JP5907815B2 - 光ファイバ製造用加熱炉 - Google Patents
光ファイバ製造用加熱炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5907815B2 JP5907815B2 JP2012133818A JP2012133818A JP5907815B2 JP 5907815 B2 JP5907815 B2 JP 5907815B2 JP 2012133818 A JP2012133818 A JP 2012133818A JP 2012133818 A JP2012133818 A JP 2012133818A JP 5907815 B2 JP5907815 B2 JP 5907815B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- main body
- connection terminal
- heat generating
- heating furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 77
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 11
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 35
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 12
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 10
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 10
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 description 9
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/029—Furnaces therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
この中間ガラス母材を延伸し、その上にクラッドとなる石英系ガラス微粒子を外付けし、再度透明ガラス化して最終的なガラス母材とする。
このガラス母材を線引き装置にてファイバ化(細線化)することによって、光ファイバを製造することができる。
線引き工程の前に延伸工程を設定し、外径を調整してから線引きを行うこともある。また、ロッドインチューブ法のように、ジャケット管にコアロッドを挿入して線引きを行うこともある。
これらの工程では、焼結炉、延伸炉、線引き炉等と呼ばれる加熱炉が使用され、この加熱炉によって多孔質ガラス母材またはガラス母材が加熱される。加熱炉としては、抵抗加熱炉、誘導加熱炉などがあり、なかでも抵抗加熱炉はメンテナンスの容易性、性能の安定性などから好んで使用されている(例えば、特許文献1参照)。
加熱炉40は、被加熱物11を加熱する発熱部1と、発熱部1に電力供給する一対の電極部2と、発熱部1に挿通する炉心管3と、これらを収容する炉本体4とを有する。
炉本体4は、筐体5と、その内部に設けられた断熱材6とを備えている。
発熱部1は、カーボン材料などからなり、内部に被加熱物11が導入される筒状の発熱部本体12と、発熱部本体12の一端に形成された一対の接続端子部13とを有する。接続端子部13は、発熱部本体12の一端から径方向外方に延出して形成されている。
電極部2、2は、銅、銅合金、ステンレス鋼などの金属材料からなり、本体部15と、その先端から突出する受け部46とを有する。
受け部46は、側面視矩形に形成され、接続端子部13を支持している。
電極部2は金属製であるため高温になると破損しやすいが、冷却媒体(例えば冷却水)を本体部15内で流通させることによって温度上昇を抑制し、破損を防止できる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、光ファイバの伝送損失の増加を防ぐことができる光ファイバ製造用加熱炉を提供することを目的とする。
このことから、例えば図22の加熱炉40によってガラス母材11を加熱する際に、電極部2と、断熱材6(または炉心管3)との電位差により放電が起こり、この放電による局部的な温度上昇により電極部2の表面部分が蒸発(気化)し、炉心管3を透過してガラス母材11に混入し、これが伝送損失増加の原因となっていることが推測された。
この推測は、伝送損失と電極部2の放電痕とを照合した結果からも支持された。
しかし、放電量が小さい場合には、装置の様子や製品の外観から異常を確認できない。また、製造過程で放電または放電痕を確認することは難しい。
このため、ガラス母材11を製造した時点では異常を察知できず、光ファイバ化して伝送損失を確認して初めて異常が確認されることがあり、コスト増加を招いていた。
また、光ファイバの製造、特に線引き工程では温度が2000℃以上となることもあり、このような高温環境下で安定な絶縁材料は得難かった。例えば窒化珪素は高温で比較的安定であるが、蒸発を完全に抑えることは難しく、ガラス母材11への窒化珪素の混入による光ファイバの強度低下を防ぐ必要がある。
しかし、接続端子部13は長くなれば脆弱となるため、発熱部1の取り扱いが難しくなる。また、接続端子部13が長く形成されると、発熱部1の交換等の作業性が悪化する。また、発熱部1を設置する際の位置決めの精度が低下するという問題もある。
この知見に基づいて、さらに検討を行った結果、本願発明者は、電極部2の先端部を所定の形状とすることによって放電を抑制できることを見出し、これに基づいて本発明を完成させた。
前記電極部の端部の外面の横断面形状は、略円弧状または略楕円弧状であることが好ましい。
前記電極部の端部の外面の縦断面形状は、略円弧状または略楕円弧状であることが好ましい。
本発明では、前記電極部は、前記接続端子部に向けて延出する本体部を有し、前記端部は、前記本体部の先端面から突出して形成され、前記電極部接続面の幅は、前記電極部接続面に当接する前記接続端子部の幅を越えないことが好ましい。
本発明では、前記電極部は、前記接続端子部に向けて延出する本体部を有し、前記端部は、前記本体部の先端面から突出して形成され、前記電極部接続面を基準とする前記先端面の高さは、前記電極部接続面に当接する前記接続端子部の高さを越えないことが好ましい。
前記先端面の縁部は、曲面加工されていることが好ましい。
前記電極部接続面は、前記発熱部本体の径方向に沿う面であることが好ましい。
前記電極部接続面は、前記本体部の中心軸を含む面であることが好ましい。
少なくとも前記端部の先端を含む部分は、前記先端に向けて徐々に厚さを減じる形状であることが好ましい。
また、電極部接続面は、接続端子部に面的に接触して発熱部との間に十分な電気的な接続を得ることができるため、放電を起きにくくすることができる。
従って、電極部と断熱材等との間の放電に起因する被加熱物への金属材料の混入を防ぎ、光ファイバの伝送損失の増加を防止できる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の光ファイバ製造用加熱炉(以下、単に加熱炉ということがある)の第1実施形態である加熱炉10を示す構成図である。図2は、加熱炉10の接続端子部13と電極部2を示す図であって、(A)は接続されていない状態の接続端子部13と電極部2を示す平面図であり、(B)は接続された状態の接続端子部13と電極部2を示す側面図である。
図3は、発熱部1を示す正面図、図4は、発熱部1を示す平面図である。図1および図2において、上下方向は発熱部1、炉心管3、および断熱材6の軸方向である。上下方向は高さ方向ともいう。
筐体5は、ステンレス鋼などの金属からなり、開口5dを有する環状の底板5aと、底板5aの外周縁に立設された側板5bと、側板5bの上縁に形成された上板5cとを有し、底板5aと側板5bと上板5cと炉心管3とで囲まれた空間に断熱材6を収容できる。上板5cおよび底板5aは、被加熱物11を導入するための開口5d、5eを有する環状に形成されている。5fは側板5bに形成された開口であって、電極部2を挿通させることができる。
筐体5の外周壁には、冷却ジャケット(図示略)が形成され、この冷却ジャケットを流通する冷却媒体(例えば冷却水)によって筐体5を冷却できる。
断熱材6の内面6aには、発熱部1の発熱部本体12を収容する収容凹部6bが形成されている。収容凹部6bは、一定深さで形成された凹部であり、上下方向に沿う内側面6cと、内側面6cの上端に形成された上面6dと、内側面6cの下端に形成された下面6eとによって区画された断面略矩形の空間6fに発熱部本体12を収容できる。
収容凹部6bは、断熱材6の高さ方向の中間位置に形成されており、上面6dは断熱材6の最上部より低い位置にあり、下面6eは断熱材6の最下部より高い位置にある。
発熱部本体12は、概略円筒状に形成されており、抵抗値を大きくして発熱量を多くするために、周方向に所定間隔ごとにスリット14が形成されている。
スリット14a、14bは、発熱部本体12の周方向に交互に形成されているため、上下方向に直線的に延在する直線部14cと、折返し部14dとが繰返される蛇行構造となっている。
接続端子部13の延出方向の延出方向の端部13aに近い位置には、平面視円形の取り付け穴13bが形成されている。
取り付け穴13bは、接続端子部13を厚さ方向((図3および図2(B)では上下方向)に貫通して形成されている。
なお、接続端子部13の延出方向は、発熱部本体12の径方向外方に限らず、発熱部本体12の中心軸C1方向(図3では上下方向)に交差する方向であって、発熱部本体12の中心軸C1から離れる方向であれば、図示例とは異なる方向であってもよい。
以下の説明において、図2の右方を先端方向(本体部15の中心軸C2に沿う方向)といい、左方を基端方向ということがある。
本体部15は、直管状の外管15aと、外管15aの先端を閉止する端板部15bと、外管15aの内部に設けられた直管状の内管15cとを有する。本体部15は、外管15aの内部に内管15cを有する二重管構造を有する。
なお、外管15aの断面形状は、他の形状であってもよい。
図6は、外管15aの断面形状の例であって、この外管15aの断面は楕円形である。
図7は、外管15aの断面形状の例であって、この外管15aの断面は長方形の角部およびその近傍部分を円弧に置き換えた形状である。具体的には、長方形の隣り合う辺を滑らかに連続させた形状であって、向かい合う一対の辺15a1、15a1と、向かい合う一対の辺15a2、15a2(辺15a2は辺15a1に垂直)と、隣り合う辺15a1、15a2を連結する円弧状の湾曲部15a3とを有する。湾曲部15a3は、外方に膨出する円弧をなす。
「滑らかに連続する」とは、2つの隣り合う面または線が、その境界における接線方向が互いに一致するように連続している関係をいう。例えば、図7では、辺15a1と、これに隣接する湾曲部15a3との境界点において、辺15a1の接線方向と、湾曲部15a3の接線方向とは互いに一致している。
図8は、外管15aの断面形状の例であって、この外管15aの断面はひし形に近い形状であって、4つの辺15a4は直線ではなく外方に膨出する円弧状である。前図と同様に、辺15a4と、これに隣接する湾曲部15a5とは滑らかに連続している。
内管15cの内部空間は冷却媒体(例えば冷却水)が流通可能な内部流路15dとなっており、冷却媒体を基端側から先端15c1に向けて流すことができる。
内管15cの外面は外管15aの内面から離れており、内管15c外面と外管15a内面との間の空間は冷却媒体が流通可能な外部流路15eとなっている。
電極部2は、冷却媒体(例えば冷却水)を内管15cの内部流路15dに先端15c1方向に流し、先端15c1を経て外部流路15eに基端方向に流れるように流通させることによって、温度上昇を抑制することができる。
内面16a(電極部接続面16a3)の幅W1(先端方向に直交する方向の寸法)は、先端方向のいずれの位置においても、内面16aに当接する部分の接続端子部13の下面13cの幅W2を越えないことが好ましい。
図示例では、内面16aの幅W1は、接続端子部13の下面13cの幅W2に等しく、内面16aと下面13cの幅方向位置は一致している。
これによって、内面16aの縁部(側縁部16a1および端縁部16a2)が露出しなくなるため、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制できる。
図示例では、外面15b1の高さH1は、接続端子部13の高さH2に等しい。
これによって、図2に示す、電極部2と接続端子部13との接続部分は、外面15b1の上縁部15b2が接続端子部13に対して突出しない形態となるため、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制できる。
内面16aは、接続端子部13の発熱部接続面13c1が当接する電極部接続面16a3であって、接続端子部13を支持している。内面16aは、本体部15の延出方向に沿う平面であり、中心軸C2を含む面であることが好ましい。
内面16aが中心軸C2を含む面であると、内面16aの面積を最大化し、発熱部1との間の十分な電気的接続を得ることができるため、放電が起こりにくくなる。
先端延出部18は、端縁部16a2(図2(A)参照)に相当する部分である。
すなわち、先端延出部18の外面16bの側面視形状および縦断面形状は、略円弧状、略楕円弧状等の湾曲形状であり、詳細には、先端方向に向けて曲率半径が徐々に小さくなる湾曲形状である。
先端延出部18の外面16bの縦断面形状が略円弧状または略楕円弧状であると、最小曲率半径を大きくできるため、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制する効果を高めることができる。
縦断面形状が略楕円弧状である場合には、長径方向は例えば中心軸C2に沿う方向とすることができる。
縦断面とは、内面16aに垂直、かつ中心軸C2を含む断面である。
これによって、先端延出部18は、放電が起こりやすい先端側ほど断熱材6との距離が大きくなるため、放電を抑制できる。
外面16bの横断面形状が略半楕円弧状である場合には、長径方向は例えば内面16aに沿う方向とすることができる。
なお、図示例では、受け部16の一部である先端延出部18の外面16bが先端に向けて厚さを徐々に減じる形状となっているが、受け部16は、全体が先端に向けて厚さを徐々に減じる形状であってもよい。
内面16a(電極部接続面16a3)は、発熱部本体12の径方向に沿う面であることが好ましい。これによって、発熱部接続面13c1との当接面が発熱部本体12の径方向に沿う面となることから、熱膨張により発熱部本体12の径が変化して接続端子部13が径方向に変位した場合でも、発熱部接続面13c1が電極部接続面16aに対して当接面に沿って移動可能となり、電極部2との接続を維持できる。
ストレート部17の外径は先端延出部18の最大外径にほぼ等しくされているため、ストレート部17の外面16bは先端延出部18の外面16bに滑らかに連続している。よって、受け部16の外面16bはエッジ部や突起部がなく、全体として滑らかに連続する湾曲面となっている。
受け部16は、本体部15の概略半球状の端部の上半分(略四分球状の部分)を切り欠いて残った下半分の略四分球状の部分ということもできる。
固定部材19は、ヘッド部19aとヘッド部19aから延出する挿通部19bとを有し、挿通部19bが取り付け穴13bおよび取り付け穴16dに挿通し、ヘッド部19aが接続端子部13の上面に当接し、挿通部19bが取り付け穴16d内面にネジ止め等により固定されることによって、接続端子部13と受け部16とが互いに固定される。
挿通部19bは、受け部16に対する接続端子部13の移動が可能となるように、取り付け穴13b、16dの内径よりも径が小さいことが好ましい。
図9〜図11は、図1に示す加熱炉10の具体的な適用例を示す概略構成図である。以下、同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。
図9は、多孔質ガラス母材を焼結・透明ガラス化するための焼結装置50を示す。
焼結装置50は、細部の図示を省略しているが、図1の加熱炉10と同じ基本構造を有する焼結炉10Aを備えている。
焼結炉10Aは、多孔質ガラス母材11を加熱する発熱部1と、発熱部1に電力供給する電極部2(本図では省略)と、炉心管3と、これらを収容する炉本体4とを有する。炉本体4は、筐体5と、その内部に設けられた断熱材6とを備えている。
多孔質ガラス母材11は、支持棒21により支持されて炉心管3内に導入され、回転機構(図示略)により軸回りに回転しつつ発熱部1によって全周にわたり加熱され、焼結および透明ガラス化される。加熱温度は例えば約1500℃である。
延伸装置60は、図1の加熱炉10と同じ基本構造を有する延伸炉10Bと、キャプスタン7とを有する。
ガラス母材11は、炉心管3内に導入され、発熱部1に加熱され、キャプスタン7により延伸される。加熱温度は例えば約2000℃である。
ガラス母材11は、線引き炉10Cの炉心管3内に導入され、発熱部1に加熱されて線引きされる。得られた光ファイバ11Aは、冷却筒71で冷却され、被覆材塗布装置72およびUVランプ73により、紫外線硬化型樹脂などからなる一次被覆層が形成される。
光ファイバ11Aは、被覆材塗布装置74およびUVランプ75により、紫外線硬化型樹脂などからなる二次被覆層が形成されて光ファイバ素線となり、ターンプーリ76を経て巻取ドラム77に巻き取られる。
また、受け部16の内面16aは、接続端子部13に面的に接触して発熱部1との間に十分な電気的な接続を得ることができるため、放電を起きにくくすることができる。
このため、電極部2と断熱材6(または炉心管3)との間の放電に起因するガラス母材11への金属材料の混入を防ぎ、光ファイバの伝送損失の増加を防止できる。
放電を起こりにくくできるため、電極部2を発熱部本体12に近い位置に配置できる。このため、接続端子部13を長く形成する必要はなく、接続端子部13の強度低下が起きることはない。
接続端子部13と電極部2との間に中間部材を介在させる必要はないため、部品点数の増加による装置組み立て工程の煩雑化、メンテナンス性の悪化などの問題は生じない。また、中間部材の熱膨張を原因とする発熱部1の位置精度の低下も起こらない。
電極部2の受け部16の内面16aが上向きであるため、固定部材19は上方から取り付け穴13b、16dに挿入、抜出される。このため、固定部材19に対する作業が容易になる。
この加熱炉20は、図1の加熱炉10の断熱材6に代えて、断熱材26が用いられている。断熱材26は、筒状の本体部26aと、その内周側に設けられた筒状の内周部26bとからなる。
内周部26bは、本体部26aとは別体であり、本体部26aの挿通孔6gより上方側の位置に設置される。内周部26bの外径は発熱部1の外径(接続端子部13の外径)より大きい。
加熱炉20では、発熱部1を交換する際に、筐体5の上板5cを外し、内周部26bを本体部26aから取り外すことによって、発熱部1を露出させることができるため、発熱部1の交換作業が容易になる。
断熱材26の2分割構造を採用できるのは、上述のように、電極部2を発熱部本体12に近い位置に配置できるからである。
この加熱炉30は、断熱材6の挿通孔6gが収容凹部6bの内側面6cの最上部に開口しており、発熱部1が、図1の加熱炉10とは上下逆向きに設置されている。すなわち、発熱部1は、接続端子部13が発熱部本体12の上端に位置する姿勢で設置されている。
この例では、電極部2の内面16aの幅W1は、接続端子部13の下面13cの幅W2より小さい。
このため、内面16aの縁部(側縁部16a1および端縁部16a2)が露出しなくなるため、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制できる。
なお、接続端子部13の幅が電極部2の内面16aより幅広となるため、接続端子部13Aの下面13cの側縁部が露出することになるが、この側縁部と断熱材6等との間で放電が起きても、接続端子部13Aはカーボン材料からなるため金属材料の蒸発は起こらない。このため、金属材料の混入を原因とする光ファイバの伝送損失を防止できる。
このため、電極部2および接続端子部13は、外面15b1の上縁部15b2が突出する形態とはならないことから、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制できる。
なお、接続端子部13が電極部2より高くなるため、接続端子部13Bの端部13aの上縁部13a1が突出することになるが、この上縁部13a1と断熱材6等との間で放電が起きても、接続端子部13Bはカーボン材料からなるため金属材料の蒸発は起こらない。このため、金属材料の混入を原因とする光ファイバの伝送損失を防止できる。
この例では、端板部15bの上縁部15b3が断面湾曲形状であるため、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制できる。
図17に示す受け部16の内面16aは、中心軸C2より低い位置にあって、中心軸C2に沿う面である。このため、受け部16の厚さ寸法(上下方向の寸法)は本体部15の半径より小さい。
図18に示す受け部16の内面16aは、中心軸C2より高い位置にあって、中心軸C2に沿う面である。このため、受け部16の厚さ寸法(上下方向の寸法)は本体部15の半径より大きい。
これらの例においても、不均一な電界の発生を防ぎ、放電を抑制することが可能である。
図19に示す例では、本体部15の横断面形状は、受け部16の横断面形状(略半円状、略半楕円状等)と同じ形状とされている。
図20に示す例では、受け部16Aの先端延出部18Aの外面16Abの側面視形状および縦断面形状は、略円弧状の湾曲部16b1と、その先端側にあって、先端に向けて厚さを減じる方向に一定角度で傾斜する傾斜部16b2とを有する。
湾曲部16b1の先端における接線方向は傾斜部16b2に沿う方向であるため、湾曲部16b1と傾斜部16b2とは滑らかに連続しており、外面16Abは滑らかに連続する面である。
図21に示す例では、受け部16Bの先端延出部18Bの外面16Bbの側面視形状および縦断面形状は、略円弧状の湾曲部16b3と、その先端側にあって、中心軸C2に垂直な直線をなす直線部16b4とを有する。
湾曲部16b3の先端部における接線方向は直線部16b4に沿う方向であるため、湾曲部16b3と直線部16b4とは滑らかに連続しており、外面16Bbは滑らかに連続する面である。
Claims (8)
- 被加熱物を加熱する発熱部と、前記発熱部に電力供給して発熱させる電極部と、前記発熱部から外部への伝熱を遮る断熱部と、を備え、
前記発熱部は、カーボン材料からなり、内部に前記被加熱物が導入される筒状の発熱部本体と、前記発熱部本体の軸方向に対し交差する外方に延出する接続端子部とを有し、
前記断熱部は、前記発熱部本体の外周側に設けられ、
前記電極部は、金属材料からなり、前記接続端子部に向けて延出し、前記延出方向の端部には、前記接続端子部に面的に当接して前記発熱部と電気的に接続される電極部接続面が形成され、
前記端部の前記電極部接続面以外の面である外面は、滑らかに連続する面であり、
前記電極部の端部の外面の横断面形状は、略円弧状または略楕円弧状であることを特徴とする光ファイバ製造用加熱炉。 - 前記電極部の端部の外面の縦断面形状は、略円弧状または略楕円弧状であることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ製造用加熱炉。
- 前記電極部は、前記接続端子部に向けて延出する本体部を有し、
前記端部は、前記本体部の先端面から突出して形成され、
前記電極部接続面の幅は、前記電極部接続面に当接する前記接続端子部の幅を越えないことを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ製造用加熱炉。 - 前記電極部は、前記接続端子部に向けて延出する本体部を有し、
前記端部は、前記本体部の先端面から突出して形成され、
前記電極部接続面を基準とする前記先端面の高さは、前記電極部接続面に当接する前記接続端子部の高さを越えないことを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ製造用加熱炉。 - 前記先端面の縁部は、曲面加工されていることを特徴とする請求項3または4に記載の光ファイバ製造用加熱炉。
- 前記電極部接続面は、前記発熱部本体の径方向に沿う面であることを特徴とする請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の光ファイバ製造用加熱炉。
- 前記電極部接続面は、前記本体部の中心軸を含む面であることを特徴とする請求項3または4に記載の光ファイバ製造用加熱炉。
- 少なくとも前記端部の先端を含む部分は、前記先端に向けて徐々に厚さを減じる形状であることを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか1項に記載の光ファイバ製造用加熱炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012133818A JP5907815B2 (ja) | 2012-06-13 | 2012-06-13 | 光ファイバ製造用加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012133818A JP5907815B2 (ja) | 2012-06-13 | 2012-06-13 | 光ファイバ製造用加熱炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013256415A JP2013256415A (ja) | 2013-12-26 |
JP5907815B2 true JP5907815B2 (ja) | 2016-04-26 |
Family
ID=49953189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012133818A Active JP5907815B2 (ja) | 2012-06-13 | 2012-06-13 | 光ファイバ製造用加熱炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5907815B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102499331B1 (ko) * | 2021-03-12 | 2023-02-13 | 삼한진공개발(주) | 수직형 고정밀 진공소결로 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3170573B2 (ja) * | 1999-06-23 | 2001-05-28 | 助川電気工業株式会社 | 縦型加熱炉用円板状ヒータ |
JP5655304B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2015-01-21 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ線引き炉および光ファイバ線引き方法 |
-
2012
- 2012-06-13 JP JP2012133818A patent/JP5907815B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013256415A (ja) | 2013-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5880522B2 (ja) | 光ファイバ製造方法及び光ファイバ線引炉 | |
JP6036386B2 (ja) | マルチコア光ファイバ母材製造方法 | |
WO2017221471A1 (ja) | 異形断面ガラス繊維製造用ノズル並びに異形断面ガラス繊維製造装置及びその製造方法 | |
JP5907815B2 (ja) | 光ファイバ製造用加熱炉 | |
JP5796035B2 (ja) | 線引き用光ファイバプリフォーム、コネクタ付き線引き用光ファイバプリフォーム、および線引き方法 | |
WO2018020743A1 (ja) | 異形断面ガラス繊維の製造装置、及びその製造方法 | |
JP6227240B2 (ja) | プラズマ化学蒸着を行うための装置 | |
JP6157471B2 (ja) | 金型誘導加熱装置 | |
JP2965037B1 (ja) | 光ファイバ線引き炉及び光ファイバ線引き方法 | |
JP5306839B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造装置 | |
JP7407752B2 (ja) | ウエハ支持台 | |
JP2000068043A (ja) | テーパー体の誘導加熱コイル | |
JP2002068773A (ja) | 光ファイバ線引炉及び光ファイバの線引方法 | |
JP4822524B2 (ja) | 円形平面の誘導加熱コイル | |
KR100563501B1 (ko) | 광섬유모재 가열로 | |
JP5655304B2 (ja) | 光ファイバ線引き炉および光ファイバ線引き方法 | |
JPH06338385A (ja) | 誘導コイル製造用管 | |
CN109687337A (zh) | 一种防焊接变形的法兰结构和一种gis壳体 | |
JP5757192B2 (ja) | 光ファイバ線引き炉 | |
US20230192526A1 (en) | Inductive furnace with rotating susceptor for high precision waveguide glass draw | |
JP2009174037A (ja) | 誘導加熱装置の高周波加熱コイル | |
JP4415954B2 (ja) | ガス加熱装置 | |
JP2010244786A (ja) | シーズヒータとそれを用いた加熱方法 | |
JP2013209225A (ja) | 光ファイバ母材加熱用ヒータ | |
JP2016118320A (ja) | 流体加熱装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160223 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160322 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5907815 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |