JP5912375B2 - 塗布液塗布装置 - Google Patents
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Description
前記吐出口形成面を吸引によって清掃する吸引清掃部材と、
前記吐出口からの前記塗布液の吐出動作と前記吸引清掃部材に作用させる吸引力を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、清掃動作の直前に行われた前記吐出口からの吐出動作が前記塗布液を圧送して前記吐出口から流出させる吐出動作の時は、前記塗布ヘッドの駆動素子を駆動して吐出口から前記塗布液を液滴状として吐出する吐出動作の時よりも、前記吸引清掃部材に作用させる吸引力を大きくするものである。
次いで、搬送テール4を左側端部へ向けて移動させ、基板Wの搬入/搬出作業位置に位置付ける。
4 搬送テーブル
7 塗布ヘッド
7a 吐出口形成面
7b 吐出口
8 吸引清掃装置
9 吸引清掃ノズル(吸引清掃部材)
9a 吸引面
9b 吸引孔
14 負圧供給装置
15 真空ポンプ
16 真空配管
16a 第1の真空配管
16b 第2の真空配管
17 電磁開閉弁
18 電空レギュレータ
19 気液分離器
20 制御装置
21 検出装置(検出手段)
21a カメラ
21b 画像処理装置
Claims (1)
- 塗布ヘッドの吐出口形成面に形成された複数の吐出口から塗布液を吐出させ基板に塗布する塗布液塗布装置において、
前記吐出口形成面を吸引によって清掃する吸引清掃部材と、
前記吐出口からの前記塗布液の吐出動作と前記吸引清掃部材に作用させる吸引力を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、清掃動作の直前に行われた前記吐出口からの吐出動作が前記塗布液を圧送して前記吐出口から流出させる吐出動作の時は、前記塗布ヘッドの駆動素子を駆動して吐出口から前記塗布液を液滴状として吐出する吐出動作の時よりも、前記吸引清掃部材に作用させる吸引力を大きくすることを特徴とする塗布液塗布装置。
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