JP5920188B2 - 加熱装置 - Google Patents
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Description
その反応室の外側に配置されて前記半導体基板を加熱するランプと、
前記ランプ及び前記反応室を取り囲むように配置され、開口部が設けられた第1リフレクタと、
前記開口部の外側で前記開口部からの光が入射し反射する位置に配置された再帰反射性を有する第2リフレクタと、
を備え、
前記第2リフレクタは、断面V字状の溝が形成された部分再帰反射鏡である
ことを特徴とする。
以下、本発明に係る加熱装置の第1実施形態を図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の加熱装置としてのランプ加熱式エピタキシャル成長装置1(以下、単にエピタキシャル成長装置という)の垂直断面図を示している。エピタキシャル成長装置1は、シリコンウェーハWの表面にシリコン単結晶膜を気相成長(エピタキシャル成長)させる気相成長装置である。エピタキシャル成長装置1には、透明な材料(例えば透明石英)で気密に形成された反応室10が設けられている。その反応室10の内部には、シリコンウェーハWを水平に支持する平面視円状のサセプタ21が設けられている。そのサセプタ21の裏面中心には上下方向に延びた軸24が取り付けられ、サセプタ21はその軸24によって回転可能に支持される。
次に、本発明に係る加熱装置の第2実施形態を第1実施形態と異なる部分を中心にして説明する。本実施形態の加熱装置は、第1実施形態と同様に図1のエピタキシャル成長装置1である。第2リフレクタ7の構成が第1実施形態と異なっており、それ以外は第1実施形態と同じである。
10 反応室
3、31、32 ランプ
300、301〜304 開口部
4、41、42 第1リフレクタ
5 冷却部
7、71〜74 第2リフレクタ(再帰反射鏡)
75 全方向再帰反射鏡
76、77 部分再帰反射鏡
700 V字溝
Claims (7)
- 半導体基板が収容される反応室と、
その反応室の外側に配置されて前記半導体基板を加熱するランプと、
前記ランプ及び前記反応室を取り囲むように配置され、開口部が設けられた第1リフレクタと、
前記開口部の外側で前記開口部からの光が入射し反射する位置に配置された再帰反射性を有する第2リフレクタと、
を備え、
前記第2リフレクタは、断面V字状の溝が形成された部分再帰反射鏡であることを特徴とする加熱装置。 - 前記第2リフレクタは、前記開口部の方向に再帰反射性を有するリフレクタであることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記ランプは複数配置されるとともに、それら複数のランプは円形に配列され、
前記第1リフレクタは、前記ランプの配列と軸を共通にする略軸対称形とされることを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱装置。 - 前記第1リフレクタの外側に配置され、第1の前記開口部から前記第1リフレクタの内側に冷気を導入し、導入された冷気を第2の前記開口部から排出することで前記反応室の外壁及び前記第1リフレクタを冷却する冷却手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記加熱装置が前記半導体基板上にエピタキシャル膜を成膜するエピタキシャル成長装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記反応室の内部に設けられ、半導体基板を水平に支持するサセプタと、
そのサセプタの裏面に取り付けられて上下方向に延びた軸とを備え、
前記開口部は、前記第1リフレクタの内側から見て上方又は下方に向いた上面又は下面開口部を含み、
前記第2リフレクタは、同心の、径が異なる平面視円環状の複数のV字溝から構成され、前記上面又は下面開口部に対向する位置において、前記V字溝の周方向が前記軸の軸線に対する周方向となり、かつ前記V字溝の径方向が前記軸線に直交する方向となるように配置された上下リフレクタを含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の加熱装置。 - 前記反応室の内部に設けられ、半導体基板を水平に支持するサセプタと、
そのサセプタの裏面に取り付けられて上下方向に延びた軸とを備え、
前記開口部は、前記第1リフレクタの内側から見て側方に向き、かつ前記軸の軸線に対する周方向の全周に亘って形成された側面開口部を含み、
前記第2リフレクタは、前記側面開口部を取り囲むように配置され、前記軸の軸線に対する周方向の全周に亘って形成され、かつ上下方向に複数列形成されたV字溝を有した側方リフレクタを含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の加熱装置。
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