JP5913244B2

JP5913244B2 - Mold release device

Info

Publication number: JP5913244B2
Application number: JP2013196964A
Authority: JP
Inventors: 恵一郎秦; 保彦築地
Original assignee: Fujikura Ltd
Current assignee: Fujikura Ltd
Priority date: 2013-09-24
Filing date: 2013-09-24
Publication date: 2016-04-27
Anticipated expiration: 2033-09-24
Also published as: JP2015063025A

Description

この発明は、インプリント型が押し付けられた被転写材からインプリント型を離型して転写パターンを形成するパターン形成方法及び離型装置に関する。 The present invention relates to a pattern forming method and a mold release apparatus for releasing a imprint mold from a transfer material to which the imprint mold is pressed to form a transfer pattern.

従来より、凹凸のパターンを有するインプリント型を被転写材に押し付けて、所望の転写パターンを被転写材に形成するインプリント法が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。特許文献１には、インプリント型がレジスト層に押し付けられた転写基板を、離型開始から終了までレジスト層側が所定曲率の凸状態を維持するように裏面側を加圧して湾曲させる凹凸パターンの形成装置が開示されている。 Conventionally, an imprint method is known in which an imprint mold having an uneven pattern is pressed against a transfer material to form a desired transfer pattern on the transfer material (for example, see Patent Document 1 below). Patent Document 1 discloses a concavo-convex pattern in which a transfer substrate having an imprint mold pressed against a resist layer is curved by pressurizing the back side so that the resist layer side maintains a convex state with a predetermined curvature from the start to the end of mold release. A forming apparatus is disclosed.

特開２０１０−２３４６６９号公報JP 2010-234669 A

しかしながら、上記特許文献１に開示された従来技術の凹凸パターン形成装置におけるパターン形成方法では、離型時に転写基板のレジスト層側が所定曲率の凸状態となったドーム形状に維持されるので、被転写材である転写基板がレジスト層と同様に伸縮したり変形したりすることとなる。このため、転写パターンが微細なサイズであると伸縮や変形に伴う応力負荷で転写パターンが崩れたりパターン破壊が起こったりしやすくなるという問題がある。 However, in the pattern forming method of the conventional concavo-convex pattern forming apparatus disclosed in Patent Document 1, the resist layer side of the transfer substrate is maintained in a convex dome shape with a predetermined curvature at the time of mold release. The transfer substrate, which is a material, expands and contracts and deforms similarly to the resist layer. For this reason, when the transfer pattern is a fine size, there is a problem that the transfer pattern is liable to be broken or a pattern is broken due to a stress load accompanying expansion and contraction.

この発明は、上述した従来技術による問題点を解消し、被転写材の伸縮や変形を防止しつつ確実に転写パターンを形成しながら離型することができるパターン形成方法及び離型装置を提供することを目的とする。 The present invention provides a pattern forming method and a mold release apparatus that can solve the above-described problems of the prior art and can be released while reliably forming a transfer pattern while preventing expansion and deformation of a transfer material. For the purpose.

本発明に係るパターン形成方法は、インプリント型が押し付けられた被転写材の転写パターン形成面とは反対側の面に、前記被転写材よりも幅広な剥離ガイド板を貼着する工程と、前記インプリント型から前記被転写材が離型される方向に、前記剥離ガイド板の両端を移動させて前記インプリント型から前記被転写材を離型する工程とを備えたことを特徴とする。 The pattern forming method according to the present invention includes a step of attaching a release guide plate wider than the transfer material to a surface opposite to the transfer pattern formation surface of the transfer material pressed against the imprint mold, And a step of moving both ends of the peeling guide plate in a direction in which the transfer material is released from the imprint mold to release the transfer material from the imprint mold. .

本発明に係るパターン形成方法によれば、被転写材の転写パターン形成面とは反対側の面に被転写材よりも幅広な剥離ガイド板を貼着し、インプリント型から被転写材が離型される方向に剥離ガイド板の両端を移動させて被転写材をインプリント型から離型するので、被転写材に直接的に離型のための力を加えずに離型が行われる。これにより、被転写材の伸縮や変形を防止することができ、確実に転写パターンを形成しながら離型することができる。また、被転写材に剥離のための掴み代を形成するスペースが不要であるため、被転写材をコンパクトに形成することができ、コスト削減を図ることができる。 According to the pattern forming method of the present invention, a release guide plate wider than the transfer material is attached to the surface opposite to the transfer pattern formation surface of the transfer material, and the transfer material is separated from the imprint mold. Since the transfer material is released from the imprint mold by moving both ends of the peeling guide plate in the molding direction, the release is performed without directly applying a release force to the transfer material. Thereby, expansion and contraction and deformation of the material to be transferred can be prevented, and the mold can be released while reliably forming the transfer pattern. In addition, since a space for forming a grip allowance for peeling is not required on the transfer material, the transfer material can be formed in a compact manner, and cost can be reduced.

本発明の一実施形態においては、前記貼着する工程の後に、前記剥離ガイド板と接する平面部及びこの平面部の両端に形成された曲面部を有する押付ガイド金型を、前記平面部が前記被転写材の転写パターン形成領域上に位置するように前記剥離ガイド板上に載置する工程を更に備え、前記離型する工程では、前記押付ガイド金型を前記剥離ガイド板に押し付けながら前記剥離ガイド板の両端を移動させる。これにより、被転写材の端部だけを僅かに変形させ、その他の部分は平面状態を保ちながら真空破壊を中心部に向けて進展させていくことができるので、転写パターンに余分な負荷がかかるのを防止することができ、被転写材の変形を防止することができる。 In one embodiment of the present invention, after the step of attaching, a pressing guide mold having a flat surface portion in contact with the peeling guide plate and curved surface portions formed at both ends of the flat surface portion, The method further comprises a step of placing on the release guide plate so as to be positioned on the transfer pattern forming region of the transfer material, and in the step of releasing, the release guide plate is pressed against the release guide plate while the release guide plate is pressed. Move both ends of the guide plate. As a result, only the end portion of the transfer material can be slightly deformed, and the vacuum break can be advanced toward the center while the other portions are kept in a flat state, so an extra load is applied to the transfer pattern. Can be prevented, and deformation of the transfer material can be prevented.

本発明の他の実施形態においては、前記離型する工程では、前記剥離ガイド板の両端を均等に移動させる。 In another embodiment of the present invention, in the releasing step, both ends of the peeling guide plate are moved evenly.

本発明に係る離型装置は、インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、前記被転写材よりも幅広で前記被転写材の転写パターン形成面とは反対側の面に貼着される剥離ガイド板と、前記インプリント型から前記被転写材が離型される方向に、前記剥離ガイド板の両端を移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とする。 The mold release apparatus according to the present invention is a mold release apparatus for releasing the imprint mold from the transfer material pressed against the imprint mold, which is wider than the transfer material and has a transfer pattern of the transfer material. A peeling guide plate attached to a surface opposite to the forming surface; and a driving unit that moves both ends of the peeling guide plate in a direction in which the transfer material is released from the imprint mold. It is characterized by that.

本発明に係る離型装置によれば、上述したパターン形成方法と同様の作用効果を奏することができる。 According to the mold release apparatus which concerns on this invention, there can exist an effect similar to the pattern formation method mentioned above.

本発明の一実施形態においては、前記剥離ガイド板と接する平面部及びこの平面部の両端に形成された曲面部を有し、前記平面部が前記被転写材の転写パターン形成領域上に位置するように前記剥離ガイド板上に載置される押付ガイド金型を更に備え、前記駆動手段は、前記押付ガイド金型を前記剥離ガイド板に押し付けながら前記剥離ガイド板の両端を移動させる。 In one embodiment of the present invention, it has a flat portion in contact with the peeling guide plate and curved surface portions formed at both ends of the flat portion, and the flat portion is located on a transfer pattern forming region of the transfer material. As described above, a pressing guide die placed on the peeling guide plate is further provided, and the driving means moves both ends of the peeling guide plate while pressing the pressing guide die against the peeling guide plate.

本発明の他の実施形態においては、前記駆動手段は、前記剥離ガイド板の両端に取り付けられたワイヤを均等に引き上げ可能な滑車部を有し、前記滑車部を引き上げることにより前記剥離ガイド板の両端を均等に移動させる。 In another embodiment of the present invention, the driving means has a pulley portion that can evenly lift the wires attached to both ends of the peeling guide plate, and pulling up the pulley portion, Move both ends evenly.

本発明によれば、被転写材の伸縮や変形を防止しつつ確実に転写パターンを形成しながら離型することができる。 According to the present invention, it is possible to perform mold release while reliably forming a transfer pattern while preventing expansion and deformation of the transfer material.

本発明の第１の実施形態に係る離型装置を示す正面図である。It is a front view which shows the mold release apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 同離型装置の一部を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows a part of the mold release apparatus. 同離型装置による離型工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the mold release process by the mold release apparatus. 同離型装置による離型動作の様子を示す工程図である。It is process drawing which shows the mode of mold release operation | movement by the mold release apparatus. 同離型装置の変形例を示す正面図である。It is a front view which shows the modification of the mold release apparatus. 本発明の第２の実施形態に係る離型装置を示す正面図である。It is a front view which shows the mold release apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention.

以下、添付の図面を参照して、この発明の実施の形態に係るパターン形成方法及び離型装置を詳細に説明する。 Hereinafter, a pattern forming method and a mold release apparatus according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る離型装置を示す正面図である。図２は、離型装置の一部を示す拡大図である。図３は、離型装置による離型工程を示すフローチャートである。図４は、離型装置の離型動作の様子を示す工程図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a front view showing a mold release device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view showing a part of the mold release device. FIG. 3 is a flowchart showing a mold release process by the mold release device. FIG. 4 is a process diagram showing the state of the mold release operation of the mold release apparatus.

図１及び図２に示すように、第１の実施形態に係る離型装置１は、図示しない転写装置によって予めインプリント型３０が押し付けられた、例えば樹脂フィルムからなる被転写材２０を準備して、この被転写材２０からインプリント型３０を離型して転写パターンを被転写材２０にパターン形成するための装置である。 As shown in FIGS. 1 and 2, the release device 1 according to the first embodiment prepares a transfer material 20 made of, for example, a resin film in which an imprint die 30 is pressed in advance by a transfer device (not shown). Thus, the imprint mold 30 is released from the transfer material 20 to form a transfer pattern on the transfer material 20.

離型装置１は、被転写材２０のインプリント型３０側の転写パターン形成側の面２２とは反対側の裏面２３に貼着された剥離ガイド板１０と、インプリント型３０が固定される固定台４９とを備える。固定台４９は、例えば筐体フレーム４８と一体的に接続されている。 In the release device 1, the imprint mold 30 is fixed to the peeling guide plate 10 attached to the back surface 23 opposite to the transfer pattern forming surface 22 on the imprint mold 30 side of the transfer material 20. And a fixed base 49. For example, the fixed base 49 is integrally connected to the housing frame 48.

また、離型装置１は、インプリント型３０から被転写材２０が離型される方向に、剥離ガイド板１０の互いに平行な直線状の一対の端部（両端部）１１，１１を移動させる駆動手段４０を備える。この駆動手段４０は、筐体フレーム４８の上端に駆動軸を上方に向けて取り付けられたシリンダ駆動装置４２と、このシリンダ駆動装置４２の駆動軸の先端に取り付けられた滑車部４３と、この滑車部４３に装着されると共に先端部が剥離ガイド板１０の両端部１１にそれぞれクランパ−等の治具１２を介して取り付けられたワイヤ４１とを備える。シリンダ駆動装置４２は、駆動軸を上方に移動させることで、滑車部４３を介してワイヤ４１を離型装置１の上方に向かって引っ張り上げるので、剥離ガイド板１０の両端部１１は、均等に上方に引っ張り上げられる。 Further, the release device 1 moves a pair of linear end portions (both end portions) 11 and 11 of the peeling guide plate 10 parallel to each other in a direction in which the transfer material 20 is released from the imprint die 30. Drive means 40 is provided. The drive means 40 includes a cylinder drive device 42 attached to the upper end of the housing frame 48 with the drive shaft facing upward, a pulley portion 43 attached to the tip of the drive shaft of the cylinder drive device 42, and the pulley. A wire 41 is attached to the end portion 43 and attached to the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 via jigs 12 such as clampers. Since the cylinder drive device 42 moves the drive shaft upward to pull the wire 41 upward through the pulley portion 43, the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 are evenly distributed. Pulled upward.

更に、離型装置１は、剥離ガイド板１０の背面を押し付ける押付ガイド金型５０を備える。押付ガイド金型５０は、剥離ガイド板１０と接する平面部５１及びこの平面部５１の両端側に形成された曲面部５２，５２を有する蒲鉾形の形状を有する。押付ガイド金型５０は、具体的には平面部５１が被転写材２０の転写パターン形成領域上に位置するように剥離ガイド板１０上に載置される。押付ガイド金型５０は、押付力発生機構５３を介して筐体フレーム４８に取り付けられている。押付力発生機構５３は、筐体フレーム４８に取り付けられたシリンダ駆動機構５４と、このシリンダ駆動機構５４の下方に延びる駆動軸４７と、この駆動軸４７に取り付けられたばね等の弾性体４７ａとを備えている。押付ガイド金型５０は、弾性体４７ａを介してシリンダ駆動機構５４に取り付けられている。 Furthermore, the mold release apparatus 1 includes a pressing guide mold 50 that presses the back surface of the peeling guide plate 10. The pressing guide mold 50 has a bowl shape having a flat portion 51 in contact with the peeling guide plate 10 and curved surface portions 52, 52 formed at both ends of the flat portion 51. Specifically, the pressing guide mold 50 is placed on the peeling guide plate 10 so that the flat portion 51 is positioned on the transfer pattern forming region of the transfer material 20. The pressing guide mold 50 is attached to the housing frame 48 via a pressing force generating mechanism 53. The pressing force generation mechanism 53 includes a cylinder drive mechanism 54 attached to the housing frame 48, a drive shaft 47 extending below the cylinder drive mechanism 54, and an elastic body 47 a such as a spring attached to the drive shaft 47. I have. The pressing guide mold 50 is attached to the cylinder drive mechanism 54 via an elastic body 47a.

被転写材２０は、第１の実施形態においては、例えば熱可塑性のポリイミド、ポリオレフィン、液晶ポリマー（ＬＣＰ）等からなる樹脂フィルムや、熱硬化性のエポキシ樹脂からなる樹脂フィルム等が用いられる。これらの樹脂フィルムは、通常は伸縮性を備えるが、非伸縮性の樹脂フィルムを採用してもよい。 In the first embodiment, for example, a resin film made of thermoplastic polyimide, polyolefin, liquid crystal polymer (LCP), or a resin film made of a thermosetting epoxy resin is used as the transfer material 20. These resin films are usually provided with stretchability, but non-stretchable resin films may be employed.

インプリント型３０は、例えば２０ｍｍ×２０ｍｍ又は１００ｍｍ×１００ｍｍの矩形状に形成されたモールドやダイ等の金型であり、被転写材２０に転写する凹凸の転写パターンに対して反転したパターン３１が形成されている。インプリント型３０は、例えばシリコンからなり、そのパターン３１は、例えば最小ライン／スペース（Ｌ／Ｓ）が１０μｍ／１０μｍで、高さ１０μｍのパターンに形成されている。 The imprint mold 30 is a mold such as a mold or a die formed in a rectangular shape of 20 mm × 20 mm or 100 mm × 100 mm, for example, and a pattern 31 that is reversed with respect to the uneven transfer pattern transferred to the transfer material 20 is formed. Is formed. The imprint mold 30 is made of, for example, silicon, and the pattern 31 is formed in a pattern having a minimum line / space (L / S) of 10 μm / 10 μm and a height of 10 μm, for example.

なお、インプリント型３０は、材質が特に限定されるものではなく、例えばニッケル、銅、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）等により形成され、所望の微細ピッチ等のパターン３１が形成されたものを用いてもよい。また、インプリント型３０のパターン３１側の面には、例えばフッ素樹脂等がコーティングされた易離型処理が施されていてもよい。 The material of the imprint mold 30 is not particularly limited. For example, the imprint mold 30 is made of nickel, copper, DLC (diamond-like carbon), or the like, and is formed with a pattern 31 such as a desired fine pitch. Also good. The surface on the pattern 31 side of the imprint mold 30 may be subjected to an easy mold release process coated with, for example, a fluororesin.

インプリント型３０のパターン３１は、図示は省略するが、例えば円盤状の台部の上にこれよりも径の小さな円柱状（ピン状）に立設されたピラーを有する凸状のピラー部を、例えば３０００個／４００ｍｍ^２程度備えるように構成されている。ピラー部は、例えば台部の高さが１０μｍ、ピラーの高さが１５μｍ程度となるように形成されている。 Although the illustration of the pattern 31 of the imprint mold 30 is omitted, for example, a convex pillar portion having pillars erected in a columnar shape (pin shape) having a smaller diameter on the disk-shaped base portion is provided. For example, about 3000/400 mm ² are provided. The pillar part is formed, for example, so that the height of the base part is about 10 μm and the height of the pillar is about 15 μm.

一方、剥離ガイド板１０は、例えばガラスエポキシ樹脂等の耐屈曲性に優れた材料からなり、被転写材２０よりも幅広に形成されて、例えば両面テープや粘着テープ等の貼着用媒体４５を介して被転写材２０の裏面２３に両端部４１を残した状態で貼り付けられる。なお、インプリント型３０も同様に、両面テープ等の固定用媒体４６を介して固定台４９に固定されている。 On the other hand, the peeling guide plate 10 is made of a material having excellent bending resistance, such as glass epoxy resin, and is formed wider than the transfer material 20, for example, via a sticking medium 45 such as a double-sided tape or an adhesive tape. Then, it is pasted on the back surface 23 of the transfer material 20 with both end portions 41 left. Similarly, the imprint mold 30 is fixed to a fixing base 49 via a fixing medium 46 such as a double-sided tape.

剥離ガイド板１０は、図２に示すように、貼着された被転写材２０の端部が、平面密着状態のインプリント型３０の端部から僅かに離れて真空破壊が起こり剥離し始める剥離開始部（真空破壊開始部）の進入角度、すなわち被転写材２０がインプリント型３０から剥離するときの両者の主面がなす開き角度が、１°以下となるように両端部１１が弾性変形可能に構成されている。 As shown in FIG. 2, the peeling guide plate 10 is peeled off when the end portion of the adhered transfer material 20 is slightly separated from the end portion of the imprint mold 30 in a flat contact state and vacuum breakage occurs. Both end portions 11 are elastically deformed so that an entrance angle of the start portion (vacuum break start portion), that is, an opening angle formed by both main surfaces when the transfer material 20 is peeled off from the imprint mold 30 is 1 ° or less. It is configured to be possible.

そして、一旦剥離が開始した後は、剥離ガイド板１０が変形しないように押付ガイド金型５０の平面部５１によって規制する。被転写材２０とインプリント型３０とは端部から真空破壊が中央部に向かって徐々に進行しながら平面的に垂直剥離することとなる。従って、被転写材２０の伸縮や変形を防止しつつ確実に転写パターン２１を被転写材２０に形成しながらインプリント型３０を離型することができる。 And once peeling starts, it regulates by the plane part 51 of the pressing guide metal mold | die 50 so that the peeling guide plate 10 may not deform | transform. The transferred material 20 and the imprint mold 30 are vertically peeled in a plane while the vacuum break proceeds gradually from the end toward the center. Therefore, the imprint mold 30 can be released while the transfer pattern 21 is reliably formed on the transfer material 20 while preventing the transfer material 20 from expanding and contracting.

第１の実施形態に係る離型装置１は、シリンダ駆動装置４２、滑車部４３及びワイヤ４１により剥離ガイド板１０の両端部１１を上方に引っ張る構造を採用するので、複雑な制御や機構を必要とせず、簡単な構成で引張り力の発生点を１箇所とすることができると共に引張り力のバランスを自動調整することができる。 Since the mold release device 1 according to the first embodiment employs a structure in which the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 are pulled upward by the cylinder driving device 42, the pulley portion 43, and the wire 41, complicated control and mechanism are required. Instead, the tensile force can be generated at a single point with a simple configuration and the balance of the tensile force can be automatically adjusted.

次に、パターン形成方法について説明する。
まず、転写段階について簡単に説明する。この転写段階においては、フィルム状の被転写材２０とインプリント型３０とを準備し、被転写材２０の転写パターン形成領域とインプリント型３０のパターン３１との位置を位置合わせした上で、転写装置の上下ステージにこれらを配置する。 Next, a pattern forming method will be described.
First, the transfer stage will be briefly described. In this transfer stage, a film-shaped transfer material 20 and an imprint mold 30 are prepared, and after aligning the positions of the transfer pattern forming region of the transfer material 20 and the pattern 31 of the imprint mold 30, These are arranged on the upper and lower stages of the transfer device.

そして、インプリント型３０及び被転写材２０の少なくとも一方を加熱しながら、上下ステージの少なくとも一方を他方の側に移動させ、被転写材２０にインプリント型３０を押し付けてパターン３１を転写する。その後、被転写材２０が柔らかくなる温度以下にインプリント型３０と被転写材２０とを冷却して、これらが一体化した状態で離型装置１に搬送し、離型装置１による離型工程を開始する。ここで、図３及び図４を参照しながら離型工程について説明する。 Then, while heating at least one of the imprint mold 30 and the transfer material 20, at least one of the upper and lower stages is moved to the other side, and the imprint mold 30 is pressed against the transfer material 20 to transfer the pattern 31. Thereafter, the imprint mold 30 and the transfer material 20 are cooled below the temperature at which the transfer material 20 becomes soft, and transported to the release device 1 in a state where they are integrated, and a release process by the release device 1 is performed. To start. Here, a mold release process is demonstrated, referring FIG.3 and FIG.4.

まず、図４（ａ）に示すように、インプリント型３０と一体化された被転写材２０の裏面２３に上述したような貼着用媒体４５を介して剥離ガイド板１０を貼着すると共に、インプリント型３０を裏面に上述したような固定用媒体４６を介して固定台４９に固定する（ステップＳ１００）。 First, as shown in FIG. 4A, the release guide plate 10 is attached to the back surface 23 of the transfer material 20 integrated with the imprint mold 30 via the attachment medium 45 as described above. The imprint mold 30 is fixed to the fixing base 49 via the fixing medium 46 as described above on the back surface (step S100).

次に、図４（ｂ）に示すように、シリンダ駆動装置４２により滑車部４３を下げてワイヤ４１を降ろし、剥離ガイド板１０の両端部１１を治具１２で保持する。そして、押付ガイド金型５０を、平面部５１が被転写材２０の転写パターン形成領域上に位置するように位置合わせして、アクチュエータ５４により剥離ガイド板１０上に載置する（ステップＳ１０２）。このとき、押付ガイド金型５０には、押付力発生機構５３により所定の押圧力が加えられている。 Next, as shown in FIG. 4B, the pulley 43 is lowered by the cylinder driving device 42 to lower the wire 41, and the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 are held by the jig 12. Then, the pressing guide mold 50 is positioned so that the flat portion 51 is positioned on the transfer pattern forming region of the transfer material 20, and is placed on the peeling guide plate 10 by the actuator 54 (step S102). At this time, a predetermined pressing force is applied to the pressing guide mold 50 by the pressing force generating mechanism 53.

そして、シリンダ駆動装置４２により滑車部４３を上方向に移動させ、ワイヤ４１を均等に引っ張り上げて、図４（ｃ）に示すように、剥離ガイド板１０の両端部１１を上方向に徐々に移動させる（ステップＳ１０４）。これにより、上述したような１°以下の進入角度で剥離開始部が形成される。 Then, the pulley 43 is moved upward by the cylinder driving device 42, and the wire 41 is pulled up evenly. As shown in FIG. 4C, the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 are gradually moved upward. Move (step S104). Thereby, a peeling start part is formed with the approach angle of 1 degree or less as mentioned above.

この状態のまま、暫くすると、被転写材２０の両端の剥離開始部から内側に向けて真空破壊が進展する。真空破壊の進展に合わせて滑車部４３を上方向に移動させ、ワイヤ４１による引張り力が押付力発生機構５３による押圧力を上回ると、剥離ガイド板１０と共に押付ガイド金型５０が上方向に移動し、被転写材２０がインプリント型３０から平面を保ったまま垂直剥離して、図４（ｄ）に示すように、インプリント型３０から被転写材２０が離型される（ステップＳ１０６）。 After a while in this state, vacuum breakage progresses from the peeling start portions at both ends of the transfer material 20 toward the inside. When the pulley 43 is moved upward in accordance with the progress of the vacuum break and the pulling force by the wire 41 exceeds the pressing force by the pressing force generating mechanism 53, the pressing guide mold 50 moves upward together with the peeling guide plate 10. Then, the transfer material 20 is peeled off vertically from the imprint mold 30 while keeping the plane, and the transfer material 20 is released from the imprint mold 30 as shown in FIG. 4D (step S106). .

最後に、図示は省略するが、貼着用媒体４５による被転写材２０及び剥離ガイド板１０の貼着状態を解除して、被転写材２０を剥離ガイド板１０から取り外し（ステップＳ１０８）、本フローチャートによる一連の処理を終了する。このような処理により、インプリント型３０のパターン３１により形成される被転写材２０の転写パターン２１は、剥離ガイド板１０及び押付ガイド金型５０の作用によって被転写材２０が伸縮したり変形したりすることなく離型されるので、崩れたり破壊されたりすることなくスムーズ且つ確実に形成される。 Finally, although not shown in the drawing, the sticking state of the transfer material 20 and the peeling guide plate 10 by the sticking medium 45 is released, and the transfer material 20 is removed from the peeling guide plate 10 (step S108). The series of processes by is terminated. By such a process, the transfer pattern 21 of the transfer material 20 formed by the pattern 31 of the imprint mold 30 is expanded or contracted or deformed by the action of the peeling guide plate 10 and the pressing guide mold 50. Since it is released without being broken, it can be formed smoothly and reliably without being broken or destroyed.

すなわち、第１の実施形態に係る離型装置１によれば、剥離ガイド板１０の両端部１１をシリンダ駆動装置４２、滑車部４３及びワイヤ４１で直接引っ張り上げるため、被転写材２０に直接引張り力を加えることはないので、被転写材２０が極力変形することを避けつつインプリント型３０から離型することができる。 That is, according to the release device 1 according to the first embodiment, the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 are directly pulled up by the cylinder driving device 42, the pulley portion 43, and the wire 41, and thus are directly pulled to the transfer material 20. Since no force is applied, the transfer material 20 can be released from the imprint mold 30 while avoiding deformation as much as possible.

また、押付ガイド金型５０の平面部５１が被転写材２０の転写パターン形成領域上の剥離ガイド板１０に押し付けられ、この平面形状を維持したまま均等に剥離ガイド板１０の両端部１１を引っ張るため、被転写材２０の変形をより一層抑えつつインプリント型３０から離型することができる。これにより、被転写材２０の延びや破断、インプリント型３０のパターン３１の破壊等を防止して、被転写材２０に転写パターン２１を確実に形成することができる。 Further, the flat portion 51 of the pressing guide mold 50 is pressed against the peeling guide plate 10 on the transfer pattern forming region of the transfer material 20, and the both ends 11 of the peeling guide plate 10 are evenly pulled while maintaining this flat shape. Therefore, it is possible to release from the imprint mold 30 while further suppressing deformation of the transfer material 20. Accordingly, the transfer pattern 21 can be reliably formed on the transfer material 20 by preventing the transfer material 20 from extending or breaking, the destruction of the pattern 31 of the imprint mold 30, and the like.

［第１の実施形態の変形例］
図５は、第１の実施形態に係る離型装置１の変形例を示す正面図である。図５に示すように、変形例の離型装置１は、剥離ガイド板１０の両端部１１を移動させるシリンダ駆動装置４２、滑車部４３及びワイヤ４１の代わりに、各端部１１の上方の対応する位置の筐体フレーム４８に、引上げピストン６１を下方に向けてそれぞれ各端部１１を治具１２を介して引上げ可能に設けられたシリンダ引上げ装置６０，６０を備える点が異なっている。各シリンダ引上げ装置６０の引上げピストン６１の移動量は、図示しない制御部によって同期されている。このような構成によって剥離ガイド板１０の両端部１１を離型する方向に移動させても、被転写材２０をインプリント型３０から平面を保ったまま垂直剥離することができるので、上記と同様の作用効果を奏することが可能となる。 [Modification of First Embodiment]
FIG. 5 is a front view showing a modification of the mold release device 1 according to the first embodiment. As shown in FIG. 5, the release device 1 of the modified example corresponds to the upper side of each end portion 11 instead of the cylinder drive device 42, the pulley portion 43, and the wire 41 that move both end portions 11 of the peeling guide plate 10. The casing frame 48 at a position where the cylinder is lifted is provided with cylinder pulling devices 60 and 60 provided so that the pulling piston 61 faces downward and each end 11 can be pulled up via the jig 12. The amount of movement of the pulling piston 61 of each cylinder pulling device 60 is synchronized by a control unit (not shown). Even if the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 are moved in the direction to release the mold, the transfer material 20 can be vertically peeled from the imprint mold 30 while maintaining a flat surface. It is possible to achieve the operational effects.

［第２の実施形態］
図６は、本発明の第２の実施形態に係る離型装置を示す正面図である。図６に示すように、第２の実施形態に係る離型装置１Ａは、剥離ガイド板１０の両端部１１を離型する方向に移動させる駆動手段４０の構成が、第１の実施形態に係る離型装置１のものと相違している。 [Second Embodiment]
FIG. 6 is a front view showing a mold release device according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, in the mold release device 1 </ b> A according to the second embodiment, the configuration of the driving means 40 that moves both end portions 11 of the peeling guide plate 10 in the mold release direction is related to the first embodiment. It differs from that of the mold release device 1.

すなわち、離型装置１Ａの駆動手段４０は、剥離ガイド板１０の両端部１１近傍の下方に先端部が当接可能に配置された棒状或いは板状の押上げピン７１，７１と、この押上げピン７１，７１を上下方向に移動自在に駆動するシリンダ押上げ装置７０，７０とにより構成されている。各シリンダ押上げ装置７０による押上げピン７１の移動量は、上述したように図示しない制御部によって同期されている。 That is, the driving means 40 of the mold release apparatus 1A includes rod-like or plate-like push-up pins 71 and 71 arranged so that the tip portions can be brought into contact with each other below the both end portions 11 of the peeling guide plate 10 and the push-up pins. The cylinders 70 and 70 are configured to drive the pins 71 and 71 so as to be movable in the vertical direction. The amount of movement of the push-up pin 71 by each cylinder push-up device 70 is synchronized by the control unit (not shown) as described above.

このように構成された離型装置１Ａでは、離型時に、押上げピン７１を剥離ガイド板１０の両端部１１近傍の下方に押し付けて両端部１１を均等に離型する方向に移動させる。このような構成によっても、平面を保ったまま垂直剥離して被転写材２０に転写パターン２１を確実に形成することができるため、第１の実施形態に係る離型装置１と同様の作用効果を奏することが可能となる。 In the mold release device 1 </ b> A configured as described above, at the time of mold release, the push-up pin 71 is pressed below the vicinity of both end portions 11 of the peeling guide plate 10 to move both end portions 11 in the direction to release the molds evenly. Even with such a configuration, the transfer pattern 21 can be reliably formed on the transfer material 20 by vertical separation while maintaining a flat surface. Therefore, the same function and effect as those of the mold release device 1 according to the first embodiment can be obtained. It becomes possible to play.

１，１Ａ離型装置
１０剥離ガイド板
１１一対の端部（両端部）
１２治具
２０被転写材
２１転写パターン
２２面
２３裏面
３０インプリント型
３１パターン
４０駆動手段
４１ワイヤ
４２シリンダ駆動装置
４３滑車部
４５貼着用媒体
４６固定用媒体
４７支持部
４８筐体フレーム
４９固定台
５０押付ガイド金型
５１平面部
５２曲面部
５３押付力発生機構
５４シリンダ駆動機構
６０シリンダ引上げ装置
６１引上げピストン
７０シリンダ押上げ装置
７１押上げピン 1, 1A Release device 10 Peeling guide plate 11 Pair of ends (both ends)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 Jig 20 Transfer material 21 Transfer pattern 22 Surface 23 Back surface 30 Imprint type 31 Pattern 40 Drive means 41 Wire 42 Cylinder drive device 43 Pulley part 45 Adhering medium 46 Fixing medium 47 Support part 48 Housing frame 49 Fixing base DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Pushing guide metal mold | die 51 Flat surface part 52 Curved surface part 53 Pushing force generation mechanism 54 Cylinder drive mechanism 60 Cylinder lifting device 61 Lifting piston 70 Cylinder lifting device 71 Pushing pin

Claims

インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、
前記被転写材よりも幅広で前記被転写材の転写パターン形成面とは反対側の面に貼着される剥離ガイド板と、
前記インプリント型から前記被転写材が離型される方向に、前記剥離ガイド板の両端を移動させる駆動手段とを備え、
前記駆動手段は、前記剥離ガイド板の両端に取り付けられたワイヤを均等に引き上げ可能な滑車部を有し、前記滑車部を引き上げることにより前記剥離ガイド板の両端を均等に移動させる
ことを特徴とする離型装置。 A mold release device for releasing the imprint mold from the transfer material pressed against the imprint mold,
A peeling guide plate that is wider than the transfer material and is attached to the surface opposite to the transfer pattern forming surface of the transfer material;
Drive means for moving both ends of the peeling guide plate in a direction in which the transfer material is released from the imprint mold ,
The drive means has a pulley portion that can evenly lift the wires attached to both ends of the peeling guide plate, and moves both ends of the peeling guide plate evenly by pulling up the pulley portion. Mold release device.

前記剥離ガイド板と接する平面部及びこの平面部の両端に形成された曲面部を有し、前記平面部が前記被転写材の転写パターン形成領域上に位置するように前記剥離ガイド板上に載置される押付ガイド金型を更に備え、
前記駆動手段は、前記押付ガイド金型を前記剥離ガイド板に押し付けながら前記剥離ガイド板の両端を移動させる
ことを特徴とする請求項１記載の離型装置。 It has a flat part in contact with the peeling guide plate and curved surface parts formed at both ends of the flat part, and is placed on the peeling guide plate so that the flat part is located on a transfer pattern forming region of the transfer material. A pressing guide mold to be placed;
It said drive means, the releasing device according to claim 1, wherein the moving the both ends of the releasing guide plate while pressing the pressing guide die to the peeling guide plate.