JP5902777B2 - Vacuum pump and apparatus having a vacuum pump - Google Patents

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Description

本発明は、真空ポンプ及び真空ポンプを有する装置に関する。   The present invention relates to a vacuum pump and an apparatus having a vacuum pump.

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプが、ポンプケーシング内に配置された少なくとも１つの回転子を有する。当該回転子は、１つの固定子組立体又は複数の固定子によって包囲されている。当該１つの固定子組立体又は複数の固定子は、ポンプケーシングによって支持されている／される。さらに、駆動装置、特に、少なくとも１つの回転子を駆動させる電気モータが、このポンプケーシング内に配置されている。一般に、当該駆動装置のシャフトが、当該回転子の軸に対して同軸に配置されている。   Vacuum pumps, in particular turbomolecular pumps, have at least one rotor arranged in the pump casing. The rotor is surrounded by one stator assembly or a plurality of stators. The single stator assembly or multiple stators are / are supported by a pump casing. Furthermore, a drive device, in particular an electric motor for driving at least one rotor, is arranged in the pump casing. Generally, the shaft of the drive device is arranged coaxially with the axis of the rotor.

高い圧縮比が、ターボ分子ポンプによって達成され得る。ターボ分子ポンプは、吸気口又は吸気ノズルに比べて非常に小さい排気口又は小さい排気ノズルを有する。一般に、予備真空ポンプが、導管を通じて当該排気ノズルに連結されている。   High compression ratios can be achieved with turbomolecular pumps. Turbomolecular pumps have very small exhaust ports or small exhaust nozzles compared to intake ports or intake nozzles. In general, a preliminary vacuum pump is connected to the exhaust nozzle through a conduit.

真空ポンプと機器（以下では、チャンバと呼ぶ）とを有する装置では、当該装置の様々な幾何学的形状が要求される。すなわち、例えば、質量分析計を設置する場合、全システムのコンパクトな寸法が要求される。その結果、多くの場合に、真空ポンプが、端末機器内に位置決めされる。当該位置決めは、真空ポンプへのアクセスを著しく制限する。その一方で、当該真空ポンプの点検、例えばころ軸受の予防交換が、容易に可能でなければならない。   In an apparatus having a vacuum pump and equipment (hereinafter referred to as a chamber), various geometric shapes of the apparatus are required. That is, for example, when installing a mass spectrometer, the compact dimensions of the entire system are required. As a result, the vacuum pump is often positioned in the terminal equipment. Such positioning significantly limits access to the vacuum pump. On the other hand, inspection of the vacuum pump, for example preventive replacement of roller bearings, should be easily possible.

この目的のために、従来の技術（欧州特許出願公開第２２２８５４０号明細書）によれば、真空ポンプを有する装置が提唱されている。当該装置は、ポンプ用フランジを有する。この装置は、チャンバ用フランジを有し、且つポンプ用フランジとチャンバ用フランジとから成る、チャンバと真空ポンプとを真空気密に結合させるためのフランジ結合部を有する。この装置では、力伝達構造部が設けられている。この力伝達構造部は、力をガイド部から当該フランジ結合部内に存在する少なくとも１つの作用点に伝達させる。   For this purpose, according to the prior art (EP-A-2228540), an apparatus with a vacuum pump has been proposed. The device has a pump flange. This apparatus has a flange for connecting the chamber and the vacuum pump in a vacuum-tight manner, which includes a flange for the chamber and a flange for the pump and a flange for the chamber. In this device, a force transmission structure is provided. The force transmission structure part transmits force from the guide part to at least one action point existing in the flange coupling part.

このことは、一般に、真空ポンプが、当該装置の、この真空ポンプのために設けられている収容部内に配置されることを意味する。この収容部は、レールシステムの形態で構成され得る。ポンプ用フランジとチャンバ用フランジとが、互いに真空気密に接合される。この場合、真空ポンプの吸気口が、チャンバの排気口と揃い且つ当該排気口に重なって配置されているように、当該吸気口は配置される。例えば、ころ軸受の予防効果を実施するため、上記従来の技術に属するこの真空ポンプは、対応する結合手段と固定手段との解除後に当該装置から容易に取り出され得る。   This generally means that the vacuum pump is arranged in a receiving part of the device provided for this vacuum pump. This housing can be configured in the form of a rail system. The pump flange and the chamber flange are joined together in a vacuum-tight manner. In this case, the intake port is arranged so that the intake port of the vacuum pump is aligned with the exhaust port of the chamber and overlaps the exhaust port. For example, in order to implement the preventive effect of the roller bearing, this vacuum pump belonging to the above prior art can be easily removed from the device after the corresponding coupling means and fixing means are released.

上記従来の技術から公知の当該装置は、チャンバの排気口の位置と真空ポンプを収容するための幾何学的配置とに関する顧客の仕様に合った要求を満たす必要がある。   The device known from the above prior art needs to meet the customer's specifications regarding the location of the chamber exhaust and the geometry for accommodating the vacuum pump.

異なる圧力レベル用の複数の吸引口を有するシステムでは、実際のシステムから公知であるように、複数の別々の真空ポンプが使用される。特に、飛行時間型システムを有する質量分析計では、相当な距離が、当該複数の吸引口間で発生する。飛行時間型質量分析計は、質量分析計の一種である。対象となるのは、飛行時間型質量分析計である。   In systems with multiple suction ports for different pressure levels, multiple separate vacuum pumps are used, as is known from actual systems. In particular, in a mass spectrometer having a time-of-flight system, a considerable distance is generated between the plurality of suction ports. A time-of-flight mass spectrometer is a type of mass spectrometer. The target is a time-of-flight mass spectrometer.

上記実際のシステムから公知であるあるように、当該用途では、いわゆるスプリットフローポンプを使用する必要がある。当該スプリットフローポンプは、例えば独国特許出願公開第４３３１５８９号明細書から公知であるように、多段式の気体吸気システム用の真空ポンプシステムである。   As is known from the above actual system, the application requires the use of a so-called split flow pump. The split flow pump is a vacuum pump system for a multi-stage gas suction system, as is known, for example, from DE 43 31 589 A1.

一般に、上記従来の技術に属する当該スプリットフローポンプは、５００ミリメートルまでの構造長さを有する。しかしながら、当該複数の吸引口が、互いにかなり離れている場合、これらの吸引口間の大きく離れた間隔をカバーするために十分に長いケーシングは、上記実際のシステムから公知であるように、非常に大きくて且つ非常に高価な加工機械だけによって製造され得る。   Generally, the split flow pump belonging to the above prior art has a structural length of up to 500 millimeters. However, if the suction ports are quite far apart from each other, a casing that is long enough to cover the large distance between the suction ports is very large, as is known from the actual system above. It can be produced only by large and very expensive processing machines.

欧州特許出願公開第２２２８５４０号明細書European Patent Application No. 2228540 独国特許出願公開第４３３１５８９号明細書German Patent Application Publication No. 4333189

本発明の技術的課題は、顧客の仕様に合った要求が簡単に且つ低コストで実現され得るように、且つ大きい構造長さを有する低コストの真空ポンプが製造可能であるように、上記従来の技術に属する真空ポンプと真空ポンプを有する装置とを改良することにある。   The technical problem of the present invention is that the above-described conventional technique is such that a request meeting customer specifications can be realized easily and at low cost, and that a low-cost vacuum pump having a large structural length can be manufactured. The purpose of this invention is to improve the vacuum pump and the apparatus having the vacuum pump belonging to the above technique.

この技術的課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプと請求項１２に記載の特徴を有する真空ポンプを備える装置とによって解決される。   This technical problem is solved by a vacuum pump having the features of claim 1 and an apparatus comprising a vacuum pump having the features of claim 12.

ケーシングと、固定子内に回転可能に軸支されている回転子用の駆動装置だけを有するポンプ装置とを備える本発明の真空ポンプは、前記ケーシングに連結可能に据え付けられた少なくとも１つの追加のケーシング部分が、このケーシングに対して同軸方向に配置されていること、及び、１つの吸気口が、前記ケーシング内に同軸方向に設けられていて、１つの排気口が、前記少なくとも１つの追加のケーシング部分内に同軸方向に設けられていることを特徴とする。   The vacuum pump of the present invention comprising a casing and a pump device having only a driving device for a rotor that is rotatably supported in the stator is provided with at least one additional mount mounted to the casing. The casing part is arranged coaxially with respect to the casing, and one air inlet is provided coaxially in the casing, and one air outlet is the at least one additional It is provided in the casing part in the coaxial direction.

本発明の真空ポンプには、顧客側から頻繁に要求されるような、大きい構造長さの真空ポンプが、同軸方向に据え付けられた追加のケーシング部分によって実現可能であるという利点がある。さらに、標準的な真空ポンプが使用され得る。このとき、当該据え付けられたケーシング部分は、その顧客の仕様に合った要求に対して必要な寸法を有する。   The vacuum pump of the present invention has the advantage that a large structural length vacuum pump, as frequently required by the customer, can be realized with an additional casing part installed coaxially. In addition, standard vacuum pumps can be used. At this time, the installed casing part has the required dimensions for the requirements that meet the customer's specifications.

さらに、従来の公知の工具を用いて可能であるケーシングよりも大きい構造長さを有する連続したケーシングを備える真空ポンプが製造され得る。すなわち、ケーシングの構造長さは、その長さを従来の技術に属する工作機械によって制限される。   Furthermore, a vacuum pump with a continuous casing having a larger structural length than that possible with conventional known tools can be produced. That is, the structural length of the casing is limited by the machine tool belonging to the prior art.

原理的には、任意の長さが、少なくとも１つの追加のケーシング部分を設けることによって提供され得る。   In principle, any length can be provided by providing at least one additional casing part.

したがって、当該据え付けられたケーシング部分は、例えば据え付けられた導管と比べて、ケーシングの直径及び外郭が、真空ポンプの全体に対して一定に且つ均質に形成されているという利点がある。その結果、例えば質量分析計を有する装置内のフランジ、開口部、レールシステム等が、本発明の真空ポンプによって使用され得る。   Therefore, the installed casing part has the advantage that the diameter and outline of the casing are made constant and homogeneous with respect to the entire vacuum pump, for example compared to the installed conduit. As a result, for example, flanges, openings, rail systems, etc. in a device with a mass spectrometer can be used by the vacuum pump of the present invention.

さらに、真空ポンプの長手軸に対して半径方向に配置されたポンプチャンバの排気口に連結できるようにするため、据え付けられた導管が、多くの場合に屈曲部分を有する。この屈曲部分のために、当該従来の技術に属する、据え付けられた導管を有する真空ポンプが、装置に存在する収容部内で使用できない。   Furthermore, the installed conduit often has a bend to allow it to be connected to a pump chamber outlet arranged radially with respect to the longitudinal axis of the vacuum pump. Due to this bend, a vacuum pump with an installed conduit belonging to the prior art cannot be used in a receptacle present in the device.

本発明の好適な実施の形態によれば、当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分は、少なくとも１つのラジアル吸気口を有する。   According to a preferred embodiment of the invention, the installed at least one casing part has at least one radial inlet.

このラジアル吸気口は、真空ポンプが配置される装置のポンプチャンバの排気口に連結させるために使用される。   This radial inlet is used to connect to the outlet of the pump chamber of the device where the vacuum pump is located.

当該装置が、複数のチャンバを有する場合は、据え付けられたケーシング部分が、対応する数の吸気口を有することが好ましい。これらの吸気口はそれぞれ、当該チャンバの排気口に一致する。   If the device has a plurality of chambers, the installed casing part preferably has a corresponding number of inlets. Each of these inlets corresponds to the outlet of the chamber.

本発明の別の好適な実施の形態は、据え付けられたケーシング部分の少なくとも１つのラジアル吸気口が、当該据え付けられたケーシング部分の駆動部から離れた端部に配置されていることを提唱する。   Another preferred embodiment of the present invention proposes that at least one radial inlet of the installed casing part is located at the end of the installed casing part away from the drive.

例えば、飛行時間型システムを有する質量分析計を備える装置は、多くの場合に、複数の異なる吸引口間に相当な間隔を有する。当該複数のラジアル吸気口が、据え付けられたケーシング部分内で顧客の仕様に合わせて形成され得ることによって、少なくとも１つの吸気口又は最後のラジアル吸気口を駆動部から離れた端部に設けること、すなわちポンプ能動構造体から離れて配置されているケーシング部分の端部に設けることが有益である。   For example, an apparatus comprising a mass spectrometer with a time-of-flight system often has a significant spacing between a plurality of different suction ports. The plurality of radial inlets can be formed in the installed casing part to customer specifications, thereby providing at least one inlet or the last radial inlet at the end remote from the drive; That is, it is beneficial to provide it at the end of the casing part which is located away from the pump active structure.

本発明の別の好適な実施の形態によれば、真空ポンプのケーシングが、少なくとも１つのラジアル吸気口を有する。このことは、追加のケーシング部分が据え付けられる当該ケーシング内の真空ポンプ自体が、少なくとも１つのラジアル吸気口を既に有することを意味する。   According to another preferred embodiment of the invention, the casing of the vacuum pump has at least one radial inlet. This means that the vacuum pump itself in the casing in which the additional casing part is installed already has at least one radial inlet.

本発明の別の好適な実施の形態によれば、据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分が、ケーシングに対して同じ外郭を少なくとも部分的に有する。これにより、真空ポンプのケーシングと据え付けられたケーシング部分とが、ただ１つのケーシングの外郭及び形を成すことが保証される。したがって、真空ポンプを装置の収容部内に、例えば質量分析計と一緒に非常に有効に配置することが可能である。   According to another preferred embodiment of the invention, the installed at least one casing part has at least partly the same shell with respect to the casing. This ensures that the casing of the vacuum pump and the installed casing part form the outline and shape of a single casing. It is thus possible to very effectively arrange the vacuum pump in the housing of the device, for example together with a mass spectrometer.

ケーシングと据え付けられたケーシング部分との当該等しい外郭は、例えばくびれ部によって中断され得る。   The equal outline of the casing and the installed casing part can be interrupted, for example, by a constriction.

本発明の別の好適な実施の形態は、真空ポンプのポンプ能動構造体が、その少なくとも一部を据え付けられたケーシング部分内に配置されていることを提唱する。例えば、真空ポンプの回転子の軸受用の星形軸受台を据え付けられたケーシング部分内に配置することが可能である。   Another preferred embodiment of the present invention proposes that the pump active structure of the vacuum pump is arranged in a casing part, at least part of which is installed. For example, it is possible to arrange a star bearing for the bearing of the rotor of the vacuum pump in the installed casing part.

同様に、その他の部品が、ケーシング部分内に設けられ得る。   Similarly, other parts can be provided in the casing part.

本発明の別の好適な実施の形態は、真空ポンプのポンプ能動構造体が、据え付けられたケーシング部分内に配置されていないことを提唱する。この場合には、当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分は、この真空ポンプのケーシングの純粋な延長部分を形成する。   Another preferred embodiment of the present invention proposes that the pump active structure of the vacuum pump is not located in the installed casing part. In this case, the installed at least one casing part forms a pure extension of the casing of the vacuum pump.

当該ケーシングと当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分とは、好ましくは少なくとも５５０ミリメートルの全長を有する。５００ミリメートル未満の真空ポンプのケーシングの長さは、既存の機械によって通常の経費で製造され得る。   The casing and the mounted at least one casing part preferably have an overall length of at least 550 millimeters. Vacuum pump casing lengths of less than 500 millimeters can be produced at normal expense by existing machines.

当該ケーシングと当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分とは、好ましくは少なくとも７００ミリメートルの全長を有する。本発明は、５５０ミリメートルより長いときに非常に有益であり、例えば、７００ミリメートルより長い寸法が、有効に使用可能である。   The casing and the mounted at least one casing part preferably have an overall length of at least 700 millimeters. The present invention is very beneficial when longer than 550 millimeters, for example, dimensions longer than 700 millimeters can be used effectively.

本発明の別の好適な実施の形態によれば、当該ケーシングの吸気口と当該据え付けられたケーシング部分の排気口とが、重なって形成されている。したがって、当該据え付けられたケーシング部分が、真空ポンプのケーシングの延長部分のように作用することが保証される。   According to another preferred embodiment of the present invention, the intake port of the casing and the exhaust port of the installed casing portion overlap each other. It is thus ensured that the installed casing part acts like an extension of the casing of the vacuum pump.

本発明の別の好適な実施の形態によれば、ケーシングのさらなる延長を可能にするため、据え付けられた第１ケーシング部分の吸気口と据え付けられた第２ケーシング部分の排気口とが、同様に重なって形成されている。   According to another preferred embodiment of the invention, in order to allow further extension of the casing, the inlet of the installed first casing part and the outlet of the installed second casing part are likewise Overlapping is formed.

本発明の別の特に好適な実施の形態は、少なくとも１つの断熱要素及び／又は振動遮断要素及び／又は電気絶縁要素が、当該真空ポンプのケーシングと当該据え付けられたケーシング部分との間に設けられているか又は据え付けられた２つのケーシング部分間に設けられていることを提唱する。この機能は、例えば、特別に形成された密封要素中に組み込まれ得る。   Another particularly preferred embodiment of the invention is that at least one thermal insulation element and / or vibration isolation element and / or electrical insulation element is provided between the casing of the vacuum pump and the installed casing part. It is proposed that it is provided between two casing parts that are installed or installed. This function can be incorporated, for example, in a specially formed sealing element.

例えば、ケーシング部分とケーシング部分との間の断熱をこの実施の形態によって実現することが可能である。電気絶縁及び／又は振動遮断も、この実施の形態によって可能である。   For example, the insulation between the casing part and the casing part can be realized by this embodiment. Electrical insulation and / or vibration isolation is also possible with this embodiment.

本発明の好適な実施の形態によれば、真空ポンプが、ターボ分子ポンプとして構成されている。   According to a preferred embodiment of the invention, the vacuum pump is configured as a turbomolecular pump.

しかしながら、その他の種類の真空ポンプを本発明のケーシング延長部分と一緒に設けることも可能である。   However, other types of vacuum pumps can be provided with the casing extension of the present invention.

別の実施の形態によれば、真空ポンプが、少なくとも２つの気体吸気口を有する真空ポンプとして形成され得る。この種類の真空ポンプは、スプリットフローポンプとも呼ばれる。多段式の気体吸気システムを有するこの種類の真空ポンプは、多くの場合に、例えば質量分析計を有する装置内で使用される。当該装置でも、顧客の仕様に合った要求に適合されたケーシングの構造が多くの場合に有益である。   According to another embodiment, the vacuum pump can be formed as a vacuum pump having at least two gas inlets. This type of vacuum pump is also called a split flow pump. This type of vacuum pump with a multistage gas suction system is often used in devices having, for example, a mass spectrometer. Even in such devices, a casing construction adapted to the requirements of the customer's specifications is often beneficial.

当該真空ポンプは、例えば、少なくとも１つのターボ分子ポンプ段及び／又は少なくとも１つのホルベックポンプ段を有し得る。一般に、当該少なくとも１つのホルベックポンプ段は、気体の送り方向に沿って、当該少なくとも１つのターボ分子ポンプ段の後方に配置されている。当該複数の気体吸気口が、特に、当該複数のターボ分子ポンプ段及び／又は複数のホルベックポンプ段の前方に配置されているか又はこれらのポンプ段の間に配置されているか又はこれらのポンプ段の後方に配置されている。   The vacuum pump can have, for example, at least one turbomolecular pump stage and / or at least one Holbeck pump stage. Generally, the at least one Holbeck pump stage is arranged behind the at least one turbomolecular pump stage along the gas feed direction. The plurality of gas inlets are in particular arranged in front of or between the plurality of turbomolecular pump stages and / or the plurality of Holbeck pump stages, or these pump stages It is arranged behind.

ケーシングと、固定子内に回転可能に軸支されている回転子用の駆動装置だけを有するポンプ装置とを備える真空ポンプを持つ本発明の装置であって、この装置が、少なくとも１つのポンプ用フランジと、１つのチャンバ用フランジを有する１つのチャンバとを有し、この装置が、１つのポンプ用フランジと１つのチャンバ用フランジとから成る、チャンバと真空ポンプとを真空気密に結合させるためのフランジ結合部を有する当該装置は、前記ケーシングに連結可能に据え付けられた少なくとも１つの追加のケーシング部分が、前記真空ポンプの前記ケーシングに対して同軸方向に配置されていること、１つの吸気口が、前記ケーシング内に同軸方向に設けられていて、１つの排気口が、前記少なくとも１つの追加のケーシング部分内に同軸方向に設けられていること、及び、当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分が、少なくとも１つのラジアル吸気口を有し、当該ラジアル吸気口は、前記装置の少なくとも１つのチャンバに連結可能に形成されていることを特徴とする。   A device according to the invention having a vacuum pump comprising a casing and a pump device having only a drive device for the rotor rotatably supported in the stator, the device being for at least one pump A chamber having a flange and a chamber flange, the device comprising a pump flange and a chamber flange for vacuum-tightly coupling the chamber and the vacuum pump The device having a flange coupling is characterized in that at least one additional casing part mounted to be connected to the casing is arranged coaxially with respect to the casing of the vacuum pump, Provided in the casing in a coaxial direction, wherein one exhaust port is provided in the at least one additional casing part. And the installed at least one casing part has at least one radial inlet, the radial inlet being formed to be connectable to at least one chamber of the device. It is characterized by.

真空ポンプを有する装置のこの本発明の構成によって、非常に高い加工コスト及び製造コストが、当該ケーシングの製造時に発生することなしに、この真空ポンプは、複数の吸引口を有する装置内で使用され得る。この装置では、これらの吸引口は、互いにかなり離れている。   With this inventive configuration of the device having a vacuum pump, the vacuum pump can be used in a device having a plurality of suction ports without incurring very high processing and manufacturing costs during the production of the casing. obtain. In this device, these suction ports are far apart from each other.

本発明の特に好適な実施の形態によれば、当該装置が、力伝達構造部を有する。この力伝達構造部は、力をガイド部からフランジ結合部内に存在する少なくとも１つの作用点に伝達する力伝達構造部として構成されている。この力伝達構造部は、欧州特許出願公開第２２２８５４０号明細書に記載されている。   According to a particularly preferred embodiment of the invention, the device has a force transmission structure. This force transmission structure part is comprised as a force transmission structure part which transmits force to the at least 1 action point which exists in a flange coupling | bond part from a guide part. This force transmission structure is described in EP-A-2228540.

既に説明されたように、本発明の装置は、質量分析計を有する装置で非常に有益に使用される。何故なら、当該装置では、互いに離れている必要に応じた複数の吸引口を有する複数の気体吸気口が存在するからである。   As already explained, the device according to the invention is very usefully used in devices having a mass spectrometer. This is because the apparatus has a plurality of gas intake ports having a plurality of suction ports as needed apart from each other.

本発明の別の好適な実施の形態によれば、当該真空ポンプのケーシングと、当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分とが、当該装置内に配置された収容部に適合された外郭を有する。したがって、当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分を有する真空ポンプを既定の構造の装置内に差し込むことが可能である。真空ポンプのケーシング用の当該装置内のこの収容部は、この真空ポンプのケーシングの外郭に合わせて形成されている。この場合には、当該据え付けられたケーシング部分を有するこのケーシングの収容が、問題なく可能であるように、当該据え付けられたケーシング部分が、同じ外郭を有することが好ましい。   According to another preferred embodiment of the invention, the casing of the vacuum pump and the mounted at least one casing part have a shell adapted to a receiving part arranged in the device. It is therefore possible to insert a vacuum pump having at least one casing part mounted thereon into a device of a predetermined structure. This accommodating part in the said apparatus for casings of a vacuum pump is formed according to the outline of the casing of this vacuum pump. In this case, it is preferred that the installed casing parts have the same outline so that the housing of the casing with the installed casing part can be accommodated without problems.

基本的には、当該据え付けられた少なくとも１つのハウジング部分を当該真空ポンプのケーシングに対してずらすことも可能である。この構成は、対応する顧客の仕様に合った要求で実現される。   In principle, it is also possible to shift the mounted at least one housing part relative to the casing of the vacuum pump. This configuration is realized with a request that meets the specifications of the corresponding customer.

個々のケーシング部分の許容誤差に起因して、及び、当該差し込み時に、ケーシングと、据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分との相互の形状偏差及び位置偏差が発生するので、高真空側の軸受を真空ポンプの当該ケーシング内に設けることが好ましい。このとき、当該据え付けられたケーシング部分に対する許容誤差が、より大きく選択され得る。   Due to the tolerances of the individual casing parts and when they are inserted, there is a mutual shape and position deviation between the casing and the at least one installed casing part. It is preferable to provide in the casing of the pump. At this time, the tolerance for the installed casing part can be selected larger.

好ましくは、本発明の真空ポンプは、レールシステムによって装置内に固定される。欧州特許出願公開第２２２８５４０号明細書に記載されているように、このレールシステムは、真空ポンプを軸方向の差し込み又は引き抜きによって片側から取り付けること及び取り外すことを可能にする。このとき、当該取り付け及び取り外しのための真空ポンプへのアクセスは、片側だけから可能である。したがって、当該システムは、よりコンパクトに構成され得る、又は、当該真空ポンプは、より少ない経費で点検若しくは交換され得る。   Preferably, the vacuum pump of the present invention is fixed in the apparatus by a rail system. As described in EP 2 285 540, this rail system allows the vacuum pump to be attached and detached from one side by axial insertion or withdrawal. At this time, access to the vacuum pump for attachment and removal is possible only from one side. Thus, the system can be configured more compactly, or the vacuum pump can be serviced or replaced with less expense.

好ましくは、凸面並びにその他の形状誤差及び軸受誤差に起因して、ケーシングが、応力に曝される結果、許容されないほどに変形されることがないように、据え付けられた複数のケーシング部分上の密封面間の領域が、再設定されるように構成される。   Preferably, the sealing on the installed casing parts is such that the casing is not deformed unacceptably as a result of exposure to stress due to convex surfaces and other form and bearing errors. The area between the faces is configured to be reset.

据え付けられたケーシング部分内のラジアル吸引口の、ケーシングまでの距離が大きいことによって、特に、真空ポンプの高真空領域をより高い温度で加熱することが可能になる。据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分の大きい表面と構造長さとが、当該真空ポンプの温度挙動に有利に作用する。   The large distance of the radial suction port in the installed casing part to the casing makes it possible in particular to heat the high vacuum region of the vacuum pump at a higher temperature. The large surface and the structural length of the installed at least one casing part have an advantageous effect on the temperature behavior of the vacuum pump.

当該複数の部材から成る構成によって、ケーシング部分と真空ポンプのケーシングとの間の断熱をさらに実現することが可能である。当該断熱は、接触面を減少させることによって又は断熱性の中間要素若しくは密封要素を使用することによって達成され得る。したがって、電気絶縁又は振動遮断も実現可能である。   By the structure which consists of the said several member, it is possible to further implement | achieve the heat insulation between the casing part and the casing of a vacuum pump. The insulation can be achieved by reducing the contact surface or by using a heat insulating intermediate or sealing element. Therefore, electrical insulation or vibration isolation can also be realized.

ベースとなる真空ポンプとしての真空ポンプのケーシングと、異なるケーシング延長部分、すなわち、据え付けられた、異なる長さのケーシング部分とから成るモジュール構造が、本発明によって可能である。しかしながら、当該ベースとなる真空ポンプを延長部分の代わりにタブを用いて駆動させることも可能である。   A modular construction consisting of a vacuum pump casing as the base vacuum pump and different casing extensions, i.e. installed, different length casing parts, is possible according to the invention. However, it is also possible to drive the base vacuum pump using a tab instead of the extension.

本発明のその他の特徴及び利点を、本発明の真空ポンプの複数の実施の形態が専ら例示的に示されている添付図面に基づいて説明する。   Other features and advantages of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, in which several embodiments of the vacuum pump of the present invention are shown by way of example only.

全部で３つの吸気口を有する真空ポンプの縦断面を示す。1 shows a longitudinal section of a vacuum pump having a total of three inlets. 全部で２つの吸気口を有する真空ポンプの縦断面を示す。1 shows a longitudinal section of a vacuum pump having a total of two inlets. ポンプ能動構造体なしの真空ポンプの縦断面を示す。2 shows a longitudinal section of a vacuum pump without a pump active structure. 真空ポンプの斜視図である。It is a perspective view of a vacuum pump. ケーシングとケーシング部分との間の結合部の縦断面を示す。The longitudinal cross-section of the connection part between a casing and a casing part is shown. ケーシングとケーシング部分との間の結合部の縦断面を示す。The longitudinal cross-section of the connection part between a casing and a casing part is shown. ケーシングとケーシング部分との間の結合部の縦断面を示す。The longitudinal cross-section of the connection part between a casing and a casing part is shown. ケーシングとケーシング部分との間のボルト結合部を示す。Fig. 5 shows a bolt connection between the casing and the casing part. システムの全体におけるチャンバと真空ポンプとを有する装置を示す。1 shows an apparatus having a chamber and a vacuum pump throughout the system. 図９の線Ｉ−Ｉ′に沿ったフランジ結合部の縦断面を示す。FIG. 10 shows a longitudinal section of the flange connection along the line II ′ in FIG. 9. 図１０の線ＩＩ−ＩＩ′に沿ったフランジ結合部の縦断面を示す。Fig. 11 shows a longitudinal section of the flange connection along the line II-II 'in Fig. 10;

図１は、ケーシング２を有する真空ポンプ１を示す。この真空ポンプ１は、複数の動翼４を支持する回転子３を有する。これらの動翼４は、複数の静翼５と交互し、この真空ポンプ１の複数の異なる真空ポンプ段を形成する。   FIG. 1 shows a vacuum pump 1 having a casing 2. The vacuum pump 1 has a rotor 3 that supports a plurality of rotor blades 4. These rotor blades 4 alternate with a plurality of stationary blades 5 to form a plurality of different vacuum pump stages of this vacuum pump 1.

当該回転子３は、星形軸受台６によって高真空側で軸支されている。より見やすくするために、その軸受は図示されていない。この回転子３は、予備真空ポンプ側で同様に軸受、例えば玉軸受によって軸支されている。   The rotor 3 is pivotally supported on the high vacuum side by a star bearing base 6. For better visibility, the bearing is not shown. This rotor 3 is similarly supported by a bearing, for example, a ball bearing, on the auxiliary vacuum pump side.

真空ポンプ１のケーシング２は、１つのアキシャル吸気口７を有する。さらに、２つのラジアル吸気口８及び９が設けられている。   The casing 2 of the vacuum pump 1 has one axial air inlet 7. In addition, two radial inlets 8 and 9 are provided.

追加のケーシング部分１０が、ケーシング２に配置されている。この追加のケーシング部分１０は、別の１つのラジアル吸気口１１を有する。このケーシング部分１０は、このケーシング２と同じ横断面及び同じ外郭を有する。このケーシング部分１０の排気口１２が、このケーシング２の吸気口７に完全に重なるように配置されている。   An additional casing part 10 is arranged in the casing 2. This additional casing part 10 has another radial inlet 11. The casing portion 10 has the same cross section and the same outline as the casing 2. The exhaust port 12 of the casing portion 10 is disposed so as to completely overlap the intake port 7 of the casing 2.

さらに、当該ケーシング２は、ラジアル排気口１３を有する。このラジアル排気口１３は、例えば予備真空ポンプ（図示せず）に連結され得る。   Further, the casing 2 has a radial exhaust port 13. The radial exhaust port 13 can be connected to, for example, a preliminary vacuum pump (not shown).

回転子３、動翼４、静翼５、星形軸受台６のようなポンプ能動構造体は、図１にしたがってケーシング２内に完全に配置されている。据え付けられたケーシング部分１０は、ケーシング２の延長部分だけを形成する。この実施の形態によって、当該ケーシング２と当該据え付けられたケーシング部分１０とが、少なくとも５５０ミリメートル、特に７００ミリメートルの全長Ｌを有することが可能である。これによって、ケーシング２が一体的に形成されるときに、当該ケーシング２が、経費のかかる製造機械によって製造される必要なしに、吸気口１１を吸気口８，９から比較的遠くに離して配置することが可能である。   Pump active structures such as the rotor 3, the rotor blades 4, the stationary blades 5 and the star bearing base 6 are completely arranged in the casing 2 according to FIG. The installed casing part 10 forms only an extension of the casing 2. According to this embodiment, it is possible for the casing 2 and the installed casing part 10 to have a total length L of at least 550 millimeters, in particular 700 millimeters. Thereby, when the casing 2 is integrally formed, the casing 2 is arranged relatively far away from the inlets 8 and 9 without having to be manufactured by an expensive manufacturing machine. Is possible.

図５〜８に示されている接合部１９が、ケーシング２とケーシング部分１０との間に設けられている。   A joint 19 shown in FIGS. 5 to 8 is provided between the casing 2 and the casing part 10.

図２によれば、ケーシング２と据え付けられたケーシング部分１０とを有する真空ポンプ１が示されている。   FIG. 2 shows a vacuum pump 1 having a casing 2 and an installed casing part 10.

同じ構成要素は、同じ符号を有し、再度さらに詳しく説明しない。この実施の形態によれば、ケーシング２は、１つのラジアル吸気口９だけを有する。   The same components have the same reference numerals and will not be described in further detail again. According to this embodiment, the casing 2 has only one radial inlet 9.

据え付けられたケーシング部分１０は、ケーシング２の構造長さを延長させる。その結果、ケーシング２と据え付けられたケーシング部分１０との構造長さは、ケーシング部分２の構造長さの約２倍の長さである。   The installed casing part 10 extends the structural length of the casing 2. As a result, the structural length of the casing 2 and the installed casing portion 10 is approximately twice the structural length of the casing portion 2.

図２において分かるように、ポンプ能動構造体の一部が、据え付けられたケーシング部分１０内に配置されている。すなわち、例えば、星形軸受台６と高真空側に配置されたポンプ段とが、当該据え付けられたケーシング部分１０内に存在する。   As can be seen in FIG. 2, a part of the pump active structure is arranged in the installed casing part 10. That is, for example, the star bearing base 6 and the pump stage arranged on the high vacuum side are present in the installed casing part 10.

図３は、別の真空ポンプ１を示す。この真空ポンプ１では、ポンプ能動構造体が、ケーシング２内に示されていない。吸気口８，９及びラジアル排気口１３が、このケーシング２内に配置されている。ケーシング部分１０が、ラジアル吸気口１１を有する。さらに、高真空側から回転子又はケーシング部分２への熱流量を減少させるため、このケーシング２は、くびれ部１４を有する。   FIG. 3 shows another vacuum pump 1. In this vacuum pump 1, the pump active structure is not shown in the casing 2. The intake ports 8 and 9 and the radial exhaust port 13 are arranged in the casing 2. The casing part 10 has a radial air inlet 11. Furthermore, in order to reduce the heat flow from the high vacuum side to the rotor or casing part 2, the casing 2 has a constricted part 14.

図４は、ケーシング２とケーシング部分１０とを有する真空ポンプ１、及び吸気口８，９，１１を有する。図４で見て取れるように、このケーシング及びこのケーシング部分１０は、同じ外郭を有する。例えば、ケーシング２の冷却リブ１５が、同一形状の冷却リブ１６としてケーシング部分１０に続いている。さらに、図４では、くびれ部１４が、明瞭に認識することができる。さらに、バー材１７，１８が、ケーシング２とケーシング部分１０とに配置されている。これらのバー材１７，１８は、ケーシング２とケーシング部分１０とを相互に且つ真空ポンプ１の全長にわたってさらに安定化させることを保証する。   FIG. 4 has a vacuum pump 1 having a casing 2 and a casing part 10, and intake ports 8, 9, 11. As can be seen in FIG. 4, the casing and the casing part 10 have the same outline. For example, the cooling rib 15 of the casing 2 continues to the casing portion 10 as a cooling rib 16 of the same shape. Furthermore, in FIG. 4, the constricted portion 14 can be clearly recognized. Further, bar members 17 and 18 are disposed on the casing 2 and the casing portion 10. These bar members 17, 18 ensure that the casing 2 and the casing part 10 are further stabilized with respect to each other and over the entire length of the vacuum pump 1.

ケーシング２とケーシング部分１０との間が、接合部１９によって結合されている。図５によれば、ケーシング２とケーシング１０との間の真空気密な結合を得るため、Ｏリング２０が、接合面１９に沿って設けられている。   The casing 2 and the casing portion 10 are joined by a joint 19. According to FIG. 5, an O-ring 20 is provided along the joining surface 19 in order to obtain a vacuum-tight connection between the casing 2 and the casing 10.

図６によれば、接合部１９が、Ｏリング２０のほかに密封要素２１を有する。この気密要素は、断熱要素及び／又は振動遮断要素及び／又は電気絶縁要素として形成され得る。図７は、Ｏリング２０と密封要素２２とを有する接合部１９を示す。この密封要素２２は、同様に断熱要素及び／又は振動遮断要素及び／又は電気絶縁要素として形成され得る。   According to FIG. 6, the joint 19 has a sealing element 21 in addition to the O-ring 20. This hermetic element may be formed as a thermal insulation element and / or a vibration isolation element and / or an electrical insulation element. FIG. 7 shows a joint 19 having an O-ring 20 and a sealing element 22. This sealing element 22 can likewise be formed as a thermal insulation element and / or a vibration isolation element and / or an electrical insulation element.

図８によれば、ケーシング２とケーシング部分１０とを結合するためのボルト結合部が示されている。このボルト結合部は、ケーシング２とケーシング部分１０とを真空気密に且つ機械的に結合させるために使用される。   According to FIG. 8, a bolt coupling part for coupling the casing 2 and the casing part 10 is shown. This bolt joint is used for mechanically joining the casing 2 and the casing part 10 in a vacuum-tight and mechanical manner.

当該ボルト結合部は、ボルト２５とワッシャ２６とから構成される。このワッシャ２６は、振動を遮断するためのエラストマー２４上に支承されている。スリーブ２３が、力伝達要素として設けられている。   The bolt coupling portion includes a bolt 25 and a washer 26. The washer 26 is supported on an elastomer 24 for isolating vibration. A sleeve 23 is provided as a force transmission element.

図９は、真空ポンプ１とチャンバ１０２とから構成される装置を有する全システム内に示されているこの真空ポンプ１の配置を示す。   FIG. 9 shows the arrangement of this vacuum pump 1 shown in an overall system with a device consisting of a vacuum pump 1 and a chamber 102.

チャンバ１０２が、細分された真空ポンプに対する多重チャンバシステムとして構成されていて、それ故に予備真空チャンバ１２１、中真空チャンバ１２２、別の中真空チャンバ１２３及び高真空チャンバ１６６を有する。これらのチャンバは、開口部１２５，１２６，１６７を通じて互いに連結されている。例えば、気体粒子噴流が、これらの開口部を通過する。制御装置１３６によって制御される検出器、例えば質量分析計１２４が、高真空チャンバ１６６内に設けられている。当該チャンバ１０２は、チャンバ用フランジ１２０を有する。ポンプ用フランジ１１０が、このチャンバ用フランジ１２０に接合されている。   The chamber 102 is configured as a multi-chamber system for a subdivided vacuum pump and therefore has a preliminary vacuum chamber 121, a medium vacuum chamber 122, another medium vacuum chamber 123 and a high vacuum chamber 166. These chambers are connected to each other through openings 125, 126, and 167. For example, a gas particle jet passes through these openings. A detector, such as a mass spectrometer 124, controlled by the controller 136 is provided in the high vacuum chamber 166. The chamber 102 has a chamber flange 120. A pump flange 110 is joined to the chamber flange 120.

当該ポンプ用フランジ１１０は、真空ポンプ１の一部である。この真空ポンプ１は、シャフト１１１を有する。このシャフト１１１は、高真空側の軸受１１３、例えば永久磁石軸受に回転可能に支持されている。このシャフト１１１は、駆動部１１４によって回転される。その結果、圧縮及び吸引能力が、ポンプ段１１５，１１６内に備わる。   The pump flange 110 is a part of the vacuum pump 1. The vacuum pump 1 has a shaft 111. The shaft 111 is rotatably supported by a high vacuum side bearing 113, for example, a permanent magnet bearing. The shaft 111 is rotated by the drive unit 114. As a result, compression and suction capabilities are provided in the pump stages 115 and 116.

ポンプ段１１５の吸気口が、吸引口１２７を通じて中真空チャンバ１２２に連結している。ポンプ段１１６が、吸引口１２８を通じて中真空チャンバ１２３に連結している。ポンプ段１６８が、吸引口１６９を通じて高真空チャンバ１６６に連結している。   The suction port of the pump stage 115 is connected to the medium vacuum chamber 122 through the suction port 127. A pump stage 116 is connected to the medium vacuum chamber 123 through a suction port 128. A pump stage 168 is connected to the high vacuum chamber 166 through a suction port 169.

気体が、吸引口１６９を通じて真空ポンプ１内に流入し、ポンプ段１６８によって圧縮され、その後に、吸引口１２８を通じてこの真空ポンプ１内に流入する当該気体と一緒に送られ、この気体と一緒にポンプ段１１６によってさらに圧縮される。当該気体は、中真空チャンバ１２２から吸引口１２７を通じて流入する気体と一緒にさらに送られ、ポンプ段１１５によってさらに圧縮される。真空ポンプ１の排気口と予備真空チャンバ１２１の排気口とが、予備真空導管１４１を通じて予備ポンプ１４０に連結されている。この予備ポンプ１４０は、当該気体をさらに圧縮させ、大気に向けて排気する。当該ポンプ段１１５，１１６，１６８は、特にターボ分子ポンプ段として構成されている。   A gas flows into the vacuum pump 1 through the suction port 169, is compressed by the pump stage 168, and is then sent together with the gas flowing into the vacuum pump 1 through the suction port 128, together with this gas. It is further compressed by pump stage 116. The gas is further sent together with the gas flowing from the medium vacuum chamber 122 through the suction port 127 and further compressed by the pump stage 115. The exhaust port of the vacuum pump 1 and the exhaust port of the auxiliary vacuum chamber 121 are connected to the auxiliary pump 140 through the auxiliary vacuum conduit 141. The preliminary pump 140 further compresses the gas and exhausts it toward the atmosphere. The pump stages 115, 116, 168 are in particular configured as turbomolecular pump stages.

当該真空ポンプ１及びチャンバ１０２は、フレーム１３０によって支持される。この真空ポンプ１は、フランジ結合部を介して、すなわち当該真空気密のチャンバ用フランジとポンプ用のフランジとを介してこのチャンバに接合されている。さらに、このフレーム１３０は、質量分析計の制御装置１３６及びその他の部品１３３，１３４，１３５、例えば、電源装置、演算装置等を支持する。このフレーム１３０は、外装１３１によって覆われている。当該真空ポンプ１及び当該チャンバ１０２は、フラップ１３２を通じてアクセス可能であるものの、フレーム１３０によって支持されているその他の構成群及び部品によって包囲されている。それ故に、上記フランジ結合部へのアクセスは困難であり、実質的には、フラップ１３２に面している側からだけのアクセスが可能である。したがって、当該真空ポンプの取り付け及び取り外しは、この側だけから実施され得る。   The vacuum pump 1 and the chamber 102 are supported by a frame 130. The vacuum pump 1 is joined to the chamber via a flange coupling portion, that is, via the vacuum-tight chamber flange and the pump flange. Further, the frame 130 supports a mass spectrometer control device 136 and other components 133, 134, and 135, such as a power supply device and an arithmetic device. The frame 130 is covered with an exterior 131. Although the vacuum pump 1 and the chamber 102 are accessible through the flap 132, they are surrounded by other components and components supported by the frame 130. Therefore, access to the flange joint is difficult, and access is practically possible only from the side facing the flap 132. Therefore, the attachment and removal of the vacuum pump can be performed from this side only.

当該真空ポンプ１は、ケーシング２及び据え付けられたケーシング部分１０を有する。当該据え付けられたケーシング部分１０は、吸引口１６９に連結している吸気口１１を有する。当該真空ポンプは、当該据え付けられたケーシング部分１０によって、図９に示された装置に起因して必要である全長を有する。   The vacuum pump 1 has a casing 2 and an installed casing part 10. The installed casing part 10 has an intake port 11 connected to a suction port 169. The vacuum pump has the total length required by the installed casing part 10 due to the device shown in FIG.

当該取り付けは、図１０及び１１による力伝達構造部によって問題なく可能になる。   The attachment is possible without problems by the force transmission structure according to FIGS.

図１０は、力伝達構造部１６５の、真空ポンプを貫通するシャフト１１１とフランジ結合部とに対する図９の線Ｉ−Ｉ′に沿った横断面を示す。チャンバ用フランジ１２０とポンプ用フランジ１１０とは、互いに接する。吸引口１２７をこのポンプ用フランジに沿って包囲するパッキン１１９が、当該予備真空気密な結合のために設けられている。この断面図の真空ポンプ１内では、ポンプ段とポンプ段との間に設けられていて且つこれらのポンプ段の構成要素から離間された溝付きスリーブ１１８と、高真空側のポンプ段１６８の最後の静翼１１７とが明瞭に示されている。固定ボルト１５１が、角ブラケット１５０を当該チャンバ用フランジに固定する。第１拡張要素１５２及び第２拡張要素１５３が、この角ブラケットとこのポンプ用フランジとの間に配置されている。   FIG. 10 shows a cross-section of the force transmission structure 165 along the line II ′ of FIG. 9 for the shaft 111 and the flange coupling through the vacuum pump. The chamber flange 120 and the pump flange 110 are in contact with each other. A packing 119 surrounding the suction port 127 along the pump flange is provided for the preliminary vacuum-tight connection. In the vacuum pump 1 of this cross-sectional view, a grooved sleeve 118 provided between the pump stages and spaced from the components of these pump stages, and the end of the pump stage 168 on the high vacuum side. The stationary vane 117 is clearly shown. A fixing bolt 151 fixes the square bracket 150 to the chamber flange. A first expansion element 152 and a second expansion element 153 are disposed between the corner bracket and the pump flange.

図１１には、図１０の線ＩＩ−ＩＩ′に沿って且つシャフト１１１に対して平行な当該配置に対応する断面が示されている。角ブラケット１５０の一部、第１拡張要素１５２、第２拡張要素１５３及びポンプ用フランジ１１０の一部が、同一平面内に存在することが分かる。第１拡張要素１５２は、楔面１５８′を有し、第２拡張要素１５３は、楔面１５８を有する。相対移動が可能であるように、これらの楔面１５８，１５８′は互いに接する。当該相対移動が、押圧ボルト１５５によって及ぼされると、この押圧ボルト１５５は、第１拡張要素のアーム１５４内の貫通孔を突き抜け、この押圧ボルト１５５のねじ山の一部が、第２拡張要素１５３のねじ山に係合する。これらの拡張要素１５２，１５３を相対移動させる平面に沿った力が、この押圧ボルトを締め付けることによって印加される。当該力の方向が、これらの楔面の作用によって縦方向に変換される。次いで、縦方向の押圧力１６０が、作用点１５９で発生される。ポンプ用フランジ１１０とチャンバ用フランジ１２０とが互いに押圧される結果、真空気密の結合部が形成される。力の方向が、これらの拡張要素１５２，１５３によって変換される。真空ポンプ１の取り付け又は取り外しが、押圧ボルト１５５を締め付けるか又は外すことによって達成される。   FIG. 11 shows a cross section corresponding to this arrangement along the line II-II ′ in FIG. 10 and parallel to the shaft 111. It can be seen that a part of the corner bracket 150, the first expansion element 152, the second expansion element 153, and a part of the pump flange 110 exist in the same plane. The first expansion element 152 has a wedge surface 158 ′ and the second expansion element 153 has a wedge surface 158. These wedge surfaces 158, 158 'touch each other so that relative movement is possible. When the relative movement is exerted by the pressing bolt 155, the pressing bolt 155 penetrates the through hole in the arm 154 of the first expansion element, and a part of the thread of the pressing bolt 155 becomes the second expansion element 153. Engage with the thread. A force along a plane for relatively moving these expansion elements 152 and 153 is applied by tightening the pressing bolt. The direction of the force is converted into the vertical direction by the action of these wedge surfaces. Next, a longitudinal pressing force 160 is generated at the point of action 159. As a result of the pump flange 110 and the chamber flange 120 being pressed together, a vacuum-tight connection is formed. The direction of the force is translated by these expansion elements 152,153. Attachment or removal of the vacuum pump 1 is achieved by tightening or removing the pressing bolt 155.

力伝達構造部１６５内では、力が、当該拡張要素１５２，１５３によってガイド部１５６から作用点１５９に伝達される。この力伝達は、図９に関連して説明されていて且つ真空ポンプ１を包囲している部品を通じてアクセスできない場所に対しても押圧力１６０を発生させることを可能にする。さらに、この例では、当該力伝達のほかに、力が、真空ポンプ用フランジにわたって分散される結果、均一な押圧が達成されることも好ましい。当該ポンプ用フランジ１１０上に印加される力の力分布が、楔面の数とこれらの楔面の成す角度とによって調整され得る。   In the force transmission structure portion 165, the force is transmitted from the guide portion 156 to the action point 159 by the expansion elements 152 and 153. This force transmission makes it possible to generate a pressing force 160 even where it is not accessible through the parts described in connection with FIG. 9 and surrounding the vacuum pump 1. Furthermore, in this example, in addition to the force transmission, it is also preferable that a uniform pressing is achieved as a result of the force being distributed over the vacuum pump flange. The force distribution of the force applied on the pump flange 110 can be adjusted by the number of wedge surfaces and the angle formed by these wedge surfaces.

図４に示されているように、ケーシング２と据え付けられたケーシング部分１０とが、同じ外郭を有することによって、図９に示されているように、真空ポンプ１が、装置内に問題なく取り付けられ得る。当該真空ポンプは、図１０及び１１にしたがって示されているように、この装置内に不動に固定されている。図９による装置内で示されているように、その顧客の仕様に合った要求を安価に且つ問題なく満たすことが、当該据え付けられたケーシング部分１０を用いることで可能である。   As shown in FIG. 4, the casing 2 and the installed casing part 10 have the same outline, so that the vacuum pump 1 can be installed in the apparatus without any problem as shown in FIG. Can be. The vacuum pump is fixedly fixed in the device as shown according to FIGS. As shown in the device according to FIG. 9, it is possible to meet the requirements of the customer's specifications at low cost and without problems by using the installed casing part 10.

１ ポンプ
２ ケーシング
３ 回転子
４ 動翼
５ 静翼
６ 星形軸受台
７ アキシャル吸気口
８ ラジアル吸気口
９ ラジアル吸気口
１０ ケーシング部分
１１ 吸気口
１２ 排気口
１３ 排気口
１４ くびれ部
１５ 冷却リブ
１６ 冷却リブ
１７ バー材
１８ バー材
１９ 接合面
２０ Ｏリング
２１ 密封要素
２２ 密封要素
２３ スリーブ
２４ エラストマー
２５ ボルト
２６ ワッシャ
１０２ チャンバ
１１０ ポンプ用フランジ
１１１ シャフト
１１２ 軸受
１１３ 軸受
１１４ 駆動部
１１５ ポンプ段
１１６ ポンプ段
１１７ 静翼
１１８ 溝付きスリーブ
１１９ パッキン
１２０ チャンバ用フランジ
１２１ チャンバ
１２２ チャンバ
１２３ チャンバ
１２４ 質量分析計
１２５ 開口部
１２６ 開口部
１２７ 吸引口
１２８ 吸引口
１３０ フレーム
１３１ ケーシング
１３２ フラップ
１３３ 電子部品
１３４ 電子部品
１３５ 電子部品
１３６ 制御装置
１４０ 予備ポンプ
１４１ 真空導管
１５０ 角ブラケット
１５１ 固定ボルト
１５２ 第１拡張要素
１５３ 第２拡張要素
１５４ アーム
１５５ 押圧ボルト
１５６ ガイド部
１５８ 楔面
１５８′ 楔面
１５９ 作用点
１６０ 押圧力
１６５ 力伝達構造部
１６６ 高真空チャンバ
１６７ 開口部
１６８ ポンプ段
１６９ 吸引口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump 2 Casing 3 Rotor 4 Moving blade 5 Stator blade 6 Star bearing stand 7 Axial inlet 8 Radial inlet 9 Radial inlet 10 Casing part 11 Inlet 12 Exhaust 13 Exhaust 14 Constriction 15 Cooling rib 16 Cooling Rib 17 Bar material 18 Bar material 19 Joint surface 20 O-ring 21 Sealing element 22 Sealing element 23 Sleeve 24 Elastomer 25 Bolt 26 Washer 102 Chamber 110 Pump flange 111 Shaft 112 Bearing 113 Bearing 114 Drive part 115 Pump stage 116 Pump stage 117 Static Wings 118 Grooved sleeve 119 Packing 120 Chamber flange 121 Chamber 122 Chamber 123 Chamber 124 Mass spectrometer 125 Opening 126 Opening 127 Suction port 128 Suction port 130 Frame 131 Casing 132 Flat 133 Electronic component 134 Electronic component 135 Electronic component 136 Control device 140 Preliminary pump 141 Vacuum conduit 150 Square bracket 151 Fixing bolt 152 First expansion element 153 Second expansion element 154 Arm 155 Pressing bolt 156 Guide portion 158 Wedge surface 158 ′ Wedge surface 159 Action point 160 Pressure 165 Force transmission structure 166 High vacuum chamber 167 Opening 168 Pump stage 169 Suction port

Claims (14)

ケーシングと、固定子内に回転可能に軸支されている回転子用の一つの駆動装置を有するポンプ装置とを備える真空ポンプにおいて、
前記ケーシング（２）に連結可能に据え付けられた少なくとも１つの追加のケーシング部分（１０）が、このケーシング（２）に対して同軸方向に配置されていること、及び
１つの吸気口（７）が、前記ケーシング（２）内に同軸方向に設けられていて、１つの排気口（１２）が、前記少なくとも１つの追加のケーシング部分（１０）内に同軸方向に設けられており、その際、少なくとも１つの断熱要素及び／又は振動遮断要素及び／又は電気絶縁要素（２１，２２）が、前記真空ポンプ（１）の前記ケーシング（２）と当該据え付けられたケーシング部分（１０）との間に設けられているか又は据え付けられた２つのケーシング部分間に設けられていることを特徴とする真空ポンプ。 A casing, a vacuum pump and a pump device with one of the drive equipment for a rotor that is rotatably supported within the stator,
That at least one additional casing part (10), which is connectably mounted to said casing (2), is arranged coaxially with respect to this casing (2), and one inlet (7) In the casing (2) in a coaxial direction, one exhaust port (12) being provided in the at least one additional casing part (10) in the coaxial direction , at least One insulation element and / or vibration isolation element and / or electrical insulation element (21, 22) is provided between the casing (2) of the vacuum pump (1) and the installed casing part (10). A vacuum pump characterized in that it is provided between two casing parts that are mounted or installed . 当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分（１０）は、少なくとも１つのラジアル吸気口（１１）を有すること、及び、当該据え付けられたケーシング部分（１０）の前記少なくとも１つのラジアル吸気口（１１）が、当該据え付けられたケーシング部分（１０）の特に駆動部から離れた端部に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。   The installed at least one casing part (10) has at least one radial inlet (11), and the at least one radial inlet (11) of the installed casing part (10) 2. A vacuum pump according to claim 1, characterized in that it is arranged at the end of the installed casing part (10), in particular at the end remote from the drive. 前記真空ポンプ（１）の前記ケーシング（２）は、少なくとも１つのラジアル吸気口（８，９）を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプ。   The vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the casing (2) of the vacuum pump (1) has at least one radial inlet (8, 9). 当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分（１０）は、前記ケーシング（２）と同じ外郭を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空ポンプ。   The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the installed at least one casing part (10) has the same outline as the casing (2). 前記真空ポンプ（１）のポンプ能動構造体（４，５，６）が、その少なくとも一部を当該据え付けられたケーシング部分（１０）内に配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。   The pump active structure (4, 5, 6) of the vacuum pump (1) is arranged at least partly in the installed casing part (10). The vacuum pump according to any one of the above. 当該据え付けられたケーシング部分（１０）は、前記真空ポンプ（１）の前記ポンプ能動構造体（４，５，６）なしに形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。   5. The installed casing part (10) is formed without the pump active structure (4, 5, 6) of the vacuum pump (1). The vacuum pump according to item. 前記ケーシング（２）と当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分（１０）とは、少なくとも５５０ミリメートル、特に少なくとも７００ミリメートルの全長を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。   The casing (2) and the mounted at least one casing part (10) have an overall length of at least 550 millimeters, in particular at least 700 millimeters. Vacuum pump. 前記ケーシングの前記吸気口（７）と当該据え付けられたケーシング部分（１０）の前記排気口（１２）とが、重なって形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の真空ポンプ。   The said intake port (7) of the said casing and the said exhaust port (12) of the said installed casing part (10) overlap, and are formed, The any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. The vacuum pump described in 1. 据え付けられたケーシング部分の前記吸気口と隣接したケーシング部分の排気口とが、重なって形成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の真空ポンプ。   The vacuum pump according to any one of claims 1 to 8, wherein the intake port of the installed casing portion and the exhaust port of the adjacent casing portion are formed to overlap each other. 前記真空ポンプ（１）は、少なくとも１つのターボ分子ポンプ段及び／又は少なくとも１つのホルベックポンプ段並びに少なくとも２つの気体吸気口（８，９，１１）を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の真空ポンプ。 1. The vacuum pump (1) comprises at least one turbomolecular pump stage and / or at least one Holbeck pump stage and at least two gas inlets (8, 9, 11). 10. The vacuum pump according to any one of 9 above. ケーシングと、固定子内に回転可能に軸支されている回転子用の一つの駆動装置を有するポンプ装置とを備える真空ポンプを持つ装置であって、この装置が、少なくとも１つのポンプ用フランジと、１つのチャンバ用フランジを有する１つのチャンバとを有し、この装置が、１つのポンプ用フランジと１つのチャンバ用フランジとから成る、チャンバと真空ポンプとを真空気密に結合させるためのフランジ結合部を有する当該装置において、
前記ケーシング（２）に連結可能に据え付けられた少なくとも１つの追加のケーシング部分（１０）が、このケーシング（２）に対して同軸方向に配置されていること、
１つの吸気口（７）が、前記ケーシング（２）内に同軸方向に設けられていて、１つの排気口（１２）が、前記少なくとも１つの追加のケーシング部分（１０）内に同軸方向に設けられていること、及び
当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分（１０）が、少なくとも１つのラジアル吸気口（１１）を有し、当該ラジアル吸気口（１１）は、前記装置の少なくとも１つのチャンバ（１６６）に連結可能に形成されていることを特徴とする装置。 A casing, a device having a vacuum pump and a pump device with one of the drive equipment for a rotor that is rotatably supported within the stator, the apparatus, at least one flange for pump And a chamber having one chamber flange, the apparatus comprising a pump flange and a chamber flange for vacuum-tightly coupling the chamber and the vacuum pump In the apparatus having a coupling portion,
At least one additional casing part (10) mounted so as to be connectable to said casing (2) is arranged coaxially with respect to this casing (2);
One intake port (7) is provided coaxially in the casing (2), and one exhaust port (12) is provided coaxially in the at least one additional casing part (10). And that the installed at least one casing part (10) has at least one radial inlet (11), which is at least one chamber ( 166) is configured to be connectable. 前記装置が、力伝達構造部（１６５）を有し、この力伝達構造部（１６５）は、力をガイド部（１５６）から前記フランジ結合部（１１０，１２０）内に存在する少なくとも１つの作用点（１５９）に伝達する力伝達構造部（１６５）として構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の装置。 The device comprises a force transmission structure (165), which force transmission structure (165) transmits at least one action from the guide part (156) into the flange coupling part (110, 120). 12. Device according to claim 11 , characterized in that it is configured as a force transmission structure (165) that transmits to a point (159). 前記装置は、質量分析計（１２４）を有することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の装置。 13. Apparatus according to claim 11 or 12 , characterized in that the apparatus comprises a mass spectrometer (124). 前記真空ポンプ（１）の前記ケーシング（２）と、当該据え付けられた少なくとも１つのケーシング部分（１０）とが、前記装置内に配置された収容部に適合された外郭を有することを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の装置。 The casing (2) of the vacuum pump (1) and the installed at least one casing part (10) have an outer shell adapted to a receiving part arranged in the device. The apparatus according to any one of claims 11 to 13 .
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