not limited to the heating apparatus 100. FIG.

本発明に係る加熱装置は、ガラス基板や半導体リードフレームあるいはその他の金属板や合成樹脂板などの各種板状部材の熱処理を行う産業分野において広く利用することができる。 The heating device according to the present invention can be widely used in industrial fields in which various plate-like members such as glass substrates, semiconductor lead frames, other metal plates, and synthetic resin plates are heat-treated.

１０Ｌ，１０Ｒ加熱用壁体
１０Ｌｔ，１０Ｒｔ，１５Ｌｔ，１５Ｒｔ，１６Ｌｔ，１６Ｒｔ係止溝
１１電気ヒータ
１２熱放射部材
１３，１３ａ被加熱物
１４収容スペース
１５Ｌ，１５Ｒ，１６Ｌ，１６Ｒ支柱
１７Ｌ，１７Ｒ支持バー材
１８ケーシング
１９天板
２０底板
２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒ脚部材
２３基台
２４，５４Ｌａ，５４Ｒａ貫通孔
２５背壁部材
２６排気経路
２７給気経路
３０保持手段
４０拡縮機構
５０移動機構
５１Ｌ，５１Ｒ主動スライダ
５１Ｌａ，５１Ｒａ雌ネジ孔
５２雄ネジ軸
５２ｃ軸心
５３操作ハンドル
５４Ｌ，５４Ｒ従動スライダ
５５主軸
Ｄ奥行き方向
Ｗ幅方向 10L, 10R Heating wall 10Lt, 10Rt, 15Lt, 15Rt, 16Lt, 16Rt Locking groove 11 Electric heater 12 Heat radiating member 13, 13a Heated object 14 Storage space 15L, 15R, 16L, 16R Post 17L, 17R Support bar Material 18 Casing 19 Top plate 20 Bottom plate 21L, 21R, 22L, 22R Leg member 23 Base 24, 54La, 54Ra Through hole 25 Back wall member 26 Exhaust path 27 Air supply path 30 Holding means 40 Expansion / contraction mechanism 50 Movement mechanism 51L, 51R Main slider 51La, 51Ra Female screw hole 52 Male screw shaft 52c Axle 53 Operation handle 54L, 54R Drive slider 55 Main shaft D Depth direction W Width direction

Claims

距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体と、前記加熱用壁体に設けられた発熱手段と、複数の前記加熱用壁体の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射部材と、複数の前記熱放射部材の間に設けられた被加熱物の収容スペースと、前記収容スペース内に収容される被加熱物を所定姿勢に保持可能であって前記被加熱物の保持範囲を変更可能な保持手段と、を備え、
前記保持手段として、前記被加熱物を載置可能な複数の支持部材と、前記支持部材の間隔を変更可能な拡縮機構と、を設け、
前記支持部材は、
前記収容スペース内の幅方向に離れた左右２つの領域をそれぞれ奥行き方向に水平貫通した状態に配置された左側の支持バー材及び右側の支持バーであり、
前記拡縮機構は、
前記収容スペースの左側の正面、背面からそれぞれ突出した前記左側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた左正面側の支柱、左背面側の支柱と、
前記収容スペースの右側の正面、背面からそれぞれ突出した前記右側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた右正面側の支柱、右背面側の支柱と、
前記左正面側の支柱及び前記左背面側の支柱と、前記右正面側の支柱及び前記右背面側の支柱と、の間隔を拡縮させる移動機構であることを特徴とする加熱装置。 A plurality of heating walls arranged opposite to each other at a distance, a heating means provided on the heating wall, and a shelf shape with a distance in the vertical direction between opposing areas of the plurality of heating walls. A plurality of arranged heat radiation members, a space for storing an object to be heated provided between the plurality of heat radiation members, and an object to be heated accommodated in the accommodation space can be held in a predetermined posture. Holding means capable of changing the holding range of the object to be heated ,
As the holding means, a plurality of support members on which the object to be heated can be placed, and an expansion / contraction mechanism capable of changing the interval between the support members,
The support member is
A left side support bar member and a right side support bar disposed in a state of horizontally penetrating through the two left and right regions separated in the width direction in the accommodation space;
The expansion / contraction mechanism is
Front left side of the housing space, front part of the left support bar material protruding from the back side, left front side column attached to the back side, left back side column,
The front side of the right side of the accommodation space, the front part of the right support bar member protruding from the back side, the right front side column attached to the back side, the right back side column, and
A heating device, which is a moving mechanism that expands and contracts the space between the left front column and the left back column, the right front column and the right back column .

複数の前記加熱用壁体の対向領域外から前記保持手段の保持範囲を変更可能な操作機構を設けた請求項１記載の加熱装置。 A plurality of said heating wall claim 1 Symbol placement of the heating device is provided capable of changing operating mechanism a holding range of the holding means from the counter area outside.

前記収容スペース内の気体を排出可能な排気経路と、前記収容スペース内に気体を導入可能な給気経路と、を設けた請求項１または２記載の加熱装置。 Wherein the gas to be discharged exhaust passage of the housing space, and can be introduced supply path gas in the accommodation space, according to claim 1 or 2 Symbol mounting of the heating device provided.