JP5899818B2 - Mechanical quantity sensor device - Google Patents
Mechanical quantity sensor device Download PDFInfo
- Publication number
- JP5899818B2 JP5899818B2 JP2011241118A JP2011241118A JP5899818B2 JP 5899818 B2 JP5899818 B2 JP 5899818B2 JP 2011241118 A JP2011241118 A JP 2011241118A JP 2011241118 A JP2011241118 A JP 2011241118A JP 5899818 B2 JP5899818 B2 JP 5899818B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor device
- breathing hole
- bottom wall
- mechanical quantity
- moisture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
本発明は、例えば自動車に搭載される半導体角速度センサ等の力学量センサ装置に関する。 The present invention relates to a mechanical quantity sensor device such as a semiconductor angular velocity sensor mounted on an automobile, for example.
この種の力学量センサ装置、例えば自動車用の角速度センサ装置には、力学量検出部(センサチップ)を有する内部ユニットを、外部ケース内に収容して構成され、外部ケースから導出されているリード脚を、回路基板にはんだ付け接続することにより実装されるものがある。このとき、外部ケースの振動が、内部ユニット(力学量検出部)に伝わると、力学量検出部からの出力に含まれるノイズが増大する。そこで、外部ケースと、内部ユニットとの間に、それらの間の相対的な振動を減衰する(ダンパ機能を得る)ため、防振用の弾性部材を設けることが考えられている(例えば、特許文献1参照)。 In this type of mechanical quantity sensor device, for example, an angular velocity sensor device for automobiles, an internal unit having a mechanical quantity detection unit (sensor chip) is housed in an external case, and the lead is led out from the external case. Some are mounted by soldering the legs to a circuit board. At this time, if the vibration of the external case is transmitted to the internal unit (dynamic quantity detection unit), noise included in the output from the dynamic quantity detection unit increases. Therefore, it is considered that an elastic member for vibration isolation is provided between the outer case and the internal unit in order to attenuate relative vibration between them (to obtain a damper function) (for example, patents). Reference 1).
図6は、従来のこの種の角速度センサ装置1の構成を例示している。この角速度センサ装置1は、内部ユニット2を、外部ケース3内に収容して構成されている。内部ユニット2は、力学量検出部が形成されたセンサチップ4を信号処理チップ5にバンプ接続により載置状に設け、それらを、電極を有する矩形容器状のセラミックパッケージ6内に取付け、セラミックパッケージ6の開口部を蓋7にて閉塞した構造を備える。
FIG. 6 illustrates the configuration of this type of conventional angular
前記外部ケース3は、プラスチック製のケーシング本体8にリード(リードフレーム)9をインサート成形により備え、内部の載置板部8a上に前記内部ユニット2が上下反転した状態で装着される。このとき、ケーシング本体8の載置板部8aと、内部ユニット2(蓋7)との間には、例えばシリコーンゴムからなる防振用の弾性部材10が介在される。また、内部ユニット2(セラミックパッケージ6の電極)とリード9とがボンディングワイヤ11により電気的に接続される。更に、ケーシング本体8の上下両面が、金属製の上カバー12、下カバー13により夫々閉塞される。尚、この角速度センサ装置1は、図示しない回路基板にはんだ接続される。
The
ところで、上記した角速度センサ装置1は、外部からの異物侵入防止のために、外部ケース3を上カバー12及び下カバー13により密閉する構造を採用している。そのため、回路基板への実装作業時(リフロー工程)の熱によって、外部ケース3の内部が高圧となる問題点がある。そこで、例えば、下カバー13に空気抜き用の呼吸穴を設けることにより、内外の圧力差の発生を解消することが考えられる。
By the way, the above-described angular
しかしながら、下カバー13に呼吸穴を設けたものでは、次のような不具合の発生が予測される。即ち、車載用の回路基板といった防湿性が要求されるものでは、ヒューミシール等の防湿剤(絶縁コーティング剤)が塗布されることが一般的である。このように回路基板上に防湿剤を塗布した場合、防湿剤が、基板の上面と角速度センサ装置1の下面(下カバー13)との間に入り込み、呼吸穴を塞いでしまうことが考えられる。
However, in the case where the
この場合、防湿剤が呼吸穴に侵入すると、呼吸穴としての機能が損なわれるだけでなく、呼吸穴を通った防湿剤が更に外部ケース3の内部まで侵入し、例えば弾性部材10に付着してダンパ規能を阻害させてしまう虞がある。また、外部ケース3の内部まで侵入しなくとも、防湿剤が、下カバー13の下面部と回路基板の上面との間において部分的に固着すると、振動の伝達にアンバランスが生じ、ダンパ性能が変動して耐衝撃性の低下を招く虞がある。
In this case, when the moisture-proof agent enters the breathing hole, not only the function as the breathing hole is impaired, but the moisture-proof agent that has passed through the breathing hole further penetrates into the
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、外部ケースの底壁部に呼吸穴を形成したものにあって、回路基板への実装時に防湿剤が呼吸穴に侵入することを効果的に防止することができる力学量センサ装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to form a breathing hole in the bottom wall of the outer case, and to prevent the moisture-proofing agent from entering the breathing hole when mounted on a circuit board. An object of the present invention is to provide a mechanical quantity sensor device that can be effectively prevented.
上記目的を達成するために、本発明の力学量センサ装置は、力学量検出部を有する内部ユニット(22)を、外部ケース(23)内に収容して構成され、回路基板(24)上に実装されるものであって、前記外部ケース(23)のうち、前記回路基板(24)の上面に対向配置される底壁部(32、42、52)に、空気抜き用の呼吸穴(36、43、53)を備えると共に、当該底壁部(32、42、52)に、前記呼吸穴(36、43、53)よりも外側に位置して、前記回路基板(24)上に塗布された防湿剤が、前記底壁部(32、42、52)の下面部に付着した際に、その防湿剤が流れ込む溝部(37、44、55)を備えるところに特徴を有する(請求項1の発明)。 In order to achieve the above object, the mechanical quantity sensor device of the present invention is configured by accommodating an internal unit (22) having a mechanical quantity detection unit in an external case (23), and is provided on a circuit board (24). Of the outer case (23), the bottom wall (32, 42, 52) disposed opposite to the upper surface of the circuit board (24) is mounted on the breathing hole (36, 43, 53) and applied to the bottom wall (32, 42, 52) on the circuit board (24) , located outside the breathing hole (36 , 43, 53). When the moisture-proofing agent is attached to the lower surface of the bottom wall (32, 42, 52), the moisture-proofing agent is provided with a groove (37 , 44 , 55) into which the moisture-proofing agent flows . invention).
これによれば、回路基板(24)上に塗布された防湿剤が、呼吸穴(36、43、53)を有する底壁部(32、42、52)の下面部に付着した場合でも、防湿剤は、溝部(37、44、55)に流れ込むようになる。従って、回路基板(24)への実装時に防湿剤が呼吸穴(36、43、53)に侵入して呼吸穴(36、43、53)が塞がれることを未然に防止することができる。 According to this, even when the moisture-proofing agent applied on the circuit board (24) adheres to the lower surface of the bottom wall (32, 42, 52) having the breathing holes (36, 43, 53), the moisture-proofing The agent flows into the grooves (37 , 44 , 55). Therefore, it is possible to prevent the moisture-proofing agent from entering the breathing hole (36, 43, 53) and closing the breathing hole (36, 43, 53) before mounting on the circuit board (24).
より具体的には、前記溝部(37)を、呼吸穴(36)を取囲むように延びて形成し、防湿剤が流れ込む経路とすることができる(請求項2の発明)。これによれば、底壁部(32)の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴(36)を取囲むように延びる溝部(37)に流れ込み、その内側に進入することが阻止されるので、防湿剤により呼吸穴(36)が塞がれることを防止することができる。 More specifically, the groove (37), formed extending to surround the breathing hole (36), it is the path and to Rukoto the desiccant flows (the invention of claim 2). According to this, even when the moisture-proofing agent adheres to the bottom surface of the bottom wall (32), the moisture-proofing agent flows into the groove (37) extending so as to surround the breathing hole (36) and enters the inside thereof. This prevents the breathing hole (36) from being blocked by the moisture-proofing agent.
前記溝部(44)を、呼吸穴(43)から外れた位置に底壁部(42)の外辺部で開放するように延びて形成し、防湿剤が流れ込む経路とすることもできる(請求項3の発明)。これによれば、底壁部(42)の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴(43)から外れた位置を延びる溝部(44)に流れ込み、底壁部(42)の外辺部に導かれるので、防湿剤により呼吸穴(43)が塞がれることを防止することができる。 Said groove (44) extends formed so as to open at the perimeter of the bottom wall portion (42) at a position deviated from the breathing hole (43) can also route and to Rukoto the desiccant flows (claims Item 3). According to this, even when the moisture-proof agent adheres to the lower surface portion of the bottom wall portion (42), the moisture-proof agent flows into the groove portion (44) extending from the position away from the breathing hole (43), and the bottom wall portion ( 42), the breathing hole (43) can be prevented from being blocked by the moisture-proofing agent.
前記溝部(55)を、呼吸穴(53)から外れた位置に形成され、防湿剤を溜める凹部(54)につながるように延びて構成することもできる(請求項4の発明)。これによれば、底壁部(52)の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、溝部(55)に流れ込み、呼吸穴(53)から外れた位置の凹部(54)に溜められるようになるので、防湿剤により呼吸穴(53)が塞がれることを防止することができる。
The groove (55) may be formed so as to be connected to a recess (54) that is formed at a position away from the breathing hole (53) and stores a moisture-proof agent (invention of claim 4). According to this, even when the moisture-proof agent adheres to the lower surface portion of the bottom wall portion (52), the moisture-proof agent flows into the groove portion (55) and enters the recess (54) at a position away from the breathing hole (53). Since it can be stored, it is possible to prevent the breathing hole (53) from being blocked by the moisture-proofing agent.
前記底壁部(52)に防湿剤を溜める凹部(54)を設ける場合には、前記呼吸穴(53)を、底壁部(52)の周囲部寄りに位置して形成し、凹部(54)を、該底壁部(52)の中央部に位置して形成する構成とすることができる(請求項5の発明)。これにより、防湿剤が付着するとしても、底壁部(52)の中央部に位置しているので、アンバランスな位置で防湿剤が固着することに伴う、ダンパ性能の変動といった不具合を防止することができる。 In the case of providing the bottom wall (52) with a recess (54) for storing a moisture-proof agent, the breathing hole (53) is formed near the periphery of the bottom wall (52), and the recess (54 ) May be formed at the center portion of the bottom wall portion (52) (invention of claim 5). Thereby, even if the moisture proofing agent adheres, since it is located at the center of the bottom wall portion (52), it is possible to prevent problems such as fluctuations in damper performance due to the moisture proofing agent sticking at an unbalanced position. be able to.
このとき、底壁部(52)の呼吸穴(53)から外れた位置に、該底壁部(52)の外辺部から前記凹部(54)につながるように延びる溝部(55)を形成することができる(請求項6の発明)。これによれば、底壁部(52)に付着された防湿剤が、溝部(55)を案内されて、凹部(54)に至るようになり、より効果的となる。更にこのとき、前記溝部(55)を、前記凹部(54)に近い部分で、幅寸法が小さくなる形状とすることができ(請求項7の発明)、これにより、凹部(54)内に導かれた防湿剤が、凹部(54)から抜出すことを効果的に防止することができる。 At this time, a groove portion (55) extending from the outer side portion of the bottom wall portion (52) so as to connect to the concave portion (54) is formed at a position away from the breathing hole (53) of the bottom wall portion (52). (Invention of claim 6). According to this, the moisture-proof agent attached to the bottom wall portion (52) is guided through the groove portion (55) and reaches the concave portion (54), which is more effective. Further, at this time, the groove portion (55) can be formed into a shape in which the width dimension is reduced at a portion close to the recess portion (54) (invention of claim 7), thereby guiding the groove portion into the recess portion (54). It is possible to effectively prevent the moisture-proofing agent that has been drawn out from the recess (54).
本発明においては、前記外部ケース(23)と、前記内部ユニット(22)との間には、前記呼吸穴(36、43、53)から外れた位置において、防振用の弾性部材(34)を介在させる構成とすることができる(請求項8の発明)。弾性部材(34)によりダンパ機能を得ることができ、力学量の検出精度を向上させることが可能となる。 In the present invention, the vibration-proof elastic member (34) is located between the outer case (23) and the inner unit (22) at a position away from the breathing hole (36, 43, 53). (Invention of claim 8). A damper function can be obtained by the elastic member (34), and the detection accuracy of the mechanical quantity can be improved.
本発明においては、前記外部ケース(23)の底壁部(32、42、52)を金属薄板から構成し、前記呼吸穴(36、43、53)と、前記溝部(37、44、55)及び/又は凹部(54)とを、プレス成形により一体的に設ける構成とすることができる(請求項9の発明)。溝部(37、44、55)及び/又は凹部(54)の形成を容易に行うことができる。 In the present invention, the bottom wall portion (32, 42, 52) of the outer case (23) is made of a thin metal plate, the breathing hole (36, 43, 53), and the groove portion (37, 44, 55). And and / or a recessed part (54) can be set as the structure provided integrally by press molding (invention of Claim 9). The groove (37, 44, 55) and / or the recess (54) can be easily formed.
以下、本発明を具体化したいくつかの実施例について、図1ないし図5を参照しながら説明する。尚、以下に述べる各実施例は、本発明を、例えば自動車用の半導体角速度センサ装置に適用したものである。 Several embodiments embodying the present invention will be described below with reference to FIGS. In each of the embodiments described below, the present invention is applied to a semiconductor angular velocity sensor device for automobiles, for example.
(1)第1の実施例
まず、図1及び図2を参照して、本発明の第1の実施例について述べる。図2(a)は、本実施例に係る力学量センサ装置たる半導体角速度センサ装置21の全体構成を概略的に示す縦断側面図である。この角速度センサ装置21は、内部ユニット22を、外部ケース23内に収容して構成され、回路基板24上に実装される。
(1) First Embodiment First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2A is a longitudinal side view schematically showing the entire configuration of the semiconductor angular
そのうち内部ユニット22は、センサチップ25を信号処理チップ26に実装したスタック構造を備え、それらを例えばセラミック製のパッケージ27内に収容して構成される。詳しい図示は省略するが、前記センサチップ25は、周知のように、コリオリ力を検知することにより角速度を検出するための力学量検出部たる角速度検出部を備えて構成されている。また、前記信号処理チップ26は、前記センサチップ25よりもやや大きな矩形板状をなし、前記センサチップ25の角速度検出部からの信号を処理する信号処理回路を備えて構成されている。
Among them, the
前記パッケージ27は、例えば多層セラミック基板からなり、前記センサチップ25及び信号処理チップ26を収容するための凹部27aを有する全体として薄型の矩形容器状に構成されている。また、パッケージ27には、図示しない電極や配線が設けられている。このパッケージ27の開口部(図では下面)は、蓋27bにより閉塞されるようになっている。
The
前記センサチップ25は信号処理チップ26に対し、フェースダウン状態(フリップチップ方式)で、バンプ接続により実装(電気的及び機械的な接続)され、いわばマルチチップモジュールの状態となる。これと共に、そのマルチチップモジュールの状態で、パッケージ27の凹部27a内に収容され、信号処理チップ26の下面(図では上向きの面)が凹部27aの内底面に例えば接着されると共に、ボンディングワイヤ28により電気的な接続がなされるようになっている。
The
前記外部ケース23は、例えばプラスチック製のケーシング本体29に、複数本のリード(リードフレーム)30をインサート成形により備えている。図1にも示すように、本実施例では、前記リード30は、外部ケース23の前後の辺部に多数本ずつ設けられている。また、このケーシング本体29の上下両面に、夫々金属製の薄板からなる上カバー31及び下カバー32が設けられる。
The
前記ケーシング本体29は、ある程度の厚みを持った矩形枠状に構成されていると共に、その内側の底部寄り部位に、前記内部ユニット22を取付けるための載置板部33を一体に有している。載置板部33は、水平方向に延びる薄板状をなすと共に、図1にも示すように、ほぼ十文字状をなす開口33aが形成されている。前記内部ユニット22は、前記載置板部33上に、上下反転した(蓋27bを下向きにした)状態で装着される。
The
このとき、前記載置板部33の開口33aの周囲部(内側に張出す4つの直角な角部分)には、内部ユニット22(蓋27b)との間に、防振用(ダンパ機能を得るため)の例えばシリコーンゴムからなる弾性部材34が介在される。また、内部ユニット22(パッケージ27)の底面(図で上面)の電極と、前記ケーシング本体29の内側上面のリード30との間が、ボンディングワイヤ35により電気的に接続される。
At this time, an anti-vibration function (a damper function is obtained) between the inner portion 22 (the
前記ケーシング本体29の上面部には、断面コ字状の凹溝部29aが全周に渡って矩形枠状に形成されている。前記上カバー31は、ケーシング本体29の上面開口部を塞ぐ大きさの矩形板状をなし、その周囲部(四辺部)が前記凹溝部29a内に嵌るように折り曲げられ、接着剤38によって固着されている。
A concave groove 29a having a U-shaped cross section is formed on the upper surface of the
前記ケーシング本体29の下面部にも、断面コ字状の凹溝部29bが全周に渡って矩形枠状に形成されている。前記下カバー32は、ケーシング本体29の下面開口部を塞ぐ大きさの矩形板状をなし、その周囲部(四辺部)が前記凹溝部29b内に嵌るように折曲げられ、接着剤38によって固着される。従って、この下カバー32は、外部ケース23の底壁部を構成している。
A
さて、前記外部ケース23の下カバー32には、図1及び図2(b)にも示すように、空気抜き用の微小な呼吸穴36が形成されている。この場合、呼吸穴36は、下カバー32の各コーナー寄り部分に位置して、つまり前記弾性部材34から僅かに外れた位置に、4個が設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2B, the
そして、下カバー32の下面部には、前記回路基板24上に塗布された防湿剤が、該下カバー32の下面部に付着した際に、その防湿剤を前記呼吸穴36以外の部位に誘導するための案内手段としての溝部37が形成されている。本実施例では、この溝部37は、例えば断面ほぼV字状をなし、下カバー32の四辺部寄り部位に、前記4個の呼吸穴36形成部分を取囲むように矩形枠状に延びて形成されている。このとき、下カバー32の呼吸穴36及び溝部37は、下カバー32の製造時におけるプレス成形により一体的に設けられている。
When the moisture-proofing agent applied on the
尚、図2(a)に示すように、以上のように構成された本実施例の角速度センサ装置21は、前記回路基板24に対し、各リード30が回路基板24の電極上に載置された状態で、はんだ付けにより実装される。このとき、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー32は、回路基板24の実装面から僅かな隙間をもって浮き上がった形態、つまり回路基板24の上面に対向配置されて設けられる。また、図示はしないが、回路基板24上には、例えばヒューミシールと称される、防湿剤(絶縁コーティング剤)が塗布(散布)されるようになっている。
As shown in FIG. 2A, in the angular
次に、上記構成の作用について述べる。上記した角速度センサ装置21においては、外部ケース23は、基本的に密閉構造が採られているので、回路基板24への実装作業時(リフロー工程)の熱によって、外部ケース23の内部が高圧となる虞が考えられる。ところが、本実施例では、下カバー32に呼吸穴36が形成されているので、外部ケース23内外での圧力差の発生を解消することができる。
Next, the operation of the above configuration will be described. In the angular
ここで、下カバー32に呼吸穴36を設けた場合には、回路基板24に塗布された防湿剤が、回路基板24の上面と下カバー32の下面との間に入り込み、呼吸穴36を塞いでしまう不具合の発生が考えられる。もし、防湿剤が呼吸穴36に侵入することがあると、呼吸穴36としての機能が損なわれるだけでなく、呼吸穴36を通った防湿剤が更に外部ケース23の内部まで侵入し、例えば弾性部材34に付着してダンパ規能を阻害させてしまう虞がある。
Here, when the
しかし、本実施例では、防湿剤を呼吸穴36以外の部位に誘導するための案内手段としての溝部37が形成されているので、回路基板24への実装時に下カバー32の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴36を取囲むように延びる溝部37に流れ込み、その内側領域に進入することが阻止されるので、防湿剤により呼吸穴36が塞がれたり、外部ケース23の内部に侵入したりすることを未然に防止することができるのである。
However, in this embodiment, since the
このように本実施例によれば、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー32に呼吸穴36を形成して外部ケース23内外での圧力差の発生を解消することができるものにあって、下カバー32の下面部に、呼吸穴36を取囲むように延び、防湿剤が流れ込む経路となる溝部37を形成したので、回路基板24への実装時に防湿剤が呼吸穴36に侵入することを効果的に防止することができるという優れた効果を得ることができる。
As described above, according to the present embodiment, the
(2)第2、第3の実施例、その他の実施例
図3及び図4は、本発明の第2の実施例を示すもので、力学量センサ装置たる角速度センサ装置41の構成を示している。この角速度センサ装置41が、上記第1の実施例の角速度センサ装置21と異なる点は、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー42の構成にある。尚、以下に述べる第2、第3の実施例については、下カバー以外の部分の構成は、上記第1の実施例と共通している。従って、上記第1の実施例と同一部分には、同一符号を付して新たな図示や詳しい説明を省略することとする。
(2) Second and third embodiments and other embodiments FIGS. 3 and 4 show a second embodiment of the present invention, and show the configuration of an angular
即ち、下カバー42には、各コーナー寄り部分に位置して、外部ケース23の内外の圧力差を解消するための空気抜き用の4個の微小な呼吸穴43が形成されている。そして、下カバー42の下面部には、前記回路基板24上に塗布された防湿剤が、該下カバー42の下面部に付着した際に、その防湿剤を前記呼吸穴43以外の部位に誘導するための案内手段として、防湿剤が流れ込む経路となる溝部44が形成されている。
That is, in the
本実施例では、この溝部44は、呼吸穴43から外れた位置に、下カバー42の外辺部で開放するように延びて形成されている。具体的には、溝部44は、下カバー42の下面部の前後方向の中央部を左右方向全体に渡って延びる部分と、左右方向の中央部を前後方向全体に渡って延びる部分とが十文字状に交差するように設けられている。下カバー42の下面部の四辺部(外周部)についても、溝部44と同程度の凹状に(呼吸穴43形成部分の面よりも一段低く)構成されている。
In the present embodiment, the
言い換えれば、図4にも示すように、下カバー42の下面部は、呼吸穴43形成部分を含む前後左右の4箇所のほぼ矩形状の領域が、相互間に僅かな間隔をおいて下方に凸状となるように形成されている。尚、この下カバー42についても、薄板状の金属材料をプレス成形することにより製造され、図4に示すように、呼吸穴43及び溝部44は、製造時におけるプレス成形により一体的に設けられている。
In other words, as shown in FIG. 4, the bottom surface of the
このような第2の実施例においても、回路基板24上に塗布された防湿剤が、回路基板24の上面と下カバー42の下面との間に入り込み、下カバー42の下面部に付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴43から外れた位置を延びる溝部44に流れ込み、下カバー42の外辺部に導かれるので、防湿剤により呼吸穴43が塞がれることを未然に防止することができる。
Also in the second embodiment, when the moisture-proofing agent applied on the
図5は、本発明の第3の実施例に係る力学量センサ装置たる角速度センサ装置51の構成を示している。この第3の実施例に係る角速度センサ装置51においては、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー52に、周囲部寄り(コーナー寄り部分)に位置して4個の呼吸穴53が形成されていると共に、防湿剤を呼吸穴53以外の部位に誘導するための案内手段が設けられる。このとき、本実施例では、下カバー52の下面部には、案内手段として凹部54及び溝部55が形成されている。
FIG. 5 shows a configuration of an angular
即ち、下カバー52の下面部の呼吸穴53から外れた位置、本実施例では中央部に位置して、防湿剤を溜める凹部54がほぼ円形をなすように形成されている。そして、下カバー52の下面部の呼吸穴53から外れた位置に、該下カバー52の外辺部にて開放し、該辺部から前記凹部54につながるように延びる溝部55が、前記凹部54と同等の深さで形成されている。このとき、溝部55は、下カバー52の各辺の中央部から、前記凹部54に向けて、4本が形成されている。更に、それら溝部55は、幅寸法が前記凹部54に近い部分で、次第に小さくなる形状とされている。
That is, the
このような第3の実施例によれば、下カバー52の下面部に防湿剤が付着した場合には、その防湿剤は、溝部55を案内されて、呼吸穴53から外れた位置の凹部54に至り、凹部54に溜められるようになる。これにより、防湿剤により呼吸穴53が塞がれることを効果的に防止することができる。しかも、前記溝部55は、凹部54に近い部分で、幅寸法が小さくなっていることにより、凹部54内に導かれた防湿剤が、凹部54から溝部55を通って抜出すことを効果的に防止することができる。
According to the third embodiment, when the moisture-proof agent adheres to the lower surface portion of the
ここで、防湿剤が外部ケース23の内部まで侵入しなくとも、防湿剤が、下カバー52の下面部と回路基板24の上面との間において部分的に固着すると、振動の伝達にアンバランスが生じ、弾性部材34によるダンパ性能が変動して耐衝撃性の低下を招く虞がある。しかし、本実施例では、凹部54内の防湿剤が、回路基板24と外部ケース23の下カバー52との間において固着した場合でも、下カバー52の中央部に位置するので、アンバランスな位置で防湿剤が固着することに伴う、ダンパ性能の変動といった不具合を防止することができる。
Here, even if the moisture-proof agent does not penetrate into the
尚、上記各実施例では、本発明を角速度センサ装置に適用するようにしたが、それ以外でも、例えば加速度センサや慣性力センサ等にも適用することができる。防振用の弾性部材の材質についても、シリコーンゴムに限らず、各種のエラストマーなど様々なものを採用することができる。更には、呼吸穴の個数や形成する位置、溝部や凹部の形状や形成位置等についても、様々な変形例が考えられる。その他、内部ユニットの構成や、外部ケースの形状や構造についても種々の変更が可能であるなど、本発明は、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。 In each of the above embodiments, the present invention is applied to the angular velocity sensor device. However, the present invention can also be applied to, for example, an acceleration sensor and an inertial force sensor. The material of the elastic member for vibration isolation is not limited to silicone rubber, and various materials such as various elastomers can be employed. Furthermore, various modifications are conceivable with respect to the number of breathing holes, positions to be formed, and shapes and positions of grooves and recesses. In addition, the present invention can be implemented with appropriate modifications within a range not departing from the gist, such as various changes in the configuration of the internal unit and the shape and structure of the external case.
図面中、21、41、51は角速度センサ装置(力学量センサ装置)、22は内部ユニット、23は外部ケース、24は回路基板、32、42、52は下カバー(底壁部)、34は弾性部材、36、43、53は呼吸穴、37、44、55は溝部(案内手段)、54は凹部(案内手段)を示す。
In the drawings, 21, 41 and 51 are angular velocity sensor devices (mechanical quantity sensor devices), 22 is an internal unit, 23 is an external case, 24 is a circuit board, 32, 42 and 52 are lower covers (bottom wall portions), and 34 is
Claims (9)
前記外部ケース(23)のうち、前記回路基板(24)の上面に対向配置される底壁部(32、42、52)に、空気抜き用の呼吸穴(36、43、53)を備えると共に、
当該底壁部(32、42、52)に、前記呼吸穴(36、43、53)よりも外側に位置して、前記回路基板(24)上に塗布された防湿剤が、前記底壁部(32、42、52)の下面部に付着した際に、その防湿剤が流れ込む溝部(37、44、55)を備えることを特徴とする力学量センサ装置。 A mechanical quantity sensor device configured by housing an internal unit (22) having a mechanical quantity detection unit in an external case (23) and mounted on a circuit board (24),
Of the outer case (23), the bottom wall (32, 42, 52) disposed opposite to the upper surface of the circuit board (24) is provided with a breathing hole (36, 43, 53) for venting air,
The bottom wall (32, 42, 52) is located outside the breathing hole (36, 43, 53), and a moisture-proof agent applied on the circuit board (24) is applied to the bottom wall. (32, 42, 52) A mechanical quantity sensor device comprising a groove (37 , 44 , 55) into which the moisture-proofing agent flows when adhering to the lower surface of (32 , 42 , 52).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011241118A JP5899818B2 (en) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | Mechanical quantity sensor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011241118A JP5899818B2 (en) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | Mechanical quantity sensor device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013096893A JP2013096893A (en) | 2013-05-20 |
JP5899818B2 true JP5899818B2 (en) | 2016-04-06 |
Family
ID=48618964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011241118A Expired - Fee Related JP5899818B2 (en) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | Mechanical quantity sensor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5899818B2 (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3601419B2 (en) * | 2000-07-18 | 2004-12-15 | 株式会社デンソー | Electronics |
JP2009223620A (en) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Denso Corp | Structure of assembling dynamic quantity sensor |
JP4851555B2 (en) * | 2008-05-13 | 2012-01-11 | 株式会社デンソー | Mechanical quantity sensor and manufacturing method thereof |
US8080925B2 (en) * | 2008-09-23 | 2011-12-20 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Inertial sensor with dual cavity package and method of fabrication |
JP5375311B2 (en) * | 2009-04-28 | 2013-12-25 | オムロン株式会社 | Electronic component mounting apparatus and manufacturing method thereof |
JP5589961B2 (en) * | 2011-01-26 | 2014-09-17 | 株式会社デンソー | Angular velocity sensor device |
-
2011
- 2011-11-02 JP JP2011241118A patent/JP5899818B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013096893A (en) | 2013-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8902604B2 (en) | Component support and assembly having a MEMS component on such a component support | |
US8816453B2 (en) | MEMS component and a semiconductor component in a common housing having at least one access opening | |
US8659100B2 (en) | MEMS component having a diaphragm structure | |
US20080083958A1 (en) | Micro-electromechanical system package | |
US9380392B2 (en) | Microphone | |
EP2599333B1 (en) | Reduced footprint microphone system with spacer member having through-hole | |
US20120057729A1 (en) | Mems microphone package | |
US9986354B2 (en) | Pre-mold for a microphone assembly and method of producing the same | |
JP2004003886A (en) | Sensor package | |
CN108336028B (en) | Semiconductor device package and method of manufacturing the same | |
JP2008311940A (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
US20170094402A1 (en) | Microphone having increased rear volume, and method for production thereof | |
US8836099B2 (en) | Leadless package housing having a symmetrical construction with deformation compensation | |
US20170082466A1 (en) | Electronic Module, Method and Device for Manufacturing an Electronic Module | |
JP2012252002A (en) | Dual port pressure sensor | |
JP5899818B2 (en) | Mechanical quantity sensor device | |
KR20170076736A (en) | Microphone package with molded spacer | |
TWI594940B (en) | Micro-electrical-mechanical system (mems) microphone | |
JP2007139517A (en) | Method for manufacturing pressure sensor, pressure sensor, and method for mounting pressure sensor | |
TWI735843B (en) | Micro-electro-mechanical-system microphone package | |
TWI596712B (en) | Sensormodul und anordnung eines sensormoduls | |
KR101981831B1 (en) | Cavity package design | |
US11623861B2 (en) | Micromechanical component for a sensor device and manufacturing method for a micromechanical component for a sensor device | |
CN111158099B (en) | Camera module and lens bracket thereof | |
JP2016100403A (en) | Temperature, humidity, atmospheric pressure integrated sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141010 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160222 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5899818 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |