JP5907019B2 - 薄板ガラスの切断方法及び薄板ガラス - Google Patents
薄板ガラスの切断方法及び薄板ガラス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5907019B2 JP5907019B2 JP2012203278A JP2012203278A JP5907019B2 JP 5907019 B2 JP5907019 B2 JP 5907019B2 JP 2012203278 A JP2012203278 A JP 2012203278A JP 2012203278 A JP2012203278 A JP 2012203278A JP 5907019 B2 JP5907019 B2 JP 5907019B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin glass
- cutting
- assist gas
- glass
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
図1に示すように、本発明の第1実施形態に係るガラス板切断装置1は、平置き姿勢のガラス基板Gを下方から支持する支持ステージ2と、この支持ステージ2に支持されたガラス基板Gを溶断分離するレーザビーム照射器3とを備えている。
図5に示すように、本発明の第2実施形態に係るガラス板切断装置1は、第1実施形態に係るガラス板切断装置1の構成に、更に、センターアシストガス噴射ノズル5を付加したものである。以下、共通点についての説明は省略し、相違点についてのみ説明する。
図6に示すように、本発明の第3実施形態に係るガラス板切断装置1が、第1〜2実施形態に係るガラス板切断装置1と相違するところは、ガラス基板Gの下方空間に、補助サイドアシストガス噴射ノズル6を備えている点にある。以下、共通点についての説明は省略し、相違点についてのみ説明する。なお、図示例では、センターアシストガス噴射ノズル5を設けているが省略してもよい。
図7に示すように、本発明の第4実施形態に係るガラス板切断装置1が、第3実施形態に係るガラス板切断装置1と相違するところは、補助サイドアシストガスA3の供給方法にある。以下、共通点についての説明は省略し、相違点についてのみ説明する。
図8に示すように、本発明の第5実施形態に係るガラス板切断装置1が、第3実施形態に係るガラス板切断装置1と相違するところは、溶断過程で生じる溶融異物を吸引する構成を備えている点にある。以下、共通点についての説明は省略し、相違点についてのみ説明する。
勿論、図10に示すように、第4実施形態に係るガラス板切断装置1(図7を参照)に、第1吸引ノズル7および第2吸引ノズル8を配置してもよい。
2 支持ステージ
21 ステージ本体
22 コンベア
3 レーザビーム照射器
31 レンズ
4 サイドアシストガス噴射ノズル
5 センターアシストガス噴射ノズル
6 補助サイドアシストガス噴射ノズル
7 第1吸引ノズル
8 第2吸引ノズル
A1 サイドアシストガス
A2 センターアシストガス
A3 補助サイドアシストガス
C 切断部
G ガラス基板
Ga 製品部
Ga1 溶断端面
Gb 非製品部
Gb1 溶断端面
LB レーザビーム
S 非支持空間
Claims (7)
- 500μm以下の厚みの薄板ガラスの切断部にレーザビームを照射し、前記薄板ガラスを溶断する薄板ガラス切断方法であって、
前記薄板ガラスの厚みをa、前記切断部で対向する前記薄板ガラスの溶断端面間の最小隙間をbとした場合に、0.1≦b/a≦2なる関係を満足するように前記最小隙間を管理することを特徴とする薄板ガラスの切断方法。 - 前記レーザビームをデフォーカスの状態で前記切断部に照射することを特徴とする請求項1に記載の薄板ガラスの切断方法。
- 前記レーザビームのスポット径が、前記最小隙間よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載の薄板ガラスの切断方法。
- 前記溶断端面が、凸曲面をなすことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄板ガラスの切断方法。
- 前記溶断端面が、火造り面であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄板ガラスの切断方法。
- 前記溶断端面の算術平均粗さRaが、0.3μm以下であり、且つ、粗さ曲線要素の平均長さRSmが、150μm以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄板ガラスの切断方法。
- 前記溶断端面の残留圧縮応力が、20MPa〜500MPaであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の薄板ガラスの切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012203278A JP5907019B2 (ja) | 2011-09-15 | 2012-09-14 | 薄板ガラスの切断方法及び薄板ガラス |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011202140 | 2011-09-15 | ||
JP2011202140 | 2011-09-15 | ||
JP2012203278A JP5907019B2 (ja) | 2011-09-15 | 2012-09-14 | 薄板ガラスの切断方法及び薄板ガラス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013075818A JP2013075818A (ja) | 2013-04-25 |
JP5907019B2 true JP5907019B2 (ja) | 2016-04-20 |
Family
ID=48479589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012203278A Active JP5907019B2 (ja) | 2011-09-15 | 2012-09-14 | 薄板ガラスの切断方法及び薄板ガラス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5907019B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5975344B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-08-23 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラスのレーザー溶断方法 |
WO2014178405A1 (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-06 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスフィルム積層体および電子デバイスの製造方法 |
JP6327580B2 (ja) * | 2013-04-30 | 2018-05-23 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスフィルム積層体および電子デバイスの製造方法 |
JP6312476B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2018-04-18 | 三菱重工業株式会社 | レーザ切断装置 |
JP6811697B2 (ja) | 2017-09-22 | 2021-01-13 | 三菱重工業株式会社 | レーザー切断装置及びレーザー切断方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01215736A (ja) * | 1988-02-20 | 1989-08-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 薄板ガラス切断方法 |
JP3077462B2 (ja) * | 1993-09-01 | 2000-08-14 | 日立電線株式会社 | ガラスの切断方法 |
JP5691148B2 (ja) * | 2008-10-01 | 2015-04-01 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスロール、ガラスロールの製造装置、及びガラスロールの製造方法 |
-
2012
- 2012-09-14 JP JP2012203278A patent/JP5907019B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013075818A (ja) | 2013-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5861864B2 (ja) | ガラス板切断方法およびガラス板切断装置 | |
WO2013039229A1 (ja) | ガラス板切断方法およびガラス板切断装置 | |
JP5907019B2 (ja) | 薄板ガラスの切断方法及び薄板ガラス | |
TWI629249B (zh) | Method for cutting tempered glass sheets | |
KR101581992B1 (ko) | 취성 재료의 시트 분리 방법 | |
WO2013039230A1 (ja) | ガラス板切断方法 | |
US8677783B2 (en) | Method for low energy separation of a glass ribbon | |
JP5824998B2 (ja) | ガラス板切断方法およびガラス板切断装置 | |
KR101223490B1 (ko) | 취성 재료 기판의 할단 방법 | |
JPWO2014077117A1 (ja) | 板ガラスの製造方法、及び製造装置 | |
TW201529503A (zh) | 玻璃基板之倒角方法及雷射加工裝置 | |
TW201328808A (zh) | 玻璃板切斷方法 | |
JP5825551B2 (ja) | ガラス板切断方法およびガラス板切断装置 | |
TW201619078A (zh) | 引導玻璃切割及防止碎裂的熱阻障件 | |
JP6222439B2 (ja) | ガラスフィルムの割断方法及びフィルム状ガラスの製造方法 | |
JP5884691B2 (ja) | ガラス板切断方法 | |
JP2017019704A (ja) | 硬質脆性板の割断方法及び装置 | |
JP5993684B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 | |
JP5995195B2 (ja) | 板ガラスの切断方法 | |
KR20140034343A (ko) | 기판 절단 장치 및 방법 | |
JP2014065629A (ja) | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151030 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160223 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160307 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5907019 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |