JP5909654B2 - フィルターデバイス - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1におけるフィルターデバイスについて説明する。なお、各実施の形態において先行する実施の形態と同様の構成をなすものは同じ符号を付して説明し、詳細な説明を省略する場合がある。また、本発明は以下の各実施の形態に限定されるものではない。
以下、本実施の形態におけるフィルターデバイスについて図面を用いて説明する。なお、実施の形態1で説明した箇所と同じ箇所については説明を省略する。本実施の形態が、実施の形態1と異なる点は特定物質を抽出するための第二のポート217を構成している点である。
以下、本実施の形態におけるフィルターデバイスについて図面を用いて説明する。なお、実施の形態1で説明した箇所と同じ箇所については説明を省略する。本実施の形態が、実施の形態1と異なる点は、キャピラリ内に貫通孔を有するフィルターチップを形成している点である。
以下、本発明の実施の形態4におけるフィルターデバイスについて図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態5におけるフィルターデバイスについて図面を参照しながら説明する。
以下、本実施の形態におけるフィルターデバイスを用いたセンサキットについて図面を用いて説明する。これまでの実施の形態と異なる点は、フィルターデバイスとセンサデバイスとが一体化したセンサキットとなっている点である。
111,211 基板
112,212,612 第一のポート
113,213,613 第一の流路
114,214,314,414,514,614 フィルター部
115,215,315,415,515,614 繊維状物質
116 枝分かれ部
217 第二のポート
218 第二の流路
219 第三のポート
320 キャピラリ
321,421,521 フィルターチップ
322,422,522 薄板
323,523 第一の表面
324,524 第二の表面
325,425 貫通孔
326,426 保持部
327 突起部
328 窪み部
329 シリコン層
330,430 二酸化シリコン層
331,431 シリコン層
332,532 第一のレジストマスク
333,533 マスクホール
334 凹部
335,535 第二のレジストマスク
336,536 触媒層
337,537 保護膜
338 凹部
339 凸部
340 凹凸部
541 シリコン層
542 ドープ層
643 反応部
650 センサキット
Claims (31)
- 物質が含まれた溶液を投入するための第一のポートと、
前記第一のポートにつながる第一の流路とを備え、
前記第一の流路内の少なくとも一部には無機酸化物からなる複数の繊維状物質からなるフィルター部が構成され、前記フィルター部内における前記複数の繊維状物質の直径分布は一つの極大値を有する、フィルターデバイス。 - 前記第一の流路内には複数の前記フィルター部が形成されている、請求項1に記載のフィルターデバイス。
- 前記フィルター部は前記複数の繊維状物質から形成された空隙を有し、前記空隙は前記複数のフィルター部それぞれで異なり、前記第一の流路の下流にいくに従って狭くなる、請求項2に記載のフィルターデバイス。
- 前記第一の流路には第二のポートが接続されている、請求項1に記載のフィルターデバイス。
- 前記第一の流路には第二の流路が接続されている、請求項1に記載のフィルターデバイス。
- 物質が含まれた溶液が内部を流れるキャピラリと、
前記キャピラリの内部に、前記溶液が接するように設けられたフィルターチップとからなる、フィルターデバイスであって、
前記フィルターチップは、
薄板と、
前記薄板の上方の第一の表面と前記第一の表面に対向するように設けられた第二の表面とを貫通し、前記キャピラリ内を流れる溶液が必ず通過するように設けられた複数の貫通孔とを備え、
前記複数の貫通孔の上方あるいは下方には、無機酸化物からなる複数の繊維状物質からなるフィルター部が構成され、前記フィルター部内における前記複数の繊維状物質の直径分
布は一つの極大値を有する、フィルターデバイス。 - 前記フィルター部は、前記複数の繊維状物質により、前記第一の表面と、前記複数の貫通孔の前記第一の表面に開口された前記開口部の上方を被覆するように設けられている請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記フィルター部は、前記複数の繊維状物質により、前記第二の表面と、前記複数の貫通孔の前記第二の表面に開口された前記開口部の下方を被覆するように設けられている請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記繊維状物質は、前記貫通孔の内壁にも形成されている請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記フィルターチップの上方形状は円形である請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記薄板の前記第一の表面に保持部を形成した請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記保持部は上面から前記薄板に向かって、前記保持部に囲まれた領域が狭くなるようなテーパが形成されている請求項11に記載のフィルターデバイス。
- 前記保持部に囲まれた領域に前記繊維状物質が形成されている請求項11に記載のフィルターデバイス。
- 前記保持部の内壁には少なくとも一つ以上の突起部が設けられた請求項11に記載のフィルターデバイス。
- 前記保持部の内壁には少なくとも一つ以上の鋭角の窪み部が設けられた請求項11に記載のフィルターデバイス。
- 前記貫通孔の内壁に保護膜を形成した請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記薄板はエッチングレート差の大きな2種類以上の材料が積層されている請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記薄板がシリコンとボロンドープ層からなる請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記フィルターチップの外壁面が凹凸形状を有している請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記キャピラリの内部には複数の前記フィルターチップが備えられている、請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 前記フィルター部は前記複数の繊維状物質から形成された空隙を有し、前記空隙は前記複数のフィルターチップそれぞれで異なり、前記キャピラリの下流にいくに従って狭くなる、請求項20に記載のフィルターデバイス。
- 前記フィルターチップを形成するための基材として、SOI基板を用い、一端のシリコン層を全て前記繊維状物質の原料として用いることにより前記繊維状物質を形成し、形成された前記繊維状物質と、二酸化シリコン層とが直接接合している請求項6に記載のフィルターデバイス。
- 物質が含まれた溶液が内部を流れるキャピラリと、
前記キャピラリの内部に、前記溶液が接するように設けられたフィルターチップとからなる、フィルターデバイスであって、
前記フィルターチップを形成するための基材として、SOI基板を用い、一端のシリコン層を全て繊維状物質の原料として用いることにより無機酸化物からなる複数の繊維状物質からなるフィルター部が構成され、前記フィルター部内における前記複数の繊維状物質の直径分布は一つの極大値を有し、前記繊維状物質と、二酸化シリコン層とが直接接合しているフィルターデバイス。 - 前記フィルター部は前記複数の繊維状物質から形成された空隙を有し、前記空隙は下流にいくに従って狭くなる請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記複数の繊維状物質は絡まりあっており、前記空隙の大きさが3〜6μmである請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記空隙のアスペクト比が2以上である請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記繊維状物質は、複数の方向へ枝分かれし枝分かれ部を形成している請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記繊維状物質は、アモルファスの二酸化シリコンを主成分とした請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記繊維状物質は、一酸化シリコンを原料として形成されている請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記繊維状物質は、VSD法によって形成されている請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
- 前記物質が含まれた溶液として全血あるいは赤血球を含む生体由来溶液を用い、
前記フィルター部にて白血球を捕捉させ前記赤血球を貫通させることによって、前記赤血球を抽出させる請求項1あるいは請求項6のいずれか1項に記載のフィルターデバイス。
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JP6613026B2 (ja) * | 2014-12-22 | 2019-11-27 | 日精株式会社 | 採血具 |
JP6455256B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2019-01-23 | 大日本印刷株式会社 | 試料収容セル |
CN107430088B (zh) * | 2015-04-10 | 2020-02-28 | 松下知识产权经营株式会社 | 电泳支承体和电泳装置 |
DE102016106119B4 (de) * | 2016-04-04 | 2019-03-07 | mi2-factory GmbH | Energiefilterelement für Ionenimplantationsanlagen für den Einsatz in der Produktion von Wafern |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002239317A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-27 | Dainippon Printing Co Ltd | フィルター |
JP2003315349A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-11-06 | Samsung Electronics Co Ltd | カーボンナノチューブを含むバイオチップ及びそれを用いて試料を分離する方法 |
WO2010082279A1 (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-22 | パナソニック株式会社 | 流路構造体およびその製造方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE7710010L (sv) * | 1976-10-11 | 1978-04-12 | Mueller Hans | Forfarande och anordning for filtrering av vetskor och gaser samt anvendning av forfarandet resp anordningen |
JPH02284615A (ja) * | 1989-04-24 | 1990-11-22 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ダイヤモンドフィルター |
JP4215177B2 (ja) | 1997-06-26 | 2009-01-28 | 旭化成メディカル株式会社 | 白血球除去材 |
JP4070035B2 (ja) | 1997-06-26 | 2008-04-02 | 旭化成メディカル株式会社 | 白血球除去材料 |
US6267898B1 (en) | 1997-06-26 | 2001-07-31 | Asahi Medical Co., Ltd. | Leukapheretic filter medium |
US6227009B1 (en) | 1998-12-14 | 2001-05-08 | Michael John Cusick | Method of making long, fine diameter glass fibers and products made with such glass fibers |
JP4078073B2 (ja) * | 1999-05-28 | 2008-04-23 | シーフィード | 流体試料分析装置および方法 |
EP1414571B1 (en) * | 2001-05-31 | 2010-03-31 | Pall Corporation | Well for processing and filtering a fluid |
EP1477804A4 (en) * | 2002-02-27 | 2016-12-28 | Pfaff Medical Gmbh | PLASMA OR SERUM SEPARATION INSTRUMENT, PLASMA OR SERUM COLLECTION METHOD, PLASMA OR SERUM SEPARATION METHOD, TEST MEDIUM AND GLASS FIBER |
CN100487456C (zh) * | 2002-06-05 | 2009-05-13 | 松下电器产业株式会社 | 细胞外电位测量装置及其制造方法 |
WO2009034697A1 (ja) * | 2007-09-11 | 2009-03-19 | Panasonic Corporation | シリコン構造体およびその製造方法並びにセンサチップ |
WO2004046716A1 (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-03 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | 血漿もしくは血清分離膜、及び血漿もしくは血清分離膜を用いたフィルタ装置 |
US20050038498A1 (en) | 2003-04-17 | 2005-02-17 | Nanosys, Inc. | Medical device applications of nanostructured surfaces |
JP3984557B2 (ja) * | 2003-04-25 | 2007-10-03 | アオイ電子株式会社 | 電気泳動デバイス |
TWI427709B (zh) * | 2003-05-05 | 2014-02-21 | Nanosys Inc | 用於增加表面面積之應用的奈米纖維表面 |
JP4251019B2 (ja) * | 2003-06-13 | 2009-04-08 | パナソニック株式会社 | 微小固形成分分離デバイスとその製造方法、およびこれを用いた微小固形成分の分離方法 |
JP2007178366A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Jsr Corp | バイオチップ用フィルターおよび該フィルターを用いたバイオチップ |
US8071363B2 (en) * | 2006-05-25 | 2011-12-06 | Panasonic Corporation | Chip for cell electrophysiological sensor, cell electrophysiological sensor using the same, and manufacturing method of chip for cell electrophysiological sensor |
WO2009037784A1 (ja) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Tya K. K. | 体液成分の分析器具 |
US20090181441A1 (en) * | 2007-11-27 | 2009-07-16 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Porous silicon-polymer composites for biosensor applications |
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2011
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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